JP2014117776A - 研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本研磨方法は、研磨液を研磨面3aに供給しながら基板Wを研磨面3aに摺接させて該基板Wを研磨し、基板Wの研磨後に、洗浄液を少なくとも含む洗浄流体をアトマイザ30から研磨面に向けて噴射して研磨面3aを洗浄し、洗浄流体の噴射を停止した後に、アトマイザ30にパージガスを供給してアトマイザ30内に残留する洗浄液を排出する工程を含む。
【選択図】図1
Description
本発明の好ましい態様は、前記パージガスの供給は、次の基板を研磨する前に行われることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記洗浄流体の噴射を停止した直後に、前記アトマイザにパージガスを供給して前記アトマイザ内に残留する前記洗浄液を排出することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記洗浄流体は、前記洗浄液と不活性ガスとの混合流体であり、前記不活性ガスは前記パージガスとしても使用されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記洗浄流体を前記研磨面に向けて噴射しながら、ドレッサで前記研磨面をドレッシングする工程をさらに含むことを特徴とする。
図1は、ウェハなどの基板を研磨する研磨装置を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、研磨装置は、研磨具としての研磨パッド3を支持するための研磨テーブル5と、ウェハWを保持しかつウェハWを研磨テーブル5上の研磨パッド3に押圧するためのトップリング15と、研磨パッド3に研磨液(例えばスラリー)を供給するための研磨液供給機構10とを備えている。研磨パッド3は研磨テーブル5の上面に貼付されており、研磨パッド3の上面がウェハWを研磨する研磨面3aを構成している。研磨具としては、研磨パッド3に代えて固定砥粒または研磨布などを用いてもよい。
3a 研磨面
5 研磨テーブル
6 テーブル軸
8 テーブルモータ
10 研磨液供給機構
15 トップリング
16 駆動軸
18 トップリングヘッド
19 トップリング旋回軸
20 ドレッサ
22 ドレッサヘッド
23 ドレッサ旋回軸
30 アトマイザ
31 アトマイザヘッド
32 噴射ノズル
33 アトマイザカバー
34a,34b 側板
35a,35b 膨出部
38 流体ポート
39 支持軸
41 流体配管
43 洗浄液配管
45 気体配管
48 洗浄液供給源
49 気体供給源(パージガス供給源)
51,52 流量調整弁
Claims (6)
- 研磨液を研磨面に供給しながら基板を前記研磨面に摺接させて該基板を研磨し、
前記基板の研磨後に、洗浄液を少なくとも含む洗浄流体をアトマイザから前記研磨面に向けて噴射して前記研磨面を洗浄し、
前記洗浄流体の噴射を停止した後に、前記アトマイザにパージガスを供給して前記アトマイザ内に残留する前記洗浄液を排出することを特徴とする研磨方法。 - 前記パージガスは、前記洗浄流体と同じ経路を通って前記アトマイザに供給されることを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記パージガスの供給は、次の基板を研磨する前に行われることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体の噴射を停止した直後に、前記アトマイザにパージガスを供給して前記アトマイザ内に残留する前記洗浄液を排出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体は、前記洗浄液と不活性ガスとの混合流体であり、
前記不活性ガスは前記パージガスとしても使用されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨方法。 - 前記洗浄流体を前記研磨面に向けて噴射しながら、ドレッサで前記研磨面をドレッシングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の研磨方法。
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