CN110029307B - 一种蒸镀掩膜板 - Google Patents

Abstract

本申请涉及有机发光二极管领域，公开了一种蒸镀掩膜板，包括掩膜板框架本体和多个金属掩膜条，其中，掩膜板框架本体包括：边框；设置于边框内、用以将边框内部空间分割成与金属掩膜条对应的蒸镀开口的支撑条，其中，支撑条的至少一部分具有凸起部，凸起部的顶部具有用于与玻璃基板吸附贴合的贴合面，支撑条具有用于与金属掩膜条搭接的支撑面；贴合面与支撑面之间的高度差大于金属掩膜条的厚度。本申请公开的蒸镀掩膜板，当凸起部与玻璃基板吸附贴合时，玻璃基板和支撑面之间形成了间隙，保证金属掩膜条能够更好地伸展铺平，可有效地消除因为支撑条挤压而带来的褶皱富集现象，从而有效地减小了蒸镀的混色不良，达到了提高蒸镀良率的目的。

Description

一种蒸镀掩膜板

技术领域

本申请涉及有机发光二极管领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板。

背景技术

有机发光二极管越来越多地应用于柔性屏幕，相比于传统的液晶显示面板，有机发光二极管具有反应速度较快、对比度更高、视角较广、耐低温、可实现柔性化等优点。

目前，用于有机发光二极管蒸镀通常使用金属掩膜板，由于在蒸镀时，玻璃基板和金属掩膜板之间靠磁场吸附而贴合，金属掩膜板不可避免地会存在褶皱，这些褶皱在磁场的作用下会向面板的边缘聚集，因此造成了变形。这些变形使得在蒸镀后面板的边缘出现像素图案扩散，从而导致了蒸镀工艺产生混色的结果。

蒸镀混色不良在像素密度较高时会更加明显，由于金属掩膜条的厚度更薄，更容易出现褶皱变形，这主要是由于边缘的支撑条对于金属掩膜条的具有摩擦和挤压的作用，当金属掩膜条受到磁场吸附时，褶皱延伸到边缘位置时不易铺展伸开，造成了褶皱的堆积。

发明内容

本发明提供了一种蒸镀掩膜板，可以减少金属掩膜条在边缘位置处的褶皱堆积，有效地减少蒸镀混色，提高蒸镀良率。

为了达到上述目的，本发明提供了一种蒸镀掩膜板，包括掩膜板框架本体和多个金属掩膜条，其中，所述掩膜板框架本体包括：

边框；

设置于所述边框内、用以将所述边框内部空间分割成与所述金属掩膜条对应的蒸镀开口的支撑条，其中，至少所述支撑条的一部分具有凸起部，所述凸起部的顶部具有用于与玻璃基板吸附贴合的贴合面，所述支撑条具有用于与金属掩膜条搭接的支撑面；所述贴合面与所述支撑面之间的高度差大于所述金属掩膜条的厚度。

本发明通过在支撑条上设置凸起部，当凸起部的贴合面与玻璃基板吸附贴合时，玻璃基板与支撑条的支撑面之间形成有间隙，由于支撑面和贴合面之间的高度差大于金属掩膜条的厚度，可以保证金属掩膜条在形成的间隙中能够更好地伸展铺平。

因此，本发明提供的蒸镀掩膜板，由于玻璃基板和支撑面之间形成了间隙，保证金属掩膜条能够更好地伸展铺平，可有效地消除因为支撑条挤压而带来的褶皱富集现象，从而有效地减小了蒸镀的混色不良，达到了提高蒸镀良率的目的。

优选地，所述支撑条为多个，且平行排列，每个支撑条的两端焊接于所述边框上、且所述每个支撑条上均设有所述凸起部。

优选地，所述凸起部的宽度小于所述每个支撑条的宽度。

优选地，所述凸起部的宽度小于所述每个支撑条的宽度。

优选地，所述支撑条为内部设有阵列排布的所述蒸镀开口、且四周均焊接于所述边框上的整面的金属薄片，所述凸起部设置于沿第一方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间，且沿第二方向延伸；或

所述凸起部设置于沿第二方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间，且沿第一方向延伸；或

沿第一方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间和沿第二方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间均设置有所述凸起部；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

优选地，所述凸起部和所述支撑条具有一体式结构。

优选地，所述支撑条与所述凸起部的厚度和大于30um。

优选地，所述凸起部与所述支撑条为双层叠加结构。优选地，所述支撑面上具有平坦化层。

优选地，所述平坦化层为金属层或者有机层。

优选地，所述平坦化层的厚度为1～10um。

附图说明

图1为本发明中蒸镀掩膜板的整体结构图；

图2为本发明中蒸镀掩膜板与玻璃基板吸附时的侧面结构图；

图3a、图3b、图3c、图3d分别为本发明中支撑条和凸起部的4种结构图；

图4为本发明一种可实施方案中蒸镀掩膜板与玻璃基板吸附时的侧面结构图；

图5a、图5b、图5c分别为本发明中凸起部长度的3种俯视结构图；

图6为本发明一种掩膜板框架本体与金属掩膜条配合方案的示意图；

图7为本发明一种可实施方案中的蒸镀掩膜板的整体结构图；

图8为本发明中平坦化层的结构示意图。

图中：

1-边框；2-支撑条；21-支撑面；3-凸起部；31-贴合面；4-蒸镀开口；

5-金属掩膜条；6-玻璃基板；9-平坦化层。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1及图2，本发明提供了一种蒸镀掩膜板，包括掩膜板框架本体和多个金属掩膜条5，其中，掩膜板框架本体包括：边框1；设置于边框1内、用以将边框1内部空间分割成与金属掩膜条5对应的蒸镀开口4的支撑条2，其中，至少支撑条2的一部分具有凸起部3，凸起部3的顶部具有用于与玻璃基板6吸附贴合的贴合面31，支撑条2具有用于与金属掩膜条5搭接的支撑面21；贴合面31与支撑面21之间的高度差大于金属掩膜条5的厚度。

本发明通过在支撑条2上设置凸起部3，当凸起部3的贴合面31与玻璃基板6吸附贴合时，玻璃基板6与支撑条2的支撑面21之间形成有间隙，由于支撑面21和贴合面31之间的高度差大于金属掩膜条5的厚度，可以保证金属掩膜条5在形成的间隙中能够更好地伸展铺平。作为一种优选的方式，支撑面21和贴合面31之间的高度差大于30um，以便于金属掩膜条5更好地伸展。

在具体的实施过程中，凸起部3位于支撑条2上的位置可选，作为一种可选的方案，如图3a所示，凸起部3的一侧与支撑条2的一侧齐平，即形成一种单侧台阶式的结构，该支撑条2上只有一侧有与金属掩膜条5搭接的支撑面21。

作为另一种可选的方案，如图3b和图4所示，凸起部3设置于支撑条2的中间部位，即形成双侧台阶式的结构，当支撑条2的两侧都有金属掩膜条5时，双侧台阶式的结构可同时用于两侧的金属掩膜条5，使得在蒸镀的过程中，两侧的金属掩膜条5都能通过该结构而达到减少褶皱的目的。

作为另一种可选的方案，如图3c所示，凸起部3设置于支撑条2的中间部位，且支撑条2的上下两侧都设置凸起部3，由于将该结构设置成了对称性结构，可以有效防止因为结构不对称而引起张网时的翘曲。

或者，上述提供的可选的方案，也可以按不同的需求组合，以便用于减少蒸镀的混色不良情况。

因此，本发明提供的蒸镀掩膜板，由于玻璃基板6和支撑面21之间形成了间隙，保证金属掩膜条5能够更好地伸展铺平，可有效地消除因为支撑条2挤压而带来的褶皱富集现象，从而有效地减小了蒸镀的混色不良，达到了提高蒸镀良率的目的，而且本发明提供的蒸镀掩膜板的形成工艺也不会明显地提高制作成本。

具体地，支撑条2为多个，且平行排列，每个支撑条的两端焊接于边框1上、且每个支撑条上均设有凸起部。如图6所示，金属掩膜板5的两端可以焊接于边框1上，垂直于两端的另外一侧边缘搭接在支撑条2上，由于沿垂直于金属掩膜板5两端方向与支撑条2搭接的空间较大，可以有效减少褶皱富集现象，从而有效地减小了蒸镀的混色不良。

具体地，在实施过程中，凸起部3的宽度需要小于每个支撑条的宽度，满足上述条件，才能保证支撑条2的至少一侧能够与凸起部3配合形成台阶。作为一种优选的方案，支撑面21的宽度略大于金属掩膜条5与支撑面21搭接的宽度，更能保证金属掩膜条5能够在支撑面21上尽可能地伸展，从而减少褶皱引起的蒸镀混色不良的问题。具体地，可以设置支撑面21的宽度大于0.5mm。

作为一种可选的实施案例，如图7所示，支撑条2为内部设有阵列排布的蒸镀开口4、且四周均焊接于边框1上的整面的金属薄片，凸起部3设置于沿第一方向排列的每相邻两个蒸镀开口4之间，且沿第二方向延伸；或者，凸起部3设置于沿第二方向排列的每相邻两个蒸镀开口4之间，且沿第一方向延伸。其中，第一方向垂直于第二方向。蒸镀开口4可通过构图工艺形成，凸起部3沿同一个方向分布，便于制作。作为另一种可选的实施方案，如图1所示，沿第一方向排列的每相邻两个蒸镀开口4之间和沿第二方向排列的每相邻两个蒸镀开口4之间均设置有所述凸起部，即在蒸镀开口4的四周均通过设置凸起部3与支撑条2形成的台阶式结构，可保证金属掩膜条5能够尽可能地伸展，进而减少褶皱，提高蒸镀良率。

作为一种可选的实施案例，凸起部3和支撑条2具有一体式结构，作为其中一种可选的实施方案，凸起部3和支撑条2形成的台阶式结构可以通过半刻蚀或者部分刻蚀的方式形成。对应地，为了保证形成可靠的台阶式结构，保证台阶式结构的强度，支撑条2与凸起部3的厚度和应大于30um，在后续形成的台阶式结构中，既保证凸起部3的厚度能够支撑玻璃基板6，也保证支撑部的厚度能够支撑金属掩膜条5。

作为另一种可选的实施案例，如图3d所示，凸起部3与支撑条2形成的台阶式结构通过双层叠加的方式形成，其中，值得注意的是，凸起部3的宽度需要小于支撑条2。而沿支撑条2的长度方向，如图5a、图5b和图5c所示，凸起部3的长度可以与支撑条2的长度一致，或者仅在蒸镀开口4的区域内设置凸起部3，或者一个支撑条2上可以设置多个柱状的凸起部3，形成边缘台阶的效果。

作为一种可选的实施方案，如图6所示，本发明提供的蒸镀掩膜板上的支撑条可以包括：沿第一方向排列的第一支撑条和沿第二方向排列的第二支撑条，其中，每个第一支撑条具有凸起部3。既有利于金属掩膜条5受磁力吸附后的铺展，也可以减小因支撑条不匹配引起的其他问题，进一步提高蒸镀良率。进一步地，如图8所示，当使用刻蚀的方法形成台阶式结构时，支撑面21的表面粗糙度会有所下降，从而增大了金属掩膜条5和支撑面21之间的摩擦力，不利于金属掩膜条5的伸展，因此可选择地，在支撑面21上形成有平坦化层9，可有效地减小支撑面21的摩擦力，保证了金属掩膜条5在磁力吸附时受到支撑面21的摩擦力影响最小。

具体地，设置的平坦化层9可以为有机层，该有机层可以通过涂布或者打印的方式形成，有机层的材料可以包括：亚克力系、有机硅系、环氧树脂系，其中，优选地，有机层的材料可以选择环氧树脂系。或者，平坦化层9的材料也可以为金属层，通过电镀的方式在支撑面21的表面附着金属层，以达到减少摩擦力和平坦化的目的。

具体地，平坦化层9的厚度设置为1～10um。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，包括掩膜板框架本体和多个金属掩膜条，其中，所述掩膜板框架本体包括：

边框；

设置于所述边框内、用以将所述边框内部空间分割成与所述金属掩膜条对应的蒸镀开口的支撑条，其中，所述支撑条为多个，且平行排列，每个支撑条的两端焊接于所述边框上、且所述每个支撑条上均设有凸起部，所述凸起部的顶部具有用于与玻璃基板吸附贴合的贴合面，且所述凸起部的宽度小于所述每个支撑条的宽度；所述支撑条具有用于与金属掩膜条搭接的支撑面；所述贴合面与所述支撑面之间的高度差大于所述金属掩膜条的厚度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述凸起部设置于沿第一方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间，且沿第二方向延伸；或

所述凸起部设置于沿第二方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间，且沿第一方向延伸；或

所述支撑条为内部设有阵列排布的所述蒸镀开口、且四周均焊接于所述边框上的整面的金属薄片，沿第一方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间和沿第二方向排列的每相邻两个所述蒸镀开口之间均设置有所述凸起部；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述凸起部和所述支撑条具有一体式结构。

4.根据权利要求3所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述支撑条与所述凸起部的厚度和大于30um。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述凸起部与所述支撑条为双层叠加结构。

6.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述支撑面上具有平坦化层。

7.根据权利要求6所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述平坦化层为金属层或者有机层。

8.根据权利要求6所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述平坦化层的厚度为1~10um。

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