JP7701137B2

JP7701137B2 - Ｏｌｅｄ表示パネル及びその製造方法、ｏｌｅｄ表示装置

Info

Publication number: JP7701137B2
Application number: JP2019543374A
Authority: JP
Inventors: 格王; 志▲亮▼ ▲蒋▼; ▲ティン▼ 王; 梓 ▲喬▼
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2017-11-30
Filing date: 2018-09-18
Publication date: 2025-07-01
Anticipated expiration: 2038-09-18
Also published as: CN115734679A; US20220293883A1; US11864410B2; EP3719858B1; CN109860411A; EP3719858A4; EP3719858A1; WO2019105104A1; JP2021504872A; US11367853B2; US20210359252A1

Description

本出願は、2017年11月30日に中国知的財産局に提出された中国特許出願第201711240850.9号の優先権を主張し、同出願で公開されている内容をここに援用する。

本公開は表示技術分野に関し、具体的にOLED表示パネル及びその製造方法、並びにOLED表示装置に関する。

OLED（Organic Light Emitting-Diode、有機発光ダイオード）デバイスはそれが有する全固体構造、高輝度、全視野角、速い応答速度、広い動作温度範囲、フレキシブル表示実現可能などの一連の利点のために、現在すでに大きな競争力と発展の将来性を有する次世代の表示技術となっている。OLEDデバイスに用いられる有機発光材料及びカソード材料は水及び酸素に特に敏感であり、湿気又は酸素含有量が大きすぎるとOLEDデバイスの使用寿命に影響を及ぼす。水と酸素のOLEDデバイスへの影響を効果的に遮断するために、それを封止する必要がある。TFE（フィルム封止技術）は封止水酸素遮断効果に優れ、且つフレキシブル封止に対応でき、フレキシブルOLED表示パネル封止の主流封止技術となっている。

本公開は基板、及び前記基板上に順次に形成された平坦化層、有機発光機能層、無機層である第1の封止層、有機層である第2の封止層を備えるOLED表示パネルであって、前記OLED表示パネルの非表示エリアにおいて、前記第1の封止層の前記有機発光機能層から離れた側に非平坦表面を有し、前記第2の封止層は、前記OLED表示パネルの表示エリア内の第1の封止層を覆い、前記表示エリアに隣接する前記非平坦表面の一部を覆うOLED表示パネルを提供する。

代替的には、前記平坦化層の前記基板から離れた側に、前記OLED表示パネルの非表示エリアにある凸凹構造を有し、前記凸凹構造は前記非平坦表面と互いに対応してもよい。

更に、前記OLED表示パネルは、前記非平坦表面の前記表示エリアから離れた側にあり、かつ前記有機発光機能層と前記第1の封止層との間にある第1の障壁を更に備える。

更に、前記OLED表示パネルは、前記有機発光機能層と前記第1の封止層との間にあり、かつ前記第1の障壁の前記表示エリアから離れた側にある第2の障壁を更に備え、前記第2の障壁の高さは前記第1の障壁の高さより大きい。

更に、前記OLED表示パネルは、前記第2の封止層と、前記第2の封止層で覆われていない前記第1の封止層と、を覆う第3の封止層を更に備える。

代替的には、前記凸凹構造は複数の突起部を含み、隣接する前記突起部の間に凹み部が成されてもよい。

代替的には、各前記突起部の形状は同じであってもよい。

代替的には、各前記突起部は互いに接続されていてもよい。

代替的には、前記突起部はジグザグ状であってもよい。

代替的には、前記突起部は二等辺三角形又は直角三角形のジグザグ状であってもよい。

代替的には、各前記突起部は互いに間隔を隔てて設けられていてもよい。

代替的には、前記突起部は矩形又は台形であってもよい。

本公開は、前記OLED表示パネルを備えるOLED表示装置を更に提供する。

本公開は、前記OLED表示パネルを製造するOLED表示パネル製造方法を更に提供する。

代替的には、前記方法は、基板上に平坦化層を形成し、前記平坦化層の前記基板から離れた側に、前記OLED表示パネルの非表示エリアにある凸凹構造のパターンをパターニング工程によって形成しることと、前記平坦化層が形成された前記基板上に、有機発光機能層、無機層である第1の封止層及び有機層である第2の封止層を順次に形成し、そのうち、前記第1の封止層の前記有機発光機能層から離れた側、かつ前記凸凹構造に対応する位置は非平坦表面であって、前記第2の封止層は、表示エリア内の第1の封止層を覆い、表示エリアに隣接する前記非平坦表面の一部を覆うことと、を含んでもよい。

更に、前記有機発光機能層を形成した後、前記第1の封止層を形成する前に、前記方法は、前記非表示エリアにおいて、第1の障壁と第2の障壁をパターニング工程によって形成し、前記第1の障壁と前記第2の障壁は、前記非平坦表面の前記表示エリアから離れた側にあり、前記第1の障壁は前記第2の障壁より前記表示エリアに近接し、前記第2の障壁の高さは前記第1の障壁の高さより大きいことを更に含む。

更に、前記第2の封止層を形成した後に、前記方法は、前記第1の封止層と前記第2の封止層とが形成された前記基板上に、前記第2の封止層と、前記第2の封止層で覆われていない前記第1の封止層とを覆う第3の封止層を形成することを更に含む。

関連のOLED表示パネルの封止グルーの状態を示す図その一である。関連のOLED表示パネルの封止グルーの状態を示す図その二である。本公開が提供するOLED表示パネルの非表示エリアの構造模式図である。本公開が提供する凸凹構造の模式図である。本公開が提供する凸凹構造の模式図である。本公開が提供する凸凹構造の模式図である。本公開が提供する凸凹構造の模式図である。本公開が提供するOLED表示パネルの製造フローチャートである。

以下では、本公開における図面を組み合わせて、本公開における技術案について明瞭かつ完全に説明する。記載する実施例が本公開の実施例の一部であり、全てでないことは明らかである。本公開における実施例に基づいて、当業者が創造力を働かせずに取得した全ての他の実施例は、本公開の請求範囲内にある。

OLED表示パネルが封止過程において、有機の第2の封止層の流動性を制御するのが困難であり、エッジの登坂距離が大きく、そして厚さの均一性が悪いという問題を少なくとも部分的に解決するために、本公開はOLED表示パネル及びその製造方法、OLED表示装置を提供する。図2を組み合わせて示すように、本公開は、基板1及び基板1上に順次に形成されたバックプレート（Back Plate，BP）2、平坦化層（PVD）3、有機発光機能層4、第1の封止層51、第2の封止層52を備えるOLED表示パネルを提供する。有機発光機能層4は、アノード、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子伝送層、電子注入層及び陰極を含んでもよい。第1の封止層51の材料は無機材料であって、CVD（Chemical Vapor Deposition，化学気相成長）法によって製造形成されてもよく、第2の封止層52の材料は有機材料であって、インクジェット印刷方法によって製造形成されてもよい。OLED表示パネルの非表示エリアにおいて、第1の封止層51の有機発光機能層4から離れた側に非平坦表面を有する。第2の封止層52は、OLED表示パネルの表示エリア内の第1の封止層を覆い、表示エリアに隣接する非平坦表面の一部を覆う。図2に示すように、点線左側はOLED表示パネルの非表示エリアであり、点線右側はOLED表示パネルの表示エリア（即ち、AAエリア）である。OLEDデバイスの封止動作において、第2の封止層52は表示エリア全体を覆って、表示エリアから非表示エリアに流れる。非表示エリアで第1の封止層51の非平坦表面によって妨げられる。ここでは、非平坦表面とは、液状の有機封止層が非平坦表面全体を通過するのを妨げることができる明らかな凸凹構造を有する表面を指す。有機封止層が固化前に液状であって、流動性が大きく、その拡散を精確に制御することが困難であり、流れ出し易くなるため、OLED表示パネルのシール効果が悪くなってしまう、という従来のTFE工程で発生し得る問題に対して、本公開のOLED表示パネルは有機の第2の封止層52が形成されたとき、第1の封止層51の非平坦表面が第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を低下できる。よって、本公開のOLED表示パネルは封止動作がより容易に行われる。

代替的には、平坦化層3の基板1から離れた側に、前記OLED表示パネルの非表示エリアに位置する凸凹構造31を有し、この凸凹構造31は非平坦表面と互いに対応してもよい。一般的に言えば、平坦化層3は、有機発光機能層4及び第1の封止層51よりも大きな厚さを有する。よって、平坦化層3上に凸凹構造を設けることは、非平坦度がより大きな非平坦表面を取得するのに有利である。具体的には、有機発光機能層4が平坦化層3上に設けられ、第1の封止層51が有機発光機能層上に設けられ、有機発光機能層4の平坦化層3から離れた側、かつ凸凹構造31に対応する位置は非平坦表面であって、また、第1の封止層51の有機発光機能層4から離れた側、かつ凸凹構造31に対応する位置は非平坦表面である。第2の封止層52は表示エリア全体を覆い、また表示エリアから非表示エリアまで流れ、非表示エリアにおいて凸凹構造31で形成された第1の封止層51の非平坦表面によって妨げられる。図2に示すように、第2の封止層52のエッジの傾斜角はα2であって、本公開における第2の封止層52のエッジの傾斜角α2は関連構造における第2の封止層52のエッジの（図1bに示すような）傾斜角α1よりも大きい。対応して、第2の封止層52の登坂距離L2は図1bに示す関連構造における第2の封止層52の登坂距離L1より小さい。非表示エリア内において平坦化層3の基板1から離れた側に凸凹構造31を設けることによって、平坦化層3上に有機発光機能層4と無機の第1の封止層51を形成した後、有機発光機能層4と第1の封止層51の凸凹構造31に対応する位置は非平坦表面であって、つまり、有機発光機能層4と第1の封止層51上における凸凹構造31に対応する位置も形状が同一である凸凹構造を形成する。有機の第2の封止層52を形成するとき、第1の封止層51の非平坦表面は第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を下降させ、第2の封止層52のエッジの登坂距離を縮小し、エッジ応力と傾斜角を増やすことができ、これによって製品の狭額縁設計を実現するとともに、第2の封止層52のエッジの厚さの均一性を向上させ、非表示エリアのムラ不良を回避し、封止効果を保証する。

平坦化層3が全体的に平坦に設置されている場合には、非表示エリア部分における有機発光機能層4の平坦化層3から離れた側を、凸凹構造（図示せず）を有するように設けてもよいことが理解されよう。或いは、非表示エリア部分における平坦化層3が凸凹構造を有する場合、非表示エリア部分において平坦化層3に対応する部分の有機発光機能層4を、平坦化層から離れた側に凸凹構造（図示せず）を有するように設けてもよい。有機発光機能層4の凸凹構造の造形は、平坦化層3で用いられた凸凹構造の造形と異なってもよく、両者を貼り合わせることができればよい。以上の方法はいずれもこのような非平坦表面を実現でき、第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を低下させることができる。

更に、図2に示すように、前記OLED表示パネルは、非平坦表面の表示エリアから離れた側にあり、かつ有機発光機能層4と第1の封止層51との間にある第1の障壁61を更に備える。つまり、非平坦表面は第1の障壁61の表示エリアに隣接する側に位置する。第2の封止層52は表示エリアに隣接する非平坦表面の一部だけを覆うため、第2の封止層52は第1の障壁61から流れ出さず、これによって前記OLED表示パネルのシール効果が保証される。

更に、前記OLED表示パネルのシール効果を更に保証するために、図2に示すように、前記OLED表示パネルは、有機発光機能層4と第1の封止層51との間にあり、かつ第1の障壁61の表示エリアから離れた側にある第2の障壁62を更に備えてもよい。即ち、第2の障壁62は第1の障壁61より前記OLED表示パネルのエッジに近接する。第2の障壁62の高さは第1の障壁61の高さより大きく、このように、第2の封止層52は第1の障壁61から流れ出しても第2の障壁62によって妨げられることになり、封止効果が保証される。

更に、図2に示すように、前記OLED表示パネルは、第1の封止層51と第2の封止層52上に形成され、第2の封止層52と第2の封止層52で覆われていない第1の封止層51とを覆う第3の封止層53を更に備える。つまり、表示エリアに隣接する非平坦表面領域の一部と表示エリア内において、第3の封止層53は第2の封止層52上に直接設けられる。しかし、この非平坦表面の一部以外の他の非表示エリア内において、第2の封止層52がないため、第3の封止層53が第1の封止層51上に直接設けられる。このように、第3の封止層53、第2の封止層52及び第1の封止層51は前記OLED表示パネルに対する封止をともに実現する。

以下では、図3a～図3dを組み合わせて、凸凹構造31の具体的な構造について詳しく説明する。

図3a～図3dに示すように、凸凹構造31は複数の突起部311を含み、隣接する突起部311の間には凹み部312が形成され、凸凹構造31はマスク板の助けを借りてリソグラフィ工程によって形成されてもよい。

代替的には、各突起部311の形状は同じであってもよい。

本公開実施例において、各突起部311と各凹み部312の形状は同一である。各突起部311と各凹み部312の形状は異なっても、異ならなくてもよく、平坦化層3の基板1から離れた表面が非平坦表面（凸凹構造）であって、かつこの非平坦表面が有機発光層4と第1の封止層51の製造を完成した後、第1の封止層51の基板1から離れた表面が依然として非平坦表面であることを保証できればよい。

図3aと図3bを参照すると、各突起部311は互いに接続されてもよい。代替的には、各突起部311と各凹み部312はジグザグ状であってもよい。図3aに示すように、各突起部311と各凹み部312は二等辺三角形のジグザグ状であってもよい。図3bに示すように、各突起部311と各凹み部312は直角三角形のジグザグ状であってもよい。

図3cと図3dを参照すれば、各突起部311は互いに間隔を隔てて設けられてもよい。図3cに示すように、各突起部311と各凹み部312は矩形であってもよい。図3dに示すように、各突起部311と各凹み部312は台形であってもよい。

本公開実施例における突起部311と凹み部312の具体的な形状は例示にすぎず、突起部311と凹み部312の形状は、以上の形状に限定されるものではないことが当業者には理解されよう。

第2の封止層52が第1の障壁61と第2の障壁62から流れ出す場合、第3の封止層53は第2の封止層52を効果的に包むことが困難であり、外部環境における酸素水が表示装置の内部に入り込みやすくなり、有機発光層4を腐食させて表示ムラをもたらす。

本公開では、非表示エリア内の平坦化層3の上面が凸凹構造31を形成することによって、平坦化層3上に位置する有機発光層4と無機の第1の封止層51の表面のいずれにも対応する凸凹構造（即ち、非平坦表面）を形成させる。有機の第2の封止層52の材料をこの非平坦表面上にプリントした後、この非平坦表面は第2の封止層52の材料の流速を緩和し、それが障壁を越えて流れることを防止することができ、これによって、第2の封止層52のエッジの傾斜角を増やして、第2の封止層52の厚さの均一性を保持する。このように、従来のTFE封止で発生し易い第2封止層52の漏れによる表示ムラの問題、及び非表示エリア膜層の均一性が悪いことによるムラ不良問題を改善することができる。

本公開は前記のOLED表示パネルを備えるOLED表示装置を更に提供する。

前記OLED表示装置は電子ペーパー、携帯電話、タブレットコンピューター、テレビ、デジタルフォトフレームなど、液晶表示機能を持つすべての製品又は部品であってもよい。

本公開が提供するOLED表示装置は、非表示エリア内において、平坦化層3の基板1から離れた側に凸凹構造31を設けることによって、平坦化層3上に有機発光機能層4と無機の第1の封止層51を形成した後、有機発光機能層4及び第1の封止層51の凸凹構造31に対応する位置は非平坦表面であって、つまり、有機発光機能層4及び第1の封止層51上の、凸凹構造31に対応する位置にも形状が同一である凸凹構造が形成されている。有機の第2の封止層52が形成されたとき、第1の封止層51の非平坦表面は第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を低下させ、第2の封止層52のエッジの登坂距離を縮小し、エッジ応力と傾斜角を増やすことができ、これによって製品の狭額縁設計を実現するとともに、第2の封止層52のエッジの厚さの均一性を向上させ、非表示エリアムラ不良を回避し、封止効果を保証する。

本公開は前記のOLED表示パネルを製造するOLED表示パネル製造方法を更に提供する。以下、図2、図3a～図3dと図4の図を組み合わせて、このOLED表示パネル製造方法の実施形態について記述する。前記方法は、以下のステップを含むことができる。

ステップ101：基板1上に平坦化層3を形成し、平坦化層3の基板1から離れた側に凸凹構造31のパターンをパターニング工程によって形成する。

具体的には、凸凹構造31のパターンは前記OLED表示パネルの非表示エリアに位置し、その具体的な構造は図3a～図3dに示す構造であってもよく、ここでは説明を省略する。

ステップ102：平坦化層3が形成された基板1上に、有機発光機能層4、第1の封止層51及び第2の封止層52を順次に形成する。

具体的には第1の封止層51は無機層であって、かつ第1の封止層51の有機発光機能層4から離れた側、かつ凸凹構造31に対応する位置は非平坦表面である。第2の封止層52は有機層であり、表示エリア内の第1の封止層51を覆い、表示エリアに隣接する非平坦表面の一部を覆う。

有機発光機能層4を形成した後、第1の封止層51を形成する前に、前記方法は、

非表示エリアにおいて、第1の障壁61と第2の障壁62をパターニング工程によって形成し、第1の障壁61と第2の障壁62は、非平坦表面の表示エリアから離れた側にあり、かつ有機発光機能層4と第1の封止層51との間に設けられ、第1の障壁61は第2の障壁62より表示エリアに近接し、かつ第2の障壁62の高さは第1の障壁61の高さより大きいステップを更に備えることができる。

ステップ101～102から見て取れるように、本実施の形態が提供するOLED表示パネルの製造方法は、非表示エリア内において、平坦化層3の基板1から離れた側に凸凹構造31を設けることによって、平坦化層3上に有機発光機能層4と無機の第1の封止層51を形成した後、有機発光機能層4と第1の封止層51の凸凹構造31に対応する位置が非平坦表面であって、つまり、有機発光機能層4と、第1の封止層51上における凸凹構造31に対応する位置も形状が同一である凸凹構造を形成する。有機の第2の封止層52を形成するとき、第1の封止層51の非平坦表面は第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を下降させ、第2の封止層52のエッジの登坂距離を縮小し、エッジ応力と傾斜角を増やすことができ、これによって製品の狭額縁設計を実現するとともに、第2の封止層52のエッジの厚さの均一性を向上させ、非表示エリアのムラ不良を回避し、封止効果を保証する。本実施の形態の製造方法は、従来のマスク板を改善することができ、パターニング工程を増やさず、かつ製造工程も変わらず、容易に実現できる。

更に、図4に示すように、第2の封止層52（即ステップ102）を形成した後、前記OLED表示パネル製造方法は、以下のステップを更に備える。

ステップ103：第1の封止層51と第2の封止層52とが形成された基板1上に、第3の封止層53を形成する。

具体的には、第3の封止層53は第2の封止層52と、第2の封止層52で覆われていない第1の封止層51とを覆う。

平坦化層3が全体的に平坦に配置されている場合には、非表示エリア部分における有機発光機能層4の平坦化層3から離れた側を、凸凹構造を有するように設けてもよいことを理解されたい。或いは、非表示エリア部分における平坦化層3が凸凹構造を有する場合、非表示エリア部分において平坦化層3に対応する部分の有機発光機能層4を、平坦化層から離れた側に凸凹構造を有するように設けてもよい。有機発光機能層4の凸凹構造の造形は、平坦化層3で用いられた凸凹構造の造形と異なってもよく、両者を貼り合わせることができればよい。平坦化層3上に形成された凸凹構造に近似して、有機発光機能層4上にパターニング工程で凸凹構造を形成してもよい。以上の方法でもこのような非平坦表面を実現でき、第2の封止層52の流動を一定程度妨げ、その流動性を低下させることができる。

以上の実施形態は、本公開の原理を説明するために採用した単なる例示的な実施形態にすぎず、本公開はそれらに限定されないことを理解されたい。本開示の精神及び趣旨から逸脱することなく、当業者によって様々な変型及び改善を行うことができ、そのような変型及び改善も本公開の請求範囲と見なされる。

１基板
２バックプレート
３平坦化層
４有機発光機能層
３１凸凹構造
５１第１の封止層
５２第２の封止層
５３第３の封止層
６１第１の障壁
６２第２の障壁
３１１突起部
３１２凹み部

Claims

基板、及び前記基板上に順次に形成された平坦化層、有機発光機能層、無機層である第1の封止層、有機層である第2の封止層を備えるOLED表示パネルであって、
前記OLED表示パネルの非表示エリアにおいて、前記第1の封止層のうち前記有機発光機能層から離れた側に非平坦表面を有し、前記第2の封止層は、前記OLED表示パネルの表示エリア内の第1の封止層を覆い、前記表示エリアに隣接する前記非平坦表面の一部を覆い、
前記OLED表示パネルは、第3の封止層を更に備え、
前記第3の封止層は、前記第2の封止層と、前記第1の封止層のうち前記第2の封止層で覆われていない部分と、に直接接触し、
前記第1の封止層のうち前記第2の封止層で覆われていない部分は、前記非平坦表面のうち前記第2の封止層で覆われていない残りの部分に対応しており、
前記OLED表示パネルは、前記非平坦表面の前記表示エリアから離れた側にありかつ前記第2の封止層から離れている第1の障壁を更に備え、
前記非平坦表面のうち前記第2の封止層で覆われていない前記残りの部分は、前記第1の障壁と前記第2の封止層との間にあり、
前記平坦化層のうち前記基板から離れた側に、前記OLED表示パネルの非表示エリアにある凸凹構造を有し、前記凸凹構造は、前記非平坦表面と互いに対応しており、
前記凸凹構造は、複数の突起部を含み、隣接する前記突起部の間には凹み部が形成されており、前記第1の封止層及び前記有機発光機能層のうち前記凸凹構造に対応する部分は、前記凸凹構造の形状と同じ凸凹形状を形成する、OLED表示パネル。
前記第1の障壁は、前記有機発光機能層と前記第1の封止層との間にある、請求項1に記載のOLED表示パネル。
前記有機発光機能層と前記第1の封止層との間にあり、かつ前記第1の障壁の前記表示エリアから離れた側にある第2の障壁を更に備え、前記第2の障壁の高さは前記第1の障壁の高さより大きい請求項2に記載のOLED表示パネル。
各前記突起部の形状は同じである請求項1に記載のOLED表示パネル。
各前記突起部は互いに接続されている請求項1に記載のOLED表示パネル。
前記突起部はジグザグ状である請求項5に記載のOLED表示パネル。
前記突起部は二等辺三角形又は直角三角形のジグザグ状である請求項6に記載のOLED表示パネル。
各前記突起部は互いに間隔を隔てて設けられている請求項1に記載のOLED表示パネル。
前記突起部は矩形又は台形である請求項8に記載のOLED表示パネル。
請求項1～9の何れか1項に記載のOLED表示パネルを備えるOLED表示装置。
請求項1に記載のOLED表示パネルを製造するOLED表示パネル製造方法。
基板上に平坦化層を形成し、前記平坦化層の前記基板から離れた側に、前記OLED表示パネルの非表示エリアにある凸凹構造のパターンをパターニング工程によって形成することと、
前記平坦化層が形成された前記基板上に、有機発光機能層、無機層である第1の封止層及び有機層である第2の封止層を順次に形成し、そのうち、前記第1の封止層の前記有機発光機能層から離れた側、かつ前記凸凹構造に対応する位置が非平坦表面であり、前記第2の封止層は、表示エリア内の第1の封止層を覆い、表示エリアに隣接する前記非平坦表面
の一部を覆うことと、
を含む請求項11に記載のOLED表示パネル製造方法。
前記有機発光機能層を形成した後、前記第1の封止層を形成する前に、
前記非表示エリアにおいて、第1の障壁と第2の障壁をパターニング工程によって形成し、前記第1の障壁と前記第2の障壁は、前記非平坦表面の前記表示エリアから離れた側にあり、前記第1の障壁は前記第2の障壁より前記表示エリアに近接し、前記第2の障壁の高さは前記第1の障壁の高さより大きいこと、
を更に含む請求項12に記載のOLED表示パネル製造方法。
前記第2の封止層を形成した後に、
前記第1の封止層と前記第2の封止層とが形成された前記基板上に、前記第2の封止層と、前記第2の封止層で覆われていない前記第1の封止層とを覆う第3の封止層を形成すること
を更に含む請求項12に記載のOLED表示パネル製造方法。