JP6750721B1 - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6750721B1 JP6750721B1 JP2019201559A JP2019201559A JP6750721B1 JP 6750721 B1 JP6750721 B1 JP 6750721B1 JP 2019201559 A JP2019201559 A JP 2019201559A JP 2019201559 A JP2019201559 A JP 2019201559A JP 6750721 B1 JP6750721 B1 JP 6750721B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- external connection
- terminal hole
- terminal
- connection terminal
- conductive substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/49—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions wire-like arrangements or pins or rods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/072—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4885—Wire-like parts or pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3735—Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49822—Multilayer substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49833—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers the chip support structure consisting of a plurality of insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/50—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
- H01L23/5386—Geometry or layout of the interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/18—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, each device being of a type provided for in group H01L27/00 or H01L29/00
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06555—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking
- H01L2225/06562—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking at least one device in the stack being rotated or offset
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Geometry (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
Description
また、本発明の一観点によれば、上記半導体装置の製造方法が提供される。
第1の実施の形態で用いられる半導体モジュールの一例について、図1〜図3を用いて説明する。図1及び図2は、半導体モジュールの外観を示す斜視図であり、図3は、半導体モジュールの断面図である。なお、図3は、図1及び図2の半導体モジュール10において長手方向に沿って、半導体モジュール10の中心を通る中心線による断面図を表している。
第2の実施の形態では、導通基板としてプリント基板の場合を例に挙げて図17を用いて説明する。図17は、第2の実施の形態のプリント基板に対する外部接続端子の接合を説明するための図である。なお、図17は、図4の一点鎖線Z−Zにおける断面図を表している。但し、図17(A),(B)は、プリント基板の異なる形態を表している。また、第2の実施の形態でも、半導体モジュール10の外部接続端子のうち制御端子である外部接続端子21a,22aの場合を例に挙げて説明する。
第3の実施の形態では、半導体モジュール10に対して、2つの積層した導通基板を設ける場合について、図18〜図22を用いて説明する。図18及び図20は、第3の実施の形態のバスバーが取り付けられた複数の半導体モジュールを説明するための図である。図19、図21及び図22は、第3の実施の形態のバスバーに対する外部接続端子の接合を説明するための図である。なお、図19及び、図21及び図22は、図18及び図20に示される破線の領域内を拡大して示している。
第1〜第3の実施の形態では、半導体モジュール10から延出する外部接続端子に導通基板を取り付ける場合を例に挙げて説明した。導通基板は半導体モジュール内に封止してもよい。第4の実施の形態では、この場合について、図23を用いて説明する。図23は、第4の実施の形態の半導体モジュールの断面図である。なお、図23の半導体モジュール10aに含まれる構成のうち、既出の半導体モジュール10等に含まれる構成と同じものには同じ符号を付して、その説明を省略している。また、半導体モジュール10aは、半導体モジュール10と同様の機能を有する。
10,10a 半導体モジュール
11A 第1絶縁基板
11B 第2絶縁基板
12a 第1回路板
12b 第2回路板
13 金属板
14 第1半導体素子
15 第2半導体素子
16 第3半導体素子
17 第4半導体素子
18 プリント基板
19,20 導電ポスト
21a,21b,22a,22b,23,24,25 外部接続端子
21aa,22aa,23a,24a,24c,24f 突起部
21ab,22ab,24b 周縁部
21ae,22ae,23e,24e,42,82c 段差
24d,43 テーパ部
26 スペーサ
30 封止部
40,40a,40b,40c,40d,61,62,63,71,72 導通基板
41 端子孔
41a,82a 入口
41b,82b 出口
50,51 はんだ
60 バスバー
60a 第1面
60b 第2面
61a 上部開口
62a 下部開口
64,74 絶縁紙
70 冷却器
71a 上部開口
72a 下部開口
75,76 コンデンサ
80 プリント基板
81a 絶縁層
81b,81c 導電層
81d,81e 保護層
82 スルーホール
83 めっき
Claims (20)
- 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、
主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、
を有し、
前記第1端子孔に、段差、テーパまたは突起である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっている、
半導体装置。 - 前記半導体モジュールは、前記半導体素子及び前記第1外部接続端子の前記第1一端部を封止する封止部を有し、前記第1外部接続端子の前記第1他端部が前記封止部から延出し、
前記第1導通基板は、前記封止部の外側で、前記第1他端部に設けられている、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体モジュールは、前記半導体素子と前記第1外部接続端子と前記第1導通基板とを封止する封止部を有する、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1係止部が前記段差である場合、前記第1係止部は前記第1端子孔の内周に形成されている、
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。 - 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、
主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、
を有し、
前記第1他端部に、段差である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっており、
前記第1係止部は前記第1他端部の側周面に形成されて、
前記段差は、前記第1他端部の第1先端面の周縁部に形成されて、
前記第1先端面の中心部に第1突起部が設けられている、
半導体装置。 - 前記第1端子孔は柱状の中空であり、前記第1突起部が前記第1端子孔の前記第1入口に嵌合し、前記第1係止部が前記第1端子孔の前記第1入口の周縁部に係止される、
請求項5に記載の半導体装置。 - さらに、前記第1端子孔の前記第1入口から前記第1出口への途中に形成された別の段差を含み、
前記第1先端面が前記第1端子孔の前記別の段差から前記第1出口の間に嵌合して、前記第1他端部の前記段差が前記第1端子孔の前記別の段差に係止される、
請求項5に記載の半導体装置。 - 前記第1突起部はスペーサである、
請求項5に記載の半導体装置。 - 前記第1突起部は前記第1先端面に一体的に形成されている、
請求項5に記載の半導体装置。 - 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、
主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、
を有し、
前記第1端子孔または前記第1他端部の少なくともいずれか一方に、突起である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっており、
前記第1係止部は前記第1端子孔の内周または前記第1他端部の側周面の周径に沿って、少なくとも一部に形成されている、
半導体装置。 - 前記突起は前記第1他端部の側周面の周径に沿って少なくとも一部に形成されて、
前記第1他端部の第1先端面が前記第1端子孔の前記第1入口から前記第1出口の間に位置して前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合して、前記第1係止部が前記第1端子孔の前記第1入口の周縁部に係止される、
請求項10に記載の半導体装置。 - 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、
主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、
を有し、
前記第1端子孔または前記第1他端部の少なくともいずれか一方に、テーパである第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっており、
前記第1端子孔の内周面または前記第1他端部の側周面の少なくともいずれか一方に前記第1係止部が形成されている、
半導体装置。 - 前記テーパは、前記第1他端部の側周面と前記第1端子孔の内周面と、に形成されて、
前記第1他端部の先端面が前記第1入口から前記第1出口の間に嵌合して、前記第1他端部の前記側周面が前記第1端子孔の前記内周面に係止される、
請求項12に記載の半導体装置。 - 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、前記半導体素子と前記第1外部接続端子と前記第1導通基板とを封止する封止部と、を有する半導体モジュールを有し、
前記第1端子孔または前記第1他端部の少なくともいずれか一方に、段差、テーパまたは突起である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっており、
前記半導体モジュールは前記第1外部接続端子と共に前記封止部内で第2先端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第2他端部が前記封止部から延出する第2外部接続端子を有し、
前記第1導通基板に対して前記半導体モジュール側に設けられ、前記第1外部接続端子が挿通する下部開口と主面に貫通して形成された第2端子孔とを備え、前記第2端子孔の第2入口から第2出口に向けて前記第2外部接続端子の前記第2他端部が嵌合されてはんだにより固着され、前記第2外部接続端子と電気的に接続される第2導通基板と、
を有し、
前記第1導通基板は、前記第2外部接続端子の前記第2他端部の第2先端面に対向する位置に上部開口が形成されている、
半導体装置。 - 前記第2導通基板の前記第2端子孔または前記第2他端部の少なくともいずれか一方に、前記第2端子孔に対する前記第2他端部の挿通を係止する段差、テーパまたは突起である第2係止部が形成されて、前記第2他端部は前記第2端子孔に対する挿通が前記第2係止部により係止されて前記第2端子孔の内部に留まっている、
請求項14に記載の半導体装置。 - 前記第1外部接続端子の第1先端面は、前記第2外部接続端子の前記第2先端面よりも上位に位置する、
請求項15に記載の半導体装装置。 - 前記第1導通基板に前記第1端子孔が前記下部開口側にくぼんだ第1凹部、または、
前記第2導通基板に前記第2端子孔が前記上部開口側にくぼんだ第2凹部の少なくともいずれか一方を備える、
請求項15に記載の半導体装装置。 - 前記第1外部接続端子の第1先端面と、前記第2外部接続端子の前記第2先端面とは同位に位置し、前記第2外部接続端子は前記第1導通基板を前記第2端子孔で貫通している、
請求項14に記載の半導体装置。 - 半導体素子と、第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記半導体素子から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、
主面に貫通して形成された第1端子孔を備え、前記第1端子孔の第1入口から第1出口に向けて前記第1他端部が前記第1端子孔に嵌合されてはんだにより固着され、前記第1外部接続端子と電気的に接続される第1導通基板と、
を有し、
前記第1他端部に、突起である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の前記第1入口に留まっており、
前記第1他端部の第1先端面の面積が前記第1入口の面積よりも広く、
前記突起が前記第1先端面の周縁部に形成されて、前記第1先端面が前記第1入口を覆い、前記突起が前記第1入口の周縁部に嵌入して、前記第1他端部が前記第1端子孔に係合される、
半導体装置。 - 半導体素子と、前記半導体素子を封止する封止部と、前記封止部内で第1一端部が前記半導体素子に電気的に接続されて、第1他端部が前記封止部から延出する第1外部接続端子と、を有する半導体モジュールと、主面に貫通して第1端子孔が形成された第1導通基板とを用意する工程と、
前記第1導通基板の前記第1端子孔の第1出口または前記第1出口の周縁部の少なくとも一方にはんだを配置する工程と、
前記第1外部接続端子の前記第1他端部を前記第1導通基板の前記第1端子孔に第1入口から前記第1出口に向けて嵌合する工程と、
前記はんだを溶融して、前記第1外部接続端子の前記第1他端部を前記第1端子孔に、溶融された前記はんだにより固着させる工程と、
を有し、
前記第1端子孔に、段差、テーパまたは突起である第1係止部が形成されて、前記第1他端部は前記第1端子孔に対する挿通が前記第1係止部により係止されて前記第1端子孔の内部に留まっている、
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019201559A JP6750721B1 (ja) | 2019-11-06 | 2019-11-06 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
CN202011061378.4A CN112786556A (zh) | 2019-11-06 | 2020-09-30 | 半导体装置及半导体装置的制造方法 |
DE102020125501.2A DE102020125501A1 (de) | 2019-11-06 | 2020-09-30 | Halbleitervorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung |
US17/039,636 US11756868B2 (en) | 2019-11-06 | 2020-09-30 | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019201559A JP6750721B1 (ja) | 2019-11-06 | 2019-11-06 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6750721B1 true JP6750721B1 (ja) | 2020-09-02 |
JP2021077703A JP2021077703A (ja) | 2021-05-20 |
Family
ID=72240858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019201559A Active JP6750721B1 (ja) | 2019-11-06 | 2019-11-06 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11756868B2 (ja) |
JP (1) | JP6750721B1 (ja) |
CN (1) | CN112786556A (ja) |
DE (1) | DE102020125501A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018140199A2 (en) * | 2017-01-03 | 2018-08-02 | The Texas A&M University System | Cycloidal rotor micro-air vehicle |
JP7451905B2 (ja) * | 2019-09-03 | 2024-03-19 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
DE102019125108A1 (de) * | 2019-09-18 | 2021-03-18 | Audi Ag | Leistungselektronikanordnung umfassend eine Leiterplatte und ein Leistungsmodul, Verfahren zur Herstellung einer Leistungselektronikanordnung, Kraftfahrzeug umfassend eine Leistungselektronikanordnung |
DE102022209563B3 (de) * | 2022-09-13 | 2023-09-07 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zum Montieren eines Leistungsmoduls |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3529895B2 (ja) * | 1995-05-31 | 2004-05-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3960230B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2007-08-15 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 半導体モジュールおよびその製造方法並びにスイッチング電源装置 |
JP2005353774A (ja) | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Toyota Motor Corp | プレスフィット用基板及びその生産方法 |
JP4513560B2 (ja) | 2004-12-28 | 2010-07-28 | ダイキン工業株式会社 | パワーモジュールおよび空気調和機 |
JP4315203B2 (ja) | 2007-02-02 | 2009-08-19 | ダイキン工業株式会社 | 基板モジュール |
JP5241177B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社オクテック | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4900165B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2012-03-21 | 三菱電機株式会社 | 電力半導体モジュール |
US8378231B2 (en) * | 2008-07-31 | 2013-02-19 | Ibiden Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP4634497B2 (ja) * | 2008-11-25 | 2011-02-16 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体モジュール |
JP2010212311A (ja) | 2009-03-07 | 2010-09-24 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
JP5158102B2 (ja) | 2010-01-05 | 2013-03-06 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP5481680B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2014-04-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP6164364B2 (ja) | 2014-04-01 | 2017-07-19 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP6459418B2 (ja) * | 2014-11-13 | 2019-01-30 | 富士電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
DE102015101086B4 (de) * | 2015-01-26 | 2018-04-12 | Infineon Technologies Ag | Leistungshalbleitermodulanordnung |
JP2016164825A (ja) | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 富士電機株式会社 | 接続端子 |
JP6672908B2 (ja) | 2016-03-10 | 2020-03-25 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP6897056B2 (ja) * | 2016-10-20 | 2021-06-30 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置製造方法 |
JP6988161B2 (ja) | 2017-05-17 | 2022-01-05 | 富士電機株式会社 | パワー半導体モジュールおよびパワー半導体装置 |
-
2019
- 2019-11-06 JP JP2019201559A patent/JP6750721B1/ja active Active
-
2020
- 2020-09-30 DE DE102020125501.2A patent/DE102020125501A1/de active Pending
- 2020-09-30 US US17/039,636 patent/US11756868B2/en active Active
- 2020-09-30 CN CN202011061378.4A patent/CN112786556A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102020125501A1 (de) | 2021-05-06 |
JP2021077703A (ja) | 2021-05-20 |
US20210134710A1 (en) | 2021-05-06 |
CN112786556A (zh) | 2021-05-11 |
US11756868B2 (en) | 2023-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6750721B1 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
WO2013021647A1 (ja) | 半導体モジュール、半導体モジュールを備えた半導体装置、および半導体モジュールの製造方法 | |
JP7159620B2 (ja) | 半導体装置、冷却モジュール、電力変換装置及び電動車両 | |
JP5678884B2 (ja) | 電力変換装置 | |
JP2005303018A (ja) | 半導体装置 | |
JP2019040971A (ja) | 半導体装置 | |
CN108630618B (zh) | 半导体装置 | |
US11195775B2 (en) | Semiconductor module, semiconductor device, and manufacturing method of semiconductor module | |
JP4349364B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017123360A (ja) | 半導体モジュール | |
WO2020208739A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP5869285B2 (ja) | 半導体装置 | |
WO2021140771A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP6638620B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6892006B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6981033B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP7476540B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5056105B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2021029150A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP7347047B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3741002B2 (ja) | 半導体装置の実装構造 | |
JP7459465B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP7238565B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US20240071898A1 (en) | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
WO2022137811A1 (ja) | 半導体ユニット及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191106 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20191106 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200714 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6750721 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |