JP6753086B2 - 除去方法および製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2011−91194号公報
特許文献2 特開2007−258490号公報
Claims (11)
- 半導体チップを封止する封止部から突出して設けられたリードフレームにおけるバリを除去する除去方法であって、
前記リードフレームを加熱し、且つ、前記リードフレームの第1範囲に流体を噴射して前記バリを除去する第1除去段階と、
前記第1除去段階の後に、前記リードフレームの第2範囲における前記バリを除去する第2除去段階と
を備え、
前記第1除去段階は、
前記リードフレームを加熱して、前記流体を加熱した前記リードフレームに噴射して前記バリを除去し、
前記第2範囲は、前記封止部と前記第1範囲の間に位置する除去方法。 - 半導体チップを封止する封止部から突出して設けられたリードフレームにおけるバリを除去する除去方法であって、
前記リードフレームを加熱し、且つ、前記リードフレームの第1範囲に流体を噴射して前記バリを除去する第1除去段階と、
前記第1除去段階の後に、前記リードフレームの第2範囲における前記バリを除去する第2除去段階と
を備え、
前記第2範囲は、前記封止部と前記第1範囲の間に位置する除去方法。 - 前記第2除去段階において、前記リードフレームにレーザーを局所的に照射して前記バリを除去する
請求項1または2に記載の除去方法。 - 前記第1除去段階は、
加熱した前記流体を前記リードフレームに噴射することで、前記リードフレームを加熱しつつ、前記バリを除去する
請求項1から3のいずれか一項に記載の除去方法。 - 前記流体は、液体、蒸気および不活性ガスの少なくとも一つを含む
請求項4に記載の除去方法。 - 前記第1除去段階において、前記流体の温度が90度以上、且つ、前記封止部のアフターキュア温度以下となるように、前記流体を加熱する
請求項4または5に記載の除去方法。 - 前記第1除去段階において、前記流体の温度が120度以上、且つ、130度以下となるように、前記流体を加熱する
請求項4または5に記載の除去方法。 - 前記第1除去段階において、前記封止部と、前記流体が噴射される位置との間に設けられ、前記封止部を前記流体から保護する保護部を用いて、前記流体を前記リードフレームに噴射する
請求項1から7のいずれか一項に記載の除去方法。 - 前記保護部は、前記リードフレームの少なくとも一部を前記流体から保護し、
前記第2除去段階において、前記保護部により前記流体から保護された領域の前記リードフレームのバリを除去する
請求項8に記載の除去方法。 - 前記保護部は、前記リードフレームの1倍以上、且つ、2倍以下の厚みの板状部材を有する
請求項8または9に記載の除去方法。 - 半導体装置の製造方法であって、
半導体チップを含む電子回路を形成する回路形成段階と、
前記電子回路および前記電子回路に接続するリードフレームの一部を封止し、且つ、リードフレームを露出させる封止部を形成する封止部形成段階と、
前記リードフレームを加熱し、且つ、前記リードフレームの第1範囲に流体を噴射してバリを除去する第1除去段階と、
前記第1除去段階の後に、前記リードフレームの第2範囲における前記バリを除去する第2除去段階と
を備え、
前記第2範囲は、前記封止部と前記第1範囲の間に位置する製造方法。
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