JP6807681B2 - りん含有銅粉およびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、特許文献2のように水アトマイズ法において有機酸を使用すると、得られる銅粉の炭素含有量が高くなり、銅粉をペースト化し、これを基板上に塗布、焼成などして形成される導体回路などの体積抵抗率が上昇するおそれがある。なお、特許文献2においては、銅粉は製造されていない。
・溶融した銅にりんを添加した溶湯から水アトマイズ法によりりん含有銅粉を製造する。
・水アトマイズ法において用いられる噴霧水をアルカリ水溶液とする。
りんを含有するりん含有銅粉であって、
そのBET比表面積(m2/g)に対する酸素量(wt%)の比(酸素量/BET比表面積)が0.90wt%・g/m2以下であり、
りん含有銅粉を構成する粒子の表面に二価の銅化合物が存在し、
炭素量が0.10wt%以下であり、
D50が7.11μm以下である、りん含有銅粉である。
含有されるりんの量は10〜1000ppmである。
りん含有銅粉中の酸素量×D50の値が1.40wt%・μm以下である。
D50が1.0μm未満である。
りん含有銅粉のBET比表面積(m2/g)に対する炭素量(wt%)の比(炭素量/BET比表面積)が0.03wt%・g/m2以下である。
溶融した銅にりんを添加した溶湯から水アトマイズ法によりりん含有銅粉を製造する方法であって、
前記水アトマイズ法において用いられる噴霧水はアルカリ水溶液である、りん含有銅粉の製造方法である。
添加されるりんの量は、前記溶湯中のりんの割合が10〜2000ppmとなる量である。
前記アルカリ水溶液におけるアルカリ性は、主に無機塩によりpH8〜12に調整したものである。
1.りん含有銅粉の製造方法
1−1.銅原料溶融工程
1−2.りん添加工程
1−3.噴霧水のpH調整工程
1−4.水アトマイズ工程
1−5.乾燥その他
2.りん含有銅粉
3.実施の形態による効果
本明細書において「〜」は所定の値以上かつ所定の値以下のことを指す。
1−1.銅原料溶融工程
本工程においては、りん含有銅粉の作製の基となる銅原料を溶融させ、溶湯を形成する。なお、銅原料としては公知のものを使用しても構わず、例えば、銅合金を溶融させても構わない。合金を構成する銅以外の元素としては、亜鉛、ニッケル、マンガン、アルミニウム、銀、錫が挙げられる。これらの元素の銅合金における含有量は、通常1〜50重量%であり、好ましくは5〜40重量%である。また、溶融の際に用いられる設備や諸条件についても特に限定は無く、公知のものを使用しても構わない。
本工程においては、上記の溶湯に対してりんを添加する。添加の手法については特に限定は無い。例えば、溶湯に対してりんそのものを添加しても構わないし、りんと銅との合金を添加しても構わない。
本工程においては、水アトマイズ工程で用いる噴霧水のpHを調整する。具体的には、噴霧水としてアルカリ水溶液を用い、pHを7より大きくするように、pHを調整する。こうすることにより、耐酸化性を効果的にもたらすことが可能となる。すなわち、噴霧水pHをアルカリ性にすることで、りんが溶出してもスラリーpHが銅の不動態域に保たれ、粒子の酸化を抑制できる。その結果、粒子を小径化した場合であってもりん含有銅粉の酸素量低減を効果的にもたらすことが可能となる。これにより、本発明のりん含有銅粉の製造方法においては、特許文献2のように酸化抑制のために有機酸を使用する必要がない。そのため、本実施形態においては、有機酸を実質的に含まない(噴霧水において有機酸が1質量%以下の)噴霧水を使用する。
本工程においては、先にも述べたように、(有機酸を実質的に含まない)アルカリ水溶液を噴霧水として採用した上で水アトマイズ法を採用し、りん含有銅粉を作製する。なお、水アトマイズ工程としては、アルカリ水溶液に係る条件等を除いては、公知のものを採用しても構わない。たとえば、50〜200MPa程度の高圧水アトマイズ法を採用しても構わない。噴霧圧力を高めると、得られるりん含有銅粉のD50を小さくすることができる。
本工程においては、水アトマイズ工程により形成されたりん含有銅粒子を、固液分離・乾燥・解砕・分級し、りん含有銅粉を得る。また、りん含有銅粉の作製に必要な各工程を行っても構わない。例えば、乾燥前のりん含有銅スラリーに対して窒素バブリングを行っても構わない。また、りん含有銅粉からペーストを作製するのに必要な各工程を行っても構わない。なお、以降に述べる<2.りん含有銅粉>における各条件は、分級後の条件を指す。
上記の工程により作製された、本実施形態におけるりん含有銅粉は、以下の構成を備える。
・BET比表面積(m2/g)に対する酸素量(wt%)の比(酸素量/BET比表面積)が0.90wt%・g/m2以下である。
・りん含有銅粉を構成する粒子の表面に二価の銅化合物が存在する。
・炭素量が0.10wt%以下である。
・D50が7.11μm以下である。
また、上述の通り本実施形態においては水アトマイズ法において有機酸を使用する必要がないため、りん含有銅粉の炭素量は0.10wt%以下と炭素分が非常に少ない。このため本実施形態のりん含有銅粉を使用すれば、体積抵抗率の低い導体を形成することができる。このような低体積抵抗率の観点から、りん含有銅粉の炭素量は好ましくは0.04wt%以下である。
・BET比表面積(m2/g)に対する炭素量(wt%)の比(炭素量/BET比表面積)が0.03wt%・g/m2以下である。
・含有されるりんの量は10〜1000ppmである。
・酸素量(wt%)×D50の値が1.40wt%・μm以下である。
りん含有銅粉に含有されるりんの量については、1−2.りん添加工程にて述べた通りである。
本実施形態は以下の効果を奏する。
本実施形態においては、アルカリ水溶液を噴霧水として採用した上で水アトマイズ法を採用し、りん含有銅粉を作製する。こうすることにより、製造工程中におけるスラリーpHの低下を抑制し、粒子を小径化した場合であっても、粒子の酸化を抑制できる。その結果、粒子を小径化した場合であってもりん含有銅粉の耐酸化性を向上させることが可能となる。その結果、小径化しても酸素の量を比較的低く抑えることにより体積抵抗率を良好としたりん含有銅粉が得られる。また、酸素量低減のために有機酸を噴霧水に含有させる必要がないので、得られるりん含有銅粉の炭素量も低減できる。その結果、体積抵抗率を良好としたりん含有銅粉が得られる。
本実施例においては、上記の実施形態で述べたりん含有銅粉の製造方法を用いてりん含有銅粉を製造した。以下、各条件を述べるが、特記の無い内容については後掲の表1に記載の通りである。
本工程においては、無酸素銅ボールを15kg溶融し、溶湯を準備した。溶湯の温度は1300℃とした。
本工程においては、りん銅地金(りん含有量15%)を使用し、溶湯中のりん含有量が400ppmになるように溶湯へと添加した。
本工程においては、水アトマイズ工程にて用いられる噴霧水を準備した。具体的には、純水15.8m3に対して苛性ソーダ25.1gを添加して作製したアルカリ水溶液を噴霧水として準備した。噴霧水のpHの値は9.6であった(15℃での数値)。
本工程においては、水アトマイズを行った。各種条件(水圧等)としては以下の通りである。
・水圧100MPa
・水量160L/min.
本工程においては、水アトマイズ工程で得られたスラリーを固液分離後に乾燥・解砕し、風力分級によって微粉末を得た。
なお、各種パラメータは、以下の装置または手法を用いて求めた。
・D50(μm)…レーザー回折式粒度分布測定装置(SYMPATEC社製、ヘロス粒度分布測定装置(HELOS&RODOS(気流式の分散モジュール)))を使用して、分散圧5Barにて、体積基準の累積50%粒径を求めた。
・りん含有銅粉における酸素含有量(wt%)…O/N計(株式会社堀場製作所製、EMGA−920)
・りん含有銅粉を構成する粒子の表面に二価の銅化合物が存在するか否か…X線光電子分光装置(アルバックファイ株式会社製、ESCA5800)(以降、単にESCAと称する。)
(測定条件)
・X線源…Alモノクロ
・出力…150W
・光電子取り出し角…45°
・パスエネルギー…23.5eV
・りんの含有量…ICP発光分光分析装置(株式会社日立ハイテクサイエンス製、SPS3520V)
・BET比表面積(m2/g)…BET比表面積測定装置(ユアサイオニクス株式会社製、4ソーブUS)を用いて、N2を流しながら105℃で20分間脱気したのち、N2−He混合ガス(N230体積%、He70体積%)を流しながら、BET1点法により測定した。
・りん含有銅粉における炭素含有量(wt%)…炭素・硫黄分析装置(堀場製作所製のEMIA−220V)により測定した。
苛性ソーダの添加量を126.1gとしたこと以外は実施例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
溶湯温度を1600℃とし、溶湯中のりん含有量が950ppmになるようにりん銅地金を添加し、苛性ソーダの添加量を316.7gとし、水圧を150MPaにしたこと以外は実施例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
溶湯中のりん含有量が1400ppmになるようにりん銅地金を添加し、苛性ソーダの添加量を126.1gとしたこと以外は実施例3と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
溶湯中のりん含有量が790ppmになるようにりん銅地金を添加し、苛性ソーダの添加量を100.3gとし、水圧を65MPaとしたこと以外は実施例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
溶湯中のりん含有量が1800ppmになるようにりん銅地金を添加したこと以外は実施例3と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
溶湯中のりん含有量が300ppmになるようにりん銅地金を添加し、水圧を150MPaとしたこと以外は実施例2と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
苛性ソーダの添加量を631.5gとし、水圧を150MPaとしたこと以外は実施例5と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
本比較例においては、溶湯温度を1200℃とし、溶湯にりんを添加しなかった。噴霧水は純水を使用した。水圧150MPa、水量160L/minの条件で水アトマイズを行った。それら以外は実施例1と同様にして微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
本比較例においては、溶湯温度を1300℃とし、溶湯中のりん含有量が300ppmになるようにりん銅地金を添加したこと以外は比較例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
本比較例においては、溶湯温度を1300℃とし、苛性ソーダの添加量を126.1gに変更したこと以外は比較例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
本比較例においては、水圧を100MPaとしたこと以外は比較例1と同様にして、微粉末を作製した。そして、実施例1と同様の各種評価を行った。
以下の表1に上記実施例・比較例の結果を示す。
・酸素量(wt%)/BET比表面積の値が0.90wt%・g/m2以下である。
・炭素量(wt%)が0.10wt%以下である。
・炭素量(wt%)/BET比表面積の値が0.03wt%・g/m2以下である。
・酸素量(wt%)×D50の値が1.40wt%・μm以下である。
・りん含有銅粉を構成する粒子の表面に二価の銅化合物が存在する。
・D50が7.11μm以下である。
という条件を満たしていた。その一方、各比較例を見ると、上記の各条件をすべて満たしているものは存在しなかった。
図1に示すように実施例2においては二価の銅化合物の存在を示すサテライトピークが存在するのに対して、図2に示すように比較例1においては二価の銅化合物の存在を示すピークは存在しなかった。
Claims (6)
- りんを含有するりん含有銅粉であって、
前記りん含有銅粉に含まれるりんの量は305〜1000ppmであり、
前記りん含有銅粉のBET比表面積(m2/g)に対する酸素量(wt%)の比(酸素量/BET比表面積)が0.90wt%・g/m2以下であり、
前記りん含有銅粉を構成する粒子の表面に二価の銅化合物が存在し、
炭素量が0.10wt%以下であり、
D50が7.11μm以下である、りん含有銅粉。 - りん含有銅粉中の酸素量×D50の値が1.40wt%・μm以下である、請求項1に記載のりん含有銅粉。
- D50が1.0μm未満である、請求項1または2に記載のりん含有銅粉。
- りん含有銅粉のBET比表面積(m2/g)に対する炭素量(wt%)の比(炭素量/BET比表面積)が0.03wt%・g/m2以下である、請求項1〜3のいずれかに記載のりん含有銅粉。
- 溶融した銅にりんを添加した溶湯から水アトマイズ法によりりん含有銅粉を製造する方法であって、
添加されるりんの量は、前記溶湯中のりんの割合が850〜1600ppmとなる量であり、
前記水アトマイズ法において用いられる噴霧水はアルカリ水溶液である、りん含有銅粉の製造方法。 - 前記アルカリ水溶液におけるアルカリ性は、主に無機塩によりpH8〜12に調整したものである、請求項5に記載のりん含有銅粉の製造方法。
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