JPH01205950A - ポーラスチャックテーブルの洗浄方法およびその装置 - Google Patents

ポーラスチャックテーブルの洗浄方法およびその装置

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    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003045841A (ja) * 2001-08-02 2003-02-14 Disco Abrasive Syst Ltd 吸着パッド洗浄装置及び該装置を用いた吸着パッド洗浄方法
JP2003053662A (ja) * 2001-08-17 2003-02-26 Disco Abrasive Syst Ltd 加工歪除去装置
JP2007184412A (ja) * 2006-01-06 2007-07-19 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 研削装置のチャックテーブルの洗浄装置
JP2009111037A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Komatsu Machinery Corp チャックテーブル洗浄装置
JP2009160700A (ja) * 2008-01-08 2009-07-23 Disco Abrasive Syst Ltd 研磨装置
JP2015054362A (ja) * 2013-09-10 2015-03-23 株式会社ディスコ 異物除去工具及び異物除去方法
JP2017140663A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 株式会社ディスコ 研削装置
JP2018078208A (ja) * 2016-11-10 2018-05-17 株式会社ディスコ チャックテーブル
JP2019040945A (ja) * 2017-08-23 2019-03-14 株式会社Sumco チャックテーブルの洗浄装置および該洗浄装置を備える研削装置
JP2020146790A (ja) * 2019-03-12 2020-09-17 株式会社東京精密 ウェハチャックの洗浄方法及び装置
US20220305612A1 (en) * 2021-03-29 2022-09-29 Disco Corporation Polishing apparatus
JP2023028360A (ja) * 2021-08-19 2023-03-03 株式会社ディスコ 加工装置、及びチャックテーブルの保持面の洗浄方法
WO2025041646A1 (ja) * 2023-08-23 2025-02-27 東京エレクトロン株式会社 チャック洗浄装置、基板加工装置、及び基板加工方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56152562A (en) * 1980-04-24 1981-11-26 Fujitsu Ltd Grinder
JPS59196163A (ja) * 1983-04-05 1984-11-07 Kanetsuu Kogyo Kk チヤツク自動クリ−ナ−
JPH01171762A (ja) * 1987-12-28 1989-07-06 Shibayama Kikai Kk 半導体のウエハ研削盤の吸着チャック洗浄装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56152562A (en) * 1980-04-24 1981-11-26 Fujitsu Ltd Grinder
JPS59196163A (ja) * 1983-04-05 1984-11-07 Kanetsuu Kogyo Kk チヤツク自動クリ−ナ−
JPH01171762A (ja) * 1987-12-28 1989-07-06 Shibayama Kikai Kk 半導体のウエハ研削盤の吸着チャック洗浄装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003045841A (ja) * 2001-08-02 2003-02-14 Disco Abrasive Syst Ltd 吸着パッド洗浄装置及び該装置を用いた吸着パッド洗浄方法
JP2003053662A (ja) * 2001-08-17 2003-02-26 Disco Abrasive Syst Ltd 加工歪除去装置
JP2007184412A (ja) * 2006-01-06 2007-07-19 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 研削装置のチャックテーブルの洗浄装置
JP2009111037A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Komatsu Machinery Corp チャックテーブル洗浄装置
JP2009160700A (ja) * 2008-01-08 2009-07-23 Disco Abrasive Syst Ltd 研磨装置
JP2015054362A (ja) * 2013-09-10 2015-03-23 株式会社ディスコ 異物除去工具及び異物除去方法
JP2017140663A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 株式会社ディスコ 研削装置
JP2018078208A (ja) * 2016-11-10 2018-05-17 株式会社ディスコ チャックテーブル
JP2019040945A (ja) * 2017-08-23 2019-03-14 株式会社Sumco チャックテーブルの洗浄装置および該洗浄装置を備える研削装置
TWI730240B (zh) * 2017-08-23 2021-06-11 日商Ｓｕｍｃｏ股份有限公司 吸盤載台的洗淨裝置以及具有該洗淨裝置的研削裝置
JP2020146790A (ja) * 2019-03-12 2020-09-17 株式会社東京精密 ウェハチャックの洗浄方法及び装置
JP2024019225A (ja) * 2019-03-12 2024-02-08 株式会社東京精密 ウェハチャックの洗浄方法及び装置
US20220305612A1 (en) * 2021-03-29 2022-09-29 Disco Corporation Polishing apparatus
US11858088B2 (en) * 2021-03-29 2024-01-02 Disco Corporation Polishing apparatus
JP2023028360A (ja) * 2021-08-19 2023-03-03 株式会社ディスコ 加工装置、及びチャックテーブルの保持面の洗浄方法
WO2025041646A1 (ja) * 2023-08-23 2025-02-27 東京エレクトロン株式会社 チャック洗浄装置、基板加工装置、及び基板加工方法

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