JP7249240B2 - ファンフィルタユニット監視制御システムおよびファンフィルタユニット監視制御方法 - Google Patents
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Description
クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御システムであって、各FFUの回転数を入力する回転数入力手段と、各FFUの回転数に基づいて全体風量を求める監視制御部を備え、前記監視制御部は、入力された各FFUの回転数を積算し、積算回転数からクリーンルームの全体風量を求めるものである。
クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御システムであって、各FFUの回転数を入力する回転数設定部と、入力された各FFUの回転数に基づいて各FFUを制御する監視制御部を備え、前記監視制御部は、入力された各FFUの回転数設定値を全台数分積算し、積算回転数が回転数警報設定値よりも大きい場合には、設定不可と判断し、警告画面信号を出力するものである。
図1において、クリーンルーム1の天井部には複数のFFU2が配置され、清浄な空気をクリーンルーム1の室内に吹き出す。クリーンルーム1は、各FFUの風量バランスにより成り立っている。室内の空気は、床部から吸い込まれ、外部からの空気と共に冷却装置5を通り、空気の戻り道であるリターンダクト4を通って天井部のFFU2へ戻り、循環する。一般的なFFU2は、HEPAフィルタ等の高性能フィルタとファンが一体化され、清浄空気を吹出す装置である。図において、FFU2はクリーンルーム1の天井に多数配置されており、室内の高清浄度を維持している。
S101で、各FFUの回転数を入力する。回転数の入力は、回転数設定部11で設定された各FFUの回転数設定値を入力してもよいし、或いは、各FFUから送られてきた回転数のデータを入力してもよい。
S102で、各FFUの回転数を積算して、全FFUの回転数の積算値を求める。
S103で、積算した全FFUの積算回転数から全体風量を求める。全体風量は、予め回転数と風量の関係を表すテーブルを作成しておき、このテーブルを参照することにより求めてもよいし、或いは、回転数と風量の関係式から計算により求めてもよい。全体風量は、全回転数にほぼ比例して増加する。
S104で、予め設定した風量の警報設定値と全体風量とを比較する。全体風量が風量警報設定値よりも大きい場合は、S105で、全体風量信号および警報信号を出力し、表示警報部13で全体風量および警報を表示する。全体風量が風量警報設定値以下の場合は、S106で、全体風量信号を出力し、表示警報部13で全体風量を表示する。
S202で、各FFUの回転数設定値を積算し、全FFUの回転数積算値を求める。
S203で、回転数積算値と、予め設定した回転数の警報設定値とを比較する。ここで、回転数の警報設定値は、全体風量の警報設定値に対応するものである。
回転数積算値が予め設定した回転数の警報設定値より大きい場合は、S204で設定不可と判断し、S205で警告画面の信号を出力し、表示警報部13に警告画面を表示する。
回転数積算値が予め設定した回転数の警報設定値以内の場合は、処理を終了する。
S302で、各FFUの回転数設定値を積算し、全FFUの回転数積算値を求める。
S303で、回転数積算値と、予め設定した回転数の警報設定値とを比較する。ここで、回転数の警報設定値は、全体風量の警報設定値に対応するものである。
回転数積算値が予め設定した回転数の警報設定値より大きい場合は、S304で警告画面の信号を出力し、表示警報部13に警告画面を表示する。
S305で、その設定値で回転数設定を行うかを確認し、続行する旨の入力があれば、設定を終了する。回転数設定を続行しない、すなわち設定値を修正する旨の入力があれば、S306で設定不可と判断し、S301の回転数設定のステップに戻る。
なお、S303で、回転数積算値が予め設定した回転数の警報設定値以内の場合は、処理を終了する。
2 FFU(ファンフィルタユニット)
3 FFU監視制御システム
4 リターンダクト
5 冷却装置
6 領域
10 監視制御部
11 回転数設定部
12 入出力部
13 表示警報部
21 風量警報設定値
22 総風量値(全体風量)
23 風量異常表示
Claims (15)
- クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御システムであって、
各FFUの回転数を入力する回転数入力手段と、各FFUの回転数に基づいて全体風量を求める監視制御部を備え、
前記監視制御部は、
入力された各FFUの回転数を積算し、積算回転数からクリーンルームの全体風量を求めるFFU監視制御システム。 - 請求項1に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記回転数入力手段は、各FFUの回転数を設定する回転数設定部であり、
前記監視制御部は、各FFUの回転数設定値を積算することを特徴とするFFU監視制御システム。 - 請求項1に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記回転数入力手段は、各FFUの回転数データを入力する入出力部であり、
前記監視制御部は、各FFUから送信される回転数データを積算することを特徴とするFFU監視制御システム。 - 請求項1に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記クリーンルームの全体風量を表示する表示部を備えることを特徴とするFFU監視制御システム。 - 請求項1に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記監視制御部は、
前記全体風量と風量警報設定値とを比較し、前記全体風量が風量警報設定値よりも大きい場合は、警報信号を出力することを特徴とするFFU監視制御システム。 - 請求項5に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記監視制御部は、更に、
前記全体風量と風量下限設定値とを比較し、前記全体風量が風量下限設定値よりも小さい場合は、警報信号を出力することを特徴とするFFU監視制御システム。 - 請求項5に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記警報信号を表示する表示部を備えることを特徴とするFFU監視制御システム。 - クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御システムであって、
各FFUの回転数を入力する回転数設定部と、入力された各FFUの回転数に基づいて各FFUを制御する監視制御部を備え、
前記監視制御部は、
入力された各FFUの回転数設定値を全台数分積算し、積算回転数が回転数警報設定値よりも大きい場合には、設定不可と判断し、警告画面信号を出力するFFU監視制御システム。 - 請求項8に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記監視制御部は、
積算した回転数設定値から全体風量を求め、全体風量が風量警報設定値よりも大きい場合には、設定不可と判断し、警告画面信号を出力するFFU監視制御システム。 - 請求項8に記載のFFU監視制御システムにおいて、
前記監視制御部は、
積算回転数が回転数警報設定値よりも大きい場合には、警告画面信号を出力し、回転数の設定を続行するかを確認し、続行しない場合には、設定不可と判断して各FFUの回転数の入力に戻ることを特徴とするFFU監視制御システム。 - クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御方法であって、
各FFUの回転数を入力するステップと、
監視制御部が、入力された各FFUの回転数を積算し、積算回転数からクリーンルームの全体風量を求めるステップと、
を備えるFFU監視制御方法。 - 請求項11に記載のFFU監視制御方法において、
前記各FFUの回転数の入力は、回転数設定部による各FFUの回転数の設定であることを特徴とするFFU監視制御方法。 - 請求項11に記載のFFU監視制御方法において、
前記各FFUの回転数の入力は、各FFUから送信された回転数データの入力であることを特徴とするFFU監視制御方法。 - 請求項11に記載のFFU監視制御方法において、更に、
前記全体風量と風量警報設定値とを比較し、前記全体風量が風量警報設定値よりも大きい場合は、警報信号を出力するステップを有することを特徴とするFFU監視制御方法。 - クリーンルームに設けた複数のFFUを監視制御するFFU監視制御方法であって、
回転数設定部から各FFUの回転数を入力するステップと、
監視制御部が、入力された各FFUの回転数設定値を積算し、積算回転数が回転数警報設定値よりも大きい場合には、設定不可と判断し、警告画面信号を出力するステップと、
を有するFFU監視制御方法。
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JP2019151243A JP7249240B2 (ja) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | ファンフィルタユニット監視制御システムおよびファンフィルタユニット監視制御方法 |
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