JP2015054362A - 異物除去工具及び異物除去方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1から図13を参照して、実施形態について説明する。本実施形態は、異物除去工具及び異物除去方法に関する。図1は、本発明の実施形態に係る研削装置の斜視図、図2は、実施形態に係る異物除去工具の要部を示す側面図、図3は、実施形態に係る被加工物を示す斜視図、図4は、研削加工を示す斜視図、図5は、研削加工を説明する平面図、図6は、実施形態の異物除去工具の動作を示す平面図、図7は、実施形態の異物除去工具の動作を示す側面図である。
弾性部材16は、押し縮められた状態で円形砥石部保持部13と円形砥石部12との間に配置されている。従って、弾性部材16は、円形砥石部12に対して下方に向かう付勢力を作用させている。
研削砥石5a,6aの最外周5b,6bの直径d1(図5参照)は、保持面4aの半径Rt(図7参照)よりも小さい。研削砥石5a,6aの直径d1と砥石本体12aの外径Dwとの差異が大きすぎると、被加工物Wに対する研削加工に影響を及ぼす可能性があるため、両者の差異が小さいことが好ましい。
研削装置1では、一定期間(一定稼働時間)ごとに、セルフ砥石によって保持面4aの凹部4bが再形成(形状修正)される。セルフ砥石は、研削砥石5a,6aとは別の砥石であって、凹部4bを形成あるいは再形成する際に用いられるものである。凹部4bの形成や再形成は、例えば、上記特許文献3の保持面研削工程と同様に行われる。セルフ砥石は、保持面4aと、保持面4aを囲むステンレス鋼の枠部とを研削して、保持面4aに凹部4bを形成する。枠部における保持面4aに隣接する数mm幅の部分を研削できるように、セルフ砥石の外径は、保持面4aの半径Rtよりもわずかに大きい径、例えば152.5[mm]とされている。本実施形態の砥石本体12aの外径Dwは、セルフ砥石の外径と同一径とされている。
第一の比較用砥石(図8) 材質:アルミナセラミック 外径:180.0mm
第二の比較用砥石(図9) 材質:アルミナセラミック 外径:152.5mm
実施形態の砥石本体12a 材質:PPS樹脂 外径:152.5mm
異物除去工具位置付け工程は、異物除去工具10の円形砥石部12を、保持面4aの中心と外周縁4eとの間の半径領域4fに位置付ける工程である。異物除去工程において、移動部11は、円形砥石部12を、図6に示すように半径領域4fに位置付ける。半径領域4fに位置付けられた円形砥石部12は、接触部分12dが保持面4aと接触する。
異物除去工程は、異物除去工具位置付け工程を実施した後に実行される。異物除去工程において、研削装置1は、保持テーブル4を回転させる。図7に示すように、保持テーブル4が回転することで、円形砥石部12が保持テーブル4の保持面4aの凹形状にならって連れ回って回転し、保持面4a上の異物を除去する。なお、研削装置1は、異物除去工具位置付け工程が終了してから保持テーブル4の回転を開始しても、異物除去工具位置付け工程の実行前や実行中に保持テーブル4の回転を開始してもよい。
上記実施形態では、円形砥石部12を半径領域4fに位置付ける際の円形砥石部12のX軸方向における目標位置は予め定められていたが、これに代えて、例えば、保持テーブル4の位置の検出結果に基づいて目標位置が決定されてもよい。
上記実施形態の第2変形例について説明する。砥石本体12aの材質は、PPS樹脂には限定されない。砥石本体12aの材質とすることができる樹脂としては、例えば、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、ポリアリレート(PAR)樹脂、ポリアミドイミド(PAI)樹脂、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)樹脂、ポリアセタール(POM)樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリ塩化ビニル(PVC)樹脂等が挙げられる。
上記実施形態の第3変形例について説明する。上記実施形態の異物除去工具10が実行する異物除去方法において、異物除去工程で円形砥石部12を回転させるようにしてもよい。円形砥石部12を回転駆動する場合、円形砥石部保持部13は、支持軸14に対して相対回転不能に接続されることが望ましい。また、移動部11は、円形砥石部保持部13を回転駆動するモーター等の駆動源を有することが望ましい。
4 保持テーブル
4a 保持面
4b 凹部
4c 中心部
4e 外周縁
4f 半径領域
10 異物除去工具
11 移動部
12 円形砥石部
12a 砥石本体
12b 砥石保持部
12c 外周
12d 接触部分
13 円形砥石部保持部
Co 回転軸線
Dw 砥石本体の外径
Rt 保持面の半径
W 被加工物
W1 デバイス領域
W2 外周余剰領域
W3 凹部
W4 リング状補強部
Wa 表面
Wb 裏面
Claims (3)
- 被加工物を保持する円形のセラミックで形成された保持面を有し、該保持面は中心から外周に向かって凹状に湾曲し、該保持面の中心を回転軸線として回転駆動する保持テーブルの該保持面から異物を除去する異物除去工具であって、
該保持テーブルの該保持面の半径と同等の外径で形成された円盤形状の砥石からなる円形砥石部と、該円形砥石部を該保持テーブルの該保持面の中心と外周縁との間の半径領域に位置付ける移動部と、該移動部の下端に回転可能に接続され且つ下方に該円形砥石部を保持する円形砥石部保持部とを備え、
該円形砥石部の該保持テーブルの該保持面と当接する面の材質は、該保持面のセラミックの曲げ強度よりも小さい曲げ強度を有する材質で形成されていることを特徴とする異物除去工具。 - 該円形砥石部の該保持テーブルと当接する面は、JIS R1601曲げ強度で350MPa以下のセラミック又は樹脂で形成されていることを特徴とする、請求項1記載の異物除去工具。
- 被加工物を保持する円形の保持面を有し、該保持面は中心から外周縁に向かって凹状に湾曲し、該保持面の中心を回転軸線として回転駆動する保持テーブルの該保持面から異物を除去する異物除去方法であって、
請求項1又は2記載の異物除去工具の該円形砥石部を、該保持面の中心と外周縁との間の半径領域に位置付ける異物除去工具位置付け工程と、
該異物除去工具位置付け工程を実施した後に、該保持テーブル又は該円形砥石部の少なくとも一方を回転させることで、該保持面上の異物を除去する異物除去工程と、
を備えた異物除去方法。
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