JP7108364B2 - 放射線検出器、放射線検出器の製造方法および装置、並びにシンチレータパネル、シンチレータパネルの製造方法および装置 - Google Patents
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Description
11 光電変換基板
12 シンチレータ層
12a 混合層部
12b ドープ材層部
13 反射層
17 柱状結晶
20 製造装置
28 第1の蒸発源
30 第1の加熱部
32 温度測定部
33 第2の蒸発源
34 第2の加熱部
42 電力制御部
43 蒸着終了判定部
44 蒸着停止制御部
50 シンチレータパネル
51 基板
52 防湿層
Claims (6)
- 光電変換基板と、
前記光電変換基板上に真空蒸着法により柱状結晶の構造に形成され、主材料とドープ材を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層の表面側に、前記シンチレータ層の表面形状に沿って形成された反射層または防湿層と、
を備えた放射線検出器において、
前記シンチレータ層は、前記光電変換基板上に形成された前記主材料と前記ドープ材の混合層部と、この混合層部の表面側に形成された前記ドープ材のみのドープ材層部とを有し、
少なくとも前記ドープ材層部の表面は、凹凸形状に形成され、この凹凸の周期が前記柱状結晶の周期よりも小さい
ことを特徴とする放射線検出器。 - 真空中で、光電変換基板と主材料を収納した第1の蒸発源およびドープ材を収納した第2の蒸発源とを対向させ、これら第1の蒸発源および第2の蒸発源を第1の加熱部および第2の加熱部で加熱する真空蒸着法により、前記光電変換基板上にシンチレータ層を形成する放射線検出器の製造方法において、
前記第1の蒸発源の温度を測定する温度測定工程と、
測定された前記第1の蒸発源の温度に基づいて前記第1の加熱部に供給する電力を制御する電力制御工程と、
前記第1の加熱部に供給する電力の直近短時間τ1における短時間移動平均をP(τ1)、直近短時間τ1よりも長い直近長時間τ2における長時間移動平均をP(τ2)、係数をK(0<K≦1)とし、P(τ1)>K・P(τ2)の関係からP(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことを判定する蒸着終了判定工程と、
P(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行としたところで、前記第2の蒸発源からの蒸着を停止させる蒸着停止制御工程と
を具備することを特徴とする放射線検出器の製造方法。 - 真空中で、光電変換基板と主材料を収納した第1の蒸発源およびドープ材を収納した第2の蒸発源とを対向させ、これら第1の蒸発源および第2の蒸発源を第1の加熱部および第2の加熱部で加熱する真空蒸着法により、前記光電変換基板上にシンチレータ層を形成する放射線検出器の製造装置において、
前記第1の蒸発源の温度を測定する温度測定部と、
測定された前記第1の蒸発源の温度に基づいて前記第1の加熱部に供給する電力を制御する電力制御部と、
前記第1の加熱部に供給する電力の直近短時間τ1における短時間移動平均をP(τ1)、直近短時間τ1よりも長い直近長時間τ2における長時間移動平均をP(τ2)、係数をK(0<K≦1)とし、P(τ1)>K・P(τ2)の関係からP(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことを判定する蒸着終了判定部と、
P(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことが判定されることで、前記第2の蒸発源からの蒸着を停止させる蒸着停止制御部と
を具備することを特徴とする放射線検出器の製造装置。 - 放射線が透過する基板と、
前記基板上に真空蒸着法により柱状結晶の構造に形成され、主材料とドープ材を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層の表面側に、前記シンチレータ層の表面形状に沿って形成された防湿層と、
を備えたシンチレータパネルにおいて、
前記シンチレータ層は、前記基板上に形成された前記主材料と前記ドープ材の混合層部と、この混合層部の表面側に形成された前記ドープ材のみのドープ材層部とを有し、
少なくとも前記ドープ材層部の表面は、凹凸形状に形成され、この凹凸の周期が前記柱状結晶の周期よりも小さい
ことを特徴とするシンチレータパネル。 - 真空中で、放射線が透過する基板と主材料を収納した第1の蒸発源およびドープ材を収納した第2の蒸発源とを対向させ、これら第1の蒸発源および第2の蒸発源を第1の加熱部および第2の加熱部で加熱する真空蒸着法により、前記基板上にシンチレータ層を形成するシンチレータパネルの製造方法において、
前記第1の蒸発源の温度を測定する温度測定工程と、
測定された前記第1の蒸発源の温度に基づいて前記第1の加熱部に供給する電力を制御する電力制御工程と、
前記第1の加熱部に供給する電力の直近短時間τ1における短時間移動平均をP(τ1)、直近短時間τ1よりも長い直近長時間τ2における長時間移動平均をP(τ2)、係数をK(0<K≦1)とし、P(τ1)>K・P(τ2)の関係から、P(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことを判定する蒸着終了判定工程と、
P(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行としたところで、前記第2の蒸発源からの蒸着を停止させる蒸着停止制御工程と
を具備することを特徴とするシンチレータパネルの製造方法。 - 真空中で、放射線が透過する基板と主材料を収納した第1の蒸発源およびドープ材を収納した第2の蒸発源とを対向させ、これら第1の蒸発源および第2の蒸発源を第1の加熱部および第2の加熱部で加熱する真空蒸着法により、前記基板上にシンチレータ層を形成するシンチレータパネルの製造装置において、
前記第1の蒸発源の温度を測定する温度測定部と、
測定された前記第1の蒸発源の温度に基づいて前記第1の加熱部に供給する電力を制御する電力制御部と、
前記第1の加熱部に供給する電力の直近短時間τ1における短時間移動平均をP(τ1)、直近短時間τ1よりも長い直近長時間τ2における長時間移動平均をP(τ2)、係数をK(0<K≦1)とし、P(τ1)>K・P(τ2)の関係からP(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことを判定する蒸着終了判定部と、
P(τ1)≦K・P(τ2)の関係に移行したことが判定されることで、前記第2の蒸発源からの蒸着を停止させる蒸着停止制御部と
を具備することを特徴とするシンチレータパネルの製造装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007114134A (ja) | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Fujifilm Corp | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2008051793A (ja) | 2006-03-02 | 2008-03-06 | Canon Inc | 放射線検出装置及びシンチレータパネル |
JP2009084471A (ja) | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | シンチレータプレート |
WO2010150576A1 (ja) | 2009-06-26 | 2010-12-29 | コニカミノルタエムジー株式会社 | シンチレータパネル、シンチレータパネルの製造方法、放射線画像検出器および放射線画像検出器の製造方法 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8600696A (nl) | 1986-03-19 | 1987-10-16 | Philips Nv | Stralings conversie scherm. |
US5753918A (en) * | 1995-10-19 | 1998-05-19 | Optoscint, Inc. | Superior performance subassembly for scintillation detection and detectors employing the subassembly |
AU4167999A (en) | 1998-06-18 | 2000-01-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator plate, radiation image sensor, and method for manufacturing the same |
JP4102084B2 (ja) * | 2002-03-07 | 2008-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネルおよびその製造方法 |
AU4168599A (en) * | 1998-06-18 | 2000-01-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel and radiation image sensor |
JP4234303B2 (ja) * | 2000-05-19 | 2009-03-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
EP1441019A1 (en) * | 2002-12-25 | 2004-07-28 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Radiographic image conversion panel |
JP2004333381A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Canon Inc | 放射線検出装置、及びその製造方法 |
JP5107500B2 (ja) * | 2003-08-20 | 2012-12-26 | 公益財団法人国際科学振興財団 | 蒸着装置 |
DE102004048378A1 (de) * | 2004-10-01 | 2006-04-13 | Universität Leipzig | Zinkoxid-Dünnfilm mit intensiver und lateral homogener Lumineszenz bei Raumtemperatur und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP5365720B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2013-12-11 | 日立化成株式会社 | シンチレータ用単結晶及びその製造方法 |
US20090072150A1 (en) * | 2006-04-20 | 2009-03-19 | Trissel Richard G | Scintillator-based micro-radiographic imaging device |
US7692263B2 (en) | 2006-11-21 | 2010-04-06 | Cree, Inc. | High voltage GaN transistors |
JP5521273B2 (ja) * | 2007-06-01 | 2014-06-11 | 日立化成株式会社 | シンチレータ用単結晶、シンチレータ用単結晶を製造するための熱処理方法、及びシンチレータ用単結晶の製造方法 |
KR101726464B1 (ko) * | 2010-01-29 | 2017-04-12 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 방사선상 변환 패널 |
JP6018854B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2016-11-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル、及び、放射線検出器 |
JP6092568B2 (ja) * | 2012-10-11 | 2017-03-08 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP6226579B2 (ja) * | 2013-06-13 | 2017-11-08 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
JP6306334B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2018-04-04 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器およびその製造方法 |
JP5751296B2 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-07-22 | コニカミノルタ株式会社 | 放射線画像変換パネルとその製造方法 |
KR20150053196A (ko) * | 2013-11-07 | 2015-05-15 | 주식회사 아비즈알 | 신틸레이터 패널 |
CN203616484U (zh) * | 2013-11-13 | 2014-05-28 | 江苏龙信电子科技有限公司 | 用于生长碘化铯闪烁体的基板 |
JP2015155799A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-27 | キヤノン株式会社 | シンチレータ、放射線検出装置、放射線検出装置の製造方法及び放射線検出システム |
US10580547B2 (en) * | 2014-08-08 | 2020-03-03 | Toray Industries, Inc. | Scintillator panel and radiation detector |
JP6528387B2 (ja) * | 2014-11-05 | 2019-06-12 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネルおよび放射線検出器 |
JP2016095189A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネル及び放射線検出器 |
JP6436793B2 (ja) * | 2015-01-22 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出器及びそれらの製造方法。 |
JP2018004590A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 東芝電子管デバイス株式会社 | シンチレータ、シンチレータパネル、放射線検出器、およびシンチレータの製造方法 |
JP2018010002A (ja) * | 2017-08-21 | 2018-01-18 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネルおよび撮像パネル |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007114134A (ja) | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Fujifilm Corp | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2008051793A (ja) | 2006-03-02 | 2008-03-06 | Canon Inc | 放射線検出装置及びシンチレータパネル |
JP2009084471A (ja) | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | シンチレータプレート |
WO2010150576A1 (ja) | 2009-06-26 | 2010-12-29 | コニカミノルタエムジー株式会社 | シンチレータパネル、シンチレータパネルの製造方法、放射線画像検出器および放射線画像検出器の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11415712B2 (en) | 2022-08-16 |
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