KR100796557B1 - 화학적 기계적 연마장비의 세정장치 - Google Patents
화학적 기계적 연마장비의 세정장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (7)
- 회전하는 스핀들과 비회전결합하고, 그 내부에 세정수가 유입되는 제1통로와 압축가스가 유입되는 제2통로가 각각 형성되는 비회전중심축; 및상기 스핀들에 결합되어 연마패드상에서 상기 비회전중심축을 중심으로 공전운동하고, 상기 제1통로에서 공급되는 세정수와 상기 제2통로에서 공급되는 압축가스를 혼합하여 이류체를 생성하며, 혼합생성된 이류체를 상기 연마패드상에 가압분사하는 노즐블럭을 포함하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 노즐블럭은,상기 제1통로에서 세정수를 공급받아 상기 연마패드상에 분사하는 제1블럭; 및상기 제1블럭에서 상기 연마패드상에 분사되는 세정수가 가압분사되도록 상기 제2통로에서 압축가스를 공급받아 상기 제1블럭에 공급하는 제2블럭을 포함하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1블럭은,상기 연마패드의 중심에서 반지름방향으로 상호 분사영역이 중첩되는 다수의 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제3항에 있어서,상기 제2블럭은,상기 제1블럭의 각 분사구에 압축가스를 각각 공급하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 노즐블럭과 상기 비회전중심축이 결합되는 부위에는, 로터리피팅이 설치된 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 제2통로로 공급되는 압축가스는, 질소가스인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
- 제6항에 있어서,상기 제1블럭은,상기 제1통로에서 세정수의 공급차단시 상기 제2통로에서 공급되는 질소가스만을 분사하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마장비의 세정장치.
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