JP4235351B2 - ファン運転制御システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム設置された複数のファン付きフィルタユニットのファン運転制御技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダウンフロー方式のクリーンルームの天井部には、ルーム内に清浄空気を供給するためのファン付きフィルタユニットが複数設置されている。それらのファン付きフィルタユニットは、図14に示すように、ファン1201、ファン1201を回転させるモータ1200、これらが収納されたケース1202、ケース1202に装着されたフィルタ(例えば、ULPAフィルタ、HEPAフィルタ、PTFEフィルタ等)1203、等を備えている。ケース1202には、吸込み口1202a、吸込み口1202aに面した吹出し口1202bが形成されている。ファン1201は、吸込み口1202aと吹出し口1202bとの間に、送風側を吹出し口1202bに向けて配置され、フィルタ1203は、ケース外側から吹出し口1202bにかぶさられている。このような配置とされているため、モータ1200の駆動によってファン1201が回転すると、外部の空気Aが吸込み口1202aからケース内部に吸い込まれるとともに、ケース内部の空気Bが吹出し口1202bのフィルタ1203を通過して外部に放出される。
【0003】
さて、クリーンルーム内の清浄度は、気流の循環回数、すなわち、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量によって左右される。ところが、そのファン付きフィルタユニットは、図15に示すように、フィルタの種類(ULPAフィルタ:Ultra Low Penetration Air、HEPAフィルタ:High Efficiency Particulate Air、PTFEフィルタ:Poly Tetra Fluoro Ethylene等)によって特性(定格処理風量、定格圧力損失等)が異なる。したがって、各ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量を所期のものとするために、クリーンルームの立ち上げ時等に、各ファン付きフィルタユニットのファンをフィルタの種類に応じて調整しておく必要がある。例えば、DCブラシレスモータをファン駆動源として用いている場合には、所期の吹出し風量に応じた回転数でファンが回転するように、DCブラシレスモータの回転数を調整しておく必要がある。また、ACモータをファン駆動源として用いている場合には、所期の吹出し風量を与える回転数で回転するファンを取り付けておく必要がある。
【0004】
ところで、特開平11−230592号公報には、クリーンルームに設置された複数のファン付きフィルタユニットを制御するシステム(以下、従来のシステムと呼ぶ)が記載されている。この従来のシステムは、各ファン付きフィルタユニットの状態を遠隔監視しながら、各ファン付きフィルタユニットのモータのON/OFFを制御するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来のシステムによる制御では、フィルタの異なるファン付きフィルタユニットがクリーンルームに設置された場合に生じる気流の乱れを抑制することはできない。このような気流の乱れは、クリーンルームエリア内の清浄度低下の原因となることがある。そこで、フィルタの異なるファン付きフィルタユニットをクリーンルームに設置するときには、そのファン付きフィルタユニットがクリーンルーム内に気流の乱れを生じさせないように、管理者が、いちいち、そのファン付きファイルユニットについて、上述の、フィルタの種類に応じたファン調整を行なっておく必要がある。
【0006】
そこで、本発明は、複数のファン付きフィルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担を軽減することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記発明を解決するために、本発明では、クリーンルームのファン運転制御システムにおいて、前記クリーンルーム内は、複数のエリアに分けられ、該各エリアの各々にはファン付きフィルタユニットが複数設置されており、該ファン付きフィルタユニットは複数のグループの何れかに属しており、前記ファン運転制御システムは、クリーンルーム側システムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ側システムと、これらのシステムを接続する通信回線とを有し、前記監視センタ側システムは、記憶装置を有する情報処理装置と、入力装置とを有し、前記クリーンルーム側システムは、前記ファン付きフィルタユニットの各々のモータの回転数を制御する制御盤を有し、前記監視センタ側システムの前記情報処理装置の前記記憶装置には、フィルタの種類ごとに、風速情報と、該風速情報に示される風速を実現するためのモータの回転数とを対応付けた管理テーブルと、前記ファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、少なくとも、該ファン付きフィルタユニットの設置されているエリアと、該ファン付きフィルタユニットの属するグループと、該ファン付きフィルタユニットのフィルタの種類とを対応付けた設定登録テーブルと、が記憶されており、前記監視センタ側システムの前記情報処理装置は、前記入力装置から、前記エリア毎、前記グループ毎、前記ファン付きフィルタユニット毎のうち何れかで入力された、前記ファン付きフィルタユニットの各々の風速情報を、該ファン付きフィルタユニットの識別情報と対応付けて前記設定登録テーブルに登録する手段と、前記設定登録テーブルに登録されているファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、該識別情報に対応付けられたフィルタの種類と風速情報とを読み出し、該読み出したフィルタの種類と同じフィルタの種類の管理テーブルから、前記読み出した風速情報と同じ風速情報に対応付けられた回転数を抽出する手段と、前記ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該識別情報のファン付きフィルタユニットの回転数との組合せを、前記制御盤に出力する手段と、を有し、前記制御盤は、前記情報処理装置から入力された、ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該ファン付きフィルタユニットの回転数とに基づいて、前記各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御する手段、を有することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係る実施の一形態について説明する。
【0011】
まず、図1により、本実施の形態に係るファン付きフィルタユニットの構造について説明する。
【0012】
ファン付きフィルタユニット100は、ファン104、ファン104を回転させるDCブラスレスモータ103、DCブラスレスモータ103の回転数を制御するモータコントローラ105、モータコントローラ105と外部との通信を制御する通信器106、これらが収納されたケース102、ケース102に装着されたフィルタ(例えば、ULPAフィルタ、HEPAフィルタ、PTFEフィルタ等)101、等を備えている。
【0013】
ケース102には、吸込み口102a、吸込み口102aに面した吹出し口102bが形成されている。ファン104は、吸込み口102aと吹出し口102bとの間に、送風側を吹出し口に向けて配置され、フィルタ101は、ケース外側から吹出し口102bにかぶさられている。このような配置とされているため、DCブラスレスモータ103の駆動によってファン104が回転すると、外部の空気Aが吸込み口102aからケース内部に吸い込まれるとともに、ケース内部の空気Bが吹出し口102bのフィルタを通過して外部に放出される。例えば、図2に示したように、このファン付きフィルタユニット100をダウンフロー方式のクリーンルームの天井部にアルミフレームで複数取り付けた場合には、クリーンルーム内部から床下に抜け出た空気Aが、天井側に周り込み、ファン付きフィルタユニット100によって所期の清浄度の空気Bに清浄化されてから、再度、クリーンルーム内部に供給される。
【0014】
また、クリーンルームに設置されるファン付きフィルタユニット100には、すべて、同じ仕様のDCブラスレスモータ103が搭載されている。これにより、クリーンルームに設置されたファン付きフィルタユニット100のファン能力を標準化っている。なお、本実施の形態では、取付けフィルタの種類を問わず、主だった種類のフィルタに適用可能なモータ(通常は、定格圧力損失の大きなULPAフィルタに対応可能なファン能力を発揮させることができるモータ)を搭載してある。
【0015】
つぎに、図3により、本実施の形態に係る、クリーンルームのファン制御システムの全体構成について説明する。ここでは、ダウンフロー方式のクリーンルーム(図2参照)の天井部に設置された複数のファン付きフィルタユニットのファンを制御対象とする。
【0016】
このファン制御システムは、クリーンルーム400側のシステムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ300側のシステムと、これらのシステムの間をつなぐ通信回線500と、を有している。
【0017】
監視センタ300側のシステムは、情報処理装置301、ユーザからの入力を受け付けるための入力装置(キーボード、マウス等)302、情報処理装置301からのデータを出力する出力装置(表示装置303A、プリンタ303B等)、情報処理装置301と通信回線500との間をつなぐハブ305、停電が発生した場合等にも情報処理装置301およびその周辺機器に電力を供給可能な無停電電源装置(UPS:Uniterruptible Power Supply)304、等を備えている。
【0018】
一方、クリーンルーム400側のシステムは、制御盤401、停電が発生した場合等にも制御盤401に電力を供給可能な無停電電源装置(UPS:Uniterruptible Power Supply)450等を備えている。
【0019】
制御盤401の筐体内部には、プログラマブルコンピュータ402、プログラマブルコンピュータ402と通信回線500との間をつなぐハブ403、プログラマブルコンピュータ402からの制御指令に対して所定の信号変換を施す変換器405、プログラマブルコンピュータ402からの制御指令を変換器405経由で受け付ける複数のインタフェースユニット404、インターフェースユニット用の電源装置403、無停電電源装置450と制御盤各部403,404,405,406との間をつなぐ中継端子台407、等が搭載されている。
【0020】
クリーンルーム内には、複数のエリアに分けられており、各エリアに設置された複数のファン付きフィルタユニット100は、複数のグループ100A1,100A2...,100Anに分けられている。そして、同じグループに属するファン付きフィルタユニット群の各通信機106は、通信ケーブルで、共通のインタフェースユニット404に接続されている。なお、エリアおよびグループの設定は、管理の便宜上のものであるため、必ずしも設定されている必要はない。
【0021】
このようなシステム構成において、監視センタ300側の情報処理装置301からの制御指令が、通信回線500経由で、クリーンルーム400側のプログラマブルコンピュータ402に与えられると、クリーンルーム400側のプログラマブルコンピュータ402が、その制御指令に応じて、各グループ100A1,100A2...,100Anに属するファン付きフィルタユニット群の各モータコントローラ105に対して制御指令を与える。これにより、クリーンルームに設置された複数のファン付きフィルタユニットの各ファンの回転数がそれぞれ制御され、クリーンルーム内の気流が調整される。
【0022】
つぎに、監視センタ300側の情報処理装置の内蔵ハードディスク内の格納データについて説明する。
【0023】
監視センタ300側の情報処理装置301の内蔵ハードディスクには、後述のファン制御処理プログラムの実行に必要となるデータとして、(1)クリーンルームのファン付きフィルタユニットを管理するための設定登録テーブル、(2)フィルタの種類ごとに準備された管理テーブルが格納されている。なお、前者(1)は、ユーザが、自身の管理するクリーンルームのレイアウト等に応じて作成するものであり、後者(2)は、予め準備されたものである。
【0024】
設定登録テーブルには、図6に示すように、クリーンルーム内の各ファン付きフィルタユニットごとに、それぞれ、そのファン付きフィルタユニットに関する設定情報が登録されている。この設定情報には、ファン付きフィルタユニットに割り当てられたID番号60、ファン付きフィルタユニットの設置位置を表すアドレス情報61、ファン付きフィルタユニットの取付けフィルタの種類名62、ファン付きフィルタユニットの設置エリア名63、ファン付きフィルタユニットの所属グループ名64、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風についての設定風速65、等が含まれている。このような設定登録テーブルが、情報処理装置301の内蔵ハードディスクに格納されているため、各グループに属するファン付きフィルタユニットのファンの設定風速を、情報処理装置301の検索処理によって見つけだすことができる。
【0025】
この設定登録テーブルへの設定情報登録処理を簡易化するため、本実施の形態では、図7に示すような設定登録画面を、表示装置303Aのディスプレイ上に表示させることとしている。なお、この設定登録画面に関する処理(設定登録画面の表示処理、設定登録テーブルへのデータ登録処理等)は、後述のファン制御処理プログラムに含まれているモジュールに定義されている。
【0026】
設定登録画面上には、各ファン付きフィルタユニットの設定情報を設定するための入力エリア73、入力エリア73上の情報の登録指示を受け付ける登録ボタン74、が設けられている。
【0027】
入力エリア73には、ファン付きフィルタユニット1個の設定情報設定につき1行ずつ用いられる設定登ラインが複数配置されている。各設定登ラインには、システムが割り当てたID番号が表示される出力フィールド73A、ファン付きフィルタユニットの設置エリア名の設定を受け付ける入力フィールド73B、ファン付きフィルタユニットの所属グループ名の設定を受け付ける入力フィールド73C、ファン付きフィルタユニットの種類の設定を受け付ける入力フィールド73D、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速設定(段数設定)を受け付ける入力フィールド73E、ファン付きフィルタユニットのアドレス情報の設定を受け付ける入力フィールド73Fが含まれている。
【0028】
クリーンルーム内のファン付きフィルタユニット設置台数分の設定登ラインの入力フィールド73B,73C,73D,73E,73Fにそれぞれ必要情報が入力された段階で登録ボタン74が指示されると、それらの設定登ラインに含まれている各フィールド73A,73B,73C,73D,73E,73F内の情報が設定登録テーブル(図6参照)に登録される。
【0029】
また、本実施の形態では、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速をグループ単位で一括設定することができるように、設定登録画面上には、さらに、風速の一括設定対象となるグループを特定するための情報(設置エリア名、所属グループ名)の入力を受け付ける入力フィールド70,71、そのグループに属するファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速設定(段数設定)を受け付ける風速(段数)選択用プルダウンメニュー付き入力フィールド72、これらの入力フィールド70,71,72内の設定を入力エリア73に反映させるための一括設定ボタン(不図示)が配置されている。例えば、入力フィールド70,71に設置エリア名「エリアA」および所属グループ名「グループa」を入力し、入力フィールド72に設定風速として「4段」を入力してから、一括設定ボタンを指示すると、入力エリアの設定登ラインのうち、設置エリア名「エリアA」および所属グループ名「グループa」を含むすべての設定登ラインの入力フィールド73Eに「4段」を一括入力することができる。このため、ユーザのデータ入力負担が軽減される。
【0030】
なお、本実施の形態で、ファン付きフィルタユニットの風速をグループ単位で一括設定するためのツールを設定登録画面上に設けているのは、一般に、クリーンルームの清浄度を維持するために、同じにエリアにあるファン付きフィルタユニット等の風量を統一することが多いからであって、同一グループに属するファン付きフィルタユニットには必ず共通の風速が設定されるべきことを意味しているのではない。
【0031】
一方、各フィルタ種類ごとの管理テーブルには、図4に示すように、クリーンルームの風速31ごとに、それぞれ、その風速を表す段数30、その風速の送風を実現し得るモータ回転数32が格納されている。なお、図4の管理テーブルに登録されている数値は、あくまでも一例として示したものに過ぎない。
【0032】
図5に示すように、同じ回転数でファンが回転していても、フィルタの種類が異なれば、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量は異なる。このため、設定登録テーブルに登録された風速でファン付きフィルタユニットから吹出し風を吹き出させるためには、取付けフィルタの種類に応じた回転数でファンを回転させる必要がある。
【0033】
そこで、本実施の形態では、フィルタの種類ごとの管理テーブルを、情報処理装置301の内蔵ハードディスクに格納しておくことによって、例えば、定格圧力損失118PaのULPAフィルタから9速の風速(0.35m/s)の風を送り出す場合には、1050min−1でモータを回転させ、定格圧力損失98PaのHEPAフィルタから9速の風速(0.35m/s)の風を送り出すには、モータを1000min−1で回転させる、というように、情報処理装置301の検索処理によって、ユーザが設定した風速(設定登録テーブルに設定された風速)の送風を実現し得るモータ回転数をフィルタ種類ごとに見つけだすことができるようにしてある。
【0034】
また、監視センタ300側の情報処理装置301の内蔵ハードディスクには、情報処理装置301が実行するファン制御処理が定義されたファン制御処理プログラムが記録媒体等からインストールされている。このファン制御処理プログラムを情報処理装置301上で起動すると、情報処理装置301は、以下のファン制御処理を実行する。
【0035】
設定登録画面表示コマンドを受け付けた場合には、前述の設定登録画面(図7参照)を、表示装置303Aのディスプレイ上に表示させる。この設定登録画面上で、各ファン付きフィルタユニットに関する設定情報の入力が終了した後に登録ボタン74が指示されると、それらの設定情報をそれぞれ設定登録テーブル(図6参照)に登録する。
【0036】
以上の登録処理により、設定登録テーブルへの設定情報登録が終了した後、クリーンルーム立上げコマンドを受け付けると、情報処理装置301は、設定登録テーブルから、各ファン付きフィルタユニットに関する設定情報60〜65を読み出す。そして、各ファン付きフィルタユニットごとに、取付けフィルタの種類名62に合致する名前に対応付けられた管理テーブルから、設定風速65に合致する風速31に対応付けられた回転数32を取り出す。そして、各ファン付きフィルタユニットのアドレス情報61に、このとき取り出した回転数32を対応付けて、クリーンルーム400側のプログラマブルコンピュータ402宛に制御指令として送信する。
【0037】
クリーンルーム400側のプログラマブルコンピュータ402は、監視センタ300側の情報処理装置301からの制御指令を通信回線経由で受け付けると、その制御指令に含まれているアドレス情報に対応するファン付きフィルタユニット100に、その制御指令に含まれている対応回転数を制御指令として送信する。
【0038】
各ファン付きフィルタユニット100では、モータコントローラ105が、プログラマブルコンピュータ402から与えられた制御指令に基づき、モータ103の回転数を制御する。これにより、各ファン付きフィルタユニット100では、設定風速の送風を実現し得る回転数でファンが回転する。その結果、クリーンルーム内のすべてのファン付きフィルタユニット100から設定風速の風が吹き出す。
【0039】
このように、本実施の形態に係るファン制御処理によれば、ユーザは、クリーンルームの立上げ時に、フィルタの種類の別を問わず共通に定められた風速尺度(風速段数)を用いて、各ファン付きフィルタユニットの吹出し風の風速を設定するだけで、各ファン付き制御ユニットから設定風速の風を吹き出させることができる。また、クリーンルームの立ち上げ時だけでなく、ファン付きフィルタユニットの交換時、クリーンルームの拡張再立ち上げ時、クリーンルームのレイアウト変更時等にも、上述と同様、ファン付きフィルタユニットについての設定風速の登録を監視センタ側で行なうだけで、ファン付きフィルタユニットから設定風速の風を吹き出させることができる。このように、各ファン付きフィルタユニットごとに、フィルタの種類を考慮した調整を行なう必要がなくなるため、クリーンルームの管理者の管理負担が軽減される。
【0040】
なお、ここでは、各ファン付きフィルタユニットの設定風速を登録しておき、情報処理装置が、各ファン付きフィルタユニットのモータ回転数を設定情報に基づき制御するようにしているが、手動運転か自動運転かの別を表すデータ項目を設定情報に追加して、そのデータ項目に自動運転が設定されている設定登録テーブルのモータ回転数だけを情報処理装置が制御するようにしてもよい。
【0041】
ところで、クリーンルームの天井裏の静圧は必ずしも一様というわけではないため、上述のように、各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御していても、クリーンルーム内の気流が斜流等になることがある。このような気流の乱れを抑制するため、図8に示すように、クリーンルーム内部に複数の3次元風速計800を分散配置しておき、それらの3次元風速計800からの出力を、図9に示すように、主フィードバック信号Dとして、プログラマブルコンピュータを介して通信回線経由で情報処理装置301にフィードバックするフィードバック系を構成してもよい。これにより、クリーンルーム内の各所における風速の乱れが小さくなるように、各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数が制御されるため、クリーンルーム内の気流が乱れを抑制することできる。
【0042】
また、クリーンルームに設置されたファン付きフィルタユニットのなかには、稼動中に異常が発生するものもある。
【0043】
そこで、図10に示すように、各ファン付きフィルタユニット100をフィルタ外縁で支持しているアルミフレーム1000に複数の塵埃濃度センサ1001を取り付けておき、情報処理装置301が、それらのセンサ出力に基づき各ファン付きフィルタユニットの動作状態を診断するようにしてもよい。
【0044】
このようにするには、まず、複数の塵埃濃度センサ1001を、各ファン付きフィルタユニット100のフィルタ101の前方位置、すなわち、各ファン付きフィルタユニット100からの吹出し風Bが通過する位置にそれぞれ1ずつ配置しておき、それらのセンサ出力が、通信回線経由で情報処理装置301に入力されるようにする。そして、塵埃濃度センサ1001が所定以上の塵埃を検出した場合に、情報処理装置301が、その塵埃濃度センサ1001に対応付けられたファン付きフィルタユニット100にモータ回転停止指令を与えるとともに、表示装置303Aのディスプレイ上に警告メッセージを表示させるようにすればよい。これにより、稼動中に異常が発生したファン付きフィルタユニット100を自動的に停止させることができるとともに、ファン付きフィルタユニット100の異常発生をユーザに通知することができる。
【0045】
または、図12に示すように、各ファン付きフィルタユニット100をフィルタ外縁で支持しているアルミフレーム1000に複数のガスセンサ1200を取り付けておき、情報処理装置301が各ファン付きフィルタユニットの動作状態を診断するようにしてもよい。
【0046】
このようにするには、まず、複数のガスセンサ1200を、各ファン付きフィルタユニット100のフィルタ101の前方位置、すなわち、各ファン付きフィルタユニット100からの吹出し風Bが通過する位置にそれぞれ1ずつ配置しておき、それらのセンサ出力が、通信回線経由で情報処理装置301に入力されるようにする。そして、ガスセンサ1200が所定濃度以上の不良ガス(例えば、アンモニア等)を検出した場合に、情報処理装置301が、そのガスセンサ1200に対応付けられたファン付きフィルタユニット100にモータ回転停止指令を与えるとともに、表示装置303Aのディスプレイ上に警告メッセージを表示させるようにすればよい。これにより、稼動中に異常が発生したファン付きフィルタユニット100を自動的に停止させることができるとともに、ファン付きフィルタユニット100の異常発生をユーザに通知することができる。
【0047】
このような塵埃濃度センサ1001およびガスセンサ1201の一方または両方をクリーンルームに設置する場合には、ファン付きフィルタユニット100の設定情報に、そのファン付きフィルタユニット100の動作状態を表すステータス情報を付加し、ファン付きフィルタユニット100の異常発生が検出されたときに、そのファン付きフィルタユニット100のステータス情報が更新されるようにしておけば、適当なタイミング(例えば、ユーザから指示があったとき等)で、各ファン付きフィルタユニット100のステータス情報を表示させることができる。その表示方法は、特に限定されるものではない。例えば、図13に示すように、各エリアが色分け表示等されたクリーンルームレイアウト図1300上で、異常が発生したファン付きフィルタユニット100に相当する箇所を反転表示させるようにしてもよい。さらに、ユーザがレイアウト図1300上で指定した領域を拡大表示する拡大表示エリア1301、拡大エリア1301内の表示領域に含まれるファン付きフィルタユニットの設定情報(アドレス情報、設置エリア、所属グループ、運転モード、設定速度またはステータス情報、等)を表示する関連情報エリア1302、等を、レイアウト図1300と同一画面上に設けてもよい。
【0048】
なお、以上においては、DCブラシレスモータが搭載されたファン付きフィルタユニットを例に挙げて説明したが、ACサーボモータが搭載されたファン付きフィルタユニット、ACモータおよびインバータが搭載されたファン付きフィルタユニットについても、同様に、本発明が適用可能である。
【0049】
【発明の効果】
本発明によれば、複数のファン付きフィルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担が軽減される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットの構造を説明するための図である。
【図2】図1のファン付きフィルタユニットが複数設置されたダウンフロー型のクリーンルームの気流を示した図である。
【図3】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図4】本発明の実施の一形態に係る設定登録テーブルのデータ構造を概念的に示した図である。
【図5】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図である。
【図6】本発明の実施の一形態に係る管理テーブルである。
【図7】本発明の実施の一形態に係る設定登録画面を示した図である。
【図8】本発明の実施の一形態に係るクリーンルーム内のレイアウトを説明するための図である。
【図9】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図10】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットと塵埃濃度センサとの位置関係を説明するための図である。
【図11】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図12】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットとガスセンサとの位置関係を説明するための図である。
【図13】本発明の実施の一形態に係るレイアウト表示画面を説明するための図である。
【図14】従来のファン付きフィルタユニットの構造を説明するための図である。
【図15】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図である。
【符号の説明】
100…ファン付きフィルタユニット
101…フィルタ
102…ケース
103…モータ
104…ファン
105…モータコントローラ
106…通信装置
301…監視センタ側の情報処理装置
303A,303B…出力装置(303A:表示装置、303B:プリンタ)
402…クリーンルーム側のプログラマブルコンピュータ
404…インターフェース
500…通信回線
800…3次元風速計
1001…塵埃濃度センサ
1200…ガスセンサ
Claims (1)
- クリーンルームのファン運転制御システムにおいて、
前記クリーンルーム内は、複数のエリアに分けられ、該各エリアの各々にはファン付きフィルタユニットが複数設置されており、該ファン付きフィルタユニットは複数のグループの何れかに属しており、
前記ファン運転制御システムは、クリーンルーム側システムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ側システムと、これらのシステムを接続する通信回線とを有し、
前記監視センタ側システムは、記憶装置を有する情報処理装置と、入力装置とを有し、
前記クリーンルーム側システムは、前記ファン付きフィルタユニットの各々のモータの回転数を制御する制御盤を有し、
前記監視センタ側システムの前記情報処理装置の前記記憶装置には、
フィルタの種類ごとに、風速情報と、該風速情報に示される風速を実現するためのモータの回転数とを対応付けた管理テーブルと、
前記ファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、少なくとも、該ファン付きフィルタユニットの設置されているエリアと、該ファン付きフィルタユニットの属するグループと、該ファン付きフィルタユニットのフィルタの種類とを対応付けた設定登録テーブルと、が記憶されており、
前記監視センタ側システムの前記情報処理装置は、
前記入力装置から、前記エリア毎、前記グループ毎、前記ファン付きフィルタユニット毎のうち何れかで入力された、前記ファン付きフィルタユニットの各々の風速情報を、該ファン付きフィルタユニットの識別情報と対応付けて前記設定登録テーブルに登録する手段と、
前記設定登録テーブルに登録されているファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、該識別情報に対応付けられたフィルタの種類と風速情報とを読み出し、該読み出したフィルタの種類と同じフィルタの種類の管理テーブルから、前記読み出した風速情報と同じ風速情報に対応付けられた回転数を抽出する手段と、
前記ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該識別情報のファン付きフィルタユニットの回転数との組合せを、前記制御盤に出力する手段と、を有し、
前記制御盤は、
前記情報処理装置から入力された、ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該ファン付きフィルタユニットの回転数とに基づいて、前記各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御する手段、を有すること
を特徴とするファン運転制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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