JPH01165434A - ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム - Google Patents
ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルムInfo
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- JPH01165434A JPH01165434A JP32356287A JP32356287A JPH01165434A JP H01165434 A JPH01165434 A JP H01165434A JP 32356287 A JP32356287 A JP 32356287A JP 32356287 A JP32356287 A JP 32356287A JP H01165434 A JPH01165434 A JP H01165434A
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- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィ
ルムに関するものである。更に詳しくは、包装材料等に
好適に使用されるガスバリヤ性に優れた、しかも透明な
プラスチックフィルムに関するものである。
ルムに関するものである。更に詳しくは、包装材料等に
好適に使用されるガスバリヤ性に優れた、しかも透明な
プラスチックフィルムに関するものである。
「従来の技術」
食品、医薬品、化学薬品等の包装材料に用いられる透明
なプラスチックフィルムは、包装された内容物の変質を
防ぐために、水蒸気や酸素などの〃ス透過率の小さい材
質のものが用いられている。
なプラスチックフィルムは、包装された内容物の変質を
防ぐために、水蒸気や酸素などの〃ス透過率の小さい材
質のものが用いられている。
そして、さらに高度のガスバリヤ性が必要な包装材料の
場合は、フィルムにアルミニウム箔を貼り合せたものや
、フィルムの表面にアルミニウムをS着させたものが用
いられてきた。
場合は、フィルムにアルミニウム箔を貼り合せたものや
、フィルムの表面にアルミニウムをS着させたものが用
いられてきた。
しかしながら、このような金属箔等を用いた包装材料は
、水蒸気や酸素などに対する〃スバリャ性には優れてい
るものの、不透明であり、内容物を外から見ることがで
きないという欠点があって、包装材料としては適当でな
い面があった。
、水蒸気や酸素などに対する〃スバリャ性には優れてい
るものの、不透明であり、内容物を外から見ることがで
きないという欠点があって、包装材料としては適当でな
い面があった。
一方、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデンを主成分と
し、これと共重合可能な他の化合物、たとえば塩化ビニ
ル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、アク
リロニトリルなどとの共重合体等の塩化ビニリデン系樹
脂よりなるフィルム、およびこれらの塩化ビニリデン系
樹脂をポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド等よ
りなるフィルムにコーティングした塩化ビニリデン系樹
脂コートフィルムも、〃スバリャ性を備えた包装材料と
して用いられている。これらの塩化ビニリデン系樹脂フ
ィルムは、フィルム自体が水蒸気や酸素に対するガスバ
リヤ性を備えているが、これらの〃スバリャ性は、充分
なものではなく、高度な〃スパリャ性を必要とする包装
材料には不適当であった。
し、これと共重合可能な他の化合物、たとえば塩化ビニ
ル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、アク
リロニトリルなどとの共重合体等の塩化ビニリデン系樹
脂よりなるフィルム、およびこれらの塩化ビニリデン系
樹脂をポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド等よ
りなるフィルムにコーティングした塩化ビニリデン系樹
脂コートフィルムも、〃スバリャ性を備えた包装材料と
して用いられている。これらの塩化ビニリデン系樹脂フ
ィルムは、フィルム自体が水蒸気や酸素に対するガスバ
リヤ性を備えているが、これらの〃スバリャ性は、充分
なものではなく、高度な〃スパリャ性を必要とする包装
材料には不適当であった。
さらに、ポリビニルアルコールフィルムや、エチレンー
ヒニルアルコール共重合体フィルム等のポリビニルアル
コール系フィルムは、酸素バリヤ性に優れているので包
装材料として広く用いられている6しかしながら、ポリ
ビニルアルコール系フィルムは水蒸気バリヤ性において
劣り、さらに高湿度の条件下では酸素バリヤ性も低下す
るという欠点を有する。そのためにポリビニルアルコー
ル系フィルムを包装材料として用いる場合は、ポリフロ
ピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステル
フィルムなどの水蒸気バリヤ性を有するフィルムを、ポ
リビニルアルコール系フィルムに積層した積層フィルム
として通常用いられている。しかしながら、このような
積Mフィルムも、高度な〃スパリャ性を必要とする包装
材料としては、充分にその目的を果たすものとは云えな
かった。
ヒニルアルコール共重合体フィルム等のポリビニルアル
コール系フィルムは、酸素バリヤ性に優れているので包
装材料として広く用いられている6しかしながら、ポリ
ビニルアルコール系フィルムは水蒸気バリヤ性において
劣り、さらに高湿度の条件下では酸素バリヤ性も低下す
るという欠点を有する。そのためにポリビニルアルコー
ル系フィルムを包装材料として用いる場合は、ポリフロ
ピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステル
フィルムなどの水蒸気バリヤ性を有するフィルムを、ポ
リビニルアルコール系フィルムに積層した積層フィルム
として通常用いられている。しかしながら、このような
積Mフィルムも、高度な〃スパリャ性を必要とする包装
材料としては、充分にその目的を果たすものとは云えな
かった。
従って、このような積層フィルムを、高度な〃スパリャ
性を必要とする包装材料として使用する場合には、積N
iフィルムの厚さを厚くしなければならず、フィルムの
厚さを−厚くすると、積Mフィルムの透明性や柔軟性が
損われてしまい、包装材料として好ましい性質が失われ
てしまうという欠点があった。
性を必要とする包装材料として使用する場合には、積N
iフィルムの厚さを厚くしなければならず、フィルムの
厚さを−厚くすると、積Mフィルムの透明性や柔軟性が
損われてしまい、包装材料として好ましい性質が失われ
てしまうという欠点があった。
また、二軸延伸ナイロンフィルムや二軸延伸ポリエステ
ルフィルムなどにケイ素酸化物を蒸着したフィルム(特
公昭53−12953)、ポリエチレンテレフタレート
フィルムや、二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどにマ
グネシウム酸化物を蒸着したフィルム(特開昭6O−2
7532)なども提案されているが、これらのフィルム
も高度な〃スパリャ性を必要とされる用途には、不充分
である。
ルフィルムなどにケイ素酸化物を蒸着したフィルム(特
公昭53−12953)、ポリエチレンテレフタレート
フィルムや、二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどにマ
グネシウム酸化物を蒸着したフィルム(特開昭6O−2
7532)なども提案されているが、これらのフィルム
も高度な〃スパリャ性を必要とされる用途には、不充分
である。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明は、かかる現状に霞み、透明で、かつ高度のガス
バリヤ性を有し、包装材料として好ましい性能を有す”
るフィルムを提供することを目的とする。一般に−、ポ
リビニルアコールフィルムは低湿度下では優れた酸素バ
リヤ性を有しているが、高湿度下では吸湿により分子構
造が変化し、酸素バリヤ性が着しく低下する。しかしな
がら、本発明者らは、その物性および応用につき鋭意検
討した結果、ポリビニルアルコールフィルムとして、高
ケン化度のポリビニルアルコールよりなる高延伸フィル
ムを用い、このフィルムにケイi 窒化物の透明な薄膜
層を設けると、得られる積Mフィルムは透明で、高湿度
下での酸素バリヤ性が著しく向上したものとなるのみな
らず、水蒸気バリヤ性も着しく改善されたものとなるこ
とを知見し、これに基づいて、本発明を完成したもので
ある。
バリヤ性を有し、包装材料として好ましい性能を有す”
るフィルムを提供することを目的とする。一般に−、ポ
リビニルアコールフィルムは低湿度下では優れた酸素バ
リヤ性を有しているが、高湿度下では吸湿により分子構
造が変化し、酸素バリヤ性が着しく低下する。しかしな
がら、本発明者らは、その物性および応用につき鋭意検
討した結果、ポリビニルアルコールフィルムとして、高
ケン化度のポリビニルアルコールよりなる高延伸フィル
ムを用い、このフィルムにケイi 窒化物の透明な薄膜
層を設けると、得られる積Mフィルムは透明で、高湿度
下での酸素バリヤ性が著しく向上したものとなるのみな
らず、水蒸気バリヤ性も着しく改善されたものとなるこ
とを知見し、これに基づいて、本発明を完成したもので
ある。
「問題点を解決するための手段」
しかして本発明の$1発明の要旨とするところは、ケン
化度が99モル%以上であり、少なくとも一軸方向に5
倍以上延伸されたポリビニルアルコールフィルムの片面
に、ケイ素窒化物の透明な薄膜層が形成されてなること
を特徴とする、〃スバリャ性の優れた透明プラスチック
フィルムに存する。
化度が99モル%以上であり、少なくとも一軸方向に5
倍以上延伸されたポリビニルアルコールフィルムの片面
に、ケイ素窒化物の透明な薄膜層が形成されてなること
を特徴とする、〃スバリャ性の優れた透明プラスチック
フィルムに存する。
また、本発明の第2発明は、ケン化度が99モル%以上
であり、少なくとも一軸方向に5倍以上延伸されたポリ
ビニルアルコールフィルムの片面に、ケイ素窒化物の透
明な薄膜層および別の透明なプラスチック薄膜層が、順
次形成されてなることを特徴とする、〃スバリャ性の優
れた透明プラスチックフィルムを要旨とする。
であり、少なくとも一軸方向に5倍以上延伸されたポリ
ビニルアルコールフィルムの片面に、ケイ素窒化物の透
明な薄膜層および別の透明なプラスチック薄膜層が、順
次形成されてなることを特徴とする、〃スバリャ性の優
れた透明プラスチックフィルムを要旨とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の第1発明に係る透明プラスチックフィルムにお
いては、ポリビニルアルコールフィルム(以下、「P
V A フィルム」という、)として、ケン化度が99
モル%以上であるポリビニルフルコール(以下、[PV
AJという。)から!!遺されたフィルムであって、少
なくとも一軸方向に5倍以上延伸された延伸フィルムを
用いる。
いては、ポリビニルアルコールフィルム(以下、「P
V A フィルム」という、)として、ケン化度が99
モル%以上であるポリビニルフルコール(以下、[PV
AJという。)から!!遺されたフィルムであって、少
なくとも一軸方向に5倍以上延伸された延伸フィルムを
用いる。
PVAのケン化度が99モル%より低いPVAフィルム
を用いると、このフィルムの表面にケイ素窒化物の透明
な薄膜層を設けても、〃スバリャ性があまり向上しない
。
を用いると、このフィルムの表面にケイ素窒化物の透明
な薄膜層を設けても、〃スバリャ性があまり向上しない
。
PVAフィルムの延伸倍率が5倍より少ない場合にも、
このフィルムの表面にケイ素窒化物の透明な薄膜層を設
けても、ガスバリヤ性があまり向上しない。上記延伸フ
ィルムは延伸倍率が5倍以上のものであれば、−軸方向
のみに延伸されたものであっても、また二軸方向に延伸
されたものであってもよい。さらに、PVAフィルムの
延伸倍率は合計の延伸倍率が5倍以上であれば、−段階
で延伸したものに限られず多段階で延伸したものであっ
てもよい。
このフィルムの表面にケイ素窒化物の透明な薄膜層を設
けても、ガスバリヤ性があまり向上しない。上記延伸フ
ィルムは延伸倍率が5倍以上のものであれば、−軸方向
のみに延伸されたものであっても、また二軸方向に延伸
されたものであってもよい。さらに、PVAフィルムの
延伸倍率は合計の延伸倍率が5倍以上であれば、−段階
で延伸したものに限られず多段階で延伸したものであっ
てもよい。
またPVAフィルムは、延伸後、結晶化度を高め分子鎖
の配向を固定するために、ガラス転移点以上融点以下の
温度で熱固定の操作を経るのがよ覧1゜ PVAフィルムの厚さは、5〜400μ曽の範囲で選ぶ
ことができる。中でも10〜200μmの範囲で選ぶの
が好ましい。
の配向を固定するために、ガラス転移点以上融点以下の
温度で熱固定の操作を経るのがよ覧1゜ PVAフィルムの厚さは、5〜400μ曽の範囲で選ぶ
ことができる。中でも10〜200μmの範囲で選ぶの
が好ましい。
本発明の第1発明に係る透明プラスチックフィルムは、
上記PVAフィルムの片面に、ケイ素窒化物の透明な1
薄膜層が形成されている。
上記PVAフィルムの片面に、ケイ素窒化物の透明な1
薄膜層が形成されている。
PVAフィルムの片面に形成されているケイ素窒化物の
透明な薄膜層は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレーティン気グ法、またはプラズマCVD法のいず
れの方法で形成されたものであってもよい。
透明な薄膜層は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレーティン気グ法、またはプラズマCVD法のいず
れの方法で形成されたものであってもよい。
PVAフィルムの片面にケイ素窒化物の透明な薄膜層を
形成させる際には、上記の薄膜層形成手段に応じて、四
窒化玉ケイ素、三酸化二ケイ素、−窒化−ケイ素等のケ
イ素窒化物またはケイ素を、蒸着原料として用いること
ができる。
形成させる際には、上記の薄膜層形成手段に応じて、四
窒化玉ケイ素、三酸化二ケイ素、−窒化−ケイ素等のケ
イ素窒化物またはケイ素を、蒸着原料として用いること
ができる。
これらの蒸着原料のうち、真空蒸着法、スパッタリング
法およびイオンプレーティン今グ法においては、四窒化
三ケイ素が好んで用いられる。
法およびイオンプレーティン今グ法においては、四窒化
三ケイ素が好んで用いられる。
また、真空蒸着法の場合、蒸着原料としてケイ素窒化物
を用い、10−’−510−’ Torrの真空下で、
電子ビーム加熱方式、^周波誘導加熱方式、抵抗加熱方
式等で加熱蒸発させる方式が採用されるのが一般的であ
るが、蒸着原料としてケイ素を用い、窒素がスを供給し
ながら行なう反応蒸着法も採用できる。
を用い、10−’−510−’ Torrの真空下で、
電子ビーム加熱方式、^周波誘導加熱方式、抵抗加熱方
式等で加熱蒸発させる方式が採用されるのが一般的であ
るが、蒸着原料としてケイ素を用い、窒素がスを供給し
ながら行なう反応蒸着法も採用できる。
さらに、プラズマCVD法の場合、蒸着缶内を10−6
〜10−’ T orrの真空にしたのち、プラズマ雰
囲気中に所定の速度でシランガスと窒素またはアンモニ
アガスを供給し、0.2〜0,5Torrの圧力下でこ
れらを反応させて、PVAフィルムの表面にケイ素窒化
物のi膜層を形成させることができる。
〜10−’ T orrの真空にしたのち、プラズマ雰
囲気中に所定の速度でシランガスと窒素またはアンモニ
アガスを供給し、0.2〜0,5Torrの圧力下でこ
れらを反応させて、PVAフィルムの表面にケイ素窒化
物のi膜層を形成させることができる。
スパッタリング法、イオンプレーティン紮グ法またはプ
ラズマCVD法で形成させたケイ素窒化物の透明な薄膜
層は、真空蒸着法で形成させたものより密着性がよく、
密着性が重視される場合には、これらの方法を採用する
のがよい。
ラズマCVD法で形成させたケイ素窒化物の透明な薄膜
層は、真空蒸着法で形成させたものより密着性がよく、
密着性が重視される場合には、これらの方法を採用する
のがよい。
なお、ケイ素窒化物には、10重世%以下であればその
中に不純物としてカルシウム、マグネシウムまたはそれ
らの窒化物等が混入していても、透明プラスチックフィ
ルムのガスバリヤ性の極端な低下は認められない。
中に不純物としてカルシウム、マグネシウムまたはそれ
らの窒化物等が混入していても、透明プラスチックフィ
ルムのガスバリヤ性の極端な低下は認められない。
PVAフィルムの片面に形成させ′るケイ素窒化物の透
明な薄膜層の厚さは、5〜500nmの範囲で選ぶのが
よい。
明な薄膜層の厚さは、5〜500nmの範囲で選ぶのが
よい。
透明な薄膜層の厚さが5nm未満であると、〃スバリャ
性が不光分であり、また500n論を越えると、フィル
ムにカールが発生し問題となったり、透明な薄膜層自体
に亀裂や剥離が生じ易いので好ましくない。
性が不光分であり、また500n論を越えると、フィル
ムにカールが発生し問題となったり、透明な薄膜層自体
に亀裂や剥離が生じ易いので好ましくない。
本発明の目的は、上記、PVAフィルムの片面にケイ素
窒化物の透明な薄膜層を設けたフィルムの、透明な薄膜
層の面に、別の透明なプラスチック薄膜層を新たに設け
ることによって、−層効果的に達成される。
窒化物の透明な薄膜層を設けたフィルムの、透明な薄膜
層の面に、別の透明なプラスチック薄膜層を新たに設け
ることによって、−層効果的に達成される。
上記別の透明なプラスチック薄膜層を設けるには、透明
なプラスチックのフィルムを積層するが、または透明な
プラスチックの塗布膜を形成させる方法が採用できる。
なプラスチックのフィルムを積層するが、または透明な
プラスチックの塗布膜を形成させる方法が採用できる。
この際新らたに設ける別の透明なプラスチック薄膜層(
フィルムまたは塗布膜)は、特に限定されないが、AS
TM F372に壁拠して、温度40℃、相対湿度90
%の条件において測定した透湿度が、50 g/ ta
2・241+rs、以下の特性をもったものが好ましく
、その厚さは、5〜400μ鴫の範囲で選jζことがで
きる。
フィルムまたは塗布膜)は、特に限定されないが、AS
TM F372に壁拠して、温度40℃、相対湿度90
%の条件において測定した透湿度が、50 g/ ta
2・241+rs、以下の特性をもったものが好ましく
、その厚さは、5〜400μ鴫の範囲で選jζことがで
きる。
フィルムを積層して透明なプラスチック薄膜層を設ける
場合、好適に用いることのできるプラスチックフィルム
としては、ポリエチレンおよびエチレン系共重合体、ポ
リプロピレンおよびプロピレン系共重合体等のオレフィ
ン1?、樹脂よりなるフィルム、ポリ塩化ビニルおよび
その共重合体等の塩化ビニル系樹脂よりなるフィルム、
塩化ビニリデン−塩化ビニル共重合体などの塩化ビニリ
デン系樹脂よりなるフィルム、ポリエチレンテレ7グレ
ートなどのポリエステル樹脂よりなるフィルム、ポリテ
トラプルオロエチレンなどのフッ素樹脂よりなるフィル
ム、これらのフィルムにさらに、塩化ビニリデン系樹脂
等地の樹脂をコーティングしたコートフィルムなどが挙
げられる。これらのフィルムは未延伸のもの、あるいは
−軸または二輪に延伸したもの、いずれであってもよい
。
場合、好適に用いることのできるプラスチックフィルム
としては、ポリエチレンおよびエチレン系共重合体、ポ
リプロピレンおよびプロピレン系共重合体等のオレフィ
ン1?、樹脂よりなるフィルム、ポリ塩化ビニルおよび
その共重合体等の塩化ビニル系樹脂よりなるフィルム、
塩化ビニリデン−塩化ビニル共重合体などの塩化ビニリ
デン系樹脂よりなるフィルム、ポリエチレンテレ7グレ
ートなどのポリエステル樹脂よりなるフィルム、ポリテ
トラプルオロエチレンなどのフッ素樹脂よりなるフィル
ム、これらのフィルムにさらに、塩化ビニリデン系樹脂
等地の樹脂をコーティングしたコートフィルムなどが挙
げられる。これらのフィルムは未延伸のもの、あるいは
−軸または二輪に延伸したもの、いずれであってもよい
。
このような別の透明なプラスチックフィルムをケイ素窒
化物の透明な薄膜層に積層する場合には、ウレタン系接
着剤、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤などを
用いるドライラミネート法および押出ラミネート法など
、公知の方法を採用できる。
化物の透明な薄膜層に積層する場合には、ウレタン系接
着剤、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤などを
用いるドライラミネート法および押出ラミネート法など
、公知の方法を採用できる。
他方、別の透明なプラスチックの薄膜層を塗布によって
形成させる場合には、塗布剤を用いる。
形成させる場合には、塗布剤を用いる。
この際、好適に用いられる塗布剤としては、塩化ビニリ
デン−塩化ビニル共重合体などの塩化ビニリデンMt、
(脂、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル
樹脂、ポリテトラプルオロエチレンなどのフッ素樹脂な
どの溶液または乳濁液があげられる。これらの中では塩
化ビニリデン系樹脂のラテックスおよび塩化ビニリデン
系樹脂をテトラヒドロ7ランなどの溶剤に溶解したもの
が好ましい。
デン−塩化ビニル共重合体などの塩化ビニリデンMt、
(脂、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル
樹脂、ポリテトラプルオロエチレンなどのフッ素樹脂な
どの溶液または乳濁液があげられる。これらの中では塩
化ビニリデン系樹脂のラテックスおよび塩化ビニリデン
系樹脂をテトラヒドロ7ランなどの溶剤に溶解したもの
が好ましい。
塩化ビニリデン系樹脂をケイ素酸化物の透明薄i層に塗
布する場合、塩化ビニリデン系fl[tの接着強度を上
げるためアンカーコート剤が使用される。
布する場合、塩化ビニリデン系fl[tの接着強度を上
げるためアンカーコート剤が使用される。
好適なアンカーコート剤としては、インシアネート系、
ポリエチレンイミン系、有機チタン系などの接着促進剤
及びポリウレタン系、ポリエステル系などの接着剤をあ
げることができる。
ポリエチレンイミン系、有機チタン系などの接着促進剤
及びポリウレタン系、ポリエステル系などの接着剤をあ
げることができる。
本発明に係るガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフ
ィルムの厚さは、強度、柔軟性、経済性などの、αから
10〜500μ伯の範囲で用途に応じて選ぶことができ
るが、より好ましくは10〜200μ鍋の厚さである。
ィルムの厚さは、強度、柔軟性、経済性などの、αから
10〜500μ伯の範囲で用途に応じて選ぶことができ
るが、より好ましくは10〜200μ鍋の厚さである。
また、本発明に係るガスバリヤ性の優れた透明プラスチ
ックフィルムには、そのポリビニルアルコールフィルム
の表面または他の表面、更には両面に、その使用形態に
応じてフィルムのヒートシール性を向上させる物質を塗
布したり積層してもよい。
ックフィルムには、そのポリビニルアルコールフィルム
の表面または他の表面、更には両面に、その使用形態に
応じてフィルムのヒートシール性を向上させる物質を塗
布したり積層してもよい。
ヒートシール性を向上させる物質としては、低密度ポリ
エチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリプロピ
レン、アイオノマー等があげられる。
エチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリプロピ
レン、アイオノマー等があげられる。
「発明の効果」
本発明に係る透明プラスチックフィルムは、透明性に優
れ、かつ、極めて優れたガスバリヤ性を発揮するもので
あり、柔軟性があって、強度および経済性の面でもすぐ
れたものである。したがって食品、医薬品、化学薬品等
の包装材料をはじめとして、高度の〃スバリャ性が要求
される、広範囲な用途の包装材料として用いることがで
き、その工業的利用価値は極めて大である。
れ、かつ、極めて優れたガスバリヤ性を発揮するもので
あり、柔軟性があって、強度および経済性の面でもすぐ
れたものである。したがって食品、医薬品、化学薬品等
の包装材料をはじめとして、高度の〃スバリャ性が要求
される、広範囲な用途の包装材料として用いることがで
き、その工業的利用価値は極めて大である。
「実施例」
以下、本発明を実施例にもとづいて、また比較例と対照
させながら詳細に説明するが、本発明はその要旨を超え
ない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
させながら詳細に説明するが、本発明はその要旨を超え
ない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以下の例において、得られた透明プラスチックフ
ィルムの透湿度、酸素透過度および透明性は、次の方法
によって測定または判定した。また、ケイ゛素窒化物の
透明なWiWX/i!の厚さは、水晶式膜厚計によって
測定した。
ィルムの透湿度、酸素透過度および透明性は、次の方法
によって測定または判定した。また、ケイ゛素窒化物の
透明なWiWX/i!の厚さは、水晶式膜厚計によって
測定した。
透湿度:
ASTM F−372に準拠し、温度40℃、相対湿度
90%の条件において、(i)PVAフィルムの片面に
ケイ素窒化物の薄膜層を形成させた透明プラスチックフ
ィルムの場合には、ケイ素窒化物の薄膜層を高温(90
%RH)側、PVAフィルムを絶乾状態側に位置させて
測定した。
90%の条件において、(i)PVAフィルムの片面に
ケイ素窒化物の薄膜層を形成させた透明プラスチックフ
ィルムの場合には、ケイ素窒化物の薄膜層を高温(90
%RH)側、PVAフィルムを絶乾状態側に位置させて
測定した。
また(ii)ケイ素窒化物の薄膜層の表面に、PVAフ
ィルム以外の別のプラスチック薄膜層をさらに形成させ
た透明プラスチックフィルムの場合には、このプラスチ
ック薄膜層の面を高湿(90%RH)側、他方の面を絶
乾状態側に位置させて測定した。
ィルム以外の別のプラスチック薄膜層をさらに形成させ
た透明プラスチックフィルムの場合には、このプラスチ
ック薄膜層の面を高湿(90%RH)側、他方の面を絶
乾状態側に位置させて測定した。
酸素透過度:
モダンコントロール社製のOX−TRAM −100
型酸素透過度測定装置を使用し、温度30℃、相対湿度
80%の条件において測定した。
型酸素透過度測定装置を使用し、温度30℃、相対湿度
80%の条件において測定した。
透明性:
肉眼により評価し、良好な透明性を示したものを◎で表
示した。
示した。
実施例1
ケン化度99.7モル%のPVAフィルム(延伸倍率5
倍、−軸延伸、厚み20μ〜)の表面に、5X 1.
O−’Torrの真空下、電子ビーム加熱方式で、純度
99.9%の四窒化三ケイ素(SisN<)を加熱蒸発
させ、PVAフィルムの片面に厚さ100nIIlのケ
イ素窒化物の透明な薄膜層を形成させて、透明プラスチ
ックフィルムを得た。
倍、−軸延伸、厚み20μ〜)の表面に、5X 1.
O−’Torrの真空下、電子ビーム加熱方式で、純度
99.9%の四窒化三ケイ素(SisN<)を加熱蒸発
させ、PVAフィルムの片面に厚さ100nIIlのケ
イ素窒化物の透明な薄膜層を形成させて、透明プラスチ
ックフィルムを得た。
この透明プラスチックフィルムについて、萌記方法で透
湿度および酸素透過度を測定し、透明性を内服で評価し
た。
湿度および酸素透過度を測定し、透明性を内服で評価し
た。
測定結果を、第1表に示す。
実施例2
実施例1に記載の例において、pVAフィルムを、ケン
化度99.9モル%、延伸倍率が3X3倍のものを、更
に一方向に2.9倍延伸して3×8.7倍に延伸された
厚さ25μ瞳のものに代えたほかは、同例におけると同
様にして、PVAフィルムの片面にケイ素窒化物の透明
な薄膜層を形成させた。
化度99.9モル%、延伸倍率が3X3倍のものを、更
に一方向に2.9倍延伸して3×8.7倍に延伸された
厚さ25μ瞳のものに代えたほかは、同例におけると同
様にして、PVAフィルムの片面にケイ素窒化物の透明
な薄膜層を形成させた。
得られた透明プラスチックフィルムについて、実施例1
におけると同様の項目の評価試験を行った。結果を第1
表に示す。
におけると同様の項目の評価試験を行った。結果を第1
表に示す。
実施例3.4
実施例2に記載の例において、PVAフィルムの片面に
形成させたケイ素窒化物の透明な薄膜層の厚さを、それ
ぞれ50to++(実施例3)、200nm (実施例
4)としたほかは、同7例におけると同様に(して、透
明プラスチックフィルムを得た。
形成させたケイ素窒化物の透明な薄膜層の厚さを、それ
ぞれ50to++(実施例3)、200nm (実施例
4)としたほかは、同7例におけると同様に(して、透
明プラスチックフィルムを得た。
この透明プラスチックフィルムについて、同例における
と同様の項目の評価試験を行った。結果を第1表に示す
。
と同様の項目の評価試験を行った。結果を第1表に示す
。
実施例5
実施例1で用いたと同種のPVAフィルム(PVAのケ
ン化度99.7%、延伸倍$I X5倍、−軸延伸、厚
み20μII+)の表面に、プラズマCVD法、具体的
には、6 X 10−’Torrまで蒸着缶内を真空に
したのち、モノシラン(S iH4)80wL%、窒素
20wt%の混合〃スを供給し、0.2T orrの状
態でプラズマを発生させる方法により、PVAフィルム
の片面に、厚さ100naiケイ素窒化物の透明な薄膜
層を形成させた透明プラスチックフィルムを得た。
ン化度99.7%、延伸倍$I X5倍、−軸延伸、厚
み20μII+)の表面に、プラズマCVD法、具体的
には、6 X 10−’Torrまで蒸着缶内を真空に
したのち、モノシラン(S iH4)80wL%、窒素
20wt%の混合〃スを供給し、0.2T orrの状
態でプラズマを発生させる方法により、PVAフィルム
の片面に、厚さ100naiケイ素窒化物の透明な薄膜
層を形成させた透明プラスチックフィルムを得た。
得られた透明プラスチックフィルムについで、実施例1
におけると同様に項目の評価試験を行った。結果を第1
表に示す。
におけると同様に項目の評価試験を行った。結果を第1
表に示す。
比較例1〜3
実施例1に記載の例において、同側において用いたPV
Aフィルムを、それぞれ、厚さ25μmの二輪延伸(l
!、伸倍率3×3倍)されたポリエチレンテレフタレー
トフィルム(J[例1 )、ケン化度99.9モル%、
厚さ25μmの二輪延伸(ffi伸倍率3×3倍)され
たPVAフィルム(比較例2)、およびケン化度90.
0モル%、厚さ20μ曽の、−軸方向に5倍延伸された
PVAフィルム(比較例3)に代えたほかは、それぞれ
同側におけると同様にして、上記それぞれのフィルムの
片面に厚さ100n−のケイ素窒化物の透明な薄膜層を
形成させた透明プラスチックフィルムを得た。
Aフィルムを、それぞれ、厚さ25μmの二輪延伸(l
!、伸倍率3×3倍)されたポリエチレンテレフタレー
トフィルム(J[例1 )、ケン化度99.9モル%、
厚さ25μmの二輪延伸(ffi伸倍率3×3倍)され
たPVAフィルム(比較例2)、およびケン化度90.
0モル%、厚さ20μ曽の、−軸方向に5倍延伸された
PVAフィルム(比較例3)に代えたほかは、それぞれ
同側におけると同様にして、上記それぞれのフィルムの
片面に厚さ100n−のケイ素窒化物の透明な薄膜層を
形成させた透明プラスチックフィルムを得た。
得られたそれぞれの透明プラスチックフィルムについて
、実施例1におけると同様の項目の評価試験を行った。
、実施例1におけると同様の項目の評価試験を行った。
結果を第1表に示す。
実施例6
実施例1で得られた透明プラスチックフィルムのケイ素
窒化物を蒸着した面に、塩化ビニリデン系樹脂のコート
層(厚さ10μm)を有する全体の厚さ30μmのポリ
プロピレンフィルム(延伸倍率5x5倍、透湿度1.2
g/働2・24brs、)(以下このフィルムを[K−
OPPJという)を、塩化ビニリデン系樹脂コート層と
ケイ素窒化物の蒸着面とが接するように、ウレタン系接
着剤(武田薬品(株)製、タケラックA−606とタケ
ネート八−10との9:1の割合の二成分系接着剤)(
厚さ2μl1l)を介して積層し、透明な積層プラスチ
ックフィルムを得た。
窒化物を蒸着した面に、塩化ビニリデン系樹脂のコート
層(厚さ10μm)を有する全体の厚さ30μmのポリ
プロピレンフィルム(延伸倍率5x5倍、透湿度1.2
g/働2・24brs、)(以下このフィルムを[K−
OPPJという)を、塩化ビニリデン系樹脂コート層と
ケイ素窒化物の蒸着面とが接するように、ウレタン系接
着剤(武田薬品(株)製、タケラックA−606とタケ
ネート八−10との9:1の割合の二成分系接着剤)(
厚さ2μl1l)を介して積層し、透明な積層プラスチ
ックフィルムを得た。
この透明な積層プラスチックフィルムについて、前記方
法で透湿度および酸素透過度を測定し、透明性を肉眼で
評価した。測定結果を、第2表に示す。
法で透湿度および酸素透過度を測定し、透明性を肉眼で
評価した。測定結果を、第2表に示す。
実施例7
実施例6で得られた透明プラスチックフィルムを用い、
このフィルムのPVAフィルムの面に、厚さ40μ鵠の
低密度ポリエチレンフィルムをウレタン系接着剤(武田
薬品(株)製、タケラック八−606とタケネートA−
10との9:1の割合の二成分系接着剤)(厚さ2μ噴
)を介して積層し、透明な積層プラスチックフィルムを
得た。
このフィルムのPVAフィルムの面に、厚さ40μ鵠の
低密度ポリエチレンフィルムをウレタン系接着剤(武田
薬品(株)製、タケラック八−606とタケネートA−
10との9:1の割合の二成分系接着剤)(厚さ2μ噴
)を介して積層し、透明な積層プラスチックフィルムを
得た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、透
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
実施例8
実施例6に記載の例において、透明プラスチックフィル
ムのケイ素窒化物を蒸着した面に積層したに一0PPフ
ィルムを、厚さ25μmの二軸延伸ポリエチレンテレフ
タレートフィルム(延伸倍率3X3倍、透湿度2011
/ I62・24 hrs、)に代えたほかは、同側に
おけると同様にして透明な積層プラスチックフィルムを
得た。
ムのケイ素窒化物を蒸着した面に積層したに一0PPフ
ィルムを、厚さ25μmの二軸延伸ポリエチレンテレフ
タレートフィルム(延伸倍率3X3倍、透湿度2011
/ I62・24 hrs、)に代えたほかは、同側に
おけると同様にして透明な積層プラスチックフィルムを
得た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、実
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
PtIJ2表に示す。
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
PtIJ2表に示す。
実施例9
実施例7に記載の例において、実施例6で得られた透明
プラスチックフィルムに代え、実施例8で得られた透明
プラスチックフィルムを用いたほかは、同側におけると
同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
プラスチックフィルムに代え、実施例8で得られた透明
プラスチックフィルムを用いたほかは、同側におけると
同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、実
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す6 実施例10 実施例6に記載の例において、透明プラスチックフィル
ムのケイ素窒化物を蒸着した面に82Mしたに一0PP
フィルムを、厚さ15μ+6の二軸延伸ナイロン6フィ
ルム(延伸倍率3×3倍、透湿度150g/彌2・24
brs、)に代えたほかは、同側におけると同様にして
透明な積層プラスチックフィルムを得た。
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す6 実施例10 実施例6に記載の例において、透明プラスチックフィル
ムのケイ素窒化物を蒸着した面に82Mしたに一0PP
フィルムを、厚さ15μ+6の二軸延伸ナイロン6フィ
ルム(延伸倍率3×3倍、透湿度150g/彌2・24
brs、)に代えたほかは、同側におけると同様にして
透明な積層プラスチックフィルムを得た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、実
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す。
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す。
実施例11
実施例7に記載の例において、実施例6で得られた透明
プラスチックフィルムに代え、実施例10で得られた透
明プラスチックフィルムを用いたほかは、同例における
と同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
プラスチックフィルムに代え、実施例10で得られた透
明プラスチックフィルムを用いたほかは、同例における
と同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、実
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す。
施例6におけると同様にして評価試験を行った。結果を
第2表に示す。
実施例12
実施例2で得られた透明プラスチックフィルムのケイ素
窒化物を蒸着した面に、先ず、アンカーコート剤として
ポリウレタン接着剤(代印薬品(株)製、タケラックA
−606とタケネートA−10の9:1の割合の二成分
系接着剤)を塗布し、厚さ1μmのコート層を形成させ
た。次に、このコート層上に塩化ビニリデン系樹脂ラテ
ックス(県別化学工業(株)!!!、フレハロンラテッ
クスDO−870)を塗布し、厚さ10μ鑞の薄膜(こ
のものの透湿度は1.2g/m2・241+rs、)
(この薄膜を[K薄膜Jという)を形I&させ、透明な
積層プラスチックフィルムを得た。
窒化物を蒸着した面に、先ず、アンカーコート剤として
ポリウレタン接着剤(代印薬品(株)製、タケラックA
−606とタケネートA−10の9:1の割合の二成分
系接着剤)を塗布し、厚さ1μmのコート層を形成させ
た。次に、このコート層上に塩化ビニリデン系樹脂ラテ
ックス(県別化学工業(株)!!!、フレハロンラテッ
クスDO−870)を塗布し、厚さ10μ鑞の薄膜(こ
のものの透湿度は1.2g/m2・241+rs、)
(この薄膜を[K薄膜Jという)を形I&させ、透明な
積層プラスチックフィルムを得た。
この透明な積層プラスチックフィルムについて、前記方
法で透湿度および酸素透過度を測定し、透明性を肉眼で
評価した。測定結果を、第2表に示す。
法で透湿度および酸素透過度を測定し、透明性を肉眼で
評価した。測定結果を、第2表に示す。
実施例13
実施例2で得られた透明プラスチックフィルムに、ケイ
素窒化物を蒸着した面には、前記実施例6で用いたと同
様のに一〇PPを、塩化ビニリデン系樹脂コート層とケ
イ素窒化物の蒸着面とが接するように、また、P V
A、 フィルムの面には、厚さ40μlの低密度ポリエ
チレンフィルムを、それぞれウレタン系接着剤(代印薬
品(株)製、タケラックA−606とタケネートA−1
0との9:1の割合の二成分系接着剤)(厚さ2μ糟)
を介して積層し、透明な積層プラスチックフィルムを得
た。
素窒化物を蒸着した面には、前記実施例6で用いたと同
様のに一〇PPを、塩化ビニリデン系樹脂コート層とケ
イ素窒化物の蒸着面とが接するように、また、P V
A、 フィルムの面には、厚さ40μlの低密度ポリエ
チレンフィルムを、それぞれウレタン系接着剤(代印薬
品(株)製、タケラックA−606とタケネートA−1
0との9:1の割合の二成分系接着剤)(厚さ2μ糟)
を介して積層し、透明な積層プラスチックフィルムを得
た。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、透
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
比較例4
実施例13に記載の例において、実施例2で得られた透
明プラスチックフィルムに代え、比較例1で得られた透
明プラスチックフィルムを用いたほかは、同例における
と同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
明プラスチックフィルムに代え、比較例1で得られた透
明プラスチックフィルムを用いたほかは、同例における
と同様にして透明な積層プラスチックフィルムを得た。
ただし、低密度ポリエチレンフィルムは、ポリエチレン
テレフタレートフィルムの面に積層した。
テレフタレートフィルムの面に積層した。
得られた透明な積層プラスチックフィルムについて、透
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
湿度、酸素透過度、および透明性を先の例と同様に評価
した。結果を第2表に示す。
(Rjrゆ
第1表および第2表より、次のことが明らかとなる。
<1)PVAフィルムの片面にケイ素窒化物の透明なm
膜が形成された透明プラスチックフィルム(以下、「フ
ィルムA」という、)において、PVAフィルムとして
、ケン化度が99モル%以上であり、少なくとも一軸方
向に5倍以上延伸されたフィルムを用いた場合には、「
フィルムA]の透湿度、酸素透過度はともに小さく、こ
のフィルムは優れたガスバリヤ性を発揮する(実施例1
〜5)。
膜が形成された透明プラスチックフィルム(以下、「フ
ィルムA」という、)において、PVAフィルムとして
、ケン化度が99モル%以上であり、少なくとも一軸方
向に5倍以上延伸されたフィルムを用いた場合には、「
フィルムA]の透湿度、酸素透過度はともに小さく、こ
のフィルムは優れたガスバリヤ性を発揮する(実施例1
〜5)。
(2)rフィルムA」において、PVAフィルムとして
、本発明で規定するPVAフィルム以外のもの、すなわ
ち、PVAフィルムでないもの(比較例1)、延伸倍率
が不十分なPVAフィルム(比較例2)、樹脂のケン化
度が99モル%未満のPVAフィルム(比較例3)を用
いた場合には、得られるフィルムのガスバリヤ性は実施
例1〜5のそれより劣っている。
、本発明で規定するPVAフィルム以外のもの、すなわ
ち、PVAフィルムでないもの(比較例1)、延伸倍率
が不十分なPVAフィルム(比較例2)、樹脂のケン化
度が99モル%未満のPVAフィルム(比較例3)を用
いた場合には、得られるフィルムのガスバリヤ性は実施
例1〜5のそれより劣っている。
(3)「フィルムA」のケイ素窒化物の透明な薄膜層の
面に別のプラスチック薄膜を形成させたフィルム(以下
、[フィルムB、Iという、)は、「フィルムA」より
さらに透湿度が低下し、−層優れたガスバリヤ性を発揮
する(実施例6.8.10.12)6(4)rフィルム
B]に、ヒーートシール性を向上させる物質を積層して
も、「フィルムB」の優れたガスバリヤ性は変らない(
実施例7.9.11.13)。
面に別のプラスチック薄膜を形成させたフィルム(以下
、[フィルムB、Iという、)は、「フィルムA」より
さらに透湿度が低下し、−層優れたガスバリヤ性を発揮
する(実施例6.8.10.12)6(4)rフィルム
B]に、ヒーートシール性を向上させる物質を積層して
も、「フィルムB」の優れたガスバリヤ性は変らない(
実施例7.9.11.13)。
(5)本発明に係るフィルムは、優れたガスバリヤ性を
発揮するのみならず、透明性も良好である。
発揮するのみならず、透明性も良好である。
特許出願人 三菱モンサント化戊株式会社代 理 人
弁理士 長谷用 − (ほか1名)
弁理士 長谷用 − (ほか1名)
Claims (5)
- (1)ケン化度が99モル%以上であり、少なくとも一
軸方向に5倍以上延伸されたポリビニルアルコールフィ
ルムの片面に、ケイ素窒化物の透明な薄膜層が形成され
てなることを特徴とする、ガスバリヤ性の優れた透明プ
ラスチックフィルム。 - (2)ポリビニルアルコールフィルムが厚さ5〜400
μmの範囲、ケイ素窒化物の透明な薄膜層の厚さが5〜
500nmの範囲で選ばれたものである、特許請求の範
囲第(1)項記載のガスバリヤ性の優れた透明プラスチ
ックフィルム。 - (3)ケイ素窒化物の透明な薄膜層が、真空蒸着法、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法またはプラズ
マCVD法のいずれかによって形成されたものである、
特許請求の範囲第(1)項または第(2)項記載のガス
バリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム。 - (4)ケン化度が99モル%以上であり、少なくとも一
軸方向に5倍以上延伸されたポリビニルアルコールフィ
ルムの片面に、ケイ素窒化物の透明な薄膜層および別の
透明なプラスチック薄膜層が、順次形成されてなること
を特徴とする、ガスバリヤ性の優れた透明プラスチック
フィルム。 - (5)ポリビニルアルコールフィルムの厚さが5〜40
0μmの範囲、ケイ素窒化物の透明な薄膜層の厚さが5
〜500nmの範囲、別の透明なプラスチック薄膜層の
厚さが5〜400μmの範囲で選ばれ、全体の厚さが1
0〜500μmの範囲である、特許請求の範囲第(4)
項記載のガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィル
ム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62323562A JPH0822583B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62323562A JPH0822583B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01165434A true JPH01165434A (ja) | 1989-06-29 |
JPH0822583B2 JPH0822583B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=18156081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62323562A Expired - Lifetime JPH0822583B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0822583B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995007815A1 (en) * | 1993-09-16 | 1995-03-23 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Gas-barrier film and process for producing the same |
US6261941B1 (en) * | 1998-02-12 | 2001-07-17 | Georgia Tech Research Corp. | Method for manufacturing a multilayer wiring substrate |
JP2006512482A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-04-13 | エーブリー デニソン コーポレイション | 複合バリアフィルムおよび方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6645562B1 (ja) | 2018-11-30 | 2020-02-14 | 株式会社明電舎 | 分解性樹脂成形体および分解性樹脂成形体の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5342310U (ja) * | 1976-09-16 | 1978-04-12 | ||
JPS6061252A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | 東洋インキ製造株式会社 | 積層シ−ト |
JPS61123534A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | 東洋製罐株式会社 | プラスチック包装部材 |
JPS62148264A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-02 | 三菱化成ポリテック株式会社 | 透明な積層プラスチツクフイルム |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP62323562A patent/JPH0822583B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5342310U (ja) * | 1976-09-16 | 1978-04-12 | ||
JPS6061252A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | 東洋インキ製造株式会社 | 積層シ−ト |
JPS61123534A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | 東洋製罐株式会社 | プラスチック包装部材 |
JPS62148264A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-02 | 三菱化成ポリテック株式会社 | 透明な積層プラスチツクフイルム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995007815A1 (en) * | 1993-09-16 | 1995-03-23 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Gas-barrier film and process for producing the same |
US6261941B1 (en) * | 1998-02-12 | 2001-07-17 | Georgia Tech Research Corp. | Method for manufacturing a multilayer wiring substrate |
JP2006512482A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-04-13 | エーブリー デニソン コーポレイション | 複合バリアフィルムおよび方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0822583B2 (ja) | 1996-03-06 |
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