CN113388809B - 一种掩膜版 - Google Patents

Abstract

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版。该掩膜版包括板体，板体上设置有凸起部，凸起部为导电材质，凸起部用于与蒸镀材料接触，且凸起部贯穿蒸镀材料；综上所述，本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况，与此同时，还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点，或者玻璃基板由于其本身材质较薄，玻璃基板上的静电过大导致玻璃基板破片的情况。

Description

一种掩膜版

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版。

背景技术

有机发光显示器(Organic Light Emitting Display，简称OLED)具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制作工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴的应用技术。在OLED显示基板制造过程中，真空蒸镀工艺是一项非常重要和关键的技术，该工艺通常利用掩膜版作模具，有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜版上的镂空的掩膜图形沉积到衬底基板上形成所需图案，作为有机发光层，用于实现发光。

但是，现有技术在蒸镀过程中与掩膜版接触的玻璃基板静电逐渐增加，存在玻璃基板破片或玻璃基板电路被静电击穿的可能。

发明内容

本申请的目的在于提供一种掩膜版。

(一)技术方案

为实现上述目的，本发明提供了一种掩膜版，包括板体，所述板体上设置有凸起部，所述凸起部用于与蒸镀材料接触，且所述凸起部贯穿所述蒸镀材料。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述板体上设置有支撑件，所述凸起部设置于所述支撑件背离所述板体的表面上。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述支撑件通过半刻工艺形成所述凸起部。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述凸起部设置有多个。

作为本技术方案的可选方案之一，其中靠近所述支撑件边缘的所述凸起部与所述支撑件的边缘之间存在间距。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述间距大于所述支撑件宽度的百分之五倍。

作为本技术方案的可选方案之一，其中各所述凸起部均匀间隔布置。

作为本技术方案的可选方案之一，其中沿同一方向布置的相邻两所述凸起部在垂直于其布置方向上对称设置。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述凸起部垂直所述板体厚度方向的截面可以为三角形、菱形、漏斗形、芒星形、圆形或多边形。

作为本技术方案的可选方案之一，其中所述截面存在至少一个锐角。

(二)有益效果

本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：

本发明提供了一种掩膜版，该掩膜版包括板体，所述板体上设置有凸起部，所述凸起部用于与蒸镀材料接触，且所述凸起部贯穿所述蒸镀材料；综上所述，本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况，与此同时，还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点，或者玻璃基板由于其本身材质较薄，玻璃基板上的静电过大导致玻璃基板破片的情况。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请一个优选的实施例中示出在蒸镀过程中不同玻璃基板上的静电量变化的折线图；

图2是本申请一个优选的实施例中示出掩膜版的整体结构示意图；

图3是本申请一个优选的实施例中示出掩膜版的图2中A部分的局部放大图；

图4是本申请一个优选的实施例中示出掩膜版的主要用于体现凸起部的结构示意图；

图5是本申请一个优选的实施例中示出玻璃基板上的静电量变化的折线图(一)；

图6是本申请一个优选的实施例中示出玻璃基板上的静电量变化的折线图(二)。

图中：1、板体；2、凸起部；3、蒸镀材料；4、支撑件；5、间距；6、锐角；7、玻璃基板。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

而且，术语“包括”、“包含”和“具有”以及他们的任何变形或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明：

为了解决上述技术问题，如图1-图6所示，本申请实施例提供一种掩膜版，包括板体1，所述板体1上设置有凸起部2，所述凸起部2为导电材质，所述凸起部2用于与蒸镀材料3接触，且所述凸起部2贯穿所述蒸镀材料3。

在蒸镀过程中，通过将所述凸起部2与所述蒸镀材料3接触并使得所述凸起部2贯穿所述蒸镀材料3，并通过所述凸起部2的导电材质从而为所述蒸镀材料3表面的电荷提供导出路径，避免所述蒸镀材料3上的电荷附着到所述掩膜版上，从而使得与所述掩膜版接触的玻璃基板7上的静电逐渐增加导致由玻璃基板7形成的显示面板上出现暗点；或者玻璃基板7由于其本身材质较薄，普遍玻璃基板7的厚度在0.5mm左右，若玻璃基板7上的静电过大可能会导致玻璃基板7破片；或者由于玻璃基板7上存在电路，若玻璃基板7上的静电放电可能会造成玻璃基板7上电路短路的情况；或者玻璃基板7上的静电过多存在静电放电的情况从而击穿显示面板上的其他膜层从而造成封装失效的情况，因而，降低玻璃基板7上的静电量是十分重要的。

在一个优选的实施例中，所述凸起部2贯穿所述蒸镀材料3，根据现有工艺以及加工能力等限制，由于所述蒸镀材料3的厚度为纳米级，而所述凸起部2的厚度至少为微米级，故所述凸起部2的厚度远大于所述蒸镀材料3的厚度。且将所述凸起部2贯穿所述蒸镀材料3设置使得所述蒸镀材料3在每一个厚度方向上均可以与所述凸起部2接触，并通过所述凸起部2为静电提供导出的途径。

在一个优选的实施例中，所述板体1上设置有支撑件4，所述凸起部2设置于所述支撑件4背离所述板体1的表面上。通过所述支撑件4的设置从而对所述板体1起到支撑固定的作用，同时在蒸镀过程中，将所述支撑件4设置于所述板体1和所述蒸镀材料3之间，还可以将所述板体1与所述蒸镀材料3分隔开，进而使得位于所述板体1背离所述支撑件4一侧的表面上的所述玻璃基板7远离所述蒸镀材料3，从而减小所述蒸镀材料3上的电荷运动至玻璃基板7上，保证玻璃基板7的可靠性。需要说明的是，本公开实施例对支撑件4的数量不作限制，即本领域普通技术人员可根据实际需求从而设置数量不同的支撑件4，例如在所述板体1上设置一个所述支撑件4，或在所述板体1上设置多个所述支撑件4等。

在一个优选的实施例中，所述支撑件4通过半刻工艺形成所述凸起部2。通过半刻工艺设计在所述支撑件4上形成所述凸起部2，方便加工的同时还可以保证所述凸起部2的稳定性。需要说明的是，通过半刻工艺在所述支撑件4上形成所述凸起部2仅是本公开的一个可选方案，在实际生产制造过程中，本领域的普通技术人员还可以采用一体成型或可拆卸连接等方式在支撑件4上设置上述凸起部2。

举例来说，所述凸起部2可拆卸的设置于所述支撑件4上。本公开实施例对凸起部2的可拆卸方式不作限制，可选地，所述支撑件4上设置有卡槽，所述凸起部2上设置有卡扣，通过将卡扣卡接于卡槽中从而将凸起部2固定与支撑件4上。同样地，通过卡接的连接方式，当掩膜版不需要使用凸起部2的时候还可以将凸起部2从板体1上拆卸下来，便于掩膜版的其他使用用途，从而提高掩膜版使用的广泛性。

在一个具体的实施例中，所述凸起部2的半刻深度为10um-50um。通过限制所述凸起部2的半刻深度可以使得所述凸起部2既可以在厚度方向上贯穿所述蒸镀材料3，同时还可以保证所述支撑件4的自身的功能。优选的，所述凸起部2的半刻深度为20um。

在一个具体的实施例中，所述凸起部2设置有多个。通过多个所述凸起部2的设置从而将所述蒸镀材料3的表面在多个不同的区域均被所述凸起部2贯穿设置，从而将多个不同区域的所述蒸镀材料3的厚度方向上提供多个静电导出路径。通过多个所述凸起部2提供的多个静电导出路径可以提高单位时间内所述蒸镀材料3上被导出的静电的数量，进而减小掩膜版上附着的静电的量增加的可能性。

在一个优选的实施例中，掩膜版的上方设置有玻璃基板7，掩膜版的下方设置有蒸镀材料3。掩膜版在蒸镀过程中，如图1所示，图中展示了不同块玻璃基板7在蒸镀过程中随工艺的变化，玻璃基板7所带静电量变化的折线图。图中展示了当玻璃基板7经过EV8或EVA的时候玻璃基板7上的静电就会逐渐增加。然而玻璃基板7上静电的增加就会导致玻璃基板7上的电路被击穿或玻璃基板7发生碎片的可能性，从而影响玻璃基板7的可靠性。然而蒸镀材料3上的电荷如果附着到掩膜版上，就会导致与掩膜版接触的玻璃基板7静电逐渐增加。

为了解决上述技术问题，在本实施例中，参照图2-图4，通过在掩膜版的所述支撑件4上设置所述凸起部2，所述凸起部2位于所述支撑件4背离所述板体1的表面上。通过半刻工艺将所述凸起部2形成于所述支撑件4上，使得在蒸镀过程中，所述凸起部2与所述蒸镀材料3接触并贯穿所述蒸镀材料3，使得在所述蒸镀材料3的各个厚度方向上均可以与所述凸起部2相接触，从而实现掩膜版的静电的导出。为了增加静电导出途径，在本实施例中，对应的，所述凸起部2设置有多个。通过多个所述凸起部2的设置，将所述蒸镀材料3的多个对应所述凸起部2的位置均被贯穿，从而使得所述蒸镀材料3的多个不同位置的各个厚度方向上均可以与所述凸起部2相接触，从而给予了所述蒸镀材料3上的静电提供了多个导出路径，提高静电导出的数量，减小静电附着所述玻璃基板7上的静电的数量；综上所述，本申请采用凸起部2贯穿蒸镀材料3的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部2为蒸镀材料3上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板7上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板7表面静电过大导致玻璃基板7破碎或使得玻璃基板7电路击穿造成短路等情况。

在另一个具体的实施例中，靠近所述支撑件4边缘的所述凸起部2与所述支撑件4的边缘之间存在间距5。通过所述间距5的设置，保证支撑件4边缘的能力。具体地，随着间距5的变小会导致支撑件4的承接能力和显示屏张网精度的降低，而随着间距5的增加也会使得支撑件4的承接能力和显示屏张网精度的提高。

在一个优选的实施例中，所述间距5大于所述支撑件4宽度的百分之五倍。通过限制间距5的大小从而保证支撑件4的承接能力，保证支撑件4的功能的可靠性和稳定性。同时，由于支撑件4是通过其自身的宽度方向定义由支撑件4组成的显示面板的显示边界，进而间距5的大小主要用于限定靠近支撑件4宽度方向两侧的凸起部2的位置。需要说明的是，在本申请中，所述间距5的具体距离值在实际使用过程中，还可以根据不同需求等进行选择，而本申请中限定的所述间距5大于所述支撑件4宽度的百分之五倍，仅是本申请基于支撑件4的承接能力和显示屏张网精度从而进行的限定，然而在实际使用中，可以根据不同的需求，从而选择间距5小于支撑件4宽度的百分之五倍的间距5数值，其在放弃一定的支撑件4的承接能力和显示屏张网精度下而满足了用户的其他的需求也同样是在本申请的保护范围之内的。同样地，由于支撑件4的长度方向上不会定义由支撑件4组成的显示面板的显示边界，因为位于支撑件4长度方向边缘的凸起部2与支撑件4长度方向边缘的距离不会影响支撑件4的性能，因而，本领域技术人员在实际生产、制造、使用的过程中可以将位于支撑件4长度方向边缘的凸起部2与支持件长度方向边缘的距离设置的较小或完全贴近支撑件4的边缘以满足用户的不同需求的情况，且此时的设置形式的掩膜版也是在本公开实施例的保护范围之内的。但是本申请基于对加工方式、实际使用等情况的考虑，优选的设置形式为，位于支撑件4长度方向边缘的凸起部2与支撑件4长度方向的边缘存在一定的间距5。

在一个具体的实施例中，各所述凸起部2均匀间隔布置。通过将各凸起部2设置为均匀间隔的方式，从而使得各凸起部2有序的布置于支撑件4上，能够提高凸起部2的美观。同时，均匀间隔布置的方式还可以方便凸起部2的加工成型。而当凸起部2选择现有技术中的一些固定方式例如焊接、粘接等的方式设置于支撑件4上时，通过将凸起部2的均匀间隔布置还便于设置模具，提高凸起部2设置于支撑件4上的工作效率和工作时间。

在一个优选的实施例中，沿同一方向布置的相邻两所述凸起部2在垂直于其布置方向上对称设置。通过将各相邻凸起部2设置于支撑件4上的摆放角度设置为不同，进一步地加强支撑件4的受力能力，在保证凸起部2导出静电能力的情况下，还可以提高支撑件4的可靠性。

在一个具体的实施例中，所述凸起部2垂直所述板体1厚度方向的截面可以为三角形、菱形、漏斗形、芒星形、圆形或多边形。需要说明的是，本公开实施例不限制凸起部2的具体形状，故所述凸起部2在垂直于所述板体1厚度方向的截面的形状可以为现有技术中的任意形状。以凸起部2可以穿过蒸镀材料3为主，并可通过凸起部2的周侧与蒸镀材料3的接触，进而增加支撑件4与掩膜版的接触面积，并贯穿蒸镀材料3，从而增加静电导出途径。同样地，在本公开实施例中不限制各个凸起部2的具体形状，即各所述凸起部2的形状可以完全相同，或部分相同，或各不相同。

在一个优选的实施例中，所述凸起部2的边角设置有倒角，通过倒角的设置使得凸起部2在蒸镀过程中倒角可以对蒸镀材料3起到刺破的效果，便于为静电提供导出能力。

在一个优选的实施例中，所述截面存在至少一个锐角6。在所述截面存在锐角6的情况下，在蒸镀过程中，凸起部2的锐角6部分就会对蒸镀材料3起到刺破的效果，从而便于凸起部2贯穿蒸镀材料3，方便生产加工的操作。

举例来说，参照图3，图中展示的所述凸起部2垂直所述板体1厚度方向的截面为三角形，且所述三角形具有两个锐角6。具体地，各所述凸起部2在所述支撑件4上均匀间隔分布，将位于沿同一所述支撑件4宽度方向上的各所述凸起部2分为一组，每一组包含多个间隔分布的所述凸起部2。具体地，每一组中包含四个所述凸起部2，且相邻两所述凸起部2的间隔为4mm，位于宽度方向两侧的两个所述凸起部2距离所述支撑件4宽度方向的两侧边缘之间的距离为1mm。所述支撑件4上在其长度方向上设置有多组凸起部2，且相邻两组所述凸起部2在所述支撑件4的宽度方向上呈对称设置。具体地，相邻两组所述凸起部2之间的最短距离为4mm。通过上述设置形式，在经过测试之后得到的测设结果如图5所述，需要说明的是图5中展示的是现有技术中在蒸镀过程中玻璃基板7上静电变化量和本申请提供的技术方案的玻璃基板7上静电变化量的折线图，图中可以看出本申请提供的掩膜版的结构在蒸镀过程中可以增加强化掩膜版的静电导出能力，玻璃基板7上的静电量比现有技术中的玻璃基板7上的静电量减少50％以上。

同样地，本申请在发明创造过程中还将凸起部2设置于所述板体1背离所述蒸镀材料3的一侧，所述凸起部2位于板体1背离蒸镀材料3一侧的支撑件4上，凸起部2通过半刻工艺形成于所述支撑件4上。参照图6，需要说明的是，图6展示的是将凸起部2设置于板体1背离蒸镀材料3的一侧时的技术方案提供的掩膜版在蒸镀过程中其上的玻璃基板7的静电变化量和现有技术在蒸镀过程中玻璃基板7上静电变化量的折线图，通过测试结果显示，上述设置形式玻璃基板7表面的静电均值基本无变化，由此，本申请提供的掩膜版将凸起部2设置于板体1靠近蒸镀材料3的一侧上。

综上所述，本发明提供了一种掩膜版，该掩膜版包括板体1，所述板体1上设置有凸起部2，所述凸起部2用于与蒸镀材料3接触，且所述凸起部2贯穿所述蒸镀材料3；综上所述，本申请采用凸起部2贯穿蒸镀材料3的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部2为蒸镀材料3上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板7上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板7表面静电过大导致玻璃基板7破碎或使得玻璃基板7电路击穿造成短路等情况，与此同时，还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板7形成的显示面板上出现暗点，或者玻璃基板7由于其本身材质较薄，玻璃基板7上的静电过大导致玻璃基板7破片的情况。

需要说明的是，图2-图4仅示出了掩膜版中涉及本公开实施中的具体结构特征，但不影响本领域技术人员了解其结构。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，若干个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

以上仅是本申请的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本申请。可理解的是，如有可能，各实施例中所讨论的特征是可互换的。尽管以上已详细说明了本申请，但清楚的是，可做出各种修改和变型而不脱离本申请的范围。对这些实施例的多种修改和变化对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种掩膜版，其特征在于，包括板体，所述板体包括呈相对设置的两侧，其中一侧用于与玻璃基板配合，另一侧用于与蒸镀材料配合；

所述板体朝向所述蒸镀材料的一侧设置有支撑件，所述支撑件背离所述板体的表面上设置有凸起部，所述凸起部为导电材质，所述凸起部用于与所述蒸镀材料接触，且所述凸起部沿其自身厚度方向贯穿所述蒸镀材料。

2.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述支撑件通过半刻工艺形成所述凸起部。

3.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述凸起部设置有多个。

4.如权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，靠近所述支撑件边缘的所述凸起部与所述支撑件的边缘之间存在间距。

5.如权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述间距大于所述支撑件宽度的百分之五倍。

6.如权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，各所述凸起部均匀间隔布置。

7.如权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，沿同一方向布置的相邻两所述凸起部在垂直于其布置方向上对称设置。

8.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述凸起部垂直所述板体厚度方向的截面可以为三角形、菱形、漏斗形、芒星形或圆形。

9.如权利要求8所述的掩膜版，其特征在于，所述截面存在至少一个锐角。

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