JPH0119650B2 - - Google Patents

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JPH0119650B2
JPH0119650B2 JP57001513A JP151382A JPH0119650B2 JP H0119650 B2 JPH0119650 B2 JP H0119650B2 JP 57001513 A JP57001513 A JP 57001513A JP 151382 A JP151382 A JP 151382A JP H0119650 B2 JPH0119650 B2 JP H0119650B2
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JP
Japan
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zinc oxide
oxide film
support frame
electrode
vibrating
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JP57001513A
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JPS58119218A (ja
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Koji Nishama
Takeshi Nakamura
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Priority to US06/456,309 priority patent/US4469975A/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive element covered by groups H10N30/00 – H10N35/00
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は集積回路等と組み合わせて発振回路を
構成する場合等に使用される音片型の圧電振動子
からなる圧電振動装置に関する。
従来より、圧電振動子を使用した発振回路とし
ては、ハートレ型やコルピツツ型の発振回路が一
般に知られている。
上記コルピツツ型の発振回路は、例えば第１図
に示すように、反転増巾器１１の入力端子と出力
端子との間に圧電振動子１２と抵抗１３とを接続
するとともに、上記反転増巾器１１の入力端子と
アースとの間および上記反転増巾器１１の出力端
子とアースとの間に夫々コンデンサ１４および１
５を接続した構成を有する。
上記のようなコルピツツ型の発振回路において
は、反転増巾器１１に外付けされる部品は、圧電
振動子１２の他に、抵抗１３と２つのコンデンサ
１４および１５と多く、発振回路の形状が大きく
なる欠点があつた。
本発明の圧電振動子を使用したコルピツツ型の
発振回路における上記欠点を解消すべくなされた
ものであつて、発振回路において必要とされるコ
ンデンサを内蔵させることにより、反転増巾器と
組み合せて使用される部品点数を少くし、発振回
路の小形化を図るようにした圧電振動装置を提供
することを目的としている。
このため、本発明は、１枚の恒弾性金属薄板の
周縁近傍を支持枠としてその内側に突出させた支
持部により該支持枠内に振動片を支持し、該振動
片に酸化亜鉛膜を形成して該酸化亜鉛膜を上記支
持部から支持枠に引き出し、上記振動片上の酸化
亜鉛膜上に電極を形成するとともに、支持枠上に
引き出した酸化亜鉛膜上に電極を形成し、該電極
と上記恒弾性金属薄板とにより上記酸化亜鉛膜を
誘電体とする静電容量を形成するようにしたこと
を第１の特徴としている。
また、本発明は、１枚の恒弾性金属薄板の周縁
近傍を支持枠としてその内側に突出させた支持部
により該支持枠内に振動片を支持し、該振動片に
酸化亜鉛膜を形成して該酸化亜鉛膜を上記支持部
から支持枠に引き出し、上記振動片上の酸化亜鉛
膜上に電極を形成して該電極を上記支持部から支
持枠上の酸化亜鉛膜の上に引き出し、その上にコ
ンデンサチツプを取り付けるようにしたことを第
２の特徴としている。
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
第２図において、２１は振動片、２２，２２は
該振動片２１を支持する支持部、２３は上記振動
片２１の支持枠であつて、これら振動片２１、支
持部２２，２２および支持枠２３は、エリンバー
等の恒弾性材料の薄板からフオトリソグラフイ等
の手法により一体化される。
上記支持部２２，２２は支持枠２３の内部に突
出し、該支持枠２３の内部で上記振動片２１の振
動の節点を支持する。
上記振動片２１上および支持枠２３上の一部に
は夫々酸化亜鉛膜（ZnO）２４および２５を形成
し、これら両酸化亜鉛膜２４および２５を上記支
持部２２，２２の一つに形成した酸化亜鉛膜２６
を通して相互に接続している。
また、振動片２１上の酸化亜鉛膜２４および支
持枠２３上の酸化亜鉛膜２５の一部には夫々電極
２７および２８を形成し、これら両電極２７およ
び２８は支持部２２の酸化亜鉛膜２６上に形成し
た電極２９を通して相互に接続されている。
支持枠２３上の酸化亜鉛膜２５上には、いま一
つの電極３０を形成し、該電極３０と恒弾性材料
の薄板からなる上記支持枠２３とにより、上記酸
化亜鉛膜２５を誘電体とするコンデンサ３１を形
成している。
上記コンデンサ３１の静電容量の調整は、その
電極３０を機械的に削除することにより行われ
る。
一方、電極２７から支持枠２３の酸化亜鉛膜２
５上に引き出した電極２８の上には、第３図に示
すように、チツプ状の誘電体３２に相対向する電
極３３，３４を有するコンデンサチツプ３５の上
記電極３４を半田付けしている。
上記のようにすれば、振動片２１、酸化亜鉛膜
２４および電極２７は一つの音片型の圧電振動子
３６を形成するとともに、該圧電振動子３６の振
動片２１は支持部２２，２２を通して支持枠２３
に電気的に導通し、また、上記圧電振動子３６の
電極２７は電極２９および２８を通じてコンデン
サチツプ３５の電極３４に電気的に導通する。
従つて、上記支持枠２３上の酸化亜鉛膜２５の
電極３０およびコンデンサチツプ３５の電極３３
を夫々アースに接続すれば、第４図に示すよう
に、上記圧電振動子３６は、アースとの間にコン
デンサチツプ３５が、また、振動片２１及び支持
枠２３とアースとの間にはコンデンサ３１が夫々
接続されたπ型の回路４１を形成することにな
る。
上記回路４１は第１図の反転増巾器１１の帰環
回路と全く同一であつて、第４図に示すように、
コンデンサチツプ３５の電極３３およびコンデン
サ３１の電極３０に夫々接続される端子４２およ
び４３を設けてこれら端子４２および４３をアー
スに接続する一方、電極２８（コンデンサチツプ
３５の電極３４）を反転増巾器１１の端子４４に
接続し、更に支持枠２３と反転増巾器１１の端子
４５を接続すれば、上記反転増巾器１１、抵抗１
３および第２図の圧電振動装置の３つの部品でコ
ルピツツ型の発振回路を構成することができる。
なお、上記実施例において、支持枠２３におけ
るコンデンサチツプ３５の取付け位置およびコン
デンサ３１の形成位置は任意であつて、例えば第
５図に示すように、電極２８を振動片３６の支持
辺とは異なる辺に対向する支持枠２３の一辺に形
成し、その上にコンデンサチツプ３５を半田付け
もしくは導電接着剤等により取り付けるようにし
てもよい。
以上、詳述したことからも明らかなように、本
発明は、圧電振動子を支持する支持枠に該圧電振
動子とともにコルピツツ型の発振回路のπ型の帰
環回路を構成するコンデンサを形成および取り付
けるようにしたから、コルピツツ型の発振回路を
構成する場合に必要な２つのコンデンサが圧電振
動装置に内蔵されることになり、本圧電振動装置
を抵抗とともに反転増巾器の入出力端子間に接続
するだけで発振回路を構成することができ、部品
点数が少く小形の発振回路を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はコルピツツ発振回路の回路図、第２図
は本発明に係る圧電振動装置の斜視図、第３図は
コンデンサチツプの取付けを示す説明図、第４図
は第２図の圧電振動装置の等価回路図、第５図は
第２図の実施例の変形例の斜視図である。 １１……反転増巾器、２１……振動片、２２…
…支持部、２３……支持枠、２４，２５，２６…
…酸化亜鉛膜、２７，２８，２９，３０……電
極、３１……コンデンサ、３５……コンデンサチ
ツプ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ １枚の恒弾性金属薄板の周縁近傍を支持枠と
    してその内側に突出させた支持部により該支持枠
    内に振動片を支持し、該振動片に酸化亜鉛膜を形
    成して該酸化亜鉛膜を上記支持部から支持枠に引
    き出し、上記振動片上の酸化亜鉛膜上に電極を形
    成するとともに、支持枠上に引き出した酸化亜鉛
    膜上に電極を形成し、該電極と上記恒弾性金属薄
    板とにより上記酸化亜鉛膜を誘電体とする静電容
    量を形成するようにしたことを特徴とする圧電振
    動装置。 ２ １枚の恒弾性金属薄板の周縁近傍を支持枠と
    してその内側に突出させた支持部により該支持枠
    内に振動片を支持し、該振動片に酸化亜鉛膜を形
    成して該酸化亜鉛膜を上記支持部から支持枠に引
    き出し、上記振動片上の酸化亜鉛膜上に電極を形
    成して該電極を上記支持部から支持枠上の酸化亜
    鉛膜の上に引き出し、その上にコンデンサチツプ
    を取り付けるようにしたことを特徴とする圧電振
    動装置。
JP57001513A 1982-01-07 1982-01-07 圧電振動装置 Granted JPS58119218A (ja)

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60137112A (ja) * 1983-12-26 1985-07-20 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS60137115A (ja) * 1983-12-26 1985-07-20 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS60232710A (ja) * 1984-05-01 1985-11-19 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS60232711A (ja) * 1984-05-01 1985-11-19 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS6146609A (ja) * 1984-08-10 1986-03-06 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS6146608A (ja) * 1984-08-10 1986-03-06 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子
JPS61123211A (ja) * 1984-11-19 1986-06-11 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子および圧電振動子の振動周波数調整方法
JPS61131607A (ja) * 1984-11-29 1986-06-19 Murata Mfg Co Ltd 圧電振動子ウエハおよび圧電振動子の製造方法
US4584499A (en) * 1985-04-12 1986-04-22 General Electric Company Autoresonant piezoelectric transformer signal coupler
EP0212341A3 (de) * 1985-08-12 1988-09-28 Siemens Aktiengesellschaft Kompensationsschaltung für modulierbare Schwingquarze konstanter Modulationssteilheit
US6896135B2 (en) * 1997-09-24 2005-05-24 Helmut Leitner Coil strap with nails for use in a nail hammer
JP4033100B2 (ja) 2003-09-29 2008-01-16 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3535686A (en) * 1967-12-13 1970-10-20 Us Army Ceramic memory system
US3486046A (en) * 1968-10-17 1969-12-23 Westinghouse Electric Corp Thin film piezoelectric resonator
US4190785A (en) * 1976-12-09 1980-02-26 Essex Transducers Corporation Pressure sensitive signal generator using piezoelectric coating
US4193010A (en) * 1976-12-09 1980-03-11 Essex Transducers Corporation Sensor device using piezoelectric coating subjected to bending
JPS5552621A (en) * 1978-10-11 1980-04-17 Matsushima Kogyo Co Ltd Vertical vibration-type piezo-vibrator

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US4469975A (en) 1984-09-04

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