JP2002054830A

JP2002054830A - ファン運転制御システム

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Publication number: JP2002054830A
Application number: JP2000241158A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Ono; 恵一小野; Fumiyuki Tamura; 史之田村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2000-08-09
Filing date: 2000-08-09
Publication date: 2002-02-20
Anticipated expiration: 2020-08-09
Also published as: JP4235351B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数のファン付きフィルタユニットが設置され
たクリーンルームの管理負担を軽減する。【解決手段】監視センタ３００側の情報処理装置３０１
の内蔵ハードディスクには、(Ａ)各種類のフィルタから
の吹出し風の風速と、ファンを制御するための制御情報
とを対応付けるためのテーブル、(Ｂ)クリーンルーム４
００に配置された各ファン付きフィルタユニット１００
の種類と設定風速とを対応付けるためのテーブル、が格
納されている。監視センタ３００側の情報処理装置３０
１は、クリーンルーム４００に配置された各ファン付き
フィルタユニット１００の種類と設定風速とに対応する
制御情報を２つのテーブルから検索し、それらの制御情
報に基づき、各ファン付きフィルタユニット１００のモ
ータ回転数を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム設
置された複数のファン付きフィルタユニットのファン運
転制御技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】ダウンフロー方式のクリーンルームの天
井部には、ルーム内に清浄空気を供給するためのファン
付きフィルタユニットが複数設置されている。それらの
ファン付きフィルタユニットは、図１４に示すように、
ファン１２０１、ファン１２０１を回転させるモータ１
２００、これらが収納されたケース１２０２、ケース１
２０２に装着されたフィルタ(例えば、ＵＬＰＡフィル
タ、ＨＥＰＡフィルタ、ＰＴＦＥフィルタ等)１２０
３、等を備えている。ケース１２０２には、吸込み口１
２０２ａ、吸込み口１２０２ａに面した吹出し口１２０
２ｂが形成されている。ファン１２０１は、吸込み口１
２０２ａと吹出し口１２０２ｂとの間に、送風側を吹出
し口１２０２ｂに向けて配置され、フィルタ１２０３
は、ケース外側から吹出し口１２０２ｂにかぶさられて
いる。このような配置とされているため、モータ１２０
０の駆動によってファン１２０１が回転すると、外部の
空気Ａが吸込み口１２０２ａからケース内部に吸い込ま
れるとともに、ケース内部の空気Ｂが吹出し口１２０２
ｂのフィルタ１２０３を通過して外部に放出される。

【０００３】さて、クリーンルーム内の清浄度は、気流
の循環回数、すなわち、ファン付きフィルタユニットか
らの吹出し風量によって左右される。ところが、そのフ
ァン付きフィルタユニットは、図１５に示すように、フ
ィルタの種類(ＵＬＰＡフィルタ：Ultra Low Penetrati
on Air、ＨＥＰＡフィルタ：High Efficiency Particul
ate Air、ＰＴＦＥフィルタ：Poly Tetra Fluoro Ethyl
ene等)によって特性(定格処理風量、定格圧力損失等)が
異なる。したがって、各ファン付きフィルタユニットか
らの吹出し風量を所期のものとするために、クリーンル
ームの立ち上げ時等に、各ファン付きフィルタユニット
のファンをフィルタの種類に応じて調整しておく必要が
ある。例えば、ＤＣブラシレスモータをファン駆動源と
して用いている場合には、所期の吹出し風量に応じた回
転数でファンが回転するように、ＤＣブラシレスモータ
の回転数を調整しておく必要がある。また、ＡＣモータ
をファン駆動源として用いている場合には、所期の吹出
し風量を与える回転数で回転するファンを取り付けてお
く必要がある。

【０００４】ところで、特開平１１−２３０５９２号公
報には、クリーンルームに設置された複数のファン付き
フィルタユニットを制御するシステム(以下、従来のシ
ステムと呼ぶ)が記載されている。この従来のシステム
は、各ファン付きフィルタユニットの状態を遠隔監視し
ながら、各ファン付きフィルタユニットのモータのＯＮ
／ＯＦＦを制御するものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
システムによる制御では、フィルタの異なるファン付き
フィルタユニットがクリーンルームに設置された場合に
生じる気流の乱れを抑制することはできない。このよう
な気流の乱れは、クリーンルームエリア内の清浄度低下
の原因となることがある。そこで、フィルタの異なるフ
ァン付きフィルタユニットをクリーンルームに設置する
ときには、そのファン付きフィルタユニットがクリーン
ルーム内に気流の乱れを生じさせないように、管理者
が、いちいち、そのファン付きファイルユニットについ
て、上述の、フィルタの種類に応じたファン調整を行な
っておく必要がある。

【０００６】そこで、本発明は、複数のファン付きフィ
ルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担を
軽減することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明では、各種類のフィルタの吹出し風の風速
と、ファンを制御するための制御情報とを対応付ける管
理情報を予め準備しておき、各ファン付きフィルタユニ
ットのファンを、当該ファン付きフィルタユニットのフ
ィルタ種類と設定風速とに対応する制御情報に基づきそ
れぞれ制御するようにした。

【０００８】なお、以下、本発明の実施の一形態につい
て説明するが、そこで挙げる具体的な構成に含まれる事
項は、可能な限りの組合せの自由度を有し、その組合せ
のいずれもが発明を構成するものとする。例えば、以下
において、本発明の実施の一形態として挙げた構成から
その一部を適宜に削除した形態も、また、本発明の実施
形態の１つである。

【０００９】また、以下において具体的に示された構成
に含まれる各事項は、いずれも、それと同じ機能を有す
る複数の事項を総括した上位概念に含まれている一下位
概念である。したがって、いずれも、機能において同一
の他の構成によって代替することができ、また、それと
同じ機能を有する総括的な手段として表現することがで
きる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら、
本発明に係る実施の一形態について説明する。

【００１１】まず、図１により、本実施の形態に係るフ
ァン付きフィルタユニットの構造について説明する。

【００１２】ファン付きフィルタユニット１００は、フ
ァン１０４、ファン１０４を回転させるＤＣブラスレス
モータ１０３、ＤＣブラスレスモータ１０３の回転数を
制御するモータコントローラ１０５、モータコントロー
ラ１０５と外部との通信を制御する通信器１０６、これ
らが収納されたケース１０２、ケース１０２に装着され
たフィルタ(例えば、ＵＬＰＡフィルタ、ＨＥＰＡフィ
ルタ、ＰＴＦＥフィルタ等)１０１、等を備えている。

【００１３】ケース１０２には、吸込み口１０２ａ、吸
込み口１０２ａに面した吹出し口１０２ｂが形成されて
いる。ファン１０４は、吸込み口１０２ａと吹出し口１
０２ｂとの間に、送風側を吹出し口に向けて配置され、
フィルタ１０１は、ケース外側から吹出し口１０２ｂに
かぶさられている。このような配置とされているため、
ＤＣブラスレスモータ１０３の駆動によってファン１０
４が回転すると、外部の空気Ａが吸込み口１０２ａから
ケース内部に吸い込まれるとともに、ケース内部の空気
Ｂが吹出し口１０２ｂのフィルタを通過して外部に放出
される。例えば、図２に示したように、このファン付き
フィルタユニット１００をダウンフロー方式のクリーン
ルームの天井部にアルミフレームで複数取り付けた場合
には、クリーンルーム内部から床下に抜け出た空気Ａ
が、天井側に周り込み、ファン付きフィルタユニット１
００によって所期の清浄度の空気Ｂに清浄化されてか
ら、再度、クリーンルーム内部に供給される。

【００１４】また、クリーンルームに設置されるファン
付きフィルタユニット１００には、すべて、同じ仕様の
ＤＣブラスレスモータ１０３が搭載されている。これに
より、クリーンルームに設置されたファン付きフィルタ
ユニット１００のファン能力を標準化っている。なお、
本実施の形態では、取付けフィルタの種類を問わず、主
だった種類のフィルタに適用可能なモータ(通常は、定
格圧力損失の大きなＵＬＰＡフィルタに対応可能なファ
ン能力を発揮させることができるモータ)を搭載してあ
る。

【００１５】つぎに、図３により、本実施の形態に係
る、クリーンルームのファン制御システムの全体構成に
ついて説明する。ここでは、ダウンフロー方式のクリー
ンルーム(図２参照)の天井部に設置された複数のファン
付きフィルタユニットのファンを制御対象とする。

【００１６】このファン制御システムは、クリーンルー
ム４００側のシステムと、クリーンルーム内部を遠隔監
視する監視センタ３００側のシステムと、これらのシス
テムの間をつなぐ通信回線５００と、を有している。

【００１７】監視センタ３００側のシステムは、情報処
理装置３０１、ユーザからの入力を受け付けるための入
力装置(キーボード、マウス等)３０２、情報処理装置３
０１からのデータを出力する出力装置(表示装置３０３
Ａ、プリンタ３０３Ｂ等)、情報処理装置３０１と通信
回線５００との間をつなぐハブ３０５、停電が発生した
場合等にも情報処理装置３０１およびその周辺機器に電
力を供給可能な無停電電源装置(ＵＰＳ:Uniterruptible
Power Supply)３０４、等を備えている。

【００１８】一方、クリーンルーム４００側のシステム
は、制御盤４０１、停電が発生した場合等にも制御盤４
０１に電力を供給可能な無停電電源装置(ＵＰＳ:Uniter
ruptible Power Supply)４５０等を備えている。

【００１９】制御盤４０１の筐体内部には、プログラマ
ブルコンピュータ４０２、プログラマブルコンピュータ
４０２と通信回線５００との間をつなぐハブ４０３、プ
ログラマブルコンピュータ４０２からの制御指令に対し
て所定の信号変換を施す変換器４０５、プログラマブル
コンピュータ４０２からの制御指令を変換器４０５経由
で受け付ける複数のインタフェースユニット４０４、イ
ンターフェースユニット用の電源装置４０３、無停電電
源装置４５０と制御盤各部４０３,４０４,４０５,４０
６との間をつなぐ中継端子台４０７、等が搭載されてい
る。

【００２０】クリーンルーム内には、複数のエリアに分
けられており、各エリアに設置された複数のファン付き
フィルタユニット１００は、複数のグループ１００Ａ₁,
１００Ａ₂...,１００Ａ_nに分けられている。そして、同
じグループに属するファン付きフィルタユニット群の各
通信機１０６は、通信ケーブルで、共通のインタフェー
スユニット４０４に接続されている。なお、エリアおよ
びグループの設定は、管理の便宜上のものであるため、
必ずしも設定されている必要はない。

【００２１】このようなシステム構成において、監視セ
ンタ３００側の情報処理装置３０１からの制御指令が、
通信回線５００経由で、クリーンルーム４００側のプロ
グラマブルコンピュータ４０２に与えられると、クリー
ンルーム４００側のプログラマブルコンピュータ４０２
が、その制御指令に応じて、各グループ１００Ａ₁,１０
０Ａ₂...,１００Ａ_nに属するファン付きフィルタユニッ
ト群の各モータコントローラ１０５に対して制御指令を
与える。これにより、クリーンルームに設置された複数
のファン付きフィルタユニットの各ファンの回転数がそ
れぞれ制御され、クリーンルーム内の気流が調整され
る。

【００２２】つぎに、監視センタ３００側の情報処理装
置の内蔵ハードディスク内の格納データについて説明す
る。

【００２３】監視センタ３００側の情報処理装置３０１
の内蔵ハードディスクには、後述のファン制御処理プロ
グラムの実行に必要となるデータとして、(１)クリーン
ルームのファン付きフィルタユニットを管理するための
設定登録テーブル、(２)フィルタの種類ごとに準備され
た管理テーブルが格納されている。なお、前者(１)は、
ユーザが、自身の管理するクリーンルームのレイアウト
等に応じて作成するものであり、後者(２)は、予め準備
されたものである。

【００２４】設定登録テーブルには、図６に示すよう
に、クリーンルーム内の各ファン付きフィルタユニット
ごとに、それぞれ、そのファン付きフィルタユニットに
関する設定情報が登録されている。この設定情報には、
ファン付きフィルタユニットに割り当てられたＩＤ番号
６０、ファン付きフィルタユニットの設置位置を表すア
ドレス情報６１、ファン付きフィルタユニットの取付け
フィルタの種類名６２、ファン付きフィルタユニットの
設置エリア名６３、ファン付きフィルタユニットの所属
グループ名６４、ファン付きフィルタユニットからの吹
出し風についての設定風速６５、等が含まれている。こ
のような設定登録テーブルが、情報処理装置３０１の内
蔵ハードディスクに格納されているため、各グループに
属するファン付きフィルタユニットのファンの設定風速
を、情報処理装置３０１の検索処理によって見つけだす
ことができる。

【００２５】この設定登録テーブルへの設定情報登録処
理を簡易化するため、本実施の形態では、図７に示すよ
うな設定登録画面を、表示装置３０３Ａのディスプレイ
上に表示させることとしている。なお、この設定登録画
面に関する処理(設定登録画面の表示処理、設定登録テ
ーブルへのデータ登録処理等)は、後述のファン制御処
理プログラムに含まれているモジュールに定義されてい
る。

【００２６】設定登録画面上には、各ファン付きフィル
タユニットの設定情報を設定するための入力エリア７
３、入力エリア７３上の情報の登録指示を受け付ける登
録ボタン７４、が設けられている。

【００２７】入力エリア７３には、ファン付きフィルタ
ユニット１個の設定情報設定につき１行ずつ用いられる
設定登ラインが複数配置されている。各設定登ラインに
は、システムが割り当てたＩＤ番号が表示される出力フ
ィールド７３Ａ、ファン付きフィルタユニットの設置エ
リア名の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｂ、ファ
ン付きフィルタユニットの所属グループ名の設定を受け
付ける入力フィールド７３Ｃ、ファン付きフィルタユニ
ットの種類の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｄ、
ファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速設定
(段数設定)を受け付ける入力フィールド７３Ｅ、ファン
付きフィルタユニットのアドレス情報の設定を受け付け
る入力フィールド７３Ｆが含まれている。

【００２８】クリーンルーム内のファン付きフィルタユ
ニット設置台数分の設定登ラインの入力フィールド７３
Ｂ,７３Ｃ,７３Ｄ,７３Ｅ,７３Ｆにそれぞれ必要情報が
入力された段階で登録ボタン７４が指示されると、それ
らの設定登ラインに含まれている各フィールド７３Ａ,
７３Ｂ,７３Ｃ,７３Ｄ,７３Ｅ,７３Ｆ内の情報が設定登
録テーブル(図６参照)に登録される。

【００２９】また、本実施の形態では、ファン付きフィ
ルタユニットからの吹出し風の風速をグループ単位で一
括設定することができるように、設定登録画面上には、
さらに、風速の一括設定対象となるグループを特定する
ための情報(設置エリア名、所属グループ名)の入力を受
け付ける入力フィールド７０,７１、そのグループに属
するファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速
設定(段数設定)を受け付ける風速(段数)選択用プルダウ
ンメニュー付き入力フィールド７２、これらの入力フィ
ールド７０,７１,７２内の設定を入力エリア７３に反映
させるための一括設定ボタン(不図示)が配置されてい
る。例えば、入力フィールド７０,７１に設置エリア名
「エリアＡ」および所属グループ名「グループａ」を入力
し、入力フィールド７２に設定風速として「４段」を入力
してから、一括設定ボタンを指示すると、入力エリアの
設定登ラインのうち、設置エリア名「エリアＡ」および所
属グループ名「グループａ」を含むすべての設定登ライン
の入力フィールド７３Ｅに「４段」を一括入力することが
できる。このため、ユーザのデータ入力負担が軽減され
る。

【００３０】なお、本実施の形態で、ファン付きフィル
タユニットの風速をグループ単位で一括設定するための
ツールを設定登録画面上に設けているのは、一般に、ク
リーンルームの清浄度を維持するために、同じにエリア
にあるファン付きフィルタユニット等の風量を統一する
ことが多いからであって、同一グループに属するファン
付きフィルタユニットには必ず共通の風速が設定される
べきことを意味しているのではない。

【００３１】一方、各フィルタ種類ごとの管理テーブル
には、図４に示すように、クリーンルームの風速３１ご
とに、それぞれ、その風速を表す段数３０、その風速の
送風を実現し得るモータ回転数３２が格納されている。
なお、図４の管理テーブルに登録されている数値は、あ
くまでも一例として示したものに過ぎない。

【００３２】図５に示すように、同じ回転数でファンが
回転していても、フィルタの種類が異なれば、ファン付
きフィルタユニットからの吹出し風量は異なる。このた
め、設定登録テーブルに登録された風速でファン付きフ
ィルタユニットから吹出し風を吹き出させるためには、
取付けフィルタの種類に応じた回転数でファンを回転さ
せる必要がある。

【００３３】そこで、本実施の形態では、フィルタの種
類ごとの管理テーブルを、情報処理装置３０１の内蔵ハ
ードディスクに格納しておくことによって、例えば、定
格圧力損失１１８ＰａのＵＬＰＡフィルタから９速の風
速(０.３５ｍ／ｓ)の風を送り出す場合には、１０５０
ｍｉｎ−１でモータを回転させ、定格圧力損失９８Ｐａ
のＨＥＰＡフィルタから９速の風速(０.３５ｍ／ｓ)の
風を送り出すには、モータを１０００ｍｉｎ−１で回転
させる、というように、情報処理装置３０１の検索処理
によって、ユーザが設定した風速(設定登録テーブルに
設定された風速)の送風を実現し得るモータ回転数をフ
ィルタ種類ごとに見つけだすことができるようにしてあ
る。

【００３４】また、監視センタ３００側の情報処理装置
３０１の内蔵ハードディスクには、情報処理装置３０１
が実行するファン制御処理が定義されたファン制御処理
プログラムが記録媒体等からインストールされている。
このファン制御処理プログラムを情報処理装置３０１上
で起動すると、情報処理装置３０１は、以下のファン制
御処理を実行する。

【００３５】設定登録画面表示コマンドを受け付けた場
合には、前述の設定登録画面(図７参照)を、表示装置３
０３Ａのディスプレイ上に表示させる。この設定登録画
面上で、各ファン付きフィルタユニットに関する設定情
報の入力が終了した後に登録ボタン７４が指示される
と、それらの設定情報をそれぞれ設定登録テーブル(図
６参照)に登録する。

【００３６】以上の登録処理により、設定登録テーブル
への設定情報登録が終了した後、クリーンルーム立上げ
コマンドを受け付けると、情報処理装置３０１は、設定
登録テーブルから、各ファン付きフィルタユニットに関
する設定情報６０〜６５を読み出す。そして、各ファン
付きフィルタユニットごとに、取付けフィルタの種類名
６２に合致する名前に対応付けられた管理テーブルか
ら、設定風速６５に合致する風速３１に対応付けられた
回転数３２を取り出す。そして、各ファン付きフィルタ
ユニットのアドレス情報６１に、このとき取り出した回
転数３２を対応付けて、クリーンルーム４００側のプロ
グラマブルコンピュータ４０２宛に制御指令として送信
する。

【００３７】クリーンルーム４００側のプログラマブル
コンピュータ４０２は、監視センタ３００側の情報処理
装置３０１からの制御指令を通信回線経由で受け付ける
と、その制御指令に含まれているアドレス情報に対応す
るファン付きフィルタユニット１００に、その制御指令
に含まれている対応回転数を制御指令として送信する。

【００３８】各ファン付きフィルタユニット１００で
は、モータコントローラ１０５が、プログラマブルコン
ピュータ４０２から与えられた制御指令に基づき、モー
タ１０３の回転数を制御する。これにより、各ファン付
きフィルタユニット１００では、設定風速の送風を実現
し得る回転数でファンが回転する。その結果、クリーン
ルーム内のすべてのファン付きフィルタユニット１００
から設定風速の風が吹き出す。

【００３９】このように、本実施の形態に係るファン制
御処理によれば、ユーザは、クリーンルームの立上げ時
に、フィルタの種類の別を問わず共通に定められた風速
尺度(風速段数)を用いて、各ファン付きフィルタユニッ
トの吹出し風の風速を設定するだけで、各ファン付き制
御ユニットから設定風速の風を吹き出させることができ
る。また、クリーンルームの立ち上げ時だけでなく、フ
ァン付きフィルタユニットの交換時、クリーンルームの
拡張再立ち上げ時、クリーンルームのレイアウト変更時
等にも、上述と同様、ファン付きフィルタユニットにつ
いての設定風速の登録を監視センタ側で行なうだけで、
ファン付きフィルタユニットから設定風速の風を吹き出
させることができる。このように、各ファン付きフィル
タユニットごとに、フィルタの種類を考慮した調整を行
なう必要がなくなるため、クリーンルームの管理者の管
理負担が軽減される。

【００４０】なお、ここでは、各ファン付きフィルタユ
ニットの設定風速を登録しておき、情報処理装置が、各
ファン付きフィルタユニットのモータ回転数を設定情報
に基づき制御するようにしているが、手動運転か自動運
転かの別を表すデータ項目を設定情報に追加して、その
データ項目に自動運転が設定されている設定登録テーブ
ルのモータ回転数だけを情報処理装置が制御するように
してもよい。

【００４１】ところで、クリーンルームの天井裏の静圧
は必ずしも一様というわけではないため、上述のよう
に、各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を
制御していても、クリーンルーム内の気流が斜流等にな
ることがある。このような気流の乱れを抑制するため、
図８に示すように、クリーンルーム内部に複数の３次元
風速計８００を分散配置しておき、それらの３次元風速
計８００からの出力を、図９に示すように、主フィード
バック信号Ｄとして、プログラマブルコンピュータを介
して通信回線経由で情報処理装置３０１にフィードバッ
クするフィードバック系を構成してもよい。これによ
り、クリーンルーム内の各所における風速の乱れが小さ
くなるように、各ファン付きフィルタユニットのモータ
の回転数が制御されるため、クリーンルーム内の気流が
乱れを抑制することできる。

【００４２】また、クリーンルームに設置されたファン
付きフィルタユニットのなかには、稼動中に異常が発生
するものもある。

【００４３】そこで、図１０に示すように、各ファン付
きフィルタユニット１００をフィルタ外縁で支持してい
るアルミフレーム１０００に複数の塵埃濃度センサ１０
０１を取り付けておき、情報処理装置３０１が、それら
のセンサ出力に基づき各ファン付きフィルタユニットの
動作状態を診断するようにしてもよい。

【００４４】このようにするには、まず、複数の塵埃濃
度センサ１００１を、各ファン付きフィルタユニット１
００のフィルタ１０１の前方位置、すなわち、各ファン
付きフィルタユニット１００からの吹出し風Ｂが通過す
る位置にそれぞれ１ずつ配置しておき、それらのセンサ
出力が、通信回線経由で情報処理装置３０１に入力され
るようにする。そして、塵埃濃度センサ１００１が所定
以上の塵埃を検出した場合に、情報処理装置３０１が、
その塵埃濃度センサ１００１に対応付けられたファン付
きフィルタユニット１００にモータ回転停止指令を与え
るとともに、表示装置３０３Ａのディスプレイ上に警告
メッセージを表示させるようにすればよい。これによ
り、稼動中に異常が発生したファン付きフィルタユニッ
ト１００を自動的に停止させることができるとともに、
ファン付きフィルタユニット１００の異常発生をユーザ
に通知することができる。

【００４５】または、図１２に示すように、各ファン付
きフィルタユニット１００をフィルタ外縁で支持してい
るアルミフレーム１０００に複数のガスセンサ１２００
を取り付けておき、情報処理装置３０１が各ファン付き
フィルタユニットの動作状態を診断するようにしてもよ
い。

【００４６】このようにするには、まず、複数のガスセ
ンサ１２００を、各ファン付きフィルタユニット１００
のフィルタ１０１の前方位置、すなわち、各ファン付き
フィルタユニット１００からの吹出し風Ｂが通過する位
置にそれぞれ１ずつ配置しておき、それらのセンサ出力
が、通信回線経由で情報処理装置３０１に入力されるよ
うにする。そして、ガスセンサ１２００が所定濃度以上
の不良ガス(例えば、アンモニア等)を検出した場合に、
情報処理装置３０１が、そのガスセンサ１２００に対応
付けられたファン付きフィルタユニット１００にモータ
回転停止指令を与えるとともに、表示装置３０３Ａのデ
ィスプレイ上に警告メッセージを表示させるようにすれ
ばよい。これにより、稼動中に異常が発生したファン付
きフィルタユニット１００を自動的に停止させることが
できるとともに、ファン付きフィルタユニット１００の
異常発生をユーザに通知することができる。

【００４７】このような塵埃濃度センサ１００１および
ガスセンサ１２０１の一方または両方をクリーンルーム
に設置する場合には、ファン付きフィルタユニット１０
０の設定情報に、そのファン付きフィルタユニット１０
０の動作状態を表すステータス情報を付加し、ファン付
きフィルタユニット１００の異常発生が検出されたとき
に、そのファン付きフィルタユニット１００のステータ
ス情報が更新されるようにしておけば、適当なタイミン
グ(例えば、ユーザから指示があったとき等)で、各ファ
ン付きフィルタユニット１００のステータス情報を表示
させることができる。その表示方法は、特に限定される
ものではない。例えば、図１３に示すように、各エリア
が色分け表示等されたクリーンルームレイアウト図１３
００上で、異常が発生したファン付きフィルタユニット
１００に相当する箇所を反転表示させるようにしてもよ
い。さらに、ユーザがレイアウト図１３００上で指定し
た領域を拡大表示する拡大表示エリア１３０１、拡大エ
リア１３０１内の表示領域に含まれるファン付きフィル
タユニットの設定情報(アドレス情報、設置エリア、所
属グループ、運転モード、設定速度またはステータス情
報、等)を表示する関連情報エリア１３０２、等を、レ
イアウト図１３００と同一画面上に設けてもよい。

【００４８】なお、以上においては、ＤＣブラシレスモ
ータが搭載されたファン付きフィルタユニットを例に挙
げて説明したが、ＡＣサーボモータが搭載されたファン
付きフィルタユニット、ＡＣモータおよびインバータが
搭載されたファン付きフィルタユニットについても、同
様に、本発明が適用可能である。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、複数のファン付きフィ
ルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担が
軽減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィル
タユニットの構造を説明するための図である。

【図２】図１のファン付きフィルタユニットが複数設置
されたダウンフロー型のクリーンルームの気流を示した
図である。

【図３】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図
である。

【図４】本発明の実施の一形態に係る設定登録テーブル
のデータ構造を概念的に示した図である。

【図５】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図で
ある。

【図６】本発明の実施の一形態に係る管理テーブルであ
る。

【図７】本発明の実施の一形態に係る設定登録画面を示
した図である。

【図８】本発明の実施の一形態に係るクリーンルーム内
のレイアウトを説明するための図である。

【図９】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図
である。

【図１０】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィ
ルタユニットと塵埃濃度センサとの位置関係を説明する
ための図である。

【図１１】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成
図である。

【図１２】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィ
ルタユニットとガスセンサとの位置関係を説明するため
の図である。

【図１３】本発明の実施の一形態に係るレイアウト表示
画面を説明するための図である。

【図１４】従来のファン付きフィルタユニットの構造を
説明するための図である。

【図１５】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図
である。

【符号の説明】

１００…ファン付きフィルタユニット１０１…フィルタ１０２…ケース１０３…モータ１０４…ファン１０５…モータコントローラ１０６…通信装置３０１…監視センタ側の情報処理装置３０３Ａ,３０３Ｂ…出力装置(３０３Ａ:表示装置、３
０３Ｂ：プリンタ) ４０２…クリーンルーム側のプログラマブルコンピュー
タ４０４…インターフェース５００…通信回線８００…３次元風速計１００１…塵埃濃度センサ１２００…ガスセンサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ０４Ｄ 29/70 Ｆ０４Ｄ 29/70 ＬＦ２４Ｆ 7/007 Ｆ２４Ｆ 7/007 ＢＦターム(参考） 3H021 AA01 AA04 BA01 BA11 CA00 CA09 DA04 DA21 DA26 EA07 EA10 EA12 EA19 3H045 AA06 AA09 AA12 AA14 AA26 BA01 BA31 CA00 CA23 DA05 DA31 DA41 DA46 DA47 EA36 EA38 EA49 3L056 BD01 BD07 BE07 BF06 3L058 BD06 BE02 BF01 BG04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】各種類のフィルタの吹出し風の風速と、フ
ァンを制御するための制御情報とを対応付ける管理情報
を記憶した記憶手段と、クリーンルームに配置された各ファン付きフィルタユニ
ットのフィルタ種類と設定風速との入力を受け付ける受
付手段と前記各ファン付きフィルタユニットごとに、そ
れぞれ、当該ファン付きフィルタユニットについて入力
されたフィルタ種類および設定に対応する制御情報を前
記管理情報から読み出し、当該ファン付きフィルタユニ
ットのファンを当該制御情報に基づき制御する制御手段
と、を備えることを特徴とするファン運転制御システム。
【請求項２】複数のファン付きフィルタユニットが設置
されたクリーンルーム内の風速を、互いに異なる位置で
測定する複数の風速測定手段と、前記複数のファン付きフィルタユニットのファンを、前
記複数の風速測定手段の測定結果に応じて制御すること
を特徴とするファン運転制御システム。
【請求項３】複数のファン付きフィルタユニットが設置
されたクリーンルームの雰囲気に含まれる塵埃またはガ
スを、前記各ファン付きフィルタユニットに対応付けら
れた位置で検出する複数の検出手段と、前記各検出手段の検出結果に応じて、前記各ファン付き
フィルタユニットのファンの運転状態を制御する制御手
段と、を備えることを特徴とするファン運転制御システム。
【請求項４】請求項１または２記載のファン運転制御シ
ステムであって、前記クリーンルームの雰囲気に含まれる塵埃またはガス
を、前記前記各ファン付きフィルタユニットに対応付け
られた位置で検出する複数の検出手段と、前記複数の検出手段の検出結果に応じた情報を出力する
出力手段と、を備えることを特徴とするファン運転制御システム。
【請求項５】クリーンルームに設置された複数のファン
付きフィルタユニットのファンの制御処理を情報処理装
置に実行させるためのプログラムが格納された記憶媒体
であって、前記プログラムは、前記情報処理装置に、クリーンルームに配置された各ファン付きフィルタユニ
ットのフィルタ種類と設定風速との入力を受け付ける受
付処理と、各種類のフィルタの吹出し風の風速と、ファンを制御す
るための制御情報とを対応付ける管理情報が、前記受付
処理で受け付けたフィルタ種類および設定風速に対応付
ける制御情報を、前記各ファン付きフィルタユニットご
とに検索する検索処理と、前記各ファン付きフィルタユニットのファンを、前記検
索処理で検索された制御情報に基づきそれぞれ制御する
制御処理と、を実行させることを特徴とする記憶媒体。
【請求項６】クリーンルームに設置された複数のファン
付きフィルタユニットのファンの制御処理を情報処理装
置に実行させるためのプログラムが格納された記憶媒体
であって、前記プログラムは、前記情報処理装置に、前記クリーンルームに設置された複数の風速センサから
の出力信号を逐次受け付け、当該各出力信号に応じて、
前記複数のファン付きフィルタユニットのファンを制御
する制御処理、を実行させることを特徴とする記憶媒体。
【請求項７】クリーンルームに設置された複数のファン
付きフィルタユニットのファンの制御処理を情報処理装
置に実行させるためのプログラムが格納された記憶媒体
であって、前記プログラムは、前記情報処理装置に、前記クリーンルームの雰囲気中の塵埃またはガスを、前
記各ファン付きフィルタユニットに対応付けられた位置
で検出する複数のセンサからの出力信号を逐次受け付
け、当該出力信号に応じて、前記複数のファン付きフィ
ルタユニットのファンの運転状態を制御する制御処理、を実行させることを特徴とする記憶媒体。