CN204529949U - 掩模板 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种掩模板。包括：框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。本实用新型制作成本低廉；避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；同时预防了由于重力作用所致的掩模板变形。

Description

掩模板

技术领域

本实用新型涉及掩模板制作技术领域，特别是涉及一种掩模板。

背景技术

OLED生产过程中最重要的一环节就是将有机层按照驱动矩阵的要求涂敷到基层上，形成关键的发光显示单元。而高精度的涂敷技术是制约OLED产品化的关键因素。

目前在OLED生产中，主要采用的蒸镀工艺，是至关重要的，即将有机材料通过真空蒸镀高精度涂覆到基板上，形成发光显示单元，这一过程必须要使用高精度金属掩膜板。

蒸镀工艺中用到的金属掩膜板有开放式掩模板(Open Mask)和精细金属掩模板(Fine Metal Mask)。传统工艺在制作掩模板时，主要包括：

首先，如图1所示，经过光刻刻蚀工艺制作出图案金属膜1。

然后，如图2所示，用高精度的张网机设备将图案金属膜1张到精确位置时再焊接到金属框架2上。

但是，传统工艺在制作掩模板时，很容易产生张力F不均的情况，或着焊接产生的热应力等问题，这都会造成图案金属膜位置精度不高，影响制得的掩模板的图形精度。另外，对于大尺寸掩模板，由于图案金属膜的质量较大，从而会在其自身重力作用下产生凹陷下垂，导致图形扭曲，这对精度要求较高的蒸镀过程而言，是极为不利的。鉴于此，业内亟需一种能够解决此问题的技术方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种掩模板，提高掩模板的精度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩模板，包括：

框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及

图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。

可选的，对于所述的掩模板，所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条位于图案金属膜中央区域下方，所述第二支撑条围绕所述图案金属膜边缘一周。

可选的，对于所述的掩模板，所述第二支撑条围绕呈矩形。

可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条包括横向第一支撑条和纵向第一支撑条，所述横向第一支撑条和纵向第一支撑条交叉相连接。

可选的，对于所述的掩模板，所述横向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的一组对边，所述纵向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的另一组对边，所述横向第一支撑条、纵向第一支撑条及第二支撑条连接呈矩形形状。

可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条和第二支撑条朝向图案金属膜的一面共平面。

可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条的厚度小于第二支撑条的厚度。

可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条的厚度为5-80mm，所述第二支撑条的厚度为10-100mm。

可选的，对于所述的掩模板，所述图案金属膜的厚度为20-200μm。

本实用新型提供的掩模板，所述框架镂空以形成有支撑条，所述图案金属膜附在所述框架上，相比现有技术，本实用新型具有以下一个或多个优点：

(1)避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；

(2)通过支撑条的存在，预防了由于重力作用所致的掩模板变形；

(3)无需高精度张网设备，因此降低了制作成本和难度；

(4)可灵活变更设计，不需要额外的光刻掩模板，因此也降低了成本。

附图说明

图1-图2为现有技术中的掩模板制造过程中的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中的掩模板的结构示意图

图4-图9为本实用新型实施例中的掩模板在制造过程中的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的掩模板进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

本实用新型的中心思想是：提供一种掩模板，包括：框架，所述框架镂空以形成有支撑条；然后将图案金属膜附在所述框架上。由此，本实用新型一方面避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；另一方面由于支撑条的存在，预防了由于重力作用所致的掩模板变形。从而有效提高了掩模板的精度。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

下面对本实用新型做详细介绍。请参考图3，本实用新型的掩模板包括：

框架11，所述框架11镂空以形成有支撑条；以及

图案金属膜13，图案金属膜13具有开口131，图案金属膜13附在所述框架11上，所述支撑条与开口131相对应且暴露出开口131。

具体的，所述支撑条包括第一支撑条(112、113)和第二支撑条111，所述第一支撑条(112、113)位于图案金属膜13中央区域下方，第二支撑条111围绕所述图案金属膜13边缘一周，较佳的，第二支撑条111围绕呈矩形。

进一步的，第一支撑条包括横向第一支撑条112和纵向第一支撑条113，横向第一支撑条112和纵向第一支撑条113交叉相连接。

横向第一支撑条112的两端连接至呈矩形的第二支撑条111的一组对边，纵向第一支撑条113的两端连接至呈矩形的第二支撑条111的另一组对边，横向第一支撑条112、纵向第一支撑条113及第二支撑条111连接呈矩形形状。并且横向第一支撑条112、纵向第一支撑条113和第二支撑条111朝向图案金属膜13的一面共平面，从而图案金属膜13能够保持较佳的平整度，也防止形变。

为了降低掩模板的重量，并且防止光学衍射的影响，在本实用新型中，横向第一支撑条112、纵向第一支撑条113的厚度小于第二支撑条111的厚度。较佳的，横向第一支撑条112、纵向第一支撑条113的厚度为5-80mm，第二支撑条111的厚度为10-100mm。图案金属膜13的厚度为20-200μm。

下面请结合图4-图9对本实用新型的掩模板的制造过程进行详细说明。

请参考图4，首先提供基板10，基板10的材质优选为金属，其厚度可以是10-100mm，并经过抛光打磨平整。

如图5所示，对基板10进行切割，例如采用激光切割，形成镂空，获得所需的框架11。具体的，框架11包括相交叉的横向第一支撑条112、纵向第一支撑条113以及作为外围边框的第二支撑条111。图5中所示的横向第一支撑条112和纵向第一支撑条113的数量仅为示例，依据不同的掩模板大小以及图形需要，可以灵活变动。

请参考图6a-图6c，其中图6a和图6b示出了图5中I-I线的两种优选剖面结构图；图6c为图5中II-II线的一种剖面结构图。

由图6a可见，横向第一支撑条112和第二支撑条111皆呈下窄上宽结构，区别在于横向第一支撑条112是两侧自上而下皆变窄，而第二支撑条111则是靠近横向第一支撑条112的一侧自上而下变窄。进一步的，横向第一支撑条112的厚度d1小于第二支撑条111的厚度d2，较佳的，d1的取值范围为5-80mm，d2的取值范围为10-100mm。这种结构能够有效避免对光的遮挡，防止影响图案金属膜13上图形的投影，也能够降低框架11的重量。

如图6b所示，支撑条111、112也可以选择为上下粗细一致，即截面接成矩形，相应的，可以适当调整横向第一支撑条112的厚度d3，使得d3≤d1，而第二支撑条111的厚度则保持d2不变。这一结构能够降低切割时的工艺复杂度。

请参考图6c，与图6a基本相同，区别之处为在本实施例中纵向第一支撑条113的数量多于横向第一支撑条112的数量，以及纵向第一支撑条113之间的距离、纵向第一支撑条113和第二支撑条111之间的距离与横向第一支撑条112和第二支撑条111之间的距离可以不同。当然，纵向第一支撑条113和第二支撑条111也可以是如图6b所示的形状，在此不进行赘述。

之后，请参考图7和图8，其中图8为图7中II-II线的剖面结构图。将一金属薄片12覆盖在框架11上，并进行固定，例如，金属薄片12的厚度可以是20-200μm。

最后，如图3和图9所示，其中图9为图3中II-II线的剖面结构图。利用激光切割金属薄片12以形成开口131，其中开口131与支撑条相对应，被框架11的镂空处暴露出来，并进行清洗，从而获得所需的图案金属膜13。较佳的，图案金属膜13的厚度在30-50μm。

至此，可获得本实用新型的掩模板，可见，本实用新型中，掩模板的框架为一体成型结构，并在固定好金属薄片后进行图案化，从而能够很好的支撑图案金属膜，防止了焊接或自身重力引起的形变，从而提高了掩模板的精度。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种掩模板，其特征在于，包括：

框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及

图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。

2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条位于图案金属膜中央区域下方，所述第二支撑条围绕所述图案金属膜边缘一周。

3.如权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述第二支撑条围绕呈矩形。

4.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一支撑条包括横向第一支撑条和纵向第一支撑条，所述横向第一支撑条和纵向第一支撑条交叉相连接。

5.如权利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述横向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的一组对边，所述纵向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的另一组对边，所述横向第一支撑条、纵向第一支撑条及第二支撑条连接呈矩形形状。

6.如权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述第一支撑条和第二支撑条朝向图案金属膜的一面共平面。

7.如权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述第一支撑条的厚度小于第二支撑条的厚度。

8.如权利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述第一支撑条的厚度为5-80mm，所述第二支撑条的厚度为10-100mm。

9.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述图案金属膜的厚度为20-200μm。