JP6819280B2 - 化学機械研磨用組成物および化学機械研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明は、化学機械研磨用組成物およびそれを用いた化学機械研磨方法に関する。
半導体装置の高精細化に伴い、半導体装置内に形成される配線およびプラグ等からなる配線層の微細化が進んでいる。これに伴い、配線層を化学機械研磨（以下、「ＣＭＰ」ともいう。）により平坦化する手法が用いられている。近年、微細化が１０ｎｍノード以上では、これら導電体金属にコバルトが適用され始め、余剰に積層されたコバルトをＣＭＰにより効率的に除去しつつ、且つ反応性の高いコバルトの腐食を抑制し、良好な表面状態を形成できることが求められている。
このようなコバルト層およびコバルトプラグ（以下、「コバルト膜」ともいう。）の化学機械研磨に関し、たとえば、特許文献１には、第１研磨処理工程に相当する仕上げ研磨の前段階に使用する半導体研磨用組成物として、アミノ酸、窒素含有複素環化合物、砥粒含む、ｐＨ５以上８．３以下の中性領域の化学機械研磨用組成物が開示されている。
また、特許文献２には、酸化剤等のコバルトのエッチング剤、コバルト研磨速度向上剤、腐食阻害剤を含む、ｐＨ７以上１２以下のアルカリ領域の化学機械研磨用組成物を用いてコバルトを含む基材を研磨する化学機械研磨方法が開示されている。この研磨方法で用いられる化学機械研磨用組成物は、ターフェルプロットから定量されるコバルトの腐食電位は０ｍＶ以上プラス電位であることが開示されている。
さらに、特許文献３には、酸化剤等のコバルトのエッチング剤、金属防食剤、および水を含む、ｐＨ４以下の酸性領域の化学機械研磨用組成物を用いてコバルトを含む基材を研磨する化学機械研磨方法が開示されている。
しかしながら、従来の酸性金属膜研磨用の化学機械研磨用組成物を用いて化学機械研磨によりコバルトのような金属膜を研磨する場合、コバルト膜が容易に溶解してしまい、コバルト配線の異常酸化や腐食、断線、消失を招くという問題があった。また、従来のアルカリ性金属研磨用の化学機械研磨用組成物では、コバルト膜が化学的に安定であり硬度が高いことから、効率的に研磨することが容易ではないという問題があった。
そこで、本発明に係る幾つかの態様は、上記課題の少なくとも一部を解決することで、コバルト膜の腐食を抑制しながら良好な研磨特性を実現できる、半導体装置の製造に有用な化学機械研磨用組成物、およびそれを用いた化学機械研磨方法を提供するものである。
本発明は上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
［適用例１］
本発明に係る化学機械研磨用組成物の一態様は、
スルファニル基が共有結合を介して表面に固定化された砥粒と、
液状媒体と、
を含有することを特徴とする。
本発明に係る化学機械研磨用組成物の一態様は、
スルファニル基が共有結合を介して表面に固定化された砥粒と、
液状媒体と、
を含有することを特徴とする。
［適用例２］
適用例１の化学機械研磨用組成物において、
さらに、カリウムおよびナトリウムを含有し、
前記カリウムの含有量をＭＫ（ｐｐｍ）、前記ナトリウムの含有量をＭＮａ（ｐｐｍ）としたときに、ＭＫ／ＭＮａ＝３×１０３〜３×１０５であることができる。
適用例１の化学機械研磨用組成物において、
さらに、カリウムおよびナトリウムを含有し、
前記カリウムの含有量をＭＫ（ｐｐｍ）、前記ナトリウムの含有量をＭＮａ（ｐｐｍ）としたときに、ＭＫ／ＭＮａ＝３×１０３〜３×１０５であることができる。
［適用例３］
適用例１または適用例２の化学機械研磨用組成物において、
前記砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と短径（Ｒｍｉｎ）との比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）が１．０以上１．５以下であることができる。
適用例１または適用例２の化学機械研磨用組成物において、
前記砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と短径（Ｒｍｉｎ）との比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）が１．０以上１．５以下であることができる。
［適用例４］
適用例１ないし適用例３のいずれか一例の化学機械研磨用組成物において、
ｐＨが７以上１１以下であることができる。
適用例１ないし適用例３のいずれか一例の化学機械研磨用組成物において、
ｐＨが７以上１１以下であることができる。
［適用例５］
適用例１ないし適用例４のいずれか一例の化学機械研磨用組成物において、
さらに、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を含有し、
前記二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の含有量が０．００１質量％以上１質量％以下であることができる。
適用例１ないし適用例４のいずれか一例の化学機械研磨用組成物において、
さらに、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を含有し、
前記二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の含有量が０．００１質量％以上１質量％以下であることができる。
［適用例６］
適用例１ないし適用例５のいずれか一例の化学機械研磨用組成物は、
コバルト膜を化学機械研磨する用途に用いることができる。
適用例１ないし適用例５のいずれか一例の化学機械研磨用組成物は、
コバルト膜を化学機械研磨する用途に用いることができる。
［適用例７］
本発明に係る化学機械研磨方法の一態様は、
適用例１ないし適用例６のいずれか一例の化学機械研磨用組成物を用いてコバルト膜を化学機械研磨する工程を含むことを特徴とする。
本発明に係る化学機械研磨方法の一態様は、
適用例１ないし適用例６のいずれか一例の化学機械研磨用組成物を用いてコバルト膜を化学機械研磨する工程を含むことを特徴とする。
本発明に係る化学機械研磨用組成物によれば、半導体装置の製造において、コバルト膜の腐食を抑制しながら、良好な研磨特性を実現することができる。したがって、本発明に係る化学機械研磨用組成物は、配線材料としてのコバルト膜を研磨対象とするＣＭＰに特に有用である。
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は、下記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において実施される各種の変形例も含む。
１．化学機械研磨用組成物
本発明の一実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、スルファニル基が共有結合を介して表面に固定化された砥粒と、液状媒体とを含有することを特徴とする。以下、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物について詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、スルファニル基が共有結合を介して表面に固定化された砥粒と、液状媒体とを含有することを特徴とする。以下、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物について詳細に説明する。
１．１．砥粒
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、スルファニル基（−ＳＨ）が共有結合を介して表面に固定化された砥粒を含有する。本実施形態において使用される砥粒は、その表面にスルファニル基が共有結合を介して固定された砥粒であるため、その表面にスルファニル基を有する化合物が物理的あるいはイオン的に吸着したような砥粒は含まれない。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、スルファニル基（−ＳＨ）が共有結合を介して表面に固定化された砥粒を含有する。本実施形態において使用される砥粒は、その表面にスルファニル基が共有結合を介して固定された砥粒であるため、その表面にスルファニル基を有する化合物が物理的あるいはイオン的に吸着したような砥粒は含まれない。
本実施形態において使用される砥粒の材質は、特に制限されず、シリカ、セリア、アルミナ、ジルコニア、酸化チタン等が挙げられるが、シリカが好ましい。スルファニル基（−ＳＨ）が共有結合を介して表面に固定化されたシリカ粒子は、例えば以下のようにして製造することができる。
まず、シリカ粒子を用意する。シリカ粒子としては、例えばヒュームドシリカ、コロイダルシリカ等が挙げられるが、スクラッチ等の研磨欠陥を低減する観点から、コロイダルシリカが好ましい。コロイダルシリカとしては、例えば特開２００３−１０９９２１号公報等に記載されている方法で製造されたものを使用することができる。
シリカ粒子の表面修飾は、特開２０１０−２６９９８５号公報や、Ｊ．Ｉｎｄ．Ｅｎｇ．Ｃｈｅｍ．，Ｖｏｌ．１２，Ｎｏ．６，（２００６）９１１−９１７等に記載されているような方法を適用することが可能である。具体的には、シリカ粒子とスルファニル基含有シランカップリング剤を酸性媒体中で十分に撹拌することにより、当該シリカ粒子の表面にスルファニル基含有シランカップリング剤を共有結合させることにより製造することができる。スルファニル基含有シランカップリング剤としては、例えば、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
このようにして得られたシリカ粒子は、スルファニル基が共有結合を介して表面に固定されている。そのため、化学機械研磨用組成物中ではシリカ粒子の表面は当該官能基によってマイナスにチャージしており、シリカ粒子がコバルト膜の表面に吸着しやすくなる。その結果、シリカ粒子がコバルト膜の表面に局在化するため、機械的な研磨力が高まり、コバルト膜に対する研磨速度が向上する。
砥粒の表面電位（ゼータ電位）は、化学機械研磨用組成物のｐＨが７以上１１以下の領域において負電位であり、その負電位は−２０ｍＶ以下であることが好ましい。ゼータ電位が−２０ｍＶ以下であると、上述のように砥粒がコバルト膜の表面に吸着しやすくなるので、コバルト膜に対する研磨速度が向上する。ゼータ電位測定装置としては、大塚電子株式会社製の「ＥＬＳＺ−１」、Ｍａｌｖｅｒｎ社製の「Ｚｅｔａｓｉｚｅｒ ｎａｎｏ
ｚｓ」等が挙げられる。砥粒のゼータ電位は、上述したスルファニル基含有シランカップリング剤の添加量を増減することにより適宜調整することができる。
ｚｓ」等が挙げられる。砥粒のゼータ電位は、上述したスルファニル基含有シランカップリング剤の添加量を増減することにより適宜調整することができる。
砥粒の平均粒子径は、動的光散乱法を測定原理とする粒度分布測定装置で測定することにより求めることができる。砥粒の平均粒子径は、好ましくは１５ｎｍ以上１００ｎｍ以下、より好ましくは２０ｎｍ以上８０ｎｍ以下であり、特に好ましくは３０ｎｍ以上７０ｎｍ以下である。砥粒の平均粒子径が前記範囲であると、コバルト膜に対する実用的な研磨速度を達成できると共に、砥粒の沈降・分離が発生しにくい貯蔵安定性に優れた化学機械研磨用組成物を得ることができる。動的光散乱法を測定原理とする粒度分布測定装置としては、ベックマン・コールター社製のナノ粒子アナライザー「ＤｅｌｓａＮａｎｏ Ｓ」；Ｍａｌｖｅｒｎ社製の「Ｚｅｔａｓｉｚｅｒ ｎａｎｏ ｚｓ」；株式会社堀場製作所製の「ＬＢ５５０」等が挙げられる。なお、動的光散乱法を用いて測定した平均粒子径は、一次粒子が複数個凝集して形成された二次粒子の平均粒子径を表している。
砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と短径（Ｒｍｉｎ）との比Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎは、好ましくは１．０〜１．５、より好ましくは１．０〜１．４、特に好ましくは１．０〜１．３である。Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎが前記範囲内であると研磨対象であるコバルト膜に欠陥を引き起こすことなく、高研磨速度と高平坦化特性とを両立できる。
ここで、砥粒の長径（Ｒｍａｘ）とは、透過型電子顕微鏡により撮影された一つの独立した砥粒の像について、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も長い直線の距離を意味するものとする。砥粒の短径（Ｒｍｉｎ）とは、透過型電子顕微鏡により撮影された一つの独立した砥粒の像について、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も短い直線の距離を意味するものとする。
例えば、図１に示すように透過型電子顕微鏡により撮影された一つの独立した砥粒１０ａの像が楕円形状である場合、その楕円形状の長軸ａを砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と判断し、短軸ｂを砥粒の短径（Ｒｍｉｎ）と判断する。図２に示すように、透過型電子顕微鏡により撮影された一つの独立した砥粒１０ｂの像が２つの一次粒子の凝集体である場合、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も長い距離ｃを砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と判断し、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も短い径ｄを砥粒の短径（Ｒｍｉｎ）と判断する。図３に示すように、透過型電子顕微鏡により撮影された一つの独立した砥粒１０ｃの像が３つ以上の一次粒子の凝集体である場合、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も長い距離ｅを砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と判断し、像の端部と端部を結んだ直線のうち最も短い径ｆを砥粒の短径（Ｒｍｉｎ）と判断する。
上記のような判断手法により、例えば５０個の砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と短径（Ｒｍｉｎ）を測定し、長径（Ｒｍａｘ）及び短径（Ｒｍｉｎ）の平均値を算出した後、その長径の平均値と短径の平均値との比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を計算することにより求めることができる。
砥粒の含有量は、化学機械研磨用組成物の全質量に対して、好ましくは１〜２０質量％であり、より好ましくは１〜１５質量％であり、特に好ましくは１〜１０質量％である。砥粒の含有割合が前記範囲であると、コバルト膜に対する十分な研磨速度が得られ、化学機械研磨用組成物中の砥粒の分散安定性が良好となる。
１．２．液状媒体
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、液状媒体を含有する。液状媒体としては、水、水およびアルコールの混合媒体、水および水との相溶性を有する有機溶媒を含む混合媒体等が挙げられる。これらの中でも、水、水およびアルコールの混合媒体を用いることが好ましく、水を用いることがより好ましい。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、液状媒体を含有する。液状媒体としては、水、水およびアルコールの混合媒体、水および水との相溶性を有する有機溶媒を含む混合媒体等が挙げられる。これらの中でも、水、水およびアルコールの混合媒体を用いることが好ましく、水を用いることがより好ましい。
１．３．その他の成分
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、上記の成分以外に、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物、カリウムおよびナトリウム、防食剤、特開２０１４−２２９８２７号公報等に記載されている公知の有機酸（ただし、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を除く）、界面活性剤等の添加剤を含有することができる。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、上記の成分以外に、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物、カリウムおよびナトリウム、防食剤、特開２０１４−２２９８２７号公報等に記載されている公知の有機酸（ただし、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を除く）、界面活性剤等の添加剤を含有することができる。
＜二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物＞
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を含有することが好ましい。このようなアニオン性化合物は、改質されたコバルト膜表面においてコバルト原子とキレートを形成することができる。これにより、化学機械研磨用組成物中にコバルトが溶出するため、コバルト膜の研磨速度が向上する場合がある。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を含有することが好ましい。このようなアニオン性化合物は、改質されたコバルト膜表面においてコバルト原子とキレートを形成することができる。これにより、化学機械研磨用組成物中にコバルトが溶出するため、コバルト膜の研磨速度が向上する場合がある。
二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物としては、下記一般式（１）〜（３）で表される化合物であることがより好ましい。
上記一般式（２）および上記一般式（３）中、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５およびＲ６はそれぞれ独立に、水素、またはカルボキシル基を有する炭素数１〜３の有機基もしくはカルボキシル基を表す。ただし、Ｒ３およびＲ４の少なくとも一方は、カルボキシル基を有する炭素数１〜３の有機基またはカルボキシル基を表し、Ｒ５およびＲ６の少なくとも一方は、カルボキシル基を有する炭素数１〜３の有機基またはカルボキシル基を表す。
二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の具体例としては、たとえばマレイン酸、フマル酸、キノリン酸、キナルジン酸、オレイン酸、アルケニルコハク酸、およびそれらの塩等が挙げられ、これらの１種以上を用いることができる。
二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の含有量は、化学機械研磨用組成物の全質量に対して、好ましくは０．０００１〜１質量％であり、より好ましくは０．００１〜０．５質量％である。二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の含有割合が前記範囲であると、コバルト膜の腐食を抑制しつつ、コバルト膜に対する研磨速度が向上する。
＜カリウムおよびナトリウム＞
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、カリウムおよびナトリウムを含有することが好ましい。一般的に、特開２０００−２０８４５１号公報等に記載されているように、半導体の製造工程では、ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属は可能な限り除去すべき不純物であると認識されている。そのため、化学機械研磨用組成物等の半導体処理に用いる各種組成物においても、ｐＨをコントロールするための塩基としては、水酸化ナトリウムなどの無機塩基ではなく、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）などの有機塩基が好ましく使用されている。しかしながら、本願発明においては、研磨工程において、カリウムおよびナトリウムを所定の割合で含有する化学機械研磨用組成物を用いることにより、半導体特性を大幅に劣化させずに、逆に処理特性を向上させる効果があることが判明した。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、カリウムおよびナトリウムを含有することが好ましい。一般的に、特開２０００−２０８４５１号公報等に記載されているように、半導体の製造工程では、ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属は可能な限り除去すべき不純物であると認識されている。そのため、化学機械研磨用組成物等の半導体処理に用いる各種組成物においても、ｐＨをコントロールするための塩基としては、水酸化ナトリウムなどの無機塩基ではなく、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）などの有機塩基が好ましく使用されている。しかしながら、本願発明においては、研磨工程において、カリウムおよびナトリウムを所定の割合で含有する化学機械研磨用組成物を用いることにより、半導体特性を大幅に劣化させずに、逆に処理特性を向上させる効果があることが判明した。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物中のカリウムおよびナトリウムの含有割合は、カリウムの含有量をＭＫ（ｐｐｍ）、ナトリウムの含有量をＭＮａ（ｐｐｍ）としたときに、ＭＫ／ＭＮａの値が３×１０３〜３×１０５であることが好ましく、５×１０３〜５×１０４であることがより好ましい。ＭＫ／ＭＮａの値が前記範囲内にあると、半導体特性を劣化させずに化学機械研磨を行うことができるとともに、ＣＭＰ工程において被研磨面に露出したコバルトが過剰にエッチングされて溶出することをより効果的に抑制できるため、安定した処理特性を維持することができると考えられる。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、ナトリウムを１×１０−６〜１×１０１ｐｐｍ含有することが好ましく、１×１０−３〜１×１００ｐｐｍ含有することがより好ましい。また、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、カリウムを１×１０−２〜１×１０６ｐｐｍ含有することが好ましく、１×１０−１〜１×１０５ｐｐｍ含有することがより好ましい。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物にカリウムやナトリウムを含有させるためには、水溶性のカリウム塩やナトリウム塩を添加すればよい。このような水溶性の塩としては、例えばナトリウムやカリウムの水酸化物、炭酸塩、アンモニウム塩、ハロゲン化物等が挙げられる。
なお、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物に含有されるカリウムの含有量ＭＫ（ｐｐｍ）およびナトリウムの含有量ＭＮａ（ｐｐｍ）は、化学機械研磨用組成物をＩＣＰ発光分析法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）、ＩＣＰ質量分析法（ＩＣＰ−ＭＳ）または原子吸光光度法（ＡＡ）を用いて定量することにより求めることができる。ＩＣＰ発光分析装置としては、例えば「ＩＣＰＥ−９０００（株式会社島津製作所製）」等を使用することができる。ＩＣＰ質量分析装置としては、例えば「ＩＣＰＭ−８５００（株式会社島津製作所製）」、「ＥＬＡＮ ＤＲＣ ＰＬＵＳ（パーキンエルマー社製）」等を使用することができる。原子吸光分析装置としては、例えば「ＡＡ−７０００（株式会社島津製作所製）」、「ＺＡ３０００（株式会社日立ハイテクサイエンス）」等を使用することができる。
なお、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物に含有されるカリウムおよびナトリウムの含有量は、化学機械研磨用組成物を、遠心分離により砥粒を除去し、砥粒以外の液状媒体中に含有されるカリウムおよびナトリウムを定量することにより算出することができる
。したがって、化学機械研磨用組成物を公知の方法で分析することにより、本願発明の構成要件を充足していることを確認することもできる。
。したがって、化学機械研磨用組成物を公知の方法で分析することにより、本願発明の構成要件を充足していることを確認することもできる。
＜防食剤＞
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、防食剤を含有してもよい。防食剤としては、ベンゾトリアゾール、１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、およびこれらの誘導体が挙げられる。防食剤の含有量は、化学機械研磨用組成物の全質量に対して、好ましくは１質量％以下であり、より好ましくは０．００１〜０．１質量％である。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、防食剤を含有してもよい。防食剤としては、ベンゾトリアゾール、１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、およびこれらの誘導体が挙げられる。防食剤の含有量は、化学機械研磨用組成物の全質量に対して、好ましくは１質量％以下であり、より好ましくは０．００１〜０．１質量％である。
１．４．化学機械研磨用組成物のｐＨ
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物のｐＨは、好ましくは７以上１１以下であり、より好ましくは８以上１１以下であり、特に好ましくは９以上１１以下である。ｐＨが前記範囲内にあると、コバルト膜の腐食を抑制しながら、コバルト膜を研磨することができるため、良好な研磨特性が得られる。一方、ｐＨが７未満であると、コバルト膜の研磨速度は向上するものの、コバルト膜の腐食が発生しやすくなるため、良好な研磨特性が得られ難い。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物のｐＨは、好ましくは７以上１１以下であり、より好ましくは８以上１１以下であり、特に好ましくは９以上１１以下である。ｐＨが前記範囲内にあると、コバルト膜の腐食を抑制しながら、コバルト膜を研磨することができるため、良好な研磨特性が得られる。一方、ｐＨが７未満であると、コバルト膜の研磨速度は向上するものの、コバルト膜の腐食が発生しやすくなるため、良好な研磨特性が得られ難い。
化学機械研磨用組成物のｐＨを調整する手段としては、例えば、化学機械研磨用組成物に塩基を添加する方法が挙げられる。添加し得る塩基としては、例えば、アンモニア、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）等が挙げられる。これらの塩基は、１種単独または２種以上を組み合わせて用いることができる。
１．５．化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位は、０〜−５００ｍＶであることが好ましく、−２００〜−５００ｍＶであることがより好ましい。化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲内にあると、研磨工程において、被研磨面に露出したコバルトが過剰にエッチングされて溶出することを抑制することができると考えられる。これに対して、化学機械研磨用組成物に含有される化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲を超える場合、コバルトが酸化しやすくなり、化学的に安定な酸化コバルトや水酸化コバルトが生成されやすくなり、効率的な研磨がされ難いため好ましくない。一方、化学機械研磨用組成物に含有される化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲未満である場合、コバルトの過剰なエッチングが進行して被研磨面の平坦性や電気特性が劣化してしまう場合がある。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位は、０〜−５００ｍＶであることが好ましく、−２００〜−５００ｍＶであることがより好ましい。化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲内にあると、研磨工程において、被研磨面に露出したコバルトが過剰にエッチングされて溶出することを抑制することができると考えられる。これに対して、化学機械研磨用組成物に含有される化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲を超える場合、コバルトが酸化しやすくなり、化学的に安定な酸化コバルトや水酸化コバルトが生成されやすくなり、効率的な研磨がされ難いため好ましくない。一方、化学機械研磨用組成物に含有される化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位が前記範囲未満である場合、コバルトの過剰なエッチングが進行して被研磨面の平坦性や電気特性が劣化してしまう場合がある。
なお、本願発明において、化学機械研磨用組成物のコバルトの自然電位（レストポテンシャル）は、化学機械研磨用組成物のオープンサーキットポテンシャル（ＯＣＰ）を定量することにより求めることができる。なお、自然電位は腐食電位と同義語で、腐食電位をリニアスイープボルタンメトリー（ＬＳＶ）によりターフェルプロットから定量しても求めることができる。ＯＣＰおよびＬＳＶ装置としては、例えば「電気化学測定装置ＨＺ−７０００（北斗電工株式会社製）」等を使用することができる。
１．６．化学機械研磨用水系分散体の表面張力
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物の表面張力は、２０〜７５ｍＮ／ｍであることが好ましく、５０〜７５ｍＮ／ｍであることが好ましい。化学機械研磨用組成物の表面張力が前記範囲内にあると、研磨工程において、コバルト表面の欠陥を低減できると考えられる。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物の表面張力は、２０〜７５ｍＮ／ｍであることが好ましく、５０〜７５ｍＮ／ｍであることが好ましい。化学機械研磨用組成物の表面張力が前記範囲内にあると、研磨工程において、コバルト表面の欠陥を低減できると考えられる。
化学機械研磨用組成物の表面張力は、上述の二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物やその他の添加剤の添加量を増減させることにより調整することができる。
なお、化学機械研磨用組成物の表面張力は、化学機械研磨用組成物を懸滴法（ペンダントドロップ法）を用いて定量することにより求めることができる。表面張力計としては、例えば「接触角計ＤＭｓ−４０１（協和界面科学株式会社製）」等を使用することができる。
１．７．用途
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、上述のようにコバルト膜に対する実用的な研磨速度を達成できると共に、コバルト膜の腐食抑制効果を有する。そのため、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、半導体装置の製造工程において、金属配線、金属ゲートおよび金属プラグなどを形成するコバルト膜を化学機械研磨するための研磨材料として好適である。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、上述のようにコバルト膜に対する実用的な研磨速度を達成できると共に、コバルト膜の腐食抑制効果を有する。そのため、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、半導体装置の製造工程において、金属配線、金属ゲートおよび金属プラグなどを形成するコバルト膜を化学機械研磨するための研磨材料として好適である。
１．８．化学機械研磨用組成物の調製方法
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、水等の液状媒体に上述した各成分を溶解または分散させることにより調製することができる。溶解または分散させる方法は、特に制限されず、均一に溶解または分散できればどのような方法を適用してもよい。また、上述した各成分の混合順序や混合方法についても特に制限されない。
本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、水等の液状媒体に上述した各成分を溶解または分散させることにより調製することができる。溶解または分散させる方法は、特に制限されず、均一に溶解または分散できればどのような方法を適用してもよい。また、上述した各成分の混合順序や混合方法についても特に制限されない。
また、本実施形態に係る化学機械研磨用組成物は、濃縮タイプの原液として調製し、使用時に水等の液状媒体で希釈して使用することもできる。
２．化学機械研磨方法
本発明の一実施形態に係る化学機械研磨方法は、上述の化学機械研磨用組成物を用いて、コバルト膜を化学機械研磨する工程を含む。以下、本実施形態に係る化学機械研磨方法の一具体例について、図面を用いながら詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係る化学機械研磨方法は、上述の化学機械研磨用組成物を用いて、コバルト膜を化学機械研磨する工程を含む。以下、本実施形態に係る化学機械研磨方法の一具体例について、図面を用いながら詳細に説明する。
２．１．デバイス（被処理体）の作製
図４に、本実施形態に係る化学機械研磨方法に用いられる被処理体１００を示す。
（１）まず、シリコン基板（図示せず）上に絶縁膜２０をプラズマＣＶＤ法または熱酸化法により形成する。絶縁膜２０としては、例えば、ＴＥＯＳ膜等が挙げられる。
（２）絶縁膜２０の上に、ＣＶＤ法または熱酸化法を用いて保護膜３０を形成する。保護膜３０としては、例えば、ＳｉＮ膜等が挙げられる。
（３）絶縁膜２０および保護膜３０を連通するようにエッチングして配線用凹部４０を形成する。
（４）ＣＶＤ法またはＰＶＤ法を用いて保護膜３０の表面ならびに配線用凹部４０の底部および内壁面を覆うように、バリアメタル膜５０を形成する。バリアメタル膜５０は、コバルト膜との接着性ならびに絶縁膜および保護膜に対する拡散バリア性に優れる観点から、ＴｉまたはＴｉＮであることが好ましいが、これに限らずＴａ、ＴａＮ、Ｍｎ、Ｒｕ等であってもよい。
（５）バリアメタル膜５０の上にＰＶＤ法、ＣＶＤ法、またはメッキ法によりコバルトを堆積させてコバルト膜６０を形成することにより、被処理体１００が得られる。
図４に、本実施形態に係る化学機械研磨方法に用いられる被処理体１００を示す。
（１）まず、シリコン基板（図示せず）上に絶縁膜２０をプラズマＣＶＤ法または熱酸化法により形成する。絶縁膜２０としては、例えば、ＴＥＯＳ膜等が挙げられる。
（２）絶縁膜２０の上に、ＣＶＤ法または熱酸化法を用いて保護膜３０を形成する。保護膜３０としては、例えば、ＳｉＮ膜等が挙げられる。
（３）絶縁膜２０および保護膜３０を連通するようにエッチングして配線用凹部４０を形成する。
（４）ＣＶＤ法またはＰＶＤ法を用いて保護膜３０の表面ならびに配線用凹部４０の底部および内壁面を覆うように、バリアメタル膜５０を形成する。バリアメタル膜５０は、コバルト膜との接着性ならびに絶縁膜および保護膜に対する拡散バリア性に優れる観点から、ＴｉまたはＴｉＮであることが好ましいが、これに限らずＴａ、ＴａＮ、Ｍｎ、Ｒｕ等であってもよい。
（５）バリアメタル膜５０の上にＰＶＤ法、ＣＶＤ法、またはメッキ法によりコバルトを堆積させてコバルト膜６０を形成することにより、被処理体１００が得られる。
２．２．化学機械研磨方法
次いで、被処理体１００について二段階の研磨処理を行う。第１研磨処理工程として、被処理体１００のバリアメタル膜５０の上に堆積したコバルト膜６０を除去するために、特開２０１６−３０８３１号公報等に記載されたコバルトに対して高い研磨レートを示す化学機械研磨用組成物を用いて化学機械研磨を行う。この化学機械研磨により、保護膜３０またはバリアメタル膜５０が表出するまでコバルト膜６０を研磨し続ける。通常、保護膜３０またはバリアメタル膜５０が表出したことを確認した上で研磨を停止させる必要が
ある。コバルト膜に対する研磨速度が非常に高いが、バリアメタル膜をほとんど研磨しない化学機械研磨用組成物を用いる場合には、図５に示すように、バリアメタル膜５０が表出した時点で化学機械研磨を進行できなくなるため、化学機械研磨を自己停止（セルフストップ）させることができる。
次いで、被処理体１００について二段階の研磨処理を行う。第１研磨処理工程として、被処理体１００のバリアメタル膜５０の上に堆積したコバルト膜６０を除去するために、特開２０１６−３０８３１号公報等に記載されたコバルトに対して高い研磨レートを示す化学機械研磨用組成物を用いて化学機械研磨を行う。この化学機械研磨により、保護膜３０またはバリアメタル膜５０が表出するまでコバルト膜６０を研磨し続ける。通常、保護膜３０またはバリアメタル膜５０が表出したことを確認した上で研磨を停止させる必要が
ある。コバルト膜に対する研磨速度が非常に高いが、バリアメタル膜をほとんど研磨しない化学機械研磨用組成物を用いる場合には、図５に示すように、バリアメタル膜５０が表出した時点で化学機械研磨を進行できなくなるため、化学機械研磨を自己停止（セルフストップ）させることができる。
次に、第２研磨処理工程として、上述した本願発明の化学機械研磨用組成物を用いて、コバルト膜６０と、バリアメタル膜５０と、保護膜３０または絶縁膜２０とが共存する被処理面を研磨することで、コバルト膜表面の腐食を低減しながら、研磨速度を低下させることなく研磨することができる。
２．３．化学機械研磨装置
本実施形態に係る化学機械研磨方法では、市販の化学機械研磨装置を用いることができる。市販の化学機械研磨装置として、例えば、荏原製作所社製、型式「ＥＰＯ−１１２」、「ＥＰＯ−２２２」；ラップマスターＳＦＴ社製、型式「ＬＧＰ−５１０」、「ＬＧＰ−５５２」；アプライドマテリアル社製、型式「Ｍｉｒｒａ」、「Ｒｅｆｌｅｘｉｏｎ」；Ｇ＆Ｐ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製、型式「ＰＯＬＩ−４００Ｌ」等が挙げられる。
本実施形態に係る化学機械研磨方法では、市販の化学機械研磨装置を用いることができる。市販の化学機械研磨装置として、例えば、荏原製作所社製、型式「ＥＰＯ−１１２」、「ＥＰＯ−２２２」；ラップマスターＳＦＴ社製、型式「ＬＧＰ−５１０」、「ＬＧＰ−５５２」；アプライドマテリアル社製、型式「Ｍｉｒｒａ」、「Ｒｅｆｌｅｘｉｏｎ」；Ｇ＆Ｐ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製、型式「ＰＯＬＩ−４００Ｌ」等が挙げられる。
好ましい研磨条件としては、使用する化学機械研磨装置により適宜設定されるべきであるが、例えば化学機械研磨装置として上記「ＥＰＯ−１１２」を使用する場合には下記の条件とすることができる。
・定盤回転数；好ましくは３０〜１２０ｒｐｍ、より好ましくは４０〜１００ｒｐｍ
・ヘッド回転数；好ましくは３０〜１２０ｒｐｍ、より好ましくは４０〜１００ｒｐｍ
・定盤回転数／ヘッド回転数比；好ましくは０．５〜２、より好ましくは０．７〜１．５・研磨圧力；好ましくは６０〜２００ｇｆ／ｃｍ２、より好ましくは１００〜１５０ｇｆ／ｃｍ２
・化学機械研磨用組成物供給速度；好ましくは５０〜３００ｍＬ／分、より好ましくは１００〜２００ｍＬ／分
・定盤回転数；好ましくは３０〜１２０ｒｐｍ、より好ましくは４０〜１００ｒｐｍ
・ヘッド回転数；好ましくは３０〜１２０ｒｐｍ、より好ましくは４０〜１００ｒｐｍ
・定盤回転数／ヘッド回転数比；好ましくは０．５〜２、より好ましくは０．７〜１．５・研磨圧力；好ましくは６０〜２００ｇｆ／ｃｍ２、より好ましくは１００〜１５０ｇｆ／ｃｍ２
・化学機械研磨用組成物供給速度；好ましくは５０〜３００ｍＬ／分、より好ましくは１００〜２００ｍＬ／分
３．実施例
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。なお、本実施例における「部」および「％」は、特に断らない限り質量基準である。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。なお、本実施例における「部」および「％」は、特に断らない限り質量基準である。
３．１．スルファニル基修飾コロイダルシリカを含む水分散体の調製
＜シリカ粒子分散体Ａ＞
シリカ粒子分散体Ａは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合して、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７２ｎｍのスルフィニル化したシリカ粒子分散体Ａを得た。
＜シリカ粒子分散体Ａ＞
シリカ粒子分散体Ａは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合して、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７２ｎｍのスルフィニル化したシリカ粒子分散体Ａを得た。
シリカ粒子分散体Ａをイオン交換水にて０．０１％に希釈し、メッシュサイズが１５０μｍのＣｕグリットを有するコロジオン膜に１滴載せ、室温にて乾燥した。このようにして、Ｃｕグリット上に粒子形状を崩さないように観察用のサンプルを調製した後、透過型電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社製、「Ｈ−７６５０」）を用いて撮影倍率２００００倍にて粒子の画像を撮影し、５０個のシリカ粒子の長径および短径を測定し、その平均値を算出した。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
＜シリカ粒子分散体Ｂ＞
シリカ粒子分散体Ｂは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３Ｌ；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径６３ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均二次粒子径６２ｎｍのスルフィニル化したシリカ粒子分散体Ｂを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．１であった。
シリカ粒子分散体Ｂは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３Ｌ；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径６３ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均二次粒子径６２ｎｍのスルフィニル化したシリカ粒子分散体Ｂを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．１であった。
＜シリカ粒子分散体Ｃ＞
シリカ粒子分散体Ｃは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−アミノプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７３ｎｍのアミノ化したシリカ粒子分散体Ｃを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
シリカ粒子分散体Ｃは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−アミノプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７３ｎｍのアミノ化したシリカ粒子分散体Ｃを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
＜シリカ粒子分散体Ｄ＞
シリカ粒子分散体Ｄは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと２−ニトロベンジルエステル６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。その後、３時間光照射を行い、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７５ｎｍのカルボン酸化したシリカ粒子分散体Ｄを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
シリカ粒子分散体Ｄは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと２−ニトロベンジルエステル６ｇを混合させ、２時間加熱還流した。その後、３時間光照射を行い、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７５ｎｍのカルボン酸化したシリカ粒子分散体Ｄを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
＜シリカ粒子分散体Ｅ＞
シリカ粒子分散体Ｅは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した後、チオール化シリカゾルを得る。そのシリカゾルを、過酸化水素等の酸化剤を加え、８時間加熱還流させることで、その表面を酸化し、スルホン酸が表面に固定化した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７３ｎｍシリカ粒子分散体Ｅを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
シリカ粒子分散体Ｅは、以下のようにして作製した。まず、扶桑化学工業社製の高純度コロイダルシリカ（品番：ＰＬ−３；シリカ含有量（固形分濃度）２０質量％、平均粒子径７５ｎｍ）５ｋｇと３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン６ｇを混合させ、２時間加熱還流した後、チオール化シリカゾルを得る。そのシリカゾルを、過酸化水素等の酸化剤を加え、８時間加熱還流させることで、その表面を酸化し、スルホン酸が表面に固定化した。このようにして、シリカ濃度が固形分濃度２０質量％、平均粒子径７３ｎｍシリカ粒子分散体Ｅを得た。長径の平均値（Ｒｍａｘ）および短径の平均値（Ｒｍｉｎ）から、その比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）を算出したところ１．２であった。
３．２．化学機械研磨用組成物の調製
ポリエチレン製容器に、表１または表２に示す含有割合となるように各成分を添加し、さらに水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、過酸化水素水を必要に応じて加え、表１または表２に示すｐＨ、自然電位、カリウム含有量、ナトリウム含有量となるように調整して各実施例および各比較例の化学機械研磨用組成物を調製した。
ポリエチレン製容器に、表１または表２に示す含有割合となるように各成分を添加し、さらに水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、過酸化水素水を必要に応じて加え、表１または表２に示すｐＨ、自然電位、カリウム含有量、ナトリウム含有量となるように調整して各実施例および各比較例の化学機械研磨用組成物を調製した。
３．３．評価方法
３．３．１．研磨速度評価
上記で調製した化学機械研磨用組成物を用いて、直径１２インチのコバルト膜２００ｎｍ付きウェーハを被研磨体として、下記の研磨条件で１分間の化学機械研磨試験を行った。
３．３．１．研磨速度評価
上記で調製した化学機械研磨用組成物を用いて、直径１２インチのコバルト膜２００ｎｍ付きウェーハを被研磨体として、下記の研磨条件で１分間の化学機械研磨試験を行った。
＜研磨条件＞
・研磨装置：Ｇ＆Ｐ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製、型式「ＰＯＬＩ−４００Ｌ」
・研磨パッド：富士紡績社製、「多硬質ポリウレタン製パッド；Ｈ８００−ｔｙｐｅ１（
３−１Ｓ）７７５」
・化学機械研磨用組成物供給速度：１００ｍＬ／分
・定盤回転数：１００ｒｐｍ
・ヘッド回転数：９０ｒｐｍ
・ヘッド押し付け圧：２ｐｓｉ
・研磨速度（Å／ｍｉｎ）＝（研磨前の膜の厚さ−研磨後の膜の厚さ）／研磨時間
なお、コバルト膜の厚さは、抵抗率測定機（ＮＰＳ社製、型式「Σ−５」）により直流４探針法で抵抗を測定し、このシート抵抗値とコバルトの体積抵抗率から下記式によって算出した。
膜の厚さ（Å）＝［コバルト膜の体積抵抗率（Ω・ｍ）÷シート抵抗値（Ω））］×１０１０
・研磨装置：Ｇ＆Ｐ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製、型式「ＰＯＬＩ−４００Ｌ」
・研磨パッド：富士紡績社製、「多硬質ポリウレタン製パッド；Ｈ８００−ｔｙｐｅ１（
３−１Ｓ）７７５」
・化学機械研磨用組成物供給速度：１００ｍＬ／分
・定盤回転数：１００ｒｐｍ
・ヘッド回転数：９０ｒｐｍ
・ヘッド押し付け圧：２ｐｓｉ
・研磨速度（Å／ｍｉｎ）＝（研磨前の膜の厚さ−研磨後の膜の厚さ）／研磨時間
なお、コバルト膜の厚さは、抵抗率測定機（ＮＰＳ社製、型式「Σ−５」）により直流４探針法で抵抗を測定し、このシート抵抗値とコバルトの体積抵抗率から下記式によって算出した。
膜の厚さ（Å）＝［コバルト膜の体積抵抗率（Ω・ｍ）÷シート抵抗値（Ω））］×１０１０
研磨速度評価の評価基準は下記の通りである。その結果を表１または表２に併せて示す。
・研磨速度が４００Å／ｍｉｎ以上である場合、研磨速度が大きいため実際の半導体研磨において他材料膜の研磨との速度バランスが容易に確保でき、非常に実用的であるから極めて良好と判断し「◎」と表記した。
・研磨速度が２００Å／ｍｉｎ以上４００Å／ｍｉｎ未満である場合、研磨速度が大きいため実際の半導体研磨において他材料膜の研磨との速度バランスが確保でき、実用的であるから良好と判断し「○」と表記した。
・研磨速度が２００Å／ｍｉｎ未満である場合、研磨速度が小さいため、実用困難であり不良と判断し「×」と表記した。
・研磨速度が４００Å／ｍｉｎ以上である場合、研磨速度が大きいため実際の半導体研磨において他材料膜の研磨との速度バランスが容易に確保でき、非常に実用的であるから極めて良好と判断し「◎」と表記した。
・研磨速度が２００Å／ｍｉｎ以上４００Å／ｍｉｎ未満である場合、研磨速度が大きいため実際の半導体研磨において他材料膜の研磨との速度バランスが確保でき、実用的であるから良好と判断し「○」と表記した。
・研磨速度が２００Å／ｍｉｎ未満である場合、研磨速度が小さいため、実用困難であり不良と判断し「×」と表記した。
３．３．２．腐食評価
上記研磨速度評価で研磨した直径１２インチのコバルト膜付きウェーハを切断して２×２ｃｍの試験片を作製し、走査型原子間力顕微鏡（Ｂｌｕｋｅｒ Ｃｏｒｐｏａｔｉｏｎ製、ＡＦＭ）にてＤｉｍｅｎｓｉｏｎ ＦａｓｔＳｃａｎを用いてフレームサイズ１０μｍにて１２か所観察し、１２か所の算術平均粗さの平均値を算出した。その評価基準は下記の通りである。その結果を表１または表２に併せて示す。
・算術平均粗さの平均値が０．６ｎｍ未満である場合、コバルト腐食が抑制できており、非常に良好と判断し「○」と表記した。
・算術平均粗さの平均値が０．６ｎｍ以上である場合、コバルト腐食を抑制できず、使用困難であるため、不良と判断し「×」と表記した。
上記研磨速度評価で研磨した直径１２インチのコバルト膜付きウェーハを切断して２×２ｃｍの試験片を作製し、走査型原子間力顕微鏡（Ｂｌｕｋｅｒ Ｃｏｒｐｏａｔｉｏｎ製、ＡＦＭ）にてＤｉｍｅｎｓｉｏｎ ＦａｓｔＳｃａｎを用いてフレームサイズ１０μｍにて１２か所観察し、１２か所の算術平均粗さの平均値を算出した。その評価基準は下記の通りである。その結果を表１または表２に併せて示す。
・算術平均粗さの平均値が０．６ｎｍ未満である場合、コバルト腐食が抑制できており、非常に良好と判断し「○」と表記した。
・算術平均粗さの平均値が０．６ｎｍ以上である場合、コバルト腐食を抑制できず、使用困難であるため、不良と判断し「×」と表記した。
表１および表２において、各実施例および各比較例での各成分の合計量は１００質量部となり、残部はイオン交換水である。また、表１および表２における下記の成分について補足する。
＜砥粒＞
・ＰＬ−３：扶桑化学工業社製、商品名「ＰＬ−３」、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ＝１．２
・ＰＬ−３Ｌ：扶桑化学工業社製、商品名「ＰＬ−３Ｌ」、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ＝１．２
＜砥粒＞
・ＰＬ−３：扶桑化学工業社製、商品名「ＰＬ−３」、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ＝１．２
・ＰＬ−３Ｌ：扶桑化学工業社製、商品名「ＰＬ−３Ｌ」、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ＝１．２
３．４．評価結果
実施例１〜９の本願発明に係る化学機械研磨用組成物によれば、コバルト膜を高研磨速
度で研磨できる一方で、研磨後のコバルト膜のラフネスが低く、低腐食であり、貯蔵安定性の結果も良好であった。一方、比較例１〜５の化学機械研磨用組成物では、コバルト膜の腐食抑制とコバルト膜の高研磨速度とを両立できず、良好な研磨特性は得られなかった。
実施例１〜９の本願発明に係る化学機械研磨用組成物によれば、コバルト膜を高研磨速
度で研磨できる一方で、研磨後のコバルト膜のラフネスが低く、低腐食であり、貯蔵安定性の結果も良好であった。一方、比較例１〜５の化学機械研磨用組成物では、コバルト膜の腐食抑制とコバルト膜の高研磨速度とを両立できず、良好な研磨特性は得られなかった。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
１０ａ・１０ｂ・１０ｃ…砥粒、２０…絶縁膜、３０…保護膜、４０…配線用凹部、５０…バリアメタル膜、６０…コバルト膜、１００…被処理体
Claims (6)
- スルファニル基が共有結合を介して表面に固定化された砥粒と、
液状媒体と、を含有し、
さらに、カリウムおよびナトリウムを含有し、
前記カリウムの含有量をＭ Ｋ （ｐｐｍ）、前記ナトリウムの含有量をＭ Ｎａ （ｐｐｍ）としたときに、Ｍ Ｋ ／Ｍ Ｎａ ＝３×１０ ３ 〜３×１０ ５ である、化学機械研磨用組成物。 - 前記砥粒の長径（Ｒｍａｘ）と短径（Ｒｍｉｎ）との比（Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ）が１．０以上１．５以下である、請求項１に記載の化学機械研磨用組成物。
- ｐＨが７以上１１以下である、請求項１または請求項２に記載の化学機械研磨用組成物。
- さらに、二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物を含有し、
前記二重結合を一つ以上有するアニオン性化合物の含有量が０．００１質量％以上１質量％以下である、請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の化学機械研磨用組成物。 - コバルト膜を化学機械研磨するための請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の化学機械研磨用組成物。
- 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の化学機械研磨用組成物を用いてコバルト膜を化学機械研磨する工程を含む、化学機械研磨方法。
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