JP2007013044A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、半導体発光素子から発生した熱を効率良く支持基板に伝達でき、放熱性を向上させた発光装置を提供することにある。
【解決手段】本実施形態に係る発光装置は、発光端面から光を出射する半導体発光素子1と、半導体発光素子1を搭載する支持基板2と、半導体発光素子1と支持基板2との間に介在し、半導体発光素子1と支持基板2とを接合するはんだ層4と、はんだ層4が形成された領域以外の領域において半導体発光素子1と支持基板2との間に介在し、はんだ層4よりも熱伝導率の高い放熱層5とを有する。
【選択図】図2
【解決手段】本実施形態に係る発光装置は、発光端面から光を出射する半導体発光素子1と、半導体発光素子1を搭載する支持基板2と、半導体発光素子1と支持基板2との間に介在し、半導体発光素子1と支持基板2とを接合するはんだ層4と、はんだ層4が形成された領域以外の領域において半導体発光素子1と支持基板2との間に介在し、はんだ層4よりも熱伝導率の高い放熱層5とを有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、発光装置に関し、特に、半導体発光素子が支持基板上に搭載された発光装置に関する。
半導体レーザ素子は、現在、光通信、高密度光記録あるいはプリンターなどへ広く応用されている。更なる発展のためには、動作電流の低減化、低ノイズ化、低コスト化、さらに高出力、高速動作、高温動作時の高い信頼性などを実現する必要がある。
半導体レーザ素子の高出力化は市場の要求が大きいが、それに伴う発熱に関連する問題については、半導体レーザ素子の多方面にわたる利用を制限している。半導体レーザ素子では、主に活性層から発熱が起こる。活性層の動作温度が上昇すると、発光出力、発光効率および寿命などが低下し、さらに、半導体レーザから生じる光の波長を長波長化させるという問題がある。
活性層の動作温度の上昇を抑制するため、半導体レーザ素子からの発熱を効率よく逃がす必要がある。このため、半導体レーザ素子は、熱伝導率の高い金属製のヒートシンクに実装される。しかしながら、ヒートシンク上に直接半導体レーザ素子を搭載すると、金属の熱膨張率が半導体レーザ素子よりもかなり大きいことから応力が発生し、極端な場合には応力のために半導体レーザ素子に割れが生じる場合がある。
このため、従来では、半導体レーザ素子の基板の熱膨張率に近いサブマウント(支持部材)上に半導体素子を搭載し、当該半導体素子を搭載したサブマウントをヒートシンクに接合させている(例えば、特許文献1参照)。
上記の支持部材と、半導体レーザ素子とははんだ層により接合される。従来では、半導体レーザ素子1と支持部材の接合面の全面にはんだ層を形成している。半導体レーザ素子は熱に弱いことから、はんだ層としてはSnのような低融点の材料が使用される。
特開2002−368020号公報
半導体レーザ素子の接合には低融点かつ熱伝導率の高いはんだ材料が理想的であるが、低融点のはんだ材料は、一般に熱伝導率の低いものが多い。このため、半導体レーザ素子から発生した熱が効率良く支持部材およびヒートシンクに伝達されず、はんだ層が半導体レーザ素子の活性層の温度上昇抑制の妨げとなってしまっていた。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、半導体発光素子から発生した熱を効率良く支持基板に伝達でき、放熱性を向上させた発光装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明の発光装置は、発光端面から光を出射する半導体発光素子と、前記半導体発光素子を搭載する支持基板と、前記半導体発光素子と前記支持基板との間に介在し、前記半導体発光素子と前記支持基板とを接合するはんだ層と、前記はんだ層が形成された領域以外の領域において前記半導体発光素子と前記支持基板との間に介在し、前記はんだ層よりも熱伝導率の高い放熱層とを有する。
上記の本発明の発光装置では、半導体発光素子と支持基板との間には、はんだ層および放熱層が介在している。半導体発光素子と支持基板との接合力は、はんだ層により維持される。半導体発光素子と支持基板との間には、はんだ層よりも熱伝導率の高い放熱層が介在していることから、半導体発光素子から発生した熱は、放熱層を通じて効率良く支持基板へ伝達される。
本発明によれば、半導体発光素子から発生した熱を効率良く支持基板に伝達でき、放熱性を向上させた発光装置を実現できる。
以下に、本発明の発光装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態に係る発光装置の構成の一例を示す斜視図である。
図1は、本実施形態に係る発光装置の構成の一例を示す斜視図である。
発光装置は、半導体レーザ素子1と、半導体レーザ素子1を搭載する支持基板(サブマウント)2とを有する。半導体レーザ素子1を搭載した支持基板2は、ヒートシンク6上に搭載されて使用される。
半導体レーザ素子1は、例えば赤色レーザ発光素子や青色半導体レーザ発光素子である。赤色半導体レーザ素子の場合には、ガリウム砒素(GaAs)よりなる基板上に、AlGaInP系化合物半導体よりなる半導体層を有する。半導体層は、活性層10を含む。なお、AlGaInP系化合物半導体とは、3B族元素のうちアルミニウム(Al)およびガリウム(Ga)の少なくとも一方と、5B族元素のうちインジウム(In)およびリン(P)の少なくとも一方を含む3あるいは4元系半導体のことであり、例えばAlGaInP混晶、GaInP混晶またはAlInP混晶などが挙げられる。これらは、必要に応じて珪素(Si)またはセレン(Se)などのn型不純物、または、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)または炭素(C)などのp型不純物を含有している。
半導体レーザ素子1は、対向する第1面1aおよび第2面1bを有し、これらの面1a,1bに直交する面が発光端面1cとなる。図示はしないが、第1面1a側にはp側電極が形成されており、第2面1b側にはn側電極が形成されている。本実施形態では、半導体レーザ素子1の活性層10に近い第1面1aを支持基板2に向けた状態で、半導体レーザ素子1が支持基板2上に搭載されている。これは、活性層10により近い第1面1aを支持基板2に接合させることにより、放熱特性を向上させるためである。ただし、第2面1bを支持基板2に接合させてもよい。
支持基板2の材料は、熱伝導率が高く、熱膨張係数が半導体レーザ素子1を構成する材料の熱膨張係数に近似していることが好ましい。支持基板2は、例えば窒化アルミニウム(AlN)焼結体からなる。AlN(熱膨張係数5.7×10−6/K、熱伝導率200W/mK)は、半導体レーザ素子1を構成するGaAs(熱膨張係数5.7×10−6/K、熱伝導率6W/mK)の熱膨張係数に近く、熱伝導率も高いからである。
支持基板2としては、他のセラミックス、半導体、あるいは金属を使用してもよい。セラミックスとしては、例えば上記した窒化アルミニウム(AlN)、酸化アルミニウム(Al2O3)、炭化珪素(SiC)、窒化ケイ素(SiN)などを主成分としたものが用いられる。半導体としては、例えばシリコン(Si)を主成分としたものが用いられる。金属としては、例えば銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)およびこれらを含む合金が用いられる。
支持基板2にセラミックスを用いた場合には、その上面とそれに対向する下面との間を接続するようなスルーホール、あるいはその内部に導体が充填されたビアホールが形成されていてもよい。ビアホールに充填される導体の主成分としては、望ましくは高融点金属、特にタングステン(W)やモリブデン(Mo)を用いることができる。
支持基板2上には、金属電極層3が形成されている。金属電極層3は、半導体レーザ素子1と支持基板2の接合面と、金線7との接合部に形成されている。なお、支持基板2として金属を用いる場合には、金属電極層3は形成されていなくてもよい。金属電極層3としては、例えば白金が用いられる。
ヒートシンク6は、熱伝導率の高い金属材料により形成される。ヒートシンク6は、例えば銅(Cu)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、これらの金属を含む合金を用いる。なお、はんだ接合を容易にするために、ヒートシンク6の表面には、ニッケル(Ni)、金(Au)、またはこれらの金属を含む膜を形成することが好ましい。
金属電極層3には、金線7の一端がワイヤボンディングされている。半導体レーザ素子1の第2面1bには、金線8がワイヤボンディングされている。金線7の他端は、例えばヒートシンク6にワイヤボンディングされる。なお、支持基板2が金属材料からなる場合には、金線7を設けなくてもよい。金線8の他端は、図示しないパッケージの端子に接続される。金線7には正電圧が印加され、金線8には負電圧が印加される。これにより、半導体レーザ素子1のn側電極が形成された第2面1bに負電圧がかかり、半導体レーザ素子1のp側電極が形成された第1面1aに正電圧がかかるため、半導体レーザ素子1に順方向バイアスが印加されて、半導体レーザ素子1の発光端面1cからレーザ光が出射される。
図2(a)は本実施形態に係る発光装置の上面図であり、図2(b)は図2(a)のA−A’線に沿った断面図である。なお、図2では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
半導体レーザ素子1の第1面1aと、支持基板2上の金属電極層3との間には、はんだ層4および放熱層5が介在している。放熱層5は、半導体レーザ素子1と支持基板2との間であって、半導体レーザ素子1からの発熱の大きい領域に配置することが好ましい。半導体レーザ素子1では発光端面1c側の方が発熱量が大きくなるものが多いため、本実施形態では、放熱層5は発光端面1cに近い側に設けられている。
はんだ層4は、半導体レーザ素子1と支持基板2上の金属電極層3とを接合するために用いられる。はんだ層4としては、低融点はんだ材料、例えば融点が300℃以下のはんだ材料が用いられる。例えば、はんだ層4は、銀錫(AgSn)はんだからなる。なお、はんだ層4として、錫(Sn)はんだ、インジウム(In)はんだ、金錫(AuSn)はんだ等の低融点はんだ材料を用いてもよい。
放熱層5は、はんだ層4よりも熱伝導率の高い材料により形成される。放熱層5は、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)等の金属材料により形成される。放熱層5の融点ははんだ層4の融点よりも高いことから、はんだ層4の溶融時において放熱層5は溶融しないため、半導体レーザ素子1および支持基板2に対して接触した状態にある。
次に、上記した発光装置の製造方法について説明する。
まず、支持基板2上に、金属電極層3を蒸着法やスパッタリング法により形成し、金属電極層3をパターニングして、半導体レーザ素子1の搭載部および金線7の接続部にのみ金属電極層3を残す。パターニングとしては、レジストマスクを用いたエッチング法、あるいはリフトオフ法が用いられる。
次に、金属電極層3上にはんだ層4を蒸着法やスパッタリング法により形成する。その後、はんだ層4をパターニングして、半導体レーザ素子1の搭載部の一部にのみはんだ層4を残す。続いて、金属電極層3およびはんだ層4上に、蒸着法やスパッタリング法により放熱層5を形成し、放熱層5をパターニングして、半導体レーザ素子1の搭載部であってはんだ層4の形成されていない部位に放熱層5を残す。ここで、はんだ層4と放熱層5の厚さが同じとなるように形成する。はんだ層4および放熱層5の形成順序は上記と逆でもよい。
次に、半導体レーザ素子1の第1面1aを支持基板2側に向けた状態で、半導体レーザ素子1を支持基板2に圧接する。圧接した状態で加熱処理を行うことにより、半導体レーザ素子1と支持基板2の間に介在するはんだ層4を溶融し、半導体レーザ素子1と支持基板2を接合する。このとき、放熱層5の融点ははんだ層4の融点よりも高いことから、放熱層5は溶融しない。
ヒートシンク6上には、予めはんだ層を形成しておく。このはんだ層は、はんだ層4よりも融点が低いことが好ましい。そして、半導体レーザ素子1を搭載した支持基板2をヒートシンク6上に圧接する。圧接した状態で加熱処理を行うことにより、支持基板2とヒートシンク6の間に介在するはんだ層を溶融し、支持基板2とヒートシンク6とを接合させる。このとき、はんだ層4は溶融しないため、半導体レーザ素子1の位置ずれが発生することもない。
続いて、ワイヤボンディング法により、金属電極層3に金線7の一端を接合し、金線7の他端をヒートシンク6に接合する。また、半導体レーザ素子1の第2面1bに金線8の一端を接合し、金線8の他端を図示しない端子に接合する。ワイヤボンディング法では、対象物に金線を押し付けて、熱および超音波振動を与えることにより両者を接合する。
以上により、本実施形態に係る発光装置が製造される。
次に、本実施形態に係る発光装置の効果について説明する。
半導体レーザ素子1に順方向バイアスを印加すると、半導体レーザ素子1の発光端面1cから所望の波長のレーザ光が出射される。半導体レーザ素子1の動作において、半導体レーザ素子1から熱が発生する。半導体レーザ素子1では、特に活性層10から発熱が生じ、発光端面1c側において温度が上昇する傾向がある。
本実施形態では、半導体レーザ素子1と支持基板2の間であって発光端面1c側には、はんだ層4よりも熱伝導率の高い放熱層5を配置していることから、半導体レーザ素子1から発生した熱は、放熱層5により速やかに支持基板2に伝達され、さらにヒートシンク6へと熱が伝達される。半導体レーザ素子1からの熱を効率良く放散できることから、放熱性の高い発光装置を実現することができる。
放熱性を高めることにより、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇を抑制できることから、発光出力、発光効率および寿命などの低下を防止することができる。さらに、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇に伴うレーザ光の長波長化を抑制できることから、半導体レーザ素子1の出力特性が安定し、信頼性のある発光装置を実現することができる。
半導体レーザ素子1からの発熱が大きい領域にのみ放熱層5を配置し、他の領域にははんだ層4を配置していることから、半導体レーザ素子1と支持基板2との間での接合力を維持しつつ、放熱特性を向上させることができる。
また、例えば半導体レーザ素子1の第1面1aに形成されるn側電極として金を採用し、放熱層5として金を採用することにより、半導体レーザ素子1を支持基板2に圧接するのみで金が接合することから、半導体レーザ素子1と支持基板2との間において良好な接合力を得ることができる。なお、n側電極を複数の層により形成する場合には、最表面に金を配置すればよい。
(第2実施形態)
図3(a)は第2実施形態に係る発光装置の上面図であり、図3(b)は図3(a)のB−B’線に沿った断面図である。なお、図3では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
図3(a)は第2実施形態に係る発光装置の上面図であり、図3(b)は図3(a)のB−B’線に沿った断面図である。なお、図3では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
半導体レーザ素子1の第1面1aと、支持基板2上の金属電極層3との間には、はんだ層4および放熱層5が介在している。本実施形態では、半導体レーザ素子1と支持基板2との間には、活性層10に沿ったストライプ形状の放熱層5が配置されている。はんだ層4および放熱層5の材料は、第1実施形態と同様である。
次に、上記の第2実施形態に係る発光装置の効果について説明する。
半導体レーザ素子1に順方向バイアスを印加すると、半導体レーザ素子1の発光端面1cから所望の波長のレーザ光が出射される。半導体レーザ素子1の動作において、半導体レーザ素子1から熱が発生する。半導体レーザ素子1では、特に活性層10から発熱が生じるため、第1面1aにおいて活性層10に沿った領域が高温になるものが多い。
本実施形態では、半導体レーザ素子1と支持基板2の間であって活性層10に対応する領域には、はんだ層4よりも熱伝導率の高い放熱層5を配置していることから、半導体レーザ素子1から発生した熱は、放熱層5により速やかに支持基板2に伝達され、さらにヒートシンク6へと熱が伝達される。半導体レーザ素子1からの熱を効率良く放散できることから、放熱性の高い発光装置を実現することができる。
放熱性を高めることにより、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇を抑制できることから、発光出力、発光効率および寿命などの低下を防止することができる。さらに、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇に伴うレーザ光の長波長化を抑制できることから、半導体レーザ素子1の出力特性が安定し、信頼性のある発光装置を実現することができる。その他、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
(第3実施形態)
図4(a)は第3実施形態に係る発光装置の上面図であり、図4(b)は図4(a)のA−A’線に沿った断面図である。なお、図4では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
図4(a)は第3実施形態に係る発光装置の上面図であり、図4(b)は図4(a)のA−A’線に沿った断面図である。なお、図4では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
本実施形態では、放熱層5が配置される領域における金属電極層3は除去されている。放熱層5は電極としての機能を兼ねる。放熱層5は、例えば半導体レーザ素子1と支持基板2との間であって、発光端面1cに近い側に設けられている。なお、第2実施形態と同様に、活性層10に沿ってストライプ状の放熱層5を配置してもよい。はんだ層4は、金属電極層3上に形成されている。
上記の本実施形態に係る発光装置では、半導体レーザ素子1と支持基板2の間であって、半導体レーザ素子1の発熱が大きい領域に、金属電極層3を介在させずに放熱層5のみを介在させている。このため、金属電極層3の熱伝導率に関係なく、半導体レーザ素子1からの熱を効率良く放熱することができる。本実施形態は、特に金属電極層3よりも放熱層5の熱伝導率が大きい場合に効果的である。
放熱性を高めることにより、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇を抑制できることから、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
(第4実施形態)
図5(a)は第5実施形態に係る発光装置の上面図であり、図5(b)は図5(a)のB−B’線に沿った断面図である。なお、図5では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
図5(a)は第5実施形態に係る発光装置の上面図であり、図5(b)は図5(a)のB−B’線に沿った断面図である。なお、図5では、金線7,8およびヒートシンク6は省略している。
本実施形態では、放熱層5は、第1〜第3実施形態までの金属電極層3を兼ねる。すなわち、本実施形態では、単独の金属電極層3はない。はんだ層4が形成される部位の放熱層5は除去されている。これにより、支持基板2上に、厚さが略等しいはんだ層4と放熱層5が形成されている。半導体レーザ素子1と支持基板2との間の領域では、放熱層5は活性層10に沿ってストライプ状に配置されている。
上記の本実施形態に係る発光装置では、支持基板2上には、金属電極層3を設けずに放熱層5のみを設けている。このため、金属電極層3の熱伝導率に関係なく、半導体レーザ素子1からの熱を効率良く放熱することができる。本実施形態は、支持基板2として金属材料を用い、金属電極層を特に設ける必要がない場合に有効である。
放熱性を高めることにより、半導体レーザ素子1の活性層10の温度上昇を抑制できることから、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。本実施形態では、数値および材料の一例について説明したが、特にこれに限定されるものではない。本発明の半導体発光素子として、半導体レーザ素子1ではなく、発光ダイオードを用いることもできる。半導体レーザ素子1を搭載した支持基板2の使用形態については特に限定はない。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
1…半導体レーザ素子、1a…第1面、1b…第2面、1c…発光端面、2…支持基板、3…金属電極層、4…はんだ層、5…放熱層、6…ヒートシンク、7…金線、8…金線、10…活性層
Claims (8)
- 発光端面から光を出射する半導体発光素子と、
前記半導体発光素子を搭載する支持基板と、
前記半導体発光素子と前記支持基板との間に介在し、前記半導体発光素子と前記支持基板とを接合するはんだ層と、
前記はんだ層が形成された領域以外の領域において前記半導体発光素子と前記支持基板との間に介在し、前記はんだ層よりも熱伝導率の高い放熱層と
を有する発光装置。 - 前記半導体発光素子は対向する第1面および第2面を有し、前記半導体発光素子の活性層が前記第2面よりも第1面に近い位置に配置されており、
前記半導体発光素子は第1面側から前記支持基板上に搭載された
請求項1記載の発光装置。 - 前記放熱層は、前記半導体発光素子の発熱の大きい領域に配置された
請求項1記載の発光装置。 - 前記放熱層は、前記半導体発光素子と前記支持基板との間であって、前記半導体発光素子の発光端面側に配置された
請求項3記載の発光装置。 - 前記半導体発光素子は、ストライプ状の活性層を有し、
前記放熱層は、前記半導体発光素子の活性層に沿って、ストライプ状に配置された
請求項3記載の発光装置。 - 前記支持基板の前記半導体発光素子の搭載面上に、金属電極層が形成された
請求項1記載の発光装置。 - 前記金属電極層は、前記放熱層の配置領域において除去されており、前記支持基板と前記放熱層とが直接接触した
請求項6記載の発光装置。 - 前記金属電極層と前記放熱層が一体的に形成された
請求項6記載の発光装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009206390A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nec Electronics Corp | 半導体レーザ装置、ヒートシンク、および半導体レーザ装置の製造方法 |
JP7324665B2 (ja) | 2019-09-13 | 2023-08-10 | シチズンファインデバイス株式会社 | サブマウント |
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2005
- 2005-07-04 JP JP2005195069A patent/JP2007013044A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009206390A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nec Electronics Corp | 半導体レーザ装置、ヒートシンク、および半導体レーザ装置の製造方法 |
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