JP6818393B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
21 光源
22 DMD(光変調素子アレイ)
30 コントローラ(露光制御部)
46 同期制御部(露光制御部)
47、48 遅延回路(露光制御部)
Claims (6)
- 相対的に長い点灯期間と相対的に短い消灯期間となるパルス光を周期的に発光する光源と、
複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイと、
前記光変調素子アレイによって変調された光が結像する露光エリアを、露光対象物に対して走査方向に相対移動させる走査部と、
前記光変調素子アレイおよび前記光源を制御し、所定の露光ピッチで前記露光対象物に多重露光する露光制御部とを備え、
前記露光制御部が、前記露光対象物全体への多重露光の間、露光ピッチに従う前記光変調素子アレイの露光データ切り替えタイミングに合わせて、一定期間としてそれぞれ設定された前記点灯期間と前記消灯期間とが交互に繰り返すようにパルス光を周期的に発光させるとともに、光変調素子のOFF状態からON状態およびON状態からOFF状態へ移行する動作過渡期間に前記光変調素子アレイへパルス光が入射しないように、パルス光を発光させることを特徴とする露光装置。 - 前記露光制御部が、光変調素子駆動タイミングとパルス光の発光タイミングそれぞれの遅延特性とを比較して、光変調素子駆動タイミングおよびパルス光の発光タイミングの少なくともいずれか一方を調整することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記露光制御部が、光変調素子駆動タイミング信号出力から光変調素子駆動までの駆動遅延時間と、発光タイミング信号出力から前記光源の発光までの発光遅延時間との差に応じて、光変調素子駆動タイミングもしくはパルス光の発光タイミングいずれかを遅延させることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 露光対象物を搭載する走査機構に設けられるフォトセンサをさらに備え、
前記露光制御部が、前記光源の連続点灯中に前記光変調素子アレイを所定のタイミングで駆動させたとき前記フォトセンサから出力される信号に基づいて駆動遅延時間を検出することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 露光対象物を搭載する走査機構に設けられるフォトセンサをさらに備え、
前記露光制御部が、前記光変調素子をON状態にしている間に前記光源をパルス発光させたとき前記フォトセンサから出力される信号に基づいて発光遅延時間を検出することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 所定の露光ピッチに応じて、相対的に長い点灯期間と相対的に短い消灯期間となるパルス光を光源から周期的に発光させ、
複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイを制御して、露光対象物を該露光ピッチで多重露光する露光方法であって、
前記露光対象物全体への多重露光の間、露光ピッチに従う前記光変調素子アレイの露光データ切り替えタイミングに合わせて、一定期間としてそれぞれ設定された前記点灯期間と前記消灯期間とが交互に繰り返すようにパルス光を周期的に発光させ、
光変調素子のOFF状態からON状態およびON状態からOFF状態へ移行する動作過渡期間に前記光変調素子アレイへパルス光が入射しないように、パルス光を発光させることを特徴とする露光方法。
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