JP7098563B2 - 極低温冷凍システムにおけるヘリウム冷媒の供給を制御する方法および極低温冷凍システム - Google Patents
極低温冷凍システムにおけるヘリウム冷媒の供給を制御する方法および極低温冷凍システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7098563B2 JP7098563B2 JP2019060809A JP2019060809A JP7098563B2 JP 7098563 B2 JP7098563 B2 JP 7098563B2 JP 2019060809 A JP2019060809 A JP 2019060809A JP 2019060809 A JP2019060809 A JP 2019060809A JP 7098563 B2 JP7098563 B2 JP 7098563B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressor
- refrigerant
- supply
- compressors
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 title claims description 369
- 239000001307 helium Substances 0.000 title claims description 94
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 title claims description 94
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 94
- 238000007710 freezing Methods 0.000 title claims description 39
- 230000008014 freezing Effects 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 162
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 43
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 31
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 claims description 31
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 24
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 20
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 19
- 230000004044 response Effects 0.000 description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 12
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 238000011217 control strategy Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000008713 feedback mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0257—Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines
- F25J1/0275—Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines adapted for special use of the liquefaction unit, e.g. portable or transportable devices
- F25J1/0276—Laboratory or other miniature devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/002—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the refrigerant
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B49/00—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F25B49/02—Arrangement or mounting of control or safety devices for compression type machines, plants or systems
- F25B49/022—Compressor control arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/006—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures characterised by the refrigerant fluid used
- F25J1/0062—Light or noble gases, mixtures thereof
- F25J1/0065—Helium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0244—Operation; Control and regulation; Instrumentation
- F25J1/0245—Different modes, i.e. 'runs', of operation; Process control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0257—Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines
- F25J1/0269—Arrangement of liquefaction units or equipments fulfilling the same process step, e.g. multiple "trains" concept
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0279—Compression of refrigerant or internal recycle fluid, e.g. kind of compressor, accumulator, suction drum etc.
- F25J1/0294—Multiple compressor casings/strings in parallel, e.g. split arrangement
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0279—Compression of refrigerant or internal recycle fluid, e.g. kind of compressor, accumulator, suction drum etc.
- F25J1/0298—Safety aspects and control of the refrigerant compression system, e.g. anti-surge control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
- G01N33/5005—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving human or animal cells
- G01N33/5008—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving human or animal cells for testing or evaluating the effect of chemical or biological compounds, e.g. drugs, cosmetics
- G01N33/5082—Supracellular entities, e.g. tissue, organisms
- G01N33/5085—Supracellular entities, e.g. tissue, organisms of invertebrates
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/06—Several compression cycles arranged in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2500/00—Problems to be solved
- F25B2500/06—Damage
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2700/00—Sensing or detecting of parameters; Sensors therefor
- F25B2700/19—Pressures
- F25B2700/193—Pressures of the compressor
- F25B2700/1931—Discharge pressures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2700/00—Sensing or detecting of parameters; Sensors therefor
- F25B2700/19—Pressures
- F25B2700/193—Pressures of the compressor
- F25B2700/1933—Suction pressures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2700/00—Sensing or detecting of parameters; Sensors therefor
- F25B2700/21—Temperatures
- F25B2700/2115—Temperatures of a compressor or the drive means therefor
- F25B2700/21156—Temperatures of a compressor or the drive means therefor of the motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2270/00—Refrigeration techniques used
- F25J2270/90—External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
- F25J2270/912—Liquefaction cycle of a low-boiling (feed) gas in a cryocooler, i.e. in a closed-loop refrigerator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Description
ここに引用されているすべての特許、公開された出願および参考文献の教示は、援用することによってその全体がここに組み入れられる。
ヘリウム管理制御について議論をするに先立ち、クライオポンプの動作について議論することが有益であろう。
方法および対応する冷凍システムは、全体流量制御を備えるコンプレッサーシステムが、ヘリウムのような冷媒を用いるあらゆるシステムとの整合(連動)が可能になることと関係している。これには、オンボード(OnBoard)(登録商標)およびオンボードISクライオポンプおよび冷凍器のような現存するCTI極低温システムからの冷媒流量制御、ならびに、1台以上のコンプレッサーおよび他の製造業者によるコンプレッサーと冷凍器/クライオポンプを制御するという柔軟性も含まれる。固定速度コンプレッサーおよび可変速度コンプレッサーの双方を組み合わせて、少なくとも1台の可変コンプレッサーが存在する限りにおいて、どのような組合せにでもすることができる。複数のコンプレッサーが組み合わされると、可変速度性能を備えるコンプレッサーの速度および動作状態を変えることに加えて、要求に基づいて固定速度コンプレッサーを起動または停止することが可能である。
コンプレッサーの最大速度は、過剰電流状態での作動からコンプレッサーを保護するように確立される。現存する典型的な過剰電流保護は、第一に、短期の過剰電流状態に対しての保護である。過剰電流保護の第一のレベルは、交差伝導型電流スパイク(cross-conduction type current spikes)、すなわち数マイクロ秒間非常に大きな電流が流れることから保護を行う電流グリッチ回路(current glitch circuit)である(この場合おいて、検出と回路の遮断が双方ともハードウェアにおいて行われる)。この電流レベルは、通常、電力装置の最大パルス電流によって決定される。過剰電流保護の次のレベルは、過剰電流によって誘発される熱障害に対して保護を行うソフトウェアで達せられる。これは、グリッチよりも遅いが、それでもなお、かなり速い。しかし、この短期の熱過剰電流と継続的に流れている電流との間には、なおも大きな相違がある。継続的に流れている電流には制限が掛かっているが、それは、DCバス電圧にのみ基づいて、モーターが作動することのできる最大速度を単純に推定することによるものである。代替案では、電流のフィードバックを用いて、コンプレッサーが電流制限を超えないように速度を制限する。コンプレッサーが、DCバス電圧のみに基づいて最大速度の推定に依存するとき、それは、システムについての標準作動供給および戻り圧を用いる。高圧ギフォード・マクマホン冷凍システムにおいて、圧力は、供給が400psigで、戻りが200psigである。しかしながら、それらの値は、ユーザーによってプログラムが可能なものであってもよい。標準作動供給および戻り圧の使用は、一般に、閉ループ(能動)モードで作動しているときは適切な措置である。しかしながら、これは、固定速度モードで作動しているときは妥当な措置ではない。代替の制御方法においては、差圧、コンプレッサー特性および上限閾値に基づく最大作動速度の計算を用いてモーター速度を下げ、コンプレッサーを過剰電流状態から保護する。電流を制限する追加の制御方法には、最大許容速度のみの計算において、または、差圧の計算であって、それよりも上では、作動速度を低減してコンプレッサーの電流を低減するという計算との組合せにおいて、戻り圧を用いることが含まれている。
真空システムの設計において、とりわけコンプレッサーについては、振動と音の制御が非常に重要である。振動は、結果として、コンプレッサーの構成要素および環境の双方に対して悪い影響を及ぼす。過剰な振動によって、コンプレッサーシステム内の部品が時期尚早に疲労してしまうと、信頼性に問題が生じてしまう。振動は、環境に対して、第一に、耳障りなノイズとして、第二に、床や外部との管接続等の物理的な接続を通して伝達される振動として、二通りの影響を及ぼしている。あらゆる回転機器は、その回転周波数の高調波を生成し、その基本波が飛び抜けて最強の構成要素であり、これらの高調波から生じる振動は制御しなければならないが、これは、基本周波数未満の振動について心配しなくてもよいことを意味する。しかしながら、複数の圧縮ポンプを組み合わせて1つのコンプレッサーシステムにすると、様々なポンプの唸り周波数(差周波数の半分)によって、しばしば、不快で、減衰させるのがはるかに困難である低調波振動が生じる。以下でこの問題を扱う。
可変速度コンプレッサーによって、作動速度の範囲全体にわたって様々な熱量が生成される。作動速度が速いほど、より多くの熱が生成され、より多くの冷却が必要となる。高速での作動という高い要求を満たすために、水流を冷却すると、結果的には、低速の動作状態で冷却水を浪費してしまう。方法および対応する冷凍システムは、冷却回路においてサーモスタットの弁を用いて、コンプレッサーが使用する冷却水を最小とすることに関係している。
方法および対応する冷凍システムは、障害の検出および回復に関係している。例えば、前述のような冷凍システムを改修して、コンプレッサーの最大モーター電流の傾向をモニターしてモーターの故障の始まりを予測するのに役立つようにし、加速度計をコンプレッサーとポンプモーターに加えてベアリングの損傷を特徴付けるのに役立つようにし、第二段加熱器データの傾向をモニターして第二段の摩滅を特徴付け、かつ冷却データをモニターして漏れといったポンプの問題を予測するのに役立つようにする。
レベル0:ハードウェアレベル、ハードウェアが直接故障に応じ、故障情報をプロセッサーに提供する(例えば、gfi故障、モーター過電流故障)。
レベル1:埋め込まれたマイクロ制御器/DSPレベル、DSPが故障(例えば、モーター熱故障)を検出し、それに応じる。大部分のコンプレッサーおよびクライオの問題は、このレベルで検出され、ある程度の故障の回復がこのレベルで試みられる。
レベル2:アプリケーションおよび通信プロセッサーレベル(例えば、ARM9)故障は、通常、メモリーの問題から多くの通信インターフェースの1つにおける問題までの範囲にわたり得る基板のハードウェアの故障を意味する。コンプレッサーとクライオの故障の回復は、しばしばこのレベルで行われるが、プロセッサーは、ときには、単に再試行を行うことによって、レベル0またはレベル1の故障からの回復を試みる。
レベル3:これは、システム制御器プロセスレベルであり、このプロセスを利用して、故障の回復における補助をするためのシステムの知識を完全なものとする。例えば、圧力センサーの1つが故障して、差圧が50psiを下回るまで下落したことを示す場合、レベル2で、システムは停止するように命じられるが、しかしながら、レベル3で、ポンプが温度を維持しているということが示される場合、停止する理由はないので、非常に高く付く停止は、単に圧力センサーを取り換えるためのメンテナンス視察に切り換えられる。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
[態様1]
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、複数の冷凍器からの伝達に基づいて冷媒の需要の総計を求め、
前記制御器で、冷凍補正測定基準によって補正された前記冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の冷凍器に冷媒を供給するコンプレッサーの速度を制御する方法。
[態様2]
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒補正測定基準によって補正された冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
[態様3]
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒の需要の総計および前記複数のコンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
[態様4]
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
[態様5]
冷媒の供給を制御する方法であって、
バイパスループにおける冷媒流量の直接測定に基づいて、コンプレッサーの速度を制御する方法。
[態様6]
さらに、DCバス電圧のみを用いてモーターの最大速度を推定することによって電流制限を決定する態様1から5のいずれか一態様に記載の方法。
[態様7]
モーター電流フィードバックに基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する態様1から6のいずれか一態様に記載の方法。
[態様8]
さらに、前記コンプレッサーにおいて散逸する最大電流および最大電力に基づいて、前記コンプレッサーの最大速度を決定する態様1から7のいずれか一態様に記載の方法。
[態様9]
前記コンプレッサーが、少なくとも1つの固定速度コンプレッサーおよび少なくとも1つの可変速度コンプレッサーを含む態様1から8のいずれか一態様に記載の方法。
[態様10]
前記冷媒がヘリウムである態様1から9のいずれか一態様に記載の方法。
[態様11]
冷媒についての要件が、複数の冷凍器からの伝達に基づく冷媒の需要の総計に基づいている態様1から10のいずれか一態様に記載の方法。
[態様12]
冷媒についての要件が、供給圧、戻り圧および差圧の少なくとも1つに基づいている態様1から11のいずれか一態様に記載の方法。
[態様13]
前記コンプレッサーが、複数のコンプレッサーの1つである態様1から12のいずれか一態様に記載の方法。
[態様14]
さらに、複数の可変速度コンプレッサーを備える態様1から13のいずれか一態様に記載の方法。
[態様15]
冷凍補正測定基準が、供給圧と戻り圧の少なくとも一方に基づいて計算される態様1から14のいずれか一態様に記載の方法。
[態様16]
前記コンプレッサーの速度を制御する際に、戻り圧設定値を決定する態様1から15のいずれか一態様に記載の方法。
[態様17]
さらに、戻り圧設定値と戻り圧との比較に基づいて、戻り圧誤差を決定する態様1から16のいずれか一態様に記載の方法。
[態様18]
さらに、戻り圧誤差に基づいて、冷媒の需要の総計についての補正を計算する態様1から17のいずれか一態様に記載の方法。
[態様19]
さらに、冷媒の補正による、需要の総計の調整に基づいて、複数の冷凍器に供給する冷媒の量を決定する態様1から18のいずれか一態様に記載の方法。
[態様20]
前記コンプレッサーが、複数の可変速度コンプレッサーおよび複数の固定速度コンプレッサーを含む態様1から19のいずれか一態様に記載の方法。
[態様21]
さらに、複数の冷凍器に供給する補正された冷媒の量に基づいて、複数のコンプレッサーの一部を起動または停止する態様1から20のいずれか一態様に記載の方法。
[態様22]
さらに、起動された複数の可変速度コンプレッサーの一部の速度を、複数の冷凍器および、起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部に供給する補正された冷媒の量の関数として決定し、
起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部に、前記決定された速度で作動するように指令を送り、前記決定されたコンプレッサーの速度は、前記複数のコンプレッサーが単一のコンプレッサーとして一体化された場合の速度である態様1から21のいずれか一態様に記載の方法。
[態様23]
さらに、前記コンプレッサーが複数の冷凍器に冷媒の需要の総計を供給できるか否かを判定し、
前記コンプレッサーが前記複数の冷凍器に前記冷媒の需要の総計を供給できない場合、前記複数の冷凍器のうち1つの冷凍器の速度を調整する態様1から22のいずれか一態様に記載の方法。
[態様24]
冷媒の供給を制御する際に、極低温冷凍器の冷媒の供給を制御する態様1から23のいずれか一態様に記載の方法。
[態様25]
さらに、極低温冷凍器がクライオポンプに含まれている態様1から24のいずれか一態様に記載の方法。
[態様26]
さらに、複数のコンプレッサーを備え、その複数のコンプレッサーが、コンプレッサー2台のみであって、その2台のコンプレッサーが可変速度コンプレッサーである態様1から25のいずれか一態様に記載の方法。
[態様27]
さらに、2台の可変速度コンプレッサーが動作中である場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態に切り換えるか否かを判定する態様1から26のいずれか一態様に記載の方法。
[態様28]
2台の可変速度コンプレッサーのうち1台に障害状態がある場合、障害状態のない可変速度コンプレッサーの速度を最大モーター速度に調整する態様1から27のいずれか一態様に記載の方法。
[態様29]
複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する際に、(i)低減された冷媒の割り当て、および(ii)低減された冷媒の需要の少なくとも一方を含む条件への適合に基づいている態様1から28のいずれか一態様に記載の方法。
[態様30]
コンプレッサーにおける障害状態を解消する場合、そのコンプレッサーに結合されたモーターを再起動する態様1から29のいずれか一態様に記載の方法。
[態様31]
さらに、複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、
計算された冷媒の供給が閾値未満である場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を選択して停止する態様1から30のいずれか一態様に記載の方法。
[態様32]
さらに、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止する前に、起動したままとされる可変速度コンプレッサーの速度を、複数の冷凍器への計算された冷媒の供給を可能とする速度に上げることによって、選択された可変速度コンプレッサーを停止する態様1から31のいずれか一態様に記載の方法。
[態様33]
さらに、複数の冷凍器への計算された冷媒の供給が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止することによって、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止する態様1から32のいずれか一態様に記載の方法。
[態様34]
さらに、停止の履歴に基づいて、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を選択して停止する態様1から33のいずれか一態様に記載の方法。
[態様35]
さらに、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止すると供給圧と戻り圧との差圧が所定の閾値を超えて下落するか否かを判定し、前記差圧が前記所定の閾値を超えて下落する場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態から二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様1から34のいずれか一態様に記載の方法。
[態様36]
2台の可変速度コンプレッサーのうち1台が停止している場合、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、かつ
計算された冷媒の量が単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様1から35のいずれか一態様に記載の方法。
[態様37]
さらに、計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を起動して、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様1から36のいずれか一態様に記載の方法。
[態様38]
さらに、2台の可変速度コンプレッサーの速度を調整して、冷凍器に計算された量の冷媒を供給することによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様1から37のいずれか一態様に記載の方法。
[態様39]
さらに、単一可変速度動作状態の間に動作中の可変速度コンプレッサーの速度を下げる前に、動作中の可変速度コンプレッサーの速度を上げる態様1から38のいずれか一態様に記載の方法。
[態様40]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を供給するコンプレッサーと、
そのコンプレッサーに結合され、前記供給管路から冷媒を受け取って、前記戻り管路に返す複数の冷凍器と、
その複数の冷凍器からの伝達に基づいて冷媒の需要の総計を求め、さらに、冷凍補正測定基準によって補正された前記冷媒の需要の総計に基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する電子制御器であって、前記需要の総計が、冷媒流量測定基準をモニターすることによって決定される電子制御器とを備えるシステム。
[態様41]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷凍補正測定基準によって補正された冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
[態様42]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷媒の需要の総計および前記複数の可変速度コンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
[態様43]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
[態様44]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
バイパスループにおける冷媒流量の直接測定に基づいて、コンプレッサーの速度を制御するコンプレッサー制御器を備えるシステム。
[態様45]
冷媒についての要件が、複数の冷凍器からの伝達に基づく冷媒の需要の総計に基づいている態様40から44のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様46]
冷媒についての要件が、高圧供給フィードバックループからの供給圧および低圧戻りフィードバックループからの戻り圧の少なくとも一方に基づいている態様40から45のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様47]
複数の可変速度コンプレッサーをさらに備える態様40から46のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様48]
少なくとも1つの可変速度コンプレッサーおよび少なくとも1つの固定速度コンプレッサーをさらに備える態様40から47のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様49]
電子制御器が、さらに、高圧供給管路からの供給圧フィードバックループおよび低圧戻り管路からの戻り圧フィードバックループの少なくとも一方に基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する態様40から48のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様50]
電子制御器が、さらに、冷媒の供給を増加させるか減少させるかを判定し、需要の総計の増加または減少を戻り圧設定値計算器に通知する態様40から49のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様51]
冷媒の供給を増加させるか減少させるかの判定に基づいて、戻り圧設定値を決定する戻り圧設定値計算器をさらに備える態様40から50のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様52]
戻り圧設定値と戻り圧との誤差を決定する冷媒供給補正制御器をさらに備え、冷媒需要補正制御器が、さらに、前記戻り圧設定値と戻り圧との誤差に基づいて、冷媒需要補正を計算する態様40から51のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様53]
複数の冷凍器からの冷媒の需要の総計の調整に基づいて、前記複数の冷凍器に供給する冷媒の量を決定する冷媒供給補正制御器をさらに備える態様40から52のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様54]
複数の可変速度コンプレッサーをさらに備える態様40から53のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様55]
少なくとも1つの固定速度コンプレッサーおよび少なくとも1つの可変速度コンプレッサーをさらに備える態様40から54のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様56]
複数の冷凍器に供給する補正された冷媒の量に基づいて、複数の可変速度コンプレッサーの一部を起動または停止するコンプレッサーモーター制御器をさらに備える態様40から55のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様57]
コンプレッサーモーター制御器が、さらに、
複数の冷凍器および起動された複数の可変速度コンプレッサーの一部に供給する補正された冷媒の量の関数として、起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部の速度を決定し、
起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部が前記決定された速度で作動するように指令を送る態様40から56のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様58]
前記制御器が、さらに、
前記コンプレッサーが複数の冷凍器に冷媒の需要の総計を供給できるか否かを判定し、
前記コンプレッサーが、前記複数の冷凍器に補正された前記冷媒の需要の総計を供給できない場合、(i)前記複数の冷凍器のうち1つの冷凍器の速度を調整し、または(ii)前記複数の冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様40から57のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様59]
電子制御器が、複数の極低温冷凍器からの冷媒の需要の総計を求める態様40から58のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様60]
それぞれのクライオポンプに結合された極低温冷凍器をさらに備える態様40から59のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様61]
複数のコンプレッサーをさらに備え、その複数のコンプレッサーには、可変速度コンプレッサーが2台のみ含まれている態様40から60のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様62]
さらに、コンプレッサー制御システムが、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台に障害状態がある場合、障害状態のない可変速度コンプレッサーの速度を最大モーター速度に調整する態様40から61のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様63]
コンプレッサー制御器が、2台の可変速度コンプレッサーの双方が動作中である場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態から単一可動速度コンプレッサー動作状態に切り換えるか否かを判定する態様40から62のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様64]
さらに、コンプレッサー制御器が、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、
前記複数の冷凍器に供給される計算された冷媒の量が、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を選択して停止する態様40から63のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様65]
コンプレッサー制御器が、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止する前に、起動されたままとされる可変速度コンプレッサーの速度を、複数の冷凍器への計算された量の冷媒の供給を可能とする速度に上げることによって、選択された可変速度コンプレッサーを停止する態様40から64のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様66]
コンプレッサー制御器が、さらに、複数の冷凍器に供給される計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止することによって、前記2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止する態様40から65のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様67]
コンプレッサー制御器が、さらに、停止の履歴に基づいて、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を選択して停止する態様40から66のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様68]
コンプレッサー制御器が、さらに、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止すると供給圧と戻り圧との差圧が所定の閾値を超えて下落するか否かを判定し、前記差圧が前記所定の閾値を超えて下落する場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態から二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様40から67のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様69]
コンプレッサー制御器が、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台が停止している場合、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、かつ
計算された冷媒の量が単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様40から68のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様70]
コンプレッサー制御器が、さらに、計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を起動することによって、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様40から69のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様71]
コンプレッサー制御器が、さらに、2台の可変速度コンプレッサーの速度を調整して、冷凍器に計算された量の冷媒を供給することによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様40から70のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様72]
前記コンプレッサー制御器が、さらに、単一可変速度動作状態の間に動作中の可変速度コンプレッサーの速度を下げる前に、動作中の可変速度コンプレッサーの速度を上げることによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様40から71のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様73]
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーの速度を制御し、複数の冷凍器に冷媒を供給する固定速度コンプレッサーを選択的に起動または停止する方法。
[態様74]
さらに、差圧に基づいて、冷媒が単一のコンプレッサーによって供給されるまで、可変速度コンプレッサーの速度を下げる態様73に記載の方法。
[態様75]
さらに、差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、固定速度コンプレッサーを停止させる態様73または74に記載の方法。
[態様76]
冷媒の供給を制御する冷凍器システムであって、
可変速度コンプレッサーと固定速度コンプレッサーの任意の順列であるコンプレッサーと、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーの速度を制御し、固定速度コンプレッサーを選択的に起動または停止する制御器とを備えるシステム。
[態様77]
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、少なくとも1つのコンプレッサーを含む冷媒システムにおいて障害を検出し、前記少なくとも1つのコンプレッサーが固定速度コンプレッサーと可変速度コンプレッサーの任意の組合せであり、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始する方法。
[態様78]
さらに、冷媒システムの要素間での伝達損失を検出し、
伝達損失を測定すると少なくとも1つのコンプレッサーの速度を上げる態様1から39、73から75、77および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様79]
検出された障害によって、電流が所定の閾値を超えていると指示される場合、少なくも1つのコンプレッサーの速度を徐々に下げる態様1から39、73から75、77、78および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様80]
電流が所定の閾値を超え続け、少なくとも1つのコンプレッサーの速度が最小の閾値である場合、前記少なくとも1つのコンプレッサーを停止する態様1から39、73から75、77から79および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様81]
さらに、障害回復手順によって指示される、少なくとも1つのコンプレッサーに設定する速度が、需要の総計、冷凍補正測定基準によって補正された需要の総計および差圧測定基準の少なくとも1つによって指示される、前記少なくとも1つのコンプレッサーに設定する決定した速度よりも低いか否かを判定し、
前記少なくとも1つのコンプレッサーの速度を前記障害回復手順によって指示される速度に設定する態様1から39、73から75、77から80および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様82]
障害を検出する際に、モーターが最高温度閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記モーターの温度が前記閾値よりも高い場合、前記モーターの速度を下げる態様1から39、73から75、77から81および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様83]
さらに、モーターが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記モーターを停止する態様1から39、73から75、77から82および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様84]
さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記駆動トランジスタの温度が前記閾値よりも高い場合、前記駆動トランジスタに結合されたコンプレッサーの速度を下げる態様1から39、73から75、77から83および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様85]
さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に留まり、前記コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記コンプレッサーを停止する態様1から39、73から75、77から84および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様86]
さらに、注入口または排出口の水温が閾値を超えているか否かおよび前記水温が前記閾値を超えているか否かを判定する態様1から39、73から75、77から85および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様87]
さらに、少なくとも1つの熱交換器の温度が温度閾値を超えているか否かを判定する態様1から39、73から75、77から87および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様88]
さらに、少なくとも1つの熱交換器に結合されたコンプレッサーを停止する態様1から39、73から75、77から87および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様89]
さらに、電子機器を含む領域の内部環境温度が温度閾値よりも高いか否かを判定する態様1から39、73から75、77から88および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様90]
2つ以上のコンプレッサーが作動して同じヘリウム回路を共有しており、前記コンプレッサーの1つが停止するときに差圧が閾値未満に下落する場合、前記コンプレッサーを起動し直す態様1から39、73から75、77から89および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様91]
さらに、前記コンプレッサーが起動し直される場合、障害は、故障した逆止弁であると判定する態様1から39、73から75、77から90および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様92]
さらに、圧力センサーの損失もしくは障害、または前記センサーへのもしくは前記センサーからの伝達の損失を検出すると、コンプレッサーを最大速度で動かす態様1から39、73から75、77から91および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様93]
さらに、差圧測定基準が閾値未満であるか否かを判定し、前記差圧測定基準の値が前記閾値未満である場合、コンプレッサーを最大速度に設定する態様1から39、73から75、77から92および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様94]
さらに、差圧測定基準が、所定時間、閾値未満に留まる場合、冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様1から39、73から75、77から93および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様95]
さらに、無効な圧力センサーの検出に応じて、コンプレッサーを最大速度に設定し、
送風機の故障を検出する態様1から39、73から75、77から94および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様96]
さらに、差圧または供給圧と戻り圧との差圧が閾値未満であるとの検出に応じて、冷凍器の温度をチェックして前記冷凍器が規定の温度を保っているか否かを判定し、
前記冷凍器が前記規定の温度を保っている場合、圧力センサーが故障していると判定してコンプレッサーを最大速度に設定する態様1から39、73から75、77から95および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様97]
真空部品の真空性能特性を診断する方法であって、
真空ポンプの冷凍器モーター速度の上昇に基づく電子信号を検出し、
(i)前記冷凍器モーター速度の上昇を検出し、(ii)前記冷凍器モーター速度の上昇の前に、極低温真空ポンプの冷凍器段の温度の上昇を検出し、かつ(iii)前記冷凍器段の温度が上昇している間に、前記冷凍器段のヒーターが作動していないことを検出する方法。
[態様98]
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
少なくとも1つのコンプレッサーを含む冷媒ネットワークの、少なくとも1つの要素における障害を検出する制御器を備え、前記少なくとも1つのコンプレッサーが固定速度コンプレッサーと可変速度コンプレッサーの任意の組合せであり、
前記制御器が、前記障害を検出すると障害回復手順を開始するシステム。
[態様99]
前記制御器が、さらに、
前記冷媒システムの要素間での伝達損失を検出し、
前記伝達損失を検出すると少なくとも1つのコンプレッサーの速度を上げる態様40から72、76、98および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様100]
検出された障害によって、電流が所定の閾値を超えていると指示される場合、前記制御器が、少なくとも1つのコンプレッサーの速度を徐々に下げる態様40から72、76、98、99および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様101]
電流が所定の閾値を超え続け、かつ少なくとも1つのコンプレッサーの速度が最小閾値である場合、前記制御器が、前記少なくとも1つのコンプレッサーを停止する態様40から72、76、98から100および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様102]
前記制御器が、さらに、
障害回復手順によって指示される、少なくとも1つのコンプレッサーに設定する速度が、需要の総計、冷凍補正測定基準によって補正された需要の総計および差圧測定基準の少なくとも1つによって指示される、前記少なくとも1つのコンプレッサーに設定する決定した速度よりも低いか否かを判定し、
前記少なくとも1つのコンプレッサーの速度を前記障害回復手順によって指示される速度に設定する態様40から72、76、98から101および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様103]
前記制御器が、さらに、モーターが最高温度閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記モーターの温度が前記閾値よりも高い場合、前記モーターの速度を下げる態様40から72、76、98から102および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様104]
前記制御器が、さらに、モーターが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記モーターを停止する態様40から72、76、98から103および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様105]
前記制御器が、さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記駆動トランジスタの温度が前記閾値よりも高い場合、前記駆動トランジスタに結合されたコンプレッサーの速度を最小速度閾値に到達するまで下げる態様40から72、76、98から104および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様106]
前記制御器が、さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記駆動トランジスタを停止する態様40から72、76、98から105および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様107]
前記制御器が、さらに、注入口または排出口の水温が閾値を超えているか否かおよび前記水温が前記閾値を超えているか否かを判定する態様40から72、76、98から106および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様108]
前記制御器が、さらに、少なくとも1つの熱交換器の温度が温度閾値を超えているか否かおよび前記温度が前記温度閾値を超えているか否かを判定する態様40から72、76、98から107および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様109]
前記制御器が、さらに、少なくとも1つの熱交換器に結合されたコンプレッサーを停止する態様40から72、76、98から108および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様110]
前記制御器が、さらに、電子機器を含む領域の内部環境温度が温度閾値よりも高いか否かを判定する態様40から72、76、98から109および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様111]
2つ以上のコンプレッサーが作動して同じヘリウム回路を共有しており、前記コンプレッサーの1つが停止するときに差圧が閾値未満に下落する場合、前記制御器が、前記コンプレッサーを起動し直す態様40から72、76、98から110および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様112]
前記コンプレッサーが起動し直される場合、前記制御器が、さらに、障害は故障した逆止弁であると判定する態様40から72、76、98から111および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様113]
前記制御器が、圧力センサーの損失もしくは障害、または前記センサーへのもしくは前記センサーからの伝達の損失を検出すると、コンプレッサーの速度を最大速度にまで上げる態様40から72、76、98から112および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様114]
前記制御器が、さらに、差圧測定基準が閾値未満であるか否かを判定し、前記差圧測定基準の値が前記閾値未満である場合、コンプレッサーを最大速度に設定する態様40から72、76、98から113および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様115]
前記制御器が、さらに、差圧測定基準が、所定時間、閾値未満に留まる場合、冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様40から72、76、98から114および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様116]
前記制御器が、さらに、
無効な圧力センサーの検出に応じて、コンプレッサーを最大速度に設定し、
送風機の故障を検出する態様40から72、76、98から115および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様117]
前記制御器が、さらに、
差圧または供給圧と戻り圧との差圧が閾値未満であるとの検出に応じて、冷凍器の温度をチェックして前記冷凍器が規定の温度を保っているか否かを判定し、
前記冷凍器が前記規定の温度を保っている場合、圧力センサーが故障していると判定してコンプレッサーを最大速度に設定する態様40から72、76、98から116および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様118]
制御器が、
差圧に基づいて、冷媒が単一のコンプレッサーによって供給されるまで可変速度コンプレッサーの速度を上げて、そして、固定速度コンプレッサーを停止する態様40から72、76、98から117および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様119]
制御器が、
差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、固定速度コンプレッサーを停止させる態様40から72、76、98から118および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様120]
さらに、障害の検出に応じて、警告信号を発する態様1から39、73から75、77から97および124のいずれか一態様に記載の方法。
[態様121]
前記制御器が、さらに、障害の検出に応じて、警告信号を発する態様40から72、76、98から119および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様122]
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
冷却水回路に結合されたサーモスタット流量制御弁において、流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの動作仕様内にモーターの巻線の温度を保つのに必要な冷却水の最小量を維持する方法。
[態様123]
冷媒の供給を制御するシステムであって、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの速度を制御する制御器と、
流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの動作仕様内にモーターの巻線の温度を保つのに必要な冷却水の最小量を維持し、冷却水回路に結合されたサーモスタット流量制御弁とを備えるシステム。
[態様124]
極低温冷媒システムへの冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
前記極低温冷媒システムにおける障害を検出し、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始する方法。
[態様125]
冷媒の供給を制御するシステムであって、
制御器が、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも1つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
前記極低温冷媒システムにおける障害を検出し、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始するシステム。
[態様126]
さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも1つの動作中の圧力センサーを、前記複数の圧力センサーの一部における障害の検出に応じて、センサーフィードバックとして用い、前記複数の圧力センサーのうち少なくとも1つが高圧供給管路を測定している態様1から39、73から75、77から97および125のいずれか一態様に記載の方法。
[態様127]
さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも1つの動作中のセンサーを、前記複数のセンサーの一部における障害の検出に応じて、制御システムへの入力センサーとして用い、前記複数のセンサーのうち少なくとも1つが低圧戻り管路を測定している態様1から39、73から75、77から97、125および126のいずれか一態様に記載の方法。
[態様128]
前記制御器が、さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも1つの動作中の圧力センサーを、前記複数の圧力センサーの一部における障害の検出に応じて、センサーフィードバックとして用い、前記複数の圧力センサーのうち少なくとも1つが高圧供給管路を測定している態様40から72、76、98から119および125のいずれか一態様に記載のシステム。
[態様129]
前記制御器が、さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも1つの動作中のセンサーを、前記複数のセンサーの一部における障害の検出に応じて、制御システムへの入力センサーとして用い、前記複数のセンサーのうち少なくとも1つが低圧戻り管路を測定している態様40から72、76、98から119、125および128のいずれか一態様に記載のシステム。
Claims (17)
- 制御器によって制御される複数のコンプレッサーが、往復運動する変位器をそれぞれ備える複数の極低温冷凍器にヘリウム冷媒を供給圧で供給し、前記極低温冷凍器が、前記ヘリウム冷媒を膨張させて熱を吸収することによって冷却効果を生じさせ、かつ、前記ヘリウム冷媒を戻り圧で前記コンプレッサーに返す極低温冷凍システムにおいて、前記ヘリウム冷媒の供給を制御する方法であって、
前記制御器において、ヘリウム冷媒の需要を示す複数の冷凍器からの伝達を受け取り、 前記複数の極低温冷凍器について、前記ヘリウム冷媒の需要の総計を決定し、
前記コンプレッサーからの供給圧を検出し、
前記コンプレッサーへの戻り圧を検出し、
前記制御器において、検出された供給圧と検出された戻り圧との間の差圧に基づいてヘリウム冷媒供給補正を計算し、
前記ヘリウム冷媒供給補正によって補正された前記ヘリウム冷媒の前記需要の総計に基づいて、前記極低温冷凍器に供給するヘリウム冷媒の量を算出し、
前記制御器で、前記複数の極低温冷凍器にヘリウム冷媒を供給する少なくとも1つのコンプレッサーの速度を制御して、前記算出された量のヘリウム冷媒を供給する方法。 - さらに、コンプレッサーを選択的に起動または停止して、前記算出された量の冷媒を供給する請求項1に記載の方法。
- さらに、前記複数のコンプレッサーを起動または停止して、前記算出された量の冷媒を供給し、前記複数のコンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、起動または停止する特定のコンプレッサーを選択する請求項1に記載の方法。
- 前記複数のコンプレッサーが、少なくとも1つの固定速度コンプレッサーおよび少なくとも1つの可変速度コンプレッサーを含む請求項1に記載の方法。
- 前記複数のコンプレッサーが、複数の可変速度コンプレッサーを含む請求項1に記載の方法。
- 前記複数の極低温冷凍器が、クライオポンプに含まれている請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数のコンプレッサーは、2台の可変速度コンプレッサーを含み、前記方法は、さらに、前記2台の可変速度コンプレッサーのうち1台を停止する前に、起動したままとされる可変速度コンプレッサーの速度を、前記複数の極低温冷凍器への前記算出された量のヘリウム冷媒の供給を可能とする速度に上げることによって、選択された可変速度コンプレッサーを停止する請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数のコンプレッサーは、1台の可変速度コンプレッサーと1台の固定速度コンプレッサーを含み、前記方法は、さらに、前記可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、前記固定速度コンプレッサーを停止させる請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- さらに、圧力センサーの1つの障害または前記冷凍システムの要素間での伝達損失を検出し、
前記障害または伝達損失を検出すると、前記制御器によって決定される前記少なくとも1つのコンプレッサーの速度を上げる請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記複数のコンプレッサーは、少なくとも1台の可変速度コンプレッサーを含み、前記方法は、さらに、冷却水回路に結合されたサーモスタット流量制御弁において、流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも1つの可変速度コンプレッサーのモーターの巻線の温度を動作仕様内に保つのに必要な冷却水の最小量を維持する請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- ヘリウム冷媒の供給を制御する極低温冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、ヘリウム冷媒を供給する少なくとも1つのコンプレッサーと、
前記少なくとも1つのコンプレッサーに結合され、前記供給管路からヘリウム冷媒を受け取って、前記戻り管路に返す複数の極低温冷凍器であって、それぞれ往復運動する変位器を備える複数の極低温冷凍器と、
前記供給管路における供給圧を検出する供給圧センサーと、
前記戻り管路における戻り圧を検出する戻り圧センサーと、
システム制御器とを備え、
前記システム制御器が、
ヘリウム冷媒の需要を示す前記複数の極低温冷凍器からの伝達を受け取り、前記複数の極低温冷凍器について、前記ヘリウム冷媒の需要の総計を決定するヘリウム冷媒管理システムと、
検出された供給圧と検出された戻り圧との間の差圧に基づいてヘリウム冷媒供給補正を計算し、前記ヘリウム冷媒供給補正によって補正された前記ヘリウム冷媒の前記需要の総計に基づいて、前記極低温冷凍器に供給するヘリウム冷媒の量を算出するヘリウム冷媒供給補正制御器と、
前記複数の極低温冷凍器にヘリウム冷媒を供給する少なくとも1つのコンプレッサーの速度を制御して、前記算出された量のヘリウム冷媒を供給するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。 - 前記コンプレッサー制御器が、コンプレッサーを起動または停止して、前記算出された量のヘリウム冷媒を供給する請求項11に記載の極低温冷凍システム。
- 前記少なくとも1つのコンプレッサーは複数の可変速度コンプレッサーを含み、前記コンプレッサー制御器が、前記複数の可変速度コンプレッサーを起動または停止して、前記算出された量のヘリウム冷媒を供給し、前記複数の可変速度コンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、起動または停止する特定のコンプレッサーを選択する請求項11に記載の極低温冷凍システム。
- 前記少なくとも1つのコンプレッサーは複数のコンプレッサーを含み、前記複数のコンプレッサーは少なくとも1つの固定速度コンプレッサーと少なくとも1つの可変速度コンプレッサーを備える請求項11から13のいずれか一項に記載の極低温冷凍システム。
- 前記極低温冷凍器が、それぞれのクライオポンプに結合されている請求項11から13のいずれか一項に記載の極低温冷凍システム。
- 前記システム制御器が、さらに、前記供給圧センサーおよび戻り圧センサーのうちの1つの障害または前記冷凍システムの要素間での伝達損失を検出し、前記障害または伝達損失を検出すると、前記少なくとも1つのコンプレッサーの速度を上げる請求項11から13のいずれか一項に記載の極低温冷凍システム。
- 前記少なくとも1つのコンプレッサーは複数のコンプレッサーを含み、前記複数のコンプレッサーは少なくとも1つの可変速度コンプレッサーを含み、
制御器によって制御される前記複数のコンプレッサーが、ヘリウム冷媒を膨張させて冷却を行う複数の冷凍器にヘリウム冷媒を供給圧で供給し、かつ、前記冷媒を戻り圧で前記コンプレッサーに返すシステムであって、
冷却水回路に結合されて、流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも1つの可変速度コンプレッサーのモーターの巻線の温度を動作仕様内に保つのに必要な冷却水の最小量を維持するサーモスタット流量制御弁をさらに備える請求項11から13のいずれか一項に記載の極低温冷凍システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161449502P | 2011-03-04 | 2011-03-04 | |
US61/449,502 | 2011-03-04 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017029009A Division JP2017083171A (ja) | 2011-03-04 | 2017-02-20 | ヘリウム管理制御システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021014153A Division JP7199457B2 (ja) | 2011-03-04 | 2021-02-01 | 冷媒システムの冷媒の供給を制御する方法及び冷凍器システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019095194A JP2019095194A (ja) | 2019-06-20 |
JP7098563B2 true JP7098563B2 (ja) | 2022-07-11 |
Family
ID=45930994
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013556678A Pending JP2014508274A (ja) | 2011-03-04 | 2012-03-05 | ヘリウム管理制御システム |
JP2017029009A Pending JP2017083171A (ja) | 2011-03-04 | 2017-02-20 | ヘリウム管理制御システム |
JP2019060809A Active JP7098563B2 (ja) | 2011-03-04 | 2019-03-27 | 極低温冷凍システムにおけるヘリウム冷媒の供給を制御する方法および極低温冷凍システム |
JP2021014153A Active JP7199457B2 (ja) | 2011-03-04 | 2021-02-01 | 冷媒システムの冷媒の供給を制御する方法及び冷凍器システム |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013556678A Pending JP2014508274A (ja) | 2011-03-04 | 2012-03-05 | ヘリウム管理制御システム |
JP2017029009A Pending JP2017083171A (ja) | 2011-03-04 | 2017-02-20 | ヘリウム管理制御システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021014153A Active JP7199457B2 (ja) | 2011-03-04 | 2021-02-01 | 冷媒システムの冷媒の供給を制御する方法及び冷凍器システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10113781B2 (ja) |
JP (4) | JP2014508274A (ja) |
KR (2) | KR101956305B1 (ja) |
CN (1) | CN104094066B (ja) |
TW (2) | TWI646264B (ja) |
WO (1) | WO2012122114A2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8011191B2 (en) | 2009-09-30 | 2011-09-06 | Thermo Fisher Scientific (Asheville) Llc | Refrigeration system having a variable speed compressor |
TWI646264B (zh) | 2011-03-04 | 2019-01-01 | 美商布魯克機械公司 | 低溫冷凍系統以及用於控制氦氣冷凍劑之供給的方法 |
US9599118B2 (en) * | 2013-04-04 | 2017-03-21 | Trane International Inc. | System and method for controlling a system that includes fixed speed and variable speed compressors |
JP2015098844A (ja) | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法 |
US10060655B2 (en) | 2014-08-11 | 2018-08-28 | Raytheon Company | Temperature control of multi-stage cryocooler with load shifting capabilities |
JP6415989B2 (ja) * | 2015-01-05 | 2018-10-31 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | 液化ガス用冷却装置 |
KR20160108239A (ko) * | 2015-03-06 | 2016-09-19 | 인피콘, 인크. | 반응 챔버의 동작의 모니터링 |
KR20170011237A (ko) * | 2015-07-22 | 2017-02-02 | 한국항공우주연구원 | 저온 펌프의 온도 제어 장치 및 방법 |
US11149992B2 (en) * | 2015-12-18 | 2021-10-19 | Sumitomo (Shi) Cryogenic Of America, Inc. | Dual helium compressors |
CN105387666B (zh) * | 2015-12-25 | 2017-11-14 | 珠海格力电器股份有限公司 | 控制冷凝机组的方法和装置 |
CN108431524A (zh) * | 2015-12-30 | 2018-08-21 | 皇家飞利浦有限公司 | 具有双压缩机的mri系统 |
CN105759862B (zh) * | 2016-03-03 | 2019-03-01 | 北京卫星环境工程研究所 | 卫星小容积高压管路系统自动放气过程的压力控制方法 |
TWI614472B (zh) * | 2016-11-30 | 2018-02-11 | 財團法人國家同步輻射研究中心 | 液體製造機 |
US11060778B2 (en) | 2017-10-29 | 2021-07-13 | Sumitomo (Shi) Cryogenic Of America, Inc. | Universal controller for integration of cryogenic equipment, requiring different control mechanisms, onto a single operating platform |
JP2020007986A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム |
CN111219942B (zh) * | 2018-11-26 | 2022-05-27 | 珠海格力电器股份有限公司 | 冰箱故障预测方法和装置 |
KR102038415B1 (ko) * | 2019-09-04 | 2019-10-30 | 현민지브이티 주식회사 | 크라이오제닉 워터펌프의 제어 방법 |
JPWO2021075274A1 (ja) * | 2019-10-15 | 2021-04-22 | ||
US11118794B1 (en) * | 2020-07-15 | 2021-09-14 | Haier Us Appliance Solutions, Inc. | Air conditioner units and methods for heater assembly protection |
US11549717B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-01-10 | Trane International Inc. | Online optimization of variable frequency drive compression efficiency |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003113779A (ja) | 2001-07-20 | 2003-04-18 | Helix Technol Corp | ヘリウム管理制御システム |
WO2009028450A1 (ja) | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Canon Anelva Technix Corporation | クライオポンプシステム |
Family Cites Families (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4589263A (en) * | 1984-04-12 | 1986-05-20 | Hussmann Corporation | Multiple compressor oil system |
US4535602A (en) * | 1983-10-12 | 1985-08-20 | Richard H. Alsenz | Shift logic control apparatus for unequal capacity compressors in a refrigeration system |
US4555907A (en) | 1984-05-18 | 1985-12-03 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved second stage array |
JPS60194259U (ja) | 1984-06-05 | 1985-12-24 | ヤマト科学株式会社 | 温度制御装置 |
JPH01147269A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-08 | Daikin Ind Ltd | 空気調和装置の非常時制御装置 |
JPH01302082A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Toshiba Corp | 冷凍サイクル装置 |
US5010737A (en) * | 1989-03-30 | 1991-04-30 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-headed cryopump apparatus |
US5211022A (en) | 1991-05-17 | 1993-05-18 | Helix Technology Corporation | Cryopump with differential pumping capability |
JPH0518617A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Toshiba Corp | 冷凍機の制御装置 |
JPH06201176A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Toshiba Corp | 空気調和機 |
US5375424A (en) * | 1993-02-26 | 1994-12-27 | Helix Technology Corporation | Cryopump with electronically controlled regeneration |
US5483803A (en) | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
JP3337545B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2002-10-21 | 東芝キヤリア株式会社 | 空気調和機 |
US6529590B1 (en) * | 1994-11-23 | 2003-03-04 | Coltec Industries, Inc. | Systems and methods for remotely controlling a machine |
JPH08178438A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Yanmar Diesel Engine Co Ltd | エンジンヒートポンプ |
US5517823A (en) * | 1995-01-18 | 1996-05-21 | Helix Technology Corporation | Pressure controlled cryopump regeneration method and system |
GB2340187B (en) | 1996-03-20 | 2000-06-21 | Helix Tech Corp | Purge and rough cryopump regeneration process, cryopump and controller |
JP3686195B2 (ja) * | 1996-11-22 | 2005-08-24 | 東芝キヤリア株式会社 | 圧縮機の異常保護装置および冷凍サイクル装置 |
US5775109A (en) | 1997-01-02 | 1998-07-07 | Helix Technology Corporation | Enhanced cooldown of multiple cryogenic refrigerators supplied by a common compressor |
US5887438A (en) | 1997-08-20 | 1999-03-30 | Helix Technology Corporation | Low profile in line cryogenic water pump |
JPH11137227A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-25 | Miura Co Ltd | 真空冷却装置の運転制御装置 |
US6216467B1 (en) * | 1998-11-06 | 2001-04-17 | Helix Technology Corporation | Cryogenic refrigerator with a gaseous contaminant removal system |
JP2000154969A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 機器の制御装置 |
JP3680619B2 (ja) * | 1999-03-10 | 2005-08-10 | 株式会社日立製作所 | 冷凍装置 |
JP2001147269A (ja) | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Tokin Corp | 3次元位置測定装置 |
JP2001302082A (ja) | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Canon Aptex Inc | シート処理装置およびこの装置を備えた画像形成装置 |
JP3754992B2 (ja) * | 2001-08-03 | 2006-03-15 | 住友重機械工業株式会社 | マルチシステム冷凍機の運転方法、装置及び冷凍装置 |
JP4108957B2 (ja) | 2001-10-19 | 2008-06-25 | 東芝キヤリア株式会社 | 冷凍装置 |
CN100439819C (zh) * | 2002-08-20 | 2008-12-03 | 住友重机械工业株式会社 | 极低温冷冻机 |
JP3976649B2 (ja) | 2002-08-26 | 2007-09-19 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 |
JP3896472B2 (ja) * | 2002-09-04 | 2007-03-22 | 株式会社日立製作所 | 冷凍装置 |
KR20040050477A (ko) * | 2002-12-10 | 2004-06-16 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화시스템 |
JP2005018617A (ja) | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Ricoh Co Ltd | 文書検索装置 |
ATE404792T1 (de) * | 2003-06-27 | 2008-08-15 | Helix Tech Corp | Automatisierung der sicherheits-regenerierung bei einer kryopumpe |
JP4396301B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-01-13 | パナソニック株式会社 | 冷凍冷蔵ユニット及びこれを用いた冷蔵庫 |
US6993921B2 (en) | 2004-03-04 | 2006-02-07 | Carrier Corporation | Multi-variable control of refrigerant systems |
US7918655B2 (en) * | 2004-04-30 | 2011-04-05 | Computer Process Controls, Inc. | Fixed and variable compressor system capacity control |
JP2006046681A (ja) | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Denso Corp | ヒートポンプ装置 |
KR20060062769A (ko) * | 2004-12-06 | 2006-06-12 | 엘지전자 주식회사 | 멀티 공기조화 시스템 및 그 제어방법 |
US7617031B2 (en) * | 2005-06-23 | 2009-11-10 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Series arranged air compressors system |
JP2007017075A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 冷凍装置およびその運転方法 |
WO2007073379A1 (en) * | 2005-12-21 | 2007-06-28 | Carrier Corporation | Variable capacity multiple circuit air conditioning system |
JP2007190576A (ja) | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Japan Unix Co Ltd | レーザー式はんだ付け装置 |
JP2007218438A (ja) | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Sharp Corp | スターリング機関 |
JP4123281B2 (ja) | 2006-02-17 | 2008-07-23 | ダイキン工業株式会社 | 空気調和機 |
JP5103778B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2012-12-19 | ダイキン工業株式会社 | 空調システム |
JP2008014599A (ja) | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 圧縮機用電源 |
JP2008082654A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Daikin Ind Ltd | 冷凍装置の故障診断方法、及び冷凍装置 |
JP2008178438A (ja) | 2007-01-23 | 2008-08-07 | Noritz Corp | 上下昇降棚 |
US7854596B2 (en) * | 2007-01-24 | 2010-12-21 | Johnson Controls Technology Company | System and method of operation of multiple screw compressors with continuously variable speed to provide noise cancellation |
US20090019886A1 (en) | 2007-07-20 | 2009-01-22 | Inspired Technologies, Inc. | Method and Apparatus for liquefaction of a Gas |
JP4524804B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2010-08-18 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池システム |
TWI462528B (zh) * | 2008-01-22 | 2014-11-21 | Brooks Automation Inc | 低溫泵網路 |
WO2010011403A2 (en) * | 2008-05-21 | 2010-01-28 | Brooks Automation, Inc. | Linear drive cryogenic refrigerator |
US9291373B2 (en) * | 2008-11-06 | 2016-03-22 | Trane International Inc. | Fixed and variable refrigerant metering system |
JP2010153179A (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Panasonic Ev Energy Co Ltd | 電池モジュール |
KR20110110812A (ko) * | 2009-01-23 | 2011-10-07 | 비쩌 퀼마쉬넨바우 게엠베하 | 다른 볼륨 인덱스들을 갖는 스크롤 압축기 및 시스템과 이를 위한 방법 |
JP5405161B2 (ja) | 2009-03-23 | 2014-02-05 | 三洋電機株式会社 | 空気調和装置およびエネルギー機器 |
TWI646264B (zh) | 2011-03-04 | 2019-01-01 | 美商布魯克機械公司 | 低溫冷凍系統以及用於控制氦氣冷凍劑之供給的方法 |
US10145589B2 (en) * | 2013-03-15 | 2018-12-04 | Whirlpool Corporation | Net heat load compensation control method and appliance for temperature stability |
-
2012
- 2012-03-03 TW TW101107262A patent/TWI646264B/zh active
- 2012-03-03 TW TW107112586A patent/TWI705187B/zh active
- 2012-03-05 JP JP2013556678A patent/JP2014508274A/ja active Pending
- 2012-03-05 KR KR1020137026153A patent/KR101956305B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-05 CN CN201280011725.XA patent/CN104094066B/zh active Active
- 2012-03-05 US US14/001,803 patent/US10113781B2/en active Active
- 2012-03-05 KR KR1020197006418A patent/KR102044759B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-05 WO PCT/US2012/027755 patent/WO2012122114A2/en active Application Filing
-
2017
- 2017-02-20 JP JP2017029009A patent/JP2017083171A/ja active Pending
-
2018
- 2018-10-29 US US16/173,623 patent/US10900699B2/en active Active
-
2019
- 2019-03-27 JP JP2019060809A patent/JP7098563B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-01 JP JP2021014153A patent/JP7199457B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003113779A (ja) | 2001-07-20 | 2003-04-18 | Helix Technol Corp | ヘリウム管理制御システム |
WO2009028450A1 (ja) | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Canon Anelva Technix Corporation | クライオポンプシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012122114A3 (en) | 2013-04-04 |
KR20190026961A (ko) | 2019-03-13 |
JP2019095194A (ja) | 2019-06-20 |
TW201829918A (zh) | 2018-08-16 |
CN104094066B (zh) | 2018-06-08 |
KR101956305B1 (ko) | 2019-03-08 |
US10900699B2 (en) | 2021-01-26 |
TWI705187B (zh) | 2020-09-21 |
TWI646264B (zh) | 2019-01-01 |
JP2021081179A (ja) | 2021-05-27 |
JP7199457B2 (ja) | 2023-01-05 |
KR20140048859A (ko) | 2014-04-24 |
KR102044759B1 (ko) | 2019-11-14 |
CN104094066A (zh) | 2014-10-08 |
US10113781B2 (en) | 2018-10-30 |
JP2014508274A (ja) | 2014-04-03 |
US20190063807A1 (en) | 2019-02-28 |
US20140130527A1 (en) | 2014-05-15 |
TW201303162A (zh) | 2013-01-16 |
JP2017083171A (ja) | 2017-05-18 |
WO2012122114A2 (en) | 2012-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7098563B2 (ja) | 極低温冷凍システムにおけるヘリウム冷媒の供給を制御する方法および極低温冷凍システム | |
KR101229973B1 (ko) | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시 방법 | |
JP2009522533A (ja) | フラッシュタンクの冷媒制御 | |
TWI600465B (zh) | Cold trap and cold trap control methods | |
JP3719159B2 (ja) | 冷凍装置 | |
US9068564B2 (en) | Cryopump and method of monitoring cryopump | |
JP6785982B2 (ja) | 冷凍装置 | |
TWI727363B (zh) | 低溫泵系統 | |
KR101741708B1 (ko) | 컴프레서 장치 및 그 제어 방법 | |
JP2013061115A (ja) | 冷凍サイクルシステム | |
JPWO2019181595A1 (ja) | 極低温冷凍機 | |
WO1997004277A1 (fr) | Dispositif refrigerant basse temperature a faible variation de capacite de refrigeration | |
JP2017141991A (ja) | 冷却設備機器の監視装置 | |
JP5404702B2 (ja) | 真空排気システム | |
JP2004116995A (ja) | 冷凍装置 | |
JP2003166768A (ja) | スターリング機関およびその運転方法 | |
CN114930099A (zh) | 热泵装置、热泵系统、空调机以及制冷机 | |
JP2006038314A (ja) | スターリング冷凍機およびそれが搭載された冷却庫 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190426 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190426 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20200219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200817 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201001 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210201 |
|
C116 | Written invitation by the chief administrative judge to file amendments |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C116 Effective date: 20210325 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210325 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210701 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20211108 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20211206 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220303 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20220304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220426 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220519 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20220602 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220627 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20220627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7098563 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |