CN110923626B - 掩膜组件及其制作方法 - Google Patents

掩膜组件及其制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及显示技术领域，提出一种掩膜组件及其制作方法。该掩膜组件包括框架、支撑部、平坦层和掩膜板；支撑部固定于框架内，支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；平坦层设于支撑部之上，平坦层的背离支撑部的一面为平面，平坦层上设置有多个与第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口；掩膜板设于平坦层的背离支撑部的一面。掩膜板上的掩膜条不会因为自身重量以及强度不够而产生中部下垂，使掩膜条与基板间不存在缝隙，不会引起相邻子像素之间混色，提高产品良率。平坦层能够修复支撑部表面不平整引起的掩膜板的损坏。

Description

掩膜组件及其制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜组件及掩膜组件的制作方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成。有机电致发光材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机电致发光材料按照设计蒸镀到特定的位置上，在基板下方需使用高精度金属掩膜板(Fine metal mask，简称为FMM)，掩膜板(即高精度金属掩膜板)上留有预先设计好的有效开口区域，通过该有效开口区域，有机电致发光材料沉积到背板上面，形成预设图形。
但是，由于掩膜板上的掩膜条自身重量以及强度不够，掩膜条中部容易下垂导致掩膜板与基板间存在缝隙，造成蒸镀时蒸镀阴影变大，引起相邻子像素之间混色，降低产品良率。
因此，有必要研究一种新的掩膜组件及掩膜组件的制作方法。
所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的相邻子像素之间容易混色的不足，提供一种相邻子像素之间不容易混色的掩膜组件及掩膜组件的制作方法。
本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。
根据本公开的一个方面，提供一种掩膜组件，包括：
框架；
支撑部，固定于所述框架内，所述支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；
平坦层，设于所述支撑部之上，所述平坦层的背离所述支撑部的一面为平面，所述平坦层上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同；
掩膜板，设于所述平坦层的背离所述支撑部的一面。
在本公开的一种示例性实施例中，所述平坦层的材质为具有弹性的预聚体。
在本公开的一种示例性实施例中，所述预聚体包括二甲基硅氧烷、硫化硅橡胶、硅烷偶联剂中的一种或多种。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑部包括平行设置的多个支撑条，所述支撑条的两端固定在所述框架上。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑部包括：
支撑框，固定于所述框架内；
多个第一支撑条，相互平行设置，所述第一支撑条的两端固定在所述支撑框上；
多个第二支撑条，相互平行设置，所述第二支撑条的两端固定在相邻两个所述第一支撑条上或所述支撑框和所述第一支撑条上。
根据本公开的一个方面，提供一种掩膜组件的制作方法，包括：
提供一框架；
在所述框架内固定支撑部，所述支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；
在所述支撑部之上形成预聚体溶液，将所述预聚体溶液固化形成平坦层，所述平坦层的背离所述支撑部的一面为平面，所述平坦层上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同；
在所述平坦层之上安装掩膜板。
在本公开的一种示例性实施例中，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将预聚体溶液喷、洒或浇在所述支撑部之上；
在所述预聚体溶液固化之前进行抽真空以去除预聚体溶液中的气泡。
在本公开的一种示例性实施例中，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将固定有所述支撑部的所述框架放置在存放有预聚体溶液的容器内，并使所述预聚体溶液淹没所述支撑部；
将固定有所述支撑部的所述框架从所述容器中取出。
在本公开的一种示例性实施例中，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将固定有所述支撑部的所述框架放置在存放有预聚体溶液的容器内，并使所述预聚体溶液淹没所述支撑部；
使所述容器内的所述预聚体溶液从所述容器底部流出。
在本公开的一种示例性实施例中，所述固化的温度为50～90℃，时间为30～60分钟。
由上述技术方案可知，本发明具备以下优点和积极效果中的至少之一：
本发明的掩膜组件，在支撑部之上设置有平坦层，平坦层的背离支撑部的一面为平面，在平坦层的背离支撑条的一面(即平面)上设置掩膜板。一方面，支撑部和平坦层共同支撑掩膜板，而且掩膜板设置在平面上，使掩膜板上的掩膜条不会因为自身重量以及强度不够而产生中部下垂，使掩膜条与基板间不存在缝隙，不会引起相邻子像素之间混色，提高产品良率。另一方面，平坦层能够修复支撑部表面不平整，避免支撑部表面不平整引起的掩膜板的损坏。
附图说明
通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
图1是相关技术中掩模组件使用时的结构示意图；
图2是本发明掩膜组件一实施方式的结构示意图；
图3是框架、支撑部和掩膜板的一实施方式结构示意图；
图4是图3中的框架和支撑部的结构示意图；
图5是框架和支撑部的另一实施方式结构示意图；
图6是本发明的掩膜组件的局部结构示意图；
图7是本发明掩膜组件的制作方法一实施方式的流程示意框图；
图8是在支撑部之上形成预聚体溶液的另一示例实施方式的结构示意图；
图9是从图8中的容器中取出支撑部后的结构示意图。
图中主要元件附图标记说明如下：
1、框架；11、纵杆；12、横杆；
2、支撑部；21、支撑框；22、第一支撑条；23、第二支撑条；24、支撑条；
3、平坦层；4、掩膜板；5、容器；6、基板；7、蒸发源；8、预聚体溶液。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
参照图1所示的相关技术中掩模组件使用时的结构示意图，在掩膜板下设置有支撑部2改善掩膜条的下垂。然而支撑部2由于自身的重量，仍然存在一个自身下垂量，目前大约为250μm左右。而且基板6、掩膜板4和支撑部2都是脆性较大的材料，并且在蒸镀贴合过程中，由于磁隔板磁力作用，基板6与掩膜板4刚性接触，从而容易引起基板6破片或者支撑部2的损坏，或者贴合的不紧密，在蒸发源7蒸镀过程中引起的蒸镀阴影过大，造成产品混色不良。
本发明首先提供了一种掩膜组件，参照图2所示的本发明掩膜组件一实施方式的结构示意图；掩膜组件可以包括框架1、支撑部2、平坦层3以及掩膜板4。支撑部2固定于所述框架1内，所述支撑部2上设置有多个第一蒸镀开口；平坦层3设于所述支撑部2之上，所述平坦层3的背离所述支撑部2的一面为平面，所述平坦层3上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同；掩膜板4设于所述平坦层3的背离所述支撑部2的一面。
参照图3以及图4所示。在本示例实施方式中，框架1可以设置为长方形。具体来说，框架1可以包括两个纵杆11和两个横杆12，两个纵杆11和两个横杆12依次间隔首尾连接形成长方形。
在本示例实施方式中，支撑部2可以包括支撑框21、三个第一支撑条22和六十个第二支撑条23。支撑框21设置为长方形。具体来说，支撑框21可以包括两个支撑纵杆和两个支撑横杆，两个支撑纵杆和两个支撑横杆依次间隔首尾连接形成长方形。支撑框21固定于框架1内，即支撑纵杆固定在纵杆11的靠近另一纵杆11的一面，支撑横杆固定在横杆12的靠近另一横杆12一面。三个第一支撑条22相互平行设置，三个第一支撑条22之间的间距可以相同，也可以不相同，根据需要蒸镀的产品确定，第一支撑条22的长度与支撑横杆的长度相同。第一支撑条22的两端一一对应的固定在两个支撑纵杆上。六十个第二支撑条23均匀分为四组，其中两组设置在支撑横杆和第一支撑条22之间，如此设置的第二支撑条23的两端一一对应的固定在支撑横杆和第一支撑条22上，相邻两个第二支撑条23与支撑横杆和第一支撑条22围绕形成一个第一蒸镀开口；另外两组设置在相邻两个第一支撑条22之间，如此设置的第二支撑条23的两端一一对应的固定在相邻两个第一支撑条22上，相邻两个第二支撑条23与相邻两个第一支撑条22也围绕形成一个第一蒸镀开口。
另外，支撑部2的结构不限于上述说明，例如，支撑部2可以包括五个支撑条24。参照图5所示的框架1和支撑部2的另一实施方式结构示意图。框架1可以设置为长方形。具体来说，框架1可以包括两个纵杆11和两个横杆12，两个纵杆11和两个横杆12依次间隔首尾连接形成长方形。五个支撑条24相互平行设置，且相邻两个支撑条24之间的间距可以相同，也可以不相同，根据需要蒸镀的产品确定，支撑条24的长度与横杆12的长度相同。其中两个支撑条24一一对应的固定在两个横杆12的靠近另一横杆12一面，另外的三个支撑条24的两端一一对应的固定在两个纵杆11上。相邻两个支撑条24与两个纵杆11的一段围绕形成一个第一蒸镀开口。
在本示例实施方式中，平坦层3的材质可以为具有弹性的预聚体。预聚体可以包括二甲基硅氧烷、硫化硅橡胶、硅烷偶联剂。当然，在本发明的其他示例实施方式中，预聚体可以包括二甲基硅氧烷、硫化硅橡胶、硅烷偶联剂中的一种或两种。平坦层3具有弹性，当磁隔板吸附支撑部2贴合时，可以确保掩膜板4与基板6紧密贴合；而且对压合过程中的掩膜板4与基板6的接触进行吸能，减少了基板6破碎以及支撑部2损坏的风险，降低生产成本。
平坦层3设于支撑部2之上。即平坦层3仅设于图3和图4中的支撑框21、第一支撑条22和第二支撑条23之上；在支撑框21、第一支撑条22和第二支撑条23围绕形成的第一蒸镀开口的位置之上不设置平坦层3，从而在平坦层3上形成与第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，第二蒸镀开口的开口大小与第一蒸镀开口的开口大小相同，即第一蒸镀开口的横截面的大小与第二蒸镀开口的横截面的大小相同。或平坦层3仅设于图5中的支撑条24之上，在支撑条24与纵杆11围绕形成的第一蒸镀开口的位置之上不设置平坦层3，从而在平坦层3上形成与第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，第二蒸镀开口的开口大小与第一蒸镀开口的开口大小相同，即第一蒸镀开口的横截面的大小与第二蒸镀开口的横截面的大小相同。
参照图6所示的本发明的掩膜组件的局部结构示意图；平坦层3的背离支撑部2的一面为平面，掩膜板4设于平坦层3的背离支撑条24的一面，即掩膜板4设于平坦层3的平面上。请再次参照图2所示。通过平面支撑掩膜板4，使掩膜板4上的掩膜条不会因为自身重量以及强度不够而产生中部下垂，使掩膜条与基板6间不存在缝隙，在蒸发源7蒸镀过程中不会引起相邻子像素之间混色，提高产品良率。而且平坦层3能够修复支撑部2表面不平整，从而避免支撑部2表面不平整引起的掩膜板4的损坏。
进一步的，本发明还提供了一种掩膜组件的制作方法，参照图7所示的本发明掩膜组件的制作方法的流程示意框图；该制作方法可以包括以下步骤：
步骤S10，提供一框架1。
步骤S20，在所述框架1内固定支撑部2，所述支撑部2上设置有多个第一蒸镀开口。
步骤S30，在所述支撑部2之上形成预聚体溶液，将所述预聚体溶液热固化形成平坦层3，所述平坦层3的背离所述支撑部2的一面为平面，所述平坦层3上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同。
步骤S40，在所述平坦层3之上安装掩膜板4。
下面对该掩膜组件的制作方法的各个步骤进行详细说明。
步骤S10，提供一框架1。
框架1的具体结构上述已经进行了详细说明，因此，此处不再赘述。
步骤S20，在所述框架1内固定支撑部2，所述支撑部2上设置有多个第一蒸镀开口。
支撑部2的具体结构上述已经进行了详细说明，因此，此处不再赘述。
在本示例实施方式中，框架1上设置有沟槽，支撑条24或第一支撑条22和第二支撑条23可以通过焊接方式固定在框架1上对应的沟槽内。当然，也可以是是其他方式如卡合等。
步骤S30，在所述支撑部2之上形成预聚体溶液，将所述预聚体溶液热固化形成平坦层3，所述平坦层3的背离所述支撑部2的一面为平面，所述平坦层3上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同。
在本示例实施方式中，可以将固定有支撑部2的框架1放置在一密封容器内，密封容器的底部平整，密封容器放置在一水平平台上，然后可以将预聚体溶液喷、洒或浇在支撑部2之上；预聚体溶液受重力的影响，自然流平。在预聚体溶液凝固前可以进行抽真空(即将密封容器进行抽真空)以去除预聚体溶液中残留的气泡，有利于形成更加平整的平坦层3。然后，对预聚体溶液进行固化，固化可以在常温下进行，也可以是热固化，热固化温度大约为50～90℃，热固化时间大约为30～60分钟，当然，温度和时间是成反比的，即温度越高时间越短，反之温度越低时间越长。
由于平坦层3是通过热固化预聚体溶液形成的，预聚体溶液为液体只能形成在实体物体的上表面，使平坦层3上的多个第二蒸镀开口与第一蒸镀开口对应，且第二蒸镀开口的开口大小与第一蒸镀开口的开口大小相同，即第一蒸镀开口的横截面的大小与第二蒸镀开口的横截面的大小相同。而且液体形成的平面的平面度较高，热固化后形成的平坦层3的平面度也较高。
在本发明的另一示例实施方式中，参照图8所示的在支撑部2之上形成预聚体溶液的另一示例实施方式的结构示意图。也可以将固定有支撑部2的框架1放置在存放有预聚体溶液8的容器5内，容器5的底部平整，容器5放置在一水平平台上，并使预聚体溶液8淹没支撑部2，即预聚体溶液8的液面高于支撑部2的高度；然后缓慢的将固定有支撑部2的框架1从容器5中取出。参照图9所示的从图8中的容器5中取出支撑部2后的结构示意图。由于预聚体溶液8具有一定的粘度，预聚体溶液8会在支撑部2表面形成一个平坦层3。然后，对预聚体溶液8进行固化，固化可以在常温下进行，也可以是热固化，热固化温度大约为50～90℃，热固化时间大约为30～60分钟，当然，温度和时间是成反比的，即温度越高时间越短，反之温度越低时间越长。
在本发明的再一示例实施方式中，也可以将固定有支撑部2的框架1放置在存放有预聚体溶液8的容器5内，并使预聚体溶液8淹没支撑部2，即预聚体溶液8的液面高于支撑部2的高度；然后使容器5内的预聚体溶液8从容器5底部缓慢流出；由于预聚体溶液8具有一定的粘度，预聚体溶液8会在支撑部2表面形成一个平坦层3。然后，对预聚体溶液8进行固化，固化可以在常温下进行，也可以是热固化，热固化温度大约为50～90℃，热固化时间大约为30～60分钟，当然，温度和时间是成反比的，即温度越高时间越短，反之温度越低时间越长。
步骤S40，在所述平坦层3之上安装掩膜板4。
在本示例实施方式中，掩膜板4为目前使用的高精度金属掩膜板。
上述所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中，如有可能，各实施例中所讨论的特征是可互换的。在上面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组件、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明的各方面。
本说明书中使用“约”“大约”的用语通常表示在一给定值或范围的20％之内，较佳是10％之内，且更佳是5％之内。在此给定的数量为大约的数量，意即在没有特定说明的情况下，仍可隐含“约”“大约”“大致”“大概”的含义。
虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。其他相对性的用语，例如“高”“低”“顶”“底”等也作具有类似含义。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。
本说明书中，用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。
应可理解的是，本发明不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本发明能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本发明的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本发明延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本发明的多个可替代方面。本说明书所述的实施方式说明了已知用于实现本发明的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本发明。

Claims (9)

1.一种掩膜组件，其特征在于，包括：
框架；
支撑部，固定于所述框架内，所述支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；
平坦层，设于所述支撑部之上，所述平坦层的背离所述支撑部的一面为平面，所述平坦层上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同；
掩膜板，设于所述平坦层的背离所述支撑部的一面；
所述平坦层的材质为具有弹性的预聚体。
2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述预聚体包括二甲基硅氧烷、硫化硅橡胶、硅烷偶联剂中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述支撑部包括平行设置的多个支撑条，所述支撑条的两端固定在所述框架上。
4.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述支撑部包括：
支撑框，固定于所述框架内；
多个第一支撑条，相互平行设置，所述第一支撑条的两端固定在所述支撑框上；
多个第二支撑条，相互平行设置，所述第二支撑条的两端固定在相邻两个所述第一支撑条上或所述支撑框和所述第一支撑条上。
5.一种掩膜组件的制作方法，其特征在于，包括：
提供一框架；
在所述框架内固定支撑部，所述支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；
在所述支撑部之上形成预聚体溶液，将所述预聚体溶液固化形成具有弹性的平坦层，所述平坦层的背离所述支撑部的一面为平面，所述平坦层上设置有多个与所述第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口，且所述第二蒸镀开口的开口大小与所述第一蒸镀开口的开口大小相同；
在所述平坦层之上安装掩膜板。
6.根据权利要求5所述的掩膜组件的制作方法，其特征在于，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将预聚体溶液喷、洒或浇在所述支撑部之上；
在所述预聚体溶液固化之前进行抽真空以去除预聚体溶液中的气泡。
7.根据权利要求5所述的掩膜组件的制作方法，其特征在于，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将固定有所述支撑部的所述框架放置在存放有预聚体溶液的容器内，并使所述预聚体溶液淹没所述支撑部；
将固定有所述支撑部的所述框架从所述容器中取出。
8.根据权利要求5所述的掩膜组件的制作方法，其特征在于，在所述支撑部之上形成预聚体溶液，包括：
将固定有所述支撑部的所述框架放置在存放有预聚体溶液的容器内，并使所述预聚体溶液淹没所述支撑部；
使所述容器内的所述预聚体溶液从所述容器底部流出。
9.根据权利要求5所述的掩膜组件的制作方法，其特征在于，所述固化的温度为50~90℃，时间为30~60分钟。
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