JP7324665B2 - サブマウント - Google Patents
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Description
さらに、前記第1金属膜の上面上であり、前記第1金属膜と前記はんだ膜との間に前記第2金属膜をさらに有するサブマウントとしてもよい。
また、前記第2金属膜は、前記第1金属膜より前記はんだ膜のぬれ性がよい表面金属層、該表面金属層の下層に位置し前記はんだ膜に対するバリア層及び該バリア層の下層であり前記第1金属膜と密着する密着層を備えたサブマウントとしてもよい。
また、前記第1金属膜の側面上に形成された第2金属膜と、前記第1金属膜の上面上に形成された前記第2金属膜とは、異なる材料により構成したサブマウントとしてもよい。
さらに、前記第2金属膜は、蒸着またはスパッタにより形成され、前記第2金属層の下層には、めっき法により形成され、前記第1金属膜より前記第1金属膜より前記はんだ膜のぬれ性がよい表面を備えた第3金属膜を有するサブマウントとしてもよい。
さらにまた、前記第1金属膜の側面は、前記第1金属膜の表面から前記基板に向かい広がる傾斜面としたサブマウントとしてもよい。
11 AlN基板
12a、12b 銅めっき
13a、13b、13c 積層膜
14a、14b AuSnはんだ膜
15a、15b Niめっき膜
21 レーザー素子
22 ステム
23a、23b Ti/Pt膜
24a、24b AuSn共晶
100 サブマウント
101 基板
102a、102b 銅めっき
103 はんだ膜
104 はんだ膜
Claims (6)
- 基板上に備えたはんだ膜に共晶組織を生成して支持基板と接合させるサブマウントであって、
前記基板の少なくとも一方の面に形成された第1金属膜と、
前記第1金属膜の上面上及び前記第1金属膜の周囲の前記基板上に形成され、前記はんだ膜を構成する材料成分を含む表面金属層と当該表面金属層の下層に位置し前記はんだ膜に対するバリア層とを含む積層膜と、を備え、
前記はんだ膜は前記第1金属膜の上面上に形成された前記積層膜上に形成され、
前記第1金属膜の側面上に、前記はんだ膜に対するバリア層として機能し前記第1金属膜より前記はんだ膜のぬれ性がよい表面を備えた第2金属膜を有することを特徴とするサブマント。 - 前記第1金属膜の周囲の前記基板上に形成された前記積層膜は、前記第1金属膜より厚みが小さいことを特徴とする請求項1に記載のサブマウント。
- 前記第1金属膜の周囲の前記基板上に形成された前記積層膜上にさらに前記はんだ膜を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のサブマウント。
- 前記はんだ膜はAuSnはんだであり、前記積層膜の前記バリア層はPt膜、Ni膜、Pd膜またはCo膜であり、前記表面金属層はAu膜であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のサブマウント。
- 前記第2金属膜は、Pd膜、Ni膜またはCo膜であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のサブマウント。
- 前記第1金属膜の側面は、前記第1金属膜の表面から前記基板に向かい広がる傾斜面であることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のサブマウント。
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