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Description
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置及びその作製方法について説明する。
図1に、本発明の一態様である表示装置700の上面図を示す。表示装置700は、シール材712により貼りあわされた第1の基板701と第2の基板705を有する。また第1の基板701、第2の基板705、及びシール材712で封止される領域において、第1の基板701上に画素部702、ソースドライバ回路部704、及びゲートドライバ回路部706が設けられる。また画素部702には、複数の表示素子が設けられる。
図2及び図3に示す表示装置は、引き回し配線部711と、画素部702と、ソースドライバ回路部704と、FPC端子部708と、を有する。引き回し配線部711は、信号線710を有する。画素部702は、トランジスタ750及び容量素子790を有する。ソースドライバ回路部704は、トランジスタ752を有する。図2及び図3では、トランジスタ750、およびトランジスタ752のチャネル長方向の断面を示している。
図2に示す表示装置700は、液晶素子775を有する。液晶素子775は、導電層772、導電層774、及びこれらの間に液晶層776を有する。導電層774は、第2の基板705側に設けられ、共通電極としての機能を有する。また、導電層772は、トランジスタ750が有するソース電極またはドレイン電極と電気的に接続される。導電層772は、絶縁体363上に形成され、画素電極として機能する。
図3に示す表示装置700は、発光素子782を有する。発光素子782は、導電層772、EL層786、及び導電膜788を有する。EL層786は、有機化合物、または量子ドットなどの無機化合物を有する。
また、図2及び図3に示す表示装置700に入力装置を設けてもよい。当該入力装置としては、例えば、タッチセンサ等が挙げられる。
図2及び図3に示した表示装置700と異なる構成について、図4及び図5を用いて説明する。なお、図4及び図5は、それぞれ図1に示す一点鎖線Q-Rにおける断面図である。図4は、表示素子として液晶素子を用いた構成であり、図5は、発光素子を用いた構成である。
先の実施の形態で示した表示装置と、異なる構成の例について説明する。以下では、先の実施の形態と重複する部分は説明を省略する場合がある。また、以下で示す図面において、先の実施の形態と同様の機能を有する部分についてはハッチングパターンを同じくし、符号を付さない場合もある。
表示素子として液晶素子を用いる構成について、図6及び図7を用いて説明する。図6に示す表示装置700において、画素部702はトランジスタ750及び容量素子790を有する。ソースドライバ回路部704はトランジスタ441を有する。図6に示す表示装置700は、画素部702が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部704が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図2に示した表示装置と異なる。図6では、トランジスタ750、およびトランジスタ441のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ750及び容量素子790は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
表示素子として発光素子を用いる構成について、図8及び図9を用いて説明する。図8に示す表示装置において、画素部702はトランジスタ421、トランジスタ754及び容量素子790を有する。ソースドライバ回路部704はトランジスタ441を有する。図8に示す表示装置は、画素部702が有するトランジスタと、ソースドライバ回路部704が有するトランジスタが、異なる層に形成されている点で、図3に示した表示装置と異なる。図8では、トランジスタ421、トランジスタ754、およびトランジスタ441のチャネル長方向の断面を示している。トランジスタ441、トランジスタ754及び容量素子790は、先の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ及びその作製方法について説明する。
図10(A)、図10(B)、および図10(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200、およびトランジスタ200周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200を適用することができる。
図10に示すように、トランジスタ200は、基板(図示しない。)の上に配置された酸化物230aと、酸化物230aの上に配置された酸化物230bと、酸化物230bの上に、互いに離隔して配置された導電体242a、および導電体242bと、導電体242aおよび導電体242b上に配置され、導電体242aと導電体242bの間に重畳して開口が形成された絶縁体280と、開口の中に配置された導電体260と、酸化物230b、導電体242a、導電体242b、および絶縁体280と、導電体260と、の間に配置された絶縁体250と、酸化物230b、導電体242a、導電体242b、および絶縁体280と、絶縁体250と、の間に配置された酸化物230cと、を有する。ここで、図10(B)及び図10(C)に示すように、導電体260の上面は、絶縁体250、絶縁体254、絶縁体244、酸化物230c、および絶縁体280の上面と略一致することが好ましい。なお、以下において、酸化物230a、酸化物230b、および酸化物230cをまとめて酸化物230という場合がある。また、導電体242aおよび導電体242bをまとめて導電体242という場合がある。
トランジスタに用いることができる構成材料について説明する。
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
酸化物230として、酸化物半導体として機能する金属酸化物(以下、酸化物半導体ともいう)を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物230に適用可能な金属酸化物について説明する。
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC(Cloud-Aligned Composite)-OSの構成について説明する。
酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC-OS(c-axis aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc-OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous-like oxide semiconductor)および非晶質酸化物半導体などがある。
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
ここでは、金属酸化物に含まれる、弱いZn-O結合について説明し、該結合を構成する酸素原子および亜鉛原子を低減する方法の一例について示す。
次に、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200について、作製方法を図11乃至図16を用いて説明する。また、図11乃至図16において、各図の(A)は上面図を示す。また、各図の(B)は、(A)に示すA1-A2の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200のチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の(C)は、(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
あるいは、該絶縁膜の成膜温度と同じ温度で行うことが好ましい。ここで、成膜温度とは、成膜中の基板温度に限らず、成膜装置の設定温度の場合を含む。例えば、該絶縁膜を250℃で成膜する場合、当該加熱処理の温度は250℃とすることが好ましい。当該加熱処理は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空雰囲気で行ってもよい。真空雰囲気は、ターボ分子ポンプ等で排気を行うことで維持される。真空雰囲気では、処理室の圧力は、1×10-2Pa以下、好ましくは1×10-3Pa以下とすればよい。
図17(A)、図17(B)、および図17(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200A、およびトランジスタ200A周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Aを適用することができる。また、トランジスタ200Aについて、作製方法を図18に示す。また、図17及び図18において、各図の(A)は上面図を示す。また、各図の(B)は、図17(A)に示すA1-A2の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Aのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の(C)は、図17(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Aのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図19(A)、図19(B)、および図19(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200B、およびトランジスタ200B周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Bを適用することができる。また、トランジスタ200Bについて、作製方法を図20乃至図24に示す。また、図19乃至図24において、各図の(A)は上面図を示す。また、各図の(B)は、図19(A)に示すA1-A2の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Bのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の(C)は、図19(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Bのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図25(A)、図25(B)、および図25(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200C、およびトランジスタ200C周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Cを適用することができる。また、トランジスタ200Cについて、作製方法を図26及び図27に示す。また、図25乃至図27において、各図の(A)は上面図を示す。また、各図の(B)は、図25(A)に示すA1-A2の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Cのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の(C)は、図25(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Cのチャネル幅方向の断面図でもある。各図の(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
図28(A)、図28(B)および図28(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200D、およびトランジスタ200D周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Dを適用することができる。
次に、図28に示す、本発明の一態様に係るトランジスタ200Dについて、作製方法を図30乃至図38を用いて説明する。また、図30乃至図38において、各図の(A)は上面図を示す。また、各図の(B)は、(A)にA1-A2の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Dのチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の(C)は、(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ200Dのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、<トランジスタの作製方法1>に示すトランジスタ200と同符号を付記した構成要素は、<トランジスタの作製方法1>を参酌することができる。
図39(A)、図39(B)、および図39(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200E、およびトランジスタ200E周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Eを適用することができる。図39(A)は、トランジスタ200Eの上面図である。図39(B)は、図39(A)にA1-A2の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ200Eのチャネル長方向の断面図でもある。また、図39(C)は、図39(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ200Eのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図39(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図40は、図39(B)における酸化物230bおよびその近傍の拡大図である。
図48(A)、図48(B)、および図48(C)は、本発明の一態様である表示装置に用いることができるトランジスタ200F、およびトランジスタ200F周辺の上面図および断面図である。画素部702、ソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706が有するトランジスタに、トランジスタ200Fを適用することができる。図48(A)は、トランジスタ200Fの上面図である。また、図48(B)は、図48(A)に示すA1-A2の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ200Fのチャネル長方向の断面図でもある。また、図48(C)は、図48(A)にA3-A4の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ200Fのチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図48(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。また、図49は、図48(B)における酸化物230bおよびその近傍の拡大図である。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置について、説明する。
画素に表示される階調を補正するためのメモリを備える画素回路と、これを有する表示装置について説明する。先の実施の形態で例示したトランジスタは、以下で例示する画素回路に用いられるトランジスタに適用することができる。
図52(A)に、画素回路400の回路図を示す。画素回路400は、トランジスタM1、トランジスタM2、容量C1、及び回路401を有する。また画素回路400には、配線S1、配線S2、配線G1、及び配線G2が接続される。
続いて、図52(B)を用いて、画素回路400の動作方法の一例を説明する。図52(B)は、画素回路400の動作に係るタイミングチャートである。なおここでは説明を容易にするため、配線抵抗などの各種抵抗や、トランジスタや配線などの寄生容量、及びトランジスタのしきい値電圧などの影響は考慮しない。
期間T1では、配線G1と配線G2の両方に、トランジスタをオン状態にする電位を与える。また、配線S1には固定電位である電位Vrefを供給し、配線S2には第1データ電位Vwを供給する。
続いて期間T2では、配線G1にはトランジスタM1をオン状態とする電位を与え、配線G2にはトランジスタM2をオフ状態とする電位を与える。また、配線S1には第2データ電位Vdataを供給する。配線S2には所定の定電位を与える、またはフローティングとしてもよい。
〔液晶素子を用いた例〕
図52(C)に示す画素回路400LCは、回路401LCを有する。回路401LCは、液晶素子LCと、容量C2とを有する。
図52(D)に示す画素回路400ELは、回路401ELを有する。回路401ELは、発光素子EL、トランジスタM3、及び容量C2を有する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に用いることができる発光素子について説明する。
図53(A)には、一対の電極間にEL層を挟んでなる発光素子を示す。具体的には、第1の電極1101と第2の電極1102との間に発光層を含むEL層1103が挟まれた構造を有する。
次に、発光素子の具体的な構造および作製方法について説明する。なお、図53(A)乃至図53(D)において、符号が共通である場合は説明も共通とする。
第1の電極1101および第2の電極1102を形成する材料としては、上述した素子構造における両電極の機能が満たせるのであれば、以下に示す材料を適宜組み合わせて用いることができる。例えば、金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを適宜用いることができる。
正孔注入層(1111、1111a、1111b)は、陽極である第1の電極1101や電荷発生層(1104)からEL層(1103、1103a、1103b)に正孔(ホール)を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。
発光層(1113、1113a、1113b)は、発光物質を含む層である。なお、発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、複数の発光層(1113a、1113b)に異なる発光物質を用いることにより異なる発光色を呈する構成(例えば、補色の関係にある発光色を組み合わせて得られる白色発光)とすることができる。さらに、一つの発光層が異なる発光物質を有する積層構造であってもよい。
電子輸送層(1114、1114a、1114b)は、電子注入層(1115、1115a、1115b)によって、第2の電極1102から注入された電子を発光層(1113、1113a、1113b)に輸送する層である。なお、電子輸送層(1114、1114a、1114b)は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送層(1114、1114a、1114b)に用いる電子輸送性材料は、1×10-6cm2/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いることができる。
電子注入層(1115、1115a、1115b)は、電子注入性の高い物質を含む層である。電子注入層(1115、1115a、1115b)には、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF2)、リチウム酸化物(LiOx)等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。また、フッ化エルビウム(ErF3)のような希土類金属化合物を用いることができる。また、電子注入層(1115、1115a、1115b)にエレクトライドを用いてもよい。エレクトライドとしては、例えば、カルシウムとアルミニウムの混合酸化物に電子を高濃度添加した物質等が挙げられる。なお、上述した電子輸送層(1114、1114a、1114b)を構成する物質を用いることもできる。
図53(D)に示す発光素子において、電荷発生層1104は、第1の電極(陽極)1101と第2の電極(陰極)1102との間に電圧を印加したときに、EL層1103aに電子を注入し、EL層1103bに正孔を注入する機能を有する。なお、電荷発生層1104は、正孔輸送性材料に電子受容体(アクセプター)が添加された構成であっても、電子輸送性材料に電子供与体(ドナー)が添加された構成であってもよい。また、これらの両方の構成が積層されていてもよい。なお、上述した材料を用いて電荷発生層1104を形成することにより、EL層が積層された場合における駆動電圧の上昇を抑制することができる。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置を備える電子機器について説明する。
Claims (14)
- 第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有し、
前記第1のトランジスタは、第1の酸化物と、第2の酸化物と、導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、第3の絶縁体と、第4の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、前記第1の酸化物上に位置し、
前記第1の絶縁体は、前記第2の酸化物上に位置し、
前記導電体は、前記第1の絶縁体上に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の酸化物の上面の一部、前記第1の酸化物の側面の一部、及び前記第2の酸化物の側面の一部と接し、
前記第3の絶縁体は、前記第2の絶縁体上に位置し、
前記第2の酸化物の一部、及び前記第1の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第3の絶縁体の側面との間に位置し、
前記第4の絶縁体は、前記第2の酸化物の上面、前記第1の絶縁体の上面、前記導電体の上面、及び前記第3の絶縁体の上面と接し、
前記第1の酸化物は、第1の領域と、第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域との間に位置する第3の領域と、前記第1の領域と前記第3の領域との間に位置する第4の領域と、前記第2の領域と前記第3の領域との間に位置する第5の領域と、を有し、
前記導電体は、前記第3の領域と重畳するように、前記第3の領域の上方に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の領域、および前記第2の領域と接し、
前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、
前記第4の領域、及び前記第5の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、かつ前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗より高い表示装置。 - 第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、構造体と、を有し、
前記第1のトランジスタは、第1の酸化物と、第2の酸化物と、導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、第3の絶縁体と、第4の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、前記第1の酸化物上に位置し、
前記第1の絶縁体は、前記第2の酸化物上に位置し、
前記導電体は、前記第1の絶縁体上に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の酸化物の上面の一部、前記第1の酸化物の側面の一部、及び前記第2の酸化物の側面の一部と接し、
前記第3の絶縁体は、前記第2の絶縁体上に位置し、
前記第2の酸化物の一部、及び前記第1の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第3の絶縁体の側面との間に位置し、
前記第4の絶縁体は、前記第2の酸化物の上面、前記第1の絶縁体の上面、前記導電体の上面、及び前記第3の絶縁体の上面と接し、
前記第1の酸化物は、第1の領域と、第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域との間に位置する第3の領域と、前記第1の領域と前記第3の領域との間に位置する第4の領域と、前記第2の領域と前記第3の領域との間に位置する第5の領域と、を有し、
前記導電体は、前記第3の領域と重畳するように、前記第3の領域の上方に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の領域、および前記第2の領域と接し、
前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、
前記第4の領域、及び前記第5の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、かつ前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗より高く、
前記構造体は、前記表示素子を有する層と同じ層に配置され、
前記構造体は、前記第1のトランジスタと重なる領域を有する表示装置。 - 第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、前記第2のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、を有し、
前記第1のトランジスタは、第1の酸化物と、第2の酸化物と、導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、第3の絶縁体と、第4の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、前記第1の酸化物上に位置し、
前記第1の絶縁体は、前記第2の酸化物上に位置し、
前記導電体は、前記第1の絶縁体上に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の酸化物の上面の一部、前記第1の酸化物の側面の一部、及び前記第2の酸化物の側面の一部と接し、
前記第3の絶縁体は、前記第2の絶縁体上に位置し、
前記第2の酸化物の一部、及び前記第1の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第3の絶縁体の側面との間に位置し、
前記第4の絶縁体は、前記第2の酸化物の上面、前記第1の絶縁体の上面、前記導電体の上面、及び前記第3の絶縁体の上面と接し、
前記第1の酸化物は、第1の領域と、第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域との間に位置する第3の領域と、前記第1の領域と前記第3の領域との間に位置する第4の領域と、前記第2の領域と前記第3の領域との間に位置する第5の領域と、を有し、
前記導電体は、前記第3の領域と重畳するように、前記第3の領域の上方に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の領域、および前記第2の領域と接し、
前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、
前記第4の領域、及び前記第5の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、かつ前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗より高く、
前記第1のトランジスタを有する層は、前記表示素子を有する層と、前記第2のトランジスタが有する層との間に位置する表示装置。 - 第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、前記第2のトランジスタと電気的に接続される表示素子と、遮光膜と、を有し、
前記第1のトランジスタは、第1の酸化物と、第2の酸化物と、導電体と、第1の絶縁体と、第2の絶縁体と、第3の絶縁体と、第4の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、前記第1の酸化物上に位置し、
前記第1の絶縁体は、前記第2の酸化物上に位置し、
前記導電体は、前記第1の絶縁体上に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の酸化物の上面の一部、前記第1の酸化物の側面の一部、及び前記第2の酸化物の側面の一部と接し、
前記第3の絶縁体は、前記第2の絶縁体上に位置し、
前記第2の酸化物の一部、及び前記第1の絶縁体の一部は、前記導電体の側面と、前記第3の絶縁体の側面との間に位置し、
前記第4の絶縁体は、前記第2の酸化物の上面、前記第1の絶縁体の上面、前記導電体の上面、及び前記第3の絶縁体の上面と接し、
前記第1の酸化物は、第1の領域と、第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域との間に位置する第3の領域と、前記第1の領域と前記第3の領域との間に位置する第4の領域と、前記第2の領域と前記第3の領域との間に位置する第5の領域と、を有し、
前記導電体は、前記第3の領域と重畳するように、前記第3の領域の上方に位置し、
前記第2の絶縁体は、前記第1の領域、および前記第2の領域と接し、
前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、
前記第4の領域、及び前記第5の領域の抵抗は、前記第3の領域の抵抗より低く、かつ前記第1の領域、及び前記第2の領域の抵抗より高く、
前記遮光膜は、前記表示素子の上方に位置し、
前記遮光膜、前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、重なる領域を有する表示装置。 - 請求項3又は請求項4において、
前記第2のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有し、かつnチャネル型である表示装置。 - 請求項3又は請求項4において、
前記第2のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有し、かつpチャネル型である表示装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記第1の領域、および前記第2の領域は、リン、およびホウ素のいずれか一以上を有する表示装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記第2の酸化物は、前記第1の領域の一部、および前記第2の領域の一部と重畳する表示装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
さらに、第5の絶縁体を有し、
前記第5の絶縁体は、前記第2の絶縁体の上面、および前記第2の酸化物の側面の一部と接する表示装置。 - 請求項9において、
前記第4の領域、および前記第5の領域は、リン、およびホウ素のいずれか一以上を有する表示装置。 - 請求項9又は請求項10において、
前記第1の領域および前記第2の領域は、前記第4の領域および前記第5の領域よりも、リン、またはホウ素を多く有する表示装置。 - 請求項9乃至請求項11のいずれか一において、
前記第2の酸化物は、前記第4の領域の一部、および前記第5の領域の一部と重畳する表示装置。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一において、
前記表示素子は、液晶素子である表示装置。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一において、
前記表示素子は、発光素子である表示装置。
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