JP7328203B2 - マスク - Google Patents
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Description
本特許出願は、2018年01月02日に中国特許庁に提出された発明の名称「マスク」であって、出願番号第201810002735.6号の中国特許出願の優先権を主張し、その全ての内容は参照により本明細書に援用する。
2 マスクシート
3 第2の支持遮蔽シート
4 第1の支持遮蔽シート
5 蒸発源
6 端部
8 階段構造
9 第1のリブ部
10 U型突出部
11 第2のリブ部
13 第1の支持遮蔽シート
14 第2の支持遮蔽シート
16 発光材料
20 画素
80 底面
81 第1の側面
83 第3の側面
Claims (15)
- 第1の方向に沿って延びる複数の第1の支持遮蔽シートと、第2の方向に沿って延びる複数の第2の支持遮蔽シートとを含み、前記第2の支持遮蔽シートと前記第1の支持遮蔽シートは、それぞれ垂直に交差するように分布するマスクであって、
各前記第2の支持遮蔽シート及び各前記第1の支持遮蔽シートの少なくとも1つは、第1の予め設定された面におけるその延在方向に平行な側辺に薄化領域が設けられ、前記薄化領域は、前記薄化領域が存在する前記第2の支持遮蔽シート又は前記第1の支持遮蔽シートの延在方向に沿って延び、前記薄化領域の厚さは、前記薄化領域以外の他の領域の厚さより小さく、前記第1の予め設定された面は、前記マスクによってマスク蒸着を行うときに、前記第2の支持遮蔽シートと前記第1の支持遮蔽シートの堆積材料に向かう面であり、
前記薄化領域は、前記第1の予め設定された面から離れる方向に沿って窪んだシート状凹部構造であり、前記薄化領域は、互いに間隔を空けた複数の第1のリブ部をさらに備え、各前記第1のリブ部の底端は、前記シート状凹部構造に接続されて前記薄化領域の幅方向に延び、前記第1のリブ部の1つの側面は、前記シート状凹部構造の一部の底面に重なる、
マスク。 - マスクフレームをさらに含み、各前記第2の支持遮蔽シートおよび各前記第1の支持遮蔽シートは、前記マスクフレームに接続された2つの端部と、2つの前記端部の間に位置する中間部とを有し、
前記第1の方向に平行な方向において、前記第1の支持遮蔽シートの前記薄化領域の長さは、前記第1の支持遮蔽シートの前記中間部の長さと等しく、前記第2の方向に平行な方向において、前記第2の支持遮蔽シートの前記薄化領域の長さは、前記第2の支持遮蔽シートの前記中間部の長さと等しい、
請求項1に記載のマスク。 - 前記第1の方向に垂直な方向における前記第1の支持遮蔽シートの前記薄化領域の幅は、0.5~5mmであり、前記第2の方向に垂直な方向における前記第2の支持遮蔽シートの前記薄化領域の幅は、0.5~5mmである、
請求項1または2に記載のマスク。 - 前記薄化領域の厚さは、前記薄化領域が存在する前記第2の支持遮蔽シート又は前記第1の支持遮蔽シートの厚さの1/6から2/3である、
請求項1から3のいずれか一項に記載のマスク。 - 前記薄化領域の前記第1の予め設定された面への正投影は、長方形または台形である、
請求項1から4のいずれか一項に記載のマスク。 - 前記シート状凹部構造は、前記底面と、前記底面に垂直に接続され互いに対向する第1の側面と第2の側面と、前記第1の側面と前記第2の側面とを接続する第3の側面とを含み、ここで、前記第1の側面は前記第2の側面に対向し、前記薄化領域が存在する前記第2の支持遮蔽シート又は前記第1の支持遮蔽シートの延在方向に垂直し、
前記底端は、前記シート状凹部構造の前記第3の側面に固定され、前記第3の側面に垂直な方向に沿って延びる、
請求項1に記載のマスク。 - 前記第3の側面に垂直な方向における前記第1のリブ部の長さは、前記第3の側面に垂直な方向における前記シート状凹部構造の長さ以下である、
請求項6に記載のマスク。 - 前記第1のリブ部における前記第3の側面に対向する先端と前記シート状凹部構造における前記第3の側面に対向する側辺との距離は、0.1~3mmである、
請求項6または7に記載のマスク。 - 前記第1のリブ部の前記シート状凹部構造の前記底面への正投影は、台形、正方形、半円形、または半楕円形である、
請求項6から8のいずれか一項に記載のマスク。 - 前記第1のリブ部が存在する前記第2の支持遮蔽シートまたは前記第1の支持遮蔽シートの延在方向における前記第1のリブ部の幅は、1~6mmである、
請求項6から9のいずれか一項に記載のマスク。 - 前記第2の支持遮蔽シートまたは前記第1の支持遮蔽シートには、その延在方向に平行な1つの側面の予め設定された位置に、U型溝を有する表示パネルの前記U型溝を遮蔽するためのU型突出部がさらに設けられる、
請求項6から10のいずれか一項に記載のマスク。 - 前記U型突出部の堆積材料に向かう表面には、前記U型突出部の周辺にも前記薄化領域が設けられる、
請求項11に記載のマスク。 - 前記U型突出部は、互いに間隔を空けた1つ以上の第2のリブ部を含み、各前記第2のリブ部の一端は、前記第2の支持遮蔽シートまたは前記第1の支持遮蔽シートに固定され、前記U型突出部が存在する前記第2の支持遮蔽シートまたは前記第1の支持遮蔽シートの延在方向に垂直な方向に沿って延び、前記U型突出部には複数の第2のリブ部が設けられる場合、隣接する前記第2のリブ部の間にも薄化領域が設けられる、
請求項11または12に記載のマスク。 - 前記第2のリブ部の前記第1の予め設定された面への正投影は、正方形、半円形、半楕円形、または逆台形である、
請求項13に記載のマスク。 - 前記U型突出部が存在する前記第2の支持遮蔽シートまたは前記第1の支持遮蔽シートの延在方向に垂直な方向における前記U型突出部の長さは、1~5cmである、
請求項11から14のいずれか一項に記載のマスク。
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