JP7076557B2 - 基板処理システム - Google Patents
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Description
9 制御装置
10 基板
17 研削工具
21 キャリア載置部
27 搬送装置(第2搬送装置)
29 第1トランジション装置
32 第2トランジション装置
34 洗浄装置
35 エッチング装置
37 搬送装置(第3搬送装置)
41A、41B 加工装置
42A 搬入出口
47A、47B 搬送装置(第1搬送装置)
51 回転テーブル
52 回転中心線
53A、53B、53C、53D チャックテーブル
60A、60B 可動部
70A、70B 昇降部
75A、75B 進退部
Claims (9)
- 互いに対向する第1主表面と第2主表面を有する基板を加工する加工装置と、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行う第1搬送装置と、前記加工装置及び前記第1搬送装置を制御する制御装置と、を備え、
前記加工装置は、鉛直な回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに等間隔で配置され前記回転テーブルと共に回転する4つのチャックテーブルと、研削工具または研磨工具が交換可能に装着される2つの可動部と、2つの前記可動部を独立に昇降させる2つの昇降部とを備え、
前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに第1受渡位置と第2受渡位置と第1加工位置と第2加工位置とが配置され、前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は前記チャックテーブルに対する前記基板の受渡が行われる位置であり、前記第1加工位置および前記第2加工位置は前記チャックテーブルに保持されている前記基板が前記研削工具または前記研磨工具によって加工される位置であり、
4つの前記チャックテーブルは、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第1受渡位置と前記第1加工位置との間で移動する一対の第1チャックテーブルと、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第2受渡位置と前記第2加工位置との間で移動する一対の第2チャックテーブルと、で構成され、
前記制御装置は、前記第1受渡位置において前記第1搬送装置から前記第1チャックテーブルに前記基板の前記第1主表面を上に向けて前記基板を載置すると共に、前記第2受渡位置において前記第1搬送装置から前記第2チャックテーブルに前記基板の前記第2主表面を上に向けて前記基板を載置し、前記回転テーブルを前記回転中心線の周りに180°回転し、前記第1加工位置において前記基板の前記第1主表面を研削または研磨すると共に、前記第2加工位置において前記基板の前記第2主表面を研削または研磨し、
前記加工装置は、前記第1受渡位置において前記基板を洗浄する第1洗浄部を備え、
前記制御装置は、前記第1加工位置において前記基板の前記第1主表面を研削または研磨した後に、前記第1受渡位置において前記基板の前記第1主表面を前記第1洗浄部によって洗浄する、基板処理システム。 - 互いに対向する第1主表面と第2主表面を有する基板を加工する加工装置と、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行う第1搬送装置と、前記加工装置及び前記第1搬送装置を制御する制御装置と、を備え、
前記加工装置は、鉛直な回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに等間隔で配置され前記回転テーブルと共に回転する4つのチャックテーブルと、研削工具または研磨工具が交換可能に装着される2つの可動部と、2つの前記可動部を独立に昇降させる2つの昇降部とを備え、
前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに第1受渡位置と第2受渡位置と第1加工位置と第2加工位置とが配置され、前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は前記チャックテーブルに対する前記基板の受渡が行われる位置であり、前記第1加工位置および前記第2加工位置は前記チャックテーブルに保持されている前記基板が前記研削工具または前記研磨工具によって加工される位置であり、
4つの前記チャックテーブルは、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第1受渡位置と前記第1加工位置との間で移動する一対の第1チャックテーブルと、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第2受渡位置と前記第2加工位置との間で移動する一対の第2チャックテーブルと、で構成され、
前記制御装置は、前記第1受渡位置において前記第1搬送装置から前記第1チャックテーブルに前記基板の前記第1主表面を上に向けて前記基板を載置すると共に、前記第2受渡位置において前記第1搬送装置から前記第2チャックテーブルに前記基板の前記第2主表面を上に向けて前記基板を載置し、前記回転テーブルを前記回転中心線の周りに180°回転し、前記第1加工位置において前記基板の前記第1主表面を研削または研磨すると共に、前記第2加工位置において前記基板の前記第2主表面を研削または研磨し、
前記加工装置は、前記第2受渡位置において前記基板を洗浄する第2洗浄部を備え、
前記制御装置は、前記第2加工位置において前記基板の前記第2主表面を研削または研磨した後に、前記第2受渡位置において前記基板の前記第2主表面を前記第2洗浄部によって洗浄する、基板処理システム。 - 互いに対向する第1主表面と第2主表面を有する基板を加工する加工装置と、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行う第1搬送装置と、前記加工装置及び前記第1搬送装置を制御する制御装置と、を備え、
前記加工装置は、鉛直な回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに等間隔で配置され前記回転テーブルと共に回転する4つのチャックテーブルと、研削工具または研磨工具が交換可能に装着される2つの可動部と、2つの前記可動部を独立に昇降させる2つの昇降部とを備え、
前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに第1受渡位置と第2受渡位置と第1加工位置と第2加工位置とが配置され、前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は前記チャックテーブルに対する前記基板の受渡が行われる位置であり、前記第1加工位置および前記第2加工位置は前記チャックテーブルに保持されている前記基板が前記研削工具または前記研磨工具によって加工される位置であり、
4つの前記チャックテーブルは、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第1受渡位置と前記第1加工位置との間で移動する一対の第1チャックテーブルと、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第2受渡位置と前記第2加工位置との間で移動する一対の第2チャックテーブルと、で構成され、
前記制御装置は、前記第1受渡位置において前記第1搬送装置から前記第1チャックテーブルに前記基板の前記第1主表面を上に向けて前記基板を載置すると共に、前記第2受渡位置において前記第1搬送装置から前記第2チャックテーブルに前記基板の前記第2主表面を上に向けて前記基板を載置し、前記回転テーブルを前記回転中心線の周りに180°回転し、前記第1加工位置において前記基板の前記第1主表面を研削または研磨すると共に、前記第2加工位置において前記基板の前記第2主表面を研削または研磨し、
前記加工装置の前記第1搬送装置に面する壁には、搬入出口が設けられ、更に前記搬入出口を開閉するシャッターが設けられ、
前記制御装置は、前記加工装置が前記基板の加工を行う時に、前記シャッターで前記搬入出口を閉塞する、基板処理システム。 - 互いに対向する第1主表面と第2主表面を有する基板を加工する加工装置と、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行う第1搬送装置と、前記加工装置及び前記第1搬送装置を制御する制御装置と、を備え、
前記加工装置は、鉛直な回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに等間隔で配置され前記回転テーブルと共に回転する4つのチャックテーブルと、研削工具または研磨工具が交換可能に装着される2つの可動部と、2つの前記可動部を独立に昇降させる2つの昇降部とを備え、
前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに第1受渡位置と第2受渡位置と第1加工位置と第2加工位置とが配置され、前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は前記チャックテーブルに対する前記基板の受渡が行われる位置であり、前記第1加工位置および前記第2加工位置は前記チャックテーブルに保持されている前記基板が前記研削工具または前記研磨工具によって加工される位置であり、
4つの前記チャックテーブルは、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第1受渡位置と前記第1加工位置との間で移動する一対の第1チャックテーブルと、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第2受渡位置と前記第2加工位置との間で移動する一対の第2チャックテーブルと、で構成され、
前記制御装置は、前記第1受渡位置において前記第1搬送装置から前記第1チャックテーブルに前記基板の前記第1主表面を上に向けて前記基板を載置すると共に、前記第2受渡位置において前記第1搬送装置から前記第2チャックテーブルに前記基板の前記第2主表面を上に向けて前記基板を載置し、前記回転テーブルを前記回転中心線の周りに180°回転し、前記第1加工位置において前記基板の前記第1主表面を研削または研磨すると共に、前記第2加工位置において前記基板の前記第2主表面を研削または研磨し、
前記第1搬送装置は、上方視で、前記加工装置の前方から、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行い、
前記加工装置の真後ろまたは斜め後ろから見て、前記可動部に装着された前記研削工具または前記研磨工具の全体が前記昇降部から露出する、基板処理システム。 - 前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は、前記第1加工位置および前記第2加工位置に比べて、前記加工装置の前記基板が搬入出される搬入出口の近くに配置される、請求項1~4のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置部と、
前記基板が一時的に収容される第1トランジション装置と、
前記キャリア載置部に載置された前記キャリアおよび前記第1トランジション装置に対し前記基板を搬送する第2搬送装置と、
前記基板が一時的に収容される第2トランジション装置と、
前記加工装置によって加工された前記基板を洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄装置によって洗浄された前記基板をエッチングするエッチング装置と、
前記第1トランジション装置、前記第2トランジション装置、前記洗浄装置および前記エッチング装置に対し前記基板を搬送する第3搬送装置とを備える、請求項1~5のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 前記基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置部と、
前記基板が一時的に収容される第1トランジション装置と、
前記加工装置によって加工された前記基板を洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄装置によって洗浄された前記基板をエッチングするエッチング装置と、
前記キャリア載置部に載置された前記キャリア、前記第1トランジション装置、前記洗浄装置および前記エッチング装置に対し前記基板を搬送する第2搬送装置とを備える、請求項1~5のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 互いに対向する第1主表面と第2主表面を有する基板を加工する加工装置と、前記加工装置に対する前記基板の搬入出を行う第1搬送装置と、前記加工装置及び前記第1搬送装置を制御する制御装置と、を備え、
前記加工装置は、鉛直な回転中心線を中心に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに等間隔で配置され前記回転テーブルと共に回転する4つのチャックテーブルと、研削工具または研磨工具が交換可能に装着される2つの可動部と、2つの前記可動部を独立に昇降させる2つの昇降部とを備え、
前記回転テーブルの前記回転中心線の周りに第1受渡位置と第2受渡位置と第1加工位置と第2加工位置とが配置され、前記第1受渡位置および前記第2受渡位置は前記チャックテーブルに対する前記基板の受渡が行われる位置であり、前記第1加工位置および前記第2加工位置は前記チャックテーブルに保持されている前記基板が前記研削工具または前記研磨工具によって加工される位置であり、
4つの前記チャックテーブルは、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第1受渡位置と前記第1加工位置との間で移動する一対の第1チャックテーブルと、前記回転中心線を挟んで対称に配置され、それぞれ前記第2受渡位置と前記第2加工位置との間で移動する一対の第2チャックテーブルと、で構成され、
前記加工装置は、前記第1受渡位置において前記基板を洗浄する第1洗浄部と、前記第2受渡位置において前記基板を洗浄する第2洗浄部と、を備え、
前記制御装置は、前記第1加工位置において前記基板を研削または研磨した後に、前記第1受渡位置において前記基板を前記第1洗浄部によって洗浄し、前記第2加工位置において前記基板を研削または研磨した後に、前記第2受渡位置において前記基板を前記第2洗浄部によって洗浄する、基板処理システム。 - 前記加工装置の前記第1搬送装置に面する壁には、搬入出口が設けられ、更に前記搬入出口を開閉するシャッターが設けられ、
前記制御装置は、前記加工装置が前記基板の加工を行う時に、前記シャッターで前記搬入出口を閉塞する、請求項8に記載の基板処理システム。
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