JP6750188B2 - マスターフィルム付きナノ構造フィルム及びその製造方法 - Google Patents

マスターフィルム付きナノ構造フィルム及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、ナノ構造による反射防止機能を備えた光学フィルム及びその製造方法に関する。
基材表面の凹部又は凸部により形成された構造体が、可視光波長以下の微細ピッチで多数配置されているナノ構造体は、可視光波長域の光に対して優れた反射防止効果を有するモスアイ構造として知られている。
モスアイ構造の形成方法として、光ナノインプリント法がある。光ナノインプリント法では、一般に、透明樹脂からなる基材上に光硬化性樹脂を塗布し、その塗布面に原盤を押し付けて原盤の表面凹凸を転写し、原盤から剥離した光硬化性樹脂層に紫外線を照射して硬化させ、基材上に、光硬化樹脂からなるモスアイ構造が形成された光学素子を得る（特許文献１）。
一方、モスアイ構造を有する反射防止フィルムをディスプレイ等の被着体に取り付ける場合に、反射防止フィルムの保管時、運搬時、被着体への取り付け作業時等において、反射防止フィルムの表面凹凸を保護するため、保護フィルムが用いられる場合がある。しかしながら、保護フィルムを反射防止フィルムの表面凹凸面に貼付した後、それを反射防止フィルムから剥離すると、反射防止フィルムの表面凹凸面が保護フィルムの粘着剤で汚染されたり、あるいは保護フィルムの貼着が不十分で反射防止フィルムの表面凹凸面を保護できなかったりするという問題が生じる。これに対して、特定の粘着剤を備えた保護フィルムを使用することが提案されている（特許文献２）。
特開２０１１−０５３４９６号公報 特開２０１１−０８８３５６号公報
従来の光ナノインプリント法により、透明基材上にモスアイ構造を形成した光学素子を、反射防止フィルムとしてディスプレイに貼り合わせて使用する場合、反射防止フィルムとしてのハンドリング性を確保するため、反射防止フィルムを構成する基材を５０μｍ以上の厚さにすることが必要となる。しかしながら、基材にそのような厚みを確保することは、ディスプレイ等のように薄型化が必要とされる場合や、反射防止フィルムの貼着面が屈曲しており反射防止フィルムに柔軟性が必要とされる場合に支障をきたす。
例えば、図１１に示すように、段差ｓが５０μｍの枠部５１を有するタッチパネル５０に、厚さ５０μｍの反射防止フィルム５２を、厚さ２５μｍの粘着剤層５３によって貼着する場合に、反射防止フィルム５２が段差ｓに追随できないために、反射防止フィルム５２の貼着後には空隙５４が残り、外観が損なわれてしまう。
なお、モスアイ構造を形成する対象物の表面が平坦でその周囲に枠部や配線などが無い場合、またはモスアイ構造を形成する対象物が柔軟な素材である場合には、対象物の表面に直接モスアイ構造を成形することもなされるが、モスアイ構造を形成する対象物の表面が湾曲していたり、その周囲に配線や枠部などが配置されたりする場合には、対象物の表面に直接モスアイ構造を成形することは、その後の組み立て工程等に支障をきたし、また、対象物の表面に形成されるモスアイ構造の品質も不安定になるので、実用的ではない。
また、従来、反射防止フィルムの保護フィルムとしては、モスアイ構造をなす表面凹凸の形成面に対して剥離性を調整した特殊な保護フィルムが使用されている。そのため、反射防止フィルムに保護フィルムを設けることは、反射防止フィルムの製品にコスト高をもたらす。
そこで、本発明は、モスアイ構造による反射防止機能を備えた光学フィルムにおいて、フィルム厚をできる限り薄くし、また、光学フィルムのモスアイ構造の保護のために特殊な保護フィルムを使用することを不要として光学フィルムの取り扱いを容易にし、汎用的に使用できる光学フィルムを提供することを目的とする。
本発明者は、(i)光ナノインプリント法により原盤からフィルム状のマスターフィルムを製造し、そのマスターフィルムを転写型としてナノ構造フィルムを剥離可能に製造すると、マスターフィルムをナノ構造フィルムの保護フィルムとして使用することができること、この場合、
(ii)マスターフィルムと反対側のナノ構造フィルムの表面にも凹凸を形成し、その凹凸面上に接着剤層を設け、その接着剤層でナノ構造フィルムを被着体に貼着すると、ナノ構造フィルムの接着剤層側の表面凹凸によるアンカー効果でナノ構造フィルムと接着剤層の接着強度が高まるので、ナノ構造フィルムを接着剤層で被着体に貼着した後、マスターフィルムを剥離するときに、マスターフィルムと共にナノ構造フィルムが剥がれることを防止できること、
(iii)ナノ構造フィルムでは、基材を設けなくてもハンドリング性が向上するので、ナノ構造フィルムの厚さを低減できること、
(iv)マスターフィルムをナノ構造フィルムの保護フィルムとして使用することにより、別途保護フィルムを用意することが不要になること、
(v)マスターフィルムも反射防止フィルムとして使用できること
を見出し、本発明を完成させるに至った。
即ち、第１の本発明の第１の態様は、フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルムと、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面に積層された接着剤層を有する光学フィルムであって、ナノ構造フィルムが一体成形されている光学フィルムである。
第１の本発明の第２の態様は、フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルムと、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面に積層された接着剤層を有する光学フィルムであって、構造体の高さと構造体の底面の径の比を構造体のアスペクト比とした場合に、第２の構造体のアスペクト比が第１の構造体のアスペクト比よりも小さいか、又は第２の構造体の個数密度が第１の構造体の個数密度よりも小さい光学フィルムである。
第２の本発明は、上述のナノ構造フィルムに、保護フィルムとして機能するマスターフィルムが積層したマスターフィルム付きナノ構造フィルムである。即ち、第２の本発明の第１の態様は、フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該記フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルム、及びナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面側に剥離可能に積層されているマスターフィルムを有するマスターフィルム付ナノ構造フィルムであって、ナノ構造フィルムが一体成形されており、ナノ構造フィルムとマスターフィルムの互いの対向面の表面凹凸が反転しているマスターフィルム付きナノ構造フィルムである。
また、第２の本発明の第２の態様は、フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該記フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルム、及びナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面側に剥離可能に積層されているマスターフィルムを有するマスターフィルム付ナノ構造フィルムであって、構造体の高さと構造体の底面の径の比を構造体のアスペクト比とした場合に、第２の構造体のアスペクト比が第１の構造体のアスペクト比よりも小さいか、又は第２の構造体の個数密度が第１の構造体の個数密度よりも小さく、ナノ構造フィルムとマスターフィルムの互いの対向面の表面凹凸が反転しているマスターフィルム付きナノ構造フィルムである。
第３の本発明は、上述の光学フィルムが、第２の構造体の形成面側の接着剤層により被着体に貼着されているナノ構造フィルム貼着体である。
第４の本発明は、上述のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法であって、第４の本発明の第１の態様は、複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造の表面凹凸を有する原盤を作製する原盤の作製工程、
原盤のナノ構造の表面凹凸を転写型として、ナノ構造の表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層を形成する工程を含むマスターフィルムの形成工程、
フィルムの片面に、マスターフィルムの反転凹凸樹脂層の表面凹凸を転写型としてナノ構造を形成すると共に、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部からなる複数の第２の構造体を一体成形するナノ構造フィルムの形成工程を有し、
マスターフィルムとナノ構造フィルムとを剥離可能に形成する、
マスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法である。
第４の本発明の第２の態様は、複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造の表面凹凸を有する原盤を作製する原盤の作製工程、
原盤のナノ構造の表面凹凸を転写型として、ナノ構造の表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層を形成する工程を含むマスターフィルムの形成工程、
フィルムの片面に、マスターフィルムの反転凹凸樹脂層の表面凹凸を転写型としてナノ構造を形成すると共に、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部からなる複数の第２の構造体を形成するナノ構造フィルムの形成工程を有し、
ナノ構造フィルムの形成工程において、構造体の高さと構造体の底面の径の比を構造体のアスペクト比とした場合に、第２の構造体のアスペクト比が第１の構造体のアスペクト比よりも小さいか、又は第２の構造体の個数密度が第１の構造体の個数密度よりも小さくし、マスターフィルムとナノ構造フィルムとを剥離可能に形成する、
マスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法である。
本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルムによれば、ナノ構造フィルムの製造時に転写型として使用するマスターフィルムが、ナノ構造フィルムの保護フィルムとして機能するので、別途保護フィルムを用意することが不要となる。したがって、反射防止フィルムとして機能するナノ構造フィルムを、その表面凹凸が保護された状態で、低コストに提供することが可能となる。
また、本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルムによれば、ナノ構造フィルムとマスターフィルムが積層しているので、ナノ構造に基材を積層しなくても、ナノ構造フィルムは反射防止フィルムとして優れたハンドリング性を有する。
本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルムを用いて被着体にナノ構造フィルムを貼着するに際して、接着剤層でナノ構造フィルムを被着体に貼着した後にマスターフィルムは剥離されるが、ナノ構造フィルムと接着剤層との接着強度は、これらの界面が第２の構造体により凹凸に形成されていることからアンカー効果により向上している。このため、マスターフィルムを剥離するときに、ナノ構造フィルムがマスターフィルムと共に剥離されてしまうことを防止できる。
特に、第２の構造体によるナノ構造フィルムの凹凸面をナノ構造とすることにより、ナノ構造フィルムの表裏両面にナノ構造を設けると、光学フィルムの反射防止性能を顕著に向上させることができる。
さらに、本発明のナノ構造フィルムは、基材が省略されていることにより、薄く、柔軟性を有する。このため、ナノ構造フィルムと接着剤層からなる本発明の光学フィルムは、ディスプレイ等の薄型化に対応することができ、また、被着体に段差や曲面がある場合でも、被着体の表面形状に追随することができる。したがって、本発明の光学フィルムは、例えば、車載ディスプレイの保護プレートやショーウィンドウ等の表示用ケースなどの湾曲表面にも貼り付けやすく、貼り付け後の外観が損なわれないようにすることができる。
加えて、本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルムを形成するマスターフィルムは、それ自体を反射防止フィルムとして使用することができる。
図１は、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の断面図である。 図２Ａは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法の説明図である。 図２Ｂは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の製造方法の説明図である。 図２Ｃは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の製造方法の説明図である。 図２Ｄは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の製造方法の説明図である。 図２Ｅは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の製造方法の説明図である。 図２Ｆは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂの製造方法の説明図である。 図３Ａは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の使用方法の説明図である。 図３Ｂは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の使用方法の説明図である。 図４Ａは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂの使用方法の説明図である。 図４Ｂは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂの使用方法の説明図である。 図４Ｃは、実施例のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂの使用方法の説明図である。 図５Ａは、マスターフィルムにおけるナノ構造体の平面図である。 図５Ｂは、マスターフィルムにおけるナノ構造体の断面図である。 図６は、マスターフィルムの分光反射率の測定方法の説明図である。 図７Ａは、実施例及び比較例の光学フィルムの分光反射スペクトルである。 図７Ｂは、実施例及び比較例の光学フィルムの分光反射スペクトルである。 図７Ｃは、実施例及び比較例の光学フィルムの分光反射スペクトルである。 図８は、実施例及び比較例の光学フィルムの分光反射スペクトルである。 図９は、実施例の耐光性試験の結果を示す分光透過率曲線である。 図１０Ａは、実施例の光学フィルムが貼着されているタッチパネルの断面図である。 図１０Ｂは、実施例の光学フィルムをタッチパネルに貼着後、オートクレーブ処理したものの断面図である。 図１１は、従来の反射防止フィルムが貼着されているタッチパネルの断面図である。
以下、本発明の光学フィルムを、参照しつつ詳細に説明する。なお、各図中、同一符号
は、同一又は同等の構成要素を表わしている。
＜マスターフィルム付きナノ構造フィルムの概要＞
図１は、本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１の一実施例の断面図である。
このマスターフィルム付きナノ構造フィルム１は、剥離可能に積層されたマスターフィルム１０とナノ構造フィルム２１と、ナノ構造フィルム２１に必要に応じて積層された接着剤層２３から形成されている。接着剤層２３を被着体に押し付け、マスターフィルム１０を剥離除去すると、ナノ構造フィルム２１と接着剤層２３からなる光学フィルム２０が被着体に残り、被着体に反射防止機能が付与されるようにしたものである。
<光学フィルム>
光学フィルム２０はナノ構造フィルム２１と接着剤層２３から形成されている。ナノ構造フィルム２１は、フィルムの片面に、該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体２５が可視光波長以下の間隔で設けられているナノ構造を有し、該フィルムの他面に、該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体２６をする。接着剤層２３は、ナノ構造フィルム２１の第２の構造体２６の形成面側に積層されている。接着剤層２３の表面には必要に応じて剥離フィルムが設けられる。
ナノ構造フィルム２１は一体成形されている。即ち、表裏両面の間に継ぎ目がなく、表裏に形成されている複数の構造体２５、２６がそれらの基部で連続し、フィルム状になっている。なお、本発明においてナノ構造フィルム２１は、片面に第１の構造体２５が形成されている第１のフィルムと、片面に第２の構造体が形成されている第２のフィルムの貼り合わせによって形成してもよいが、一体成形することにより、少ない製造工程で、かつナノ構造フィルムを薄く製造することができる。
ナノ構造フィルム２１の片面の第１の構造体２５のピッチは可視光波長以下、好ましくは１５３〜２７０ｎｍとし、第１の構造体２５の高さ（山と谷の高低差）を１５０〜３００ｎｍとすることが好ましい。
一方、ナノ構造フィルム２１の他面の第２の構造体２６は、マスターフィルム付きナノ構造フィルム１を接着剤層２３で被着体に押し付けて貼着した後、マスターフィルム１０を剥離除去するときに、ナノ構造フィルム２１がマスターフィルム１０と共に剥離除去されることを防止できるように、ナノ構造フィルム２１と接着剤層２３との接着強度をアンカー効果により向上させるために設けられている。そのため、第２の構造体２６のピッチは必ずしも可視光波長以下のピッチで無くても良いが、光学フィルム２０の反射防止性能を向上させるため、可視光波長以下のピッチとすることが好ましく、不要な回折光の抑止の点から、第１の構造体２５のピッチと同じにすることが好ましい。
一方、ナノ構造フィルム２１の第１の構造体２５を、マスターフィルム１０を転写型として形成し、第２の構造体２６を、別途転写型を用いて形成し、第２の構造体２６の形成面に接着剤層２３を形成することにより光学フィルム２１を製造する場合に、第１の構造体の形成面とマスターフィルム１０との剥離強度に対して、第２の構造体２６の形成面と転写型との剥離強度が過度に高いと、ナノ構造フィルム２１から第２の構造体２６の転写型を外すときに、その転写型からナノ構造フィルム２１が外れずにマスターフィルム１０からナノ構造フィルムが剥離してしまう懸念が生じる。ナノ構造フィルム２１の製造過程でこのようなマスターフィルム１０からの剥離が生じると、ナノ構造フィルム２１がマスターフィルム１０側と第２の構造体２６の転写型側とに分断されることも懸念される。そこで、第１の構造体２６の形成面とマスターフィルム１０との剥離強度に対して、第２の構造体２６の形成面と転写型との剥離強度を弱めるため、第２の構造体２６のアスペクト比を第１の構造体２５のアスペクト比よりも小さくするか、又は第２の構造体２６の個数密度を第１の構造体２５の個数密度よりも小さくすることが好ましい。ここで、構造体のアスペクト比とは、構造体の高さと構造体の底面の径の比をいう。
なお、本発明においてナノ構造フィルム２１を、片面に第１の構造体２５が形成されている第１のフィルムと、片面に第２の構造体２６が形成されている第２のフィルムとの貼り合わせにより製造する場合には、上述の剥離強度の調整は不要である。
ナノ構造フィルム２１は、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等の硬化性樹脂を硬化させたものから形成することができ、特に、透明性、マスターフィルム１０の反転凹凸樹脂層１１との剥離性の点から、ＵＶ硬化型アクリル樹脂等の光硬化樹脂から形成したものが好ましい。
ナノ構造フィルム２１の両面のナノ構造体の凹凸を含む層厚Ｄ１は、ナノ構造の製造安定性の点から好ましくは１〜６０μｍ、より好ましくは１〜１０μｍとする。
接着剤層２３は、光硬化性、熱硬化性等の硬化性接着剤、又は感圧性接着剤（粘着剤）から形成することができる。接着剤層２３は、全光線透過率が高く、ヘイズの低い高透明性接着剤から形成することが好ましく、例えば、ノンキャリアアクリル粘着フィルム等の高透明性接着剤テープ（Optically Clear Adhesive Tape：ＯＣＡ）を使用することができる。
また、接着剤層２３は、該接着剤層２３を貼り付ける被着体と屈折率を合わせることが好ましい。これにより、ナノ構造フィルム２１を被着体に貼着させたナノ構造フィルム貼着体におけるナノ構造フィルム側の反射率を顕著に低下させることができる。
さらに、接着剤層２３は、耐光性、耐熱性を発揮する硬化性接着剤から形成することが好ましい。これにより、被着体に貼着したナノ構造フィルム２１の耐光性、耐熱性を向上させることができる。
接着剤層２３の表面の凹凸を含む層厚Ｄ２は、貼り付け作業時のハンドリングと、光学フィルム１を貼り付ける被着体の表面形状に対する追随性の点から１〜５０μｍとすることが好ましい。
なお、接着剤層２３はナノ構造フィルム２１上に直接形成されており、接着剤層２３とナノ構造フィルム２１との間に、ナノ構造フィルム２１を支持する基材フィルムは設けられていない。したがって、光学フィルム２０は、従前の基材フィルムを有する反射防止フィルムに比して薄く構成することができる。例えば、表面の凹凸を含むフィルム厚又は層厚として、ナノ構造フィルム２１を１〜６０μｍとし、接着剤層２３を１〜５０μｍとすることができるので、光学フィルム２０の層厚を２〜１１０μｍとすることができる。これにより、光学フィルム２０を貼着する被着体の薄型化の要請に応えることができ、光学フィルム２０を貼着する被着体の表面形状にも追随しやすくなる。例えば、図１０Ａに示すように、段差ｓが５０μｍの枠部５１を有するタッチパネル５０に、厚さ５μｍのナノ構造フィルム２１を、厚さ２０μｍの接着剤層２３によって貼着する場合に、段差ｓの基部に空隙５４を殆ど残すことなく光学フィルム２０を貼着することができる。特に、光学フィルム２０の貼着後、オートクレーブ処理などを施すと、図１０Ｂに示すように、確実に空隙を無くすことができる。したがって、この光学フィルム２０を貼着する被着体としては、従前より反射防止フィルムの被着体とされている液晶ディスプレイ等の平坦な板状物に加え、段差を有する透明な基体、例えば額縁部を有するタッチパネル、ウェアラブル端末、ヘッドマウントディスプレイ、曲面を有する車載ディスプレイの保護プレート、ショーウィンドウ等も挙げることができる。
＜マスターフィルム＞
一方、マスターフィルム１０は、ナノ構造フィルム２１の第１の構造体２５による表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層１１とベースフィルム１２の積層体となっている。従って、ナノ構造フィルム２１において凸部として形成された第１の構造体２５同士の間の凹部に対応する部分が、マスターフィルム１０の反転凹凸樹脂層１１における凸部の構造体１５となり、この構造体１５が可視光波長以下の間隔で多数設けられている。
ここで、マスターフィルム１０の反転凹凸樹脂層１１は、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等の硬化性樹脂を硬化させたものから形成することができ、特に、透明性、ナノ構造フィルム２１との剥離性の点から、ＵＶ硬化型アクリル樹脂等の光硬化性樹脂を硬化させて形成したものが好ましい。
反転凹凸樹脂層１１の表面の凹凸を含む層厚Ｄ３は、ナノ構造の製造安定性の点から１〜６０μｍが好ましい。
ベースフィルム１２としては、マスターフィルム１０の形状安定性の点から、厚さ５０〜１２５μｍのＰＥＴフィルムやＴＡＣフィルム等の透明で破断しにくいフィルムを使用することができる。特に、後述するようにマスターフィルム１０を反射防止フィルムとして使用する場合には、ベースフィルム１２としては、透明性に優れたものがよい。
マスターフィルム付きナノ構造フィルム１において、マスターフィルム１０と光学フィルム２０とを剥離可能に形成するため、マスターフィルム１０においてナノ構造を形成する反転凹凸樹脂層１１と、ナノ構造フィルム２１の少なくとも一方にシリコーン系、フッ素系等の離型剤を添加すること、又は双方の樹脂の弾性率（ヤング率）を互いに異ならせることが好ましく、これらの双方を行うことがより好ましい。双方の樹脂の弾性率を互いに異ならせる場合に、弾性率の差は４００ＭＰａ〜１２００ＭＰａとすることが好ましい。例えば、ナノ構造フィルム２１の弾性率を３００〜７００ＭＰａとし、反転凹凸樹脂層１１の弾性率を７００〜１５００ＭＰａとする。
樹脂の弾性率を低下させる方法としては、例えば、硬化前のモノマーに官能基数が少ない変性ジアクリレートや、ポリエチレングリコールジアクリレート等の硬化後に低弾性となるグリコール系樹脂を配合する。
また、マスターフィルム１０と光学フィルム２０とを剥離可能に形成するため、マスターフィルム１０の表面凹凸の形成面に酸化ケイ素、シリコン、酸化タングステン、ＩＴＯ等の無機膜を数ｎｍ〜２０ｎｍ程度の厚さで設けてもよい。これらは、スパッタ等により形成することができる。
なお、このマスターフィルム付きナノ構造フィルム１では、光学フィルム２０とマスターフィルム１０とを互いに剥離すると、光学フィルム２０とマスターフィルム１０とがそれぞれ反射防止フィルムとして使用できるように、光学フィルム２０のナノ構造とマスターフィルム１０のナノ構造が形成されている。ただし、光学フィルム２０のナノ構造を形成する構造体２５と、マスターフィルム１０のナノ構造を形成する構造体１５の大きさ、形状、高さ、ピッチなどが適宜最適化され、一方のナノ構造体とそれを反転したナノ構造体とで大きさ、形状などが必ずしも同一である必要はない。
例えば、光学フィルム２０とマスターフィルム１０との双方を反射防止フィルムとして使用する場合、双方のフィルムとも分光反射率（波長３５０〜８００ｎｍ）１．８％以下、特に、光学フィルム２０のナノ構造の形成面の分光反射率を０．１〜１．８％、マスターフィルム１０のナノ構造の形成面の分光反射率を０．１〜１．５％とすることが好ましい。このため、マスターフィルム１０のナノ構造では、構造体１５間のピッチを可視波長以下とし、さらに構造体１５の高さ（即ち、山と谷の高低差）を１５０ｎｍ〜３００ｎｍとする。また、光学フィルム２０の第１の構造体２５は、これに反転する形状とする。
また、光学フィルム２０を反射防止フィルムとして使用し、マスターフィルム１０を、専ら光学フィルム２０の保護フィルムとして使用する場合、マスターフィルム１０の反射防止特性は考慮する必要が無いため、構造体１５の高さは１２０ｎｍ以上３００ｎｍとすることが好ましい。
＜マスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法＞
マスターフィルム付きナノ構造フィルム１は次の工程から製造することができる。
（原盤の作製工程：工程１）ナノ構造フィルム２１に形成しようとするナノ構造の表面凹凸３１を表面に有する原盤３０を作製する（図２Ａ）。この原盤の作製方法自体には特に制限はなく、ナノ構造の原盤を作製する公知の方法を使用することができる。例えば、特許文献１に記載のように、ロールガラス原盤を、レーザ光を用いてフォトリソグラフの手法によりパターニングする方法を使用することができる。また、アルミニウムを陽極酸化して得られる陽極酸化ポーラスアルミナを原盤として使用してもよい（ＷＯ２００６／０５９６８６）。
（マスターフィルムの形成工程：工程２〜３）
（工程２）原盤３０のナノ構造の表面凹凸３１の形成面に、第１の光硬化性樹脂１１ｐを密着させる（図２Ｂ）。より具体的には、例えば、ベースフィルム１２に塗布した第１の光硬化性樹脂１１ｐを原盤３０に密着させる。
ここで、第１の光硬化性樹脂１１ｐとしては、例えば、アクリル系又はメタアクリル系モノマー、開始剤、シリコーン系、フッ素系樹脂等の離型剤を含有する紫外線硬化性樹脂を使用することができる。
また、第１の光硬化性樹脂１１ｐの塗布厚は１〜６０μｍとすることが好ましい。
（工程３）原盤３０に、第１の光硬化性樹脂１１ｐに紫外線を照射して光硬化させて反転凹凸樹脂層１１とし（図２Ｃ）、これを原盤３０から剥離してマスターフィルム１０を得る（図２Ｄ）。
（ナノ構造フィルムの形成工程：工程４）
（工程４）マスターフィルム１０の表面凹凸の形成面に第２の光硬化性樹脂２１ｐを塗布し、塗布した第２の光硬化性樹脂２１ｐの表面を、第２の構造体２６に対して反転した表面凹凸を有するロール状の第２の原盤３２で押さえつつマスターフィルム１０側から紫外線を照射して第２の光硬化性樹脂２１ｐを硬化させることにより、表面に第２の構造体２６を有するナノ構造フィルム２１を形成する（図２Ｅ）。
こうして、本発明のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂを得ることができる（図２Ｆ）。
また、このマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂのナノ構造フィルム２１の第２の構造体２６の形成面に接着剤層２３を積層することにより、図１に示したマスターフィルム付きナノ構造フィルム１を得ることができる。
ここで、第２の光硬化性樹脂２１ｐとしては、例えば、アクリル系又はメタアクリル系モノマー、開始剤、シリコーン系離型剤等を含有する液状の紫外線硬化性樹脂を使用することができる。特に、第２の光硬化性樹脂２１ｐを光硬化させた後、その硬化層とマスターフィルム１０の反転凹凸樹脂層１１と剥離可能とするため、第１の光硬化性樹脂１１ｐと第２の光硬化性樹脂２１ｐのどちらか一方、もしくは双方にシリコーン系等の離型剤を添加するか、又は双方の弾性率（ヤング率）を異ならせ、より好ましくは離型剤を添加すると共に弾性率を異ならせる。弾性率の調整は、例えば、官能基数が少ない変性ジアクリレートや、ポリエチレングリコールジアクリレート等のグリコール系樹脂を添加した低弾性率のＵＶ硬化型樹脂を配合することにより行う。
また、マスターフィルム１０のナノ構造の形成面に、酸化ケイ素、シリコン、酸化タングステン、ＩＴＯ等の無機膜を数ｎｍ〜２０ｎｍ程度の厚さで設けてもよい。この無機膜はスパッタ法で形成することができる。無機膜の形成により離型剤の添加や弾性率の調整を省略することができる。
第２の光硬化性樹脂２１ｐの塗布厚は好ましくは１〜６０μｍ、より好ましくは１〜１０μｍである。
第２の光硬化性樹脂２１ｐのマスターフィルム１０への塗布は、スポイドでノズルから滴下するか、又はダイを用いて、マスターフィルム１０と、表面凹凸を有する第２の原盤３２との間に第２の硬化性樹脂２１ｐを充填することで行うことができる。
なお、第２の原盤３２として、表面凹凸を有するロール状の原盤に代えて表面凹凸を有する平板状の原盤を使用してもよく、この場合には紫外線照射により第２の光硬化性樹脂２１ｐを硬化させた後、ナノ構造フィルム２１を第２の原盤から剥離する。生産性の点からは、ナノ構造フィルム２１に第２の構造体を形成する第２の原盤３２は、ロール状とすることが好ましい。これによりナノ構造フィルム２１を、継ぎ目などのない安定した品質で連続的に製造することができる。
接着剤層２３の層厚Ｄ２は、マスターフィルム付きナノ構造フィルム１の被着体への貼り付け作業時のハンドリングと、被着体の表面形状に対する追随性の点から厚さ５〜５０μｍとすることが好ましい。また、ナノ構造フィルム２１の外表面に接着剤層２３を積層する方法としては、例えば、高透明性接着剤テープを貼着すればよい。
＜マスターフィルム付きナノ構造フィルムの使用方法＞
マスターフィルム付きナノ構造フィルム１の使用方法としては、その接着剤層２３を、反射防止機能を付与したいガラス等の被着体４１に貼着し（図３Ａ）、マスターフィルム１０を剥離する（図３Ｂ）。こうして被着体４１に、反射防止フィルムとして、ナノ構造フィルム２１からなる光学フィルム２０を貼着することができる。このナノ構造フィルム２１の表面凹凸は、マスターフィルム１０を剥離するまで、マスターフィルム１０で保護されている。したがって、ナノ構造フィルム２１のナノ構造が擦過等で傷つくことを、マスターフィルム１０によって防止することができる。
なお、光学フィルム２０から剥離したマスターフィルム１０は、それ自体を従前の反射防止フィルムと同様に使用することができる。
一方、接着剤層２３を省略したマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂを使用する場合、図４Ａに示すように、被着体４１に、例えば、光硬化性接着剤２３ｂを塗布し、図４Ｂに示すようにマスターフィルム付きナノ構造フィルム１Ｂを重ね合わせ、光照射して光硬化性接着剤２３ｂを硬化させる。その後、図４Ｃに示すように、マスターフィルム１０を剥離する。こうして被着体４１に、ナノ構造フィルム２１と光硬化した接着剤層２３Ｂからなる光学フィルム２０Ｂを形成することができる。
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
実施例１
図１に示した層構成のマスターフィルム付きナノ構造フィルム１を次のようにして製造した。
この場合、マスターフィルム１０を構成するベースフィルム１２として厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムを使用し、反転凹凸樹脂層１１を形成する光硬化性樹脂１１ｐとしてシリコーン系離型剤（ビッグケミー社、シリコーン滑剤ＢＹＫ３３３）を添加したＵＶ硬化型アクリル樹脂（デクセリアルズ(株)、ＳＫ１１００シリーズ）を使用し、光硬化により反転凹凸樹脂層１１を厚さ約３μｍに形成した。また、反転凹凸樹脂層１１が有するナノ構造としては、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、個々の構造体１５が砲弾型に近似した形状で、その凸部の高さＬ１を約２００ｎｍ、構造体１５の配列が千鳥配列、構造体１５の長径方向の配列ピッチＬ２を約２７０ｎｍ、短径方向の配列ピッチＬ３を約１５３ｎｍとした。
一方、光学フィルム２０のナノ構造フィルム２１を形成する光硬化性樹脂として、多官能特殊アクリレートに官能基数が少ない変性ジアクリレート（東亜合成(株)、Ｍ２６０）を添加したＵＶ硬化型アクリル樹脂（デクセリアルズ(株)、ＳＫ１１００シリーズ）を使用した。この場合、光学フィルム２０とマスターフィルム１０との剥離性を考慮し、ナノ構造フィルム２１を形成する光硬化性樹脂にもシリコーン系離型剤（ビッグケミー社、製品名：シリコーン系滑剤ＢＹＫ３３３）を添加した。
図２Ｅに示したように、マスターフィルム１０の反転凹凸樹脂層１１上に、上述の光硬化性樹脂２１ｐを塗布し、その塗布面を第２の構造体２６を形成するための表面凹凸を有するロール状の第２の原盤３２で押さえつつ光硬化させることによりナノ構造フィルム２１を厚さ約３μｍに形成した。この場合、第２の構造体は第１の構造体と同一のピッチの千鳥配列とし、第１の構造体２５の高さが約２００ｎｍ、第２の構造体の高さが約１３０ｎｍのナノ構造フィルム２１を得た。
次いで、ナノ構造フィルム２１に、接着剤層２３として厚さ２５μｍの高透明性接着剤テープ（ＯＣＡ）（アクリル粘着材、品名：ＦＷ２５、日栄化工（株））を貼着し、マスターフィルム付きナノ構造フィルム１を得た。
こうして得られるマスターフィルム付ナノ構造フィルム１を平板状被着体に接着剤層２３によって貼着し、マスターフィルム１０を剥離除去したナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルをシミュレーションソフト（ＴＦＣａｌｃ、（株）ヒューリンクス）にて計算した。この場合、ナノ構造フィルム２１の屈折率を１．５３とし、接着材剤層２３の屈折率を１．６５とし、被着体の屈折率を１．６５とし、第１の構造体２５が２次関数で得られるような砲弾型となる深さ方向の形状をもち、可視波長以下のピッチで設けられているとした。そして、ナノ構造フィルム２１を、１０層の多層膜からなり、各層の厚さが２００〜２２０ｎｍであると近似して計算した。
比較例１ａ
実施例１において、ナノ構造フィルム２１の接着剤層側の表面を平坦に形成する以外は実施例１と同様にして製造したナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを実施例１と同様に計算した。
比較例１ｂ
実施例１において、ナノ構造フィルム２１の両面を平坦に形成する以外は実施例１と同様に製造したナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを実施例１と同様に計算した。
実施例２
実施例１において、接着剤層２３の屈折率を１．７とし、被着体の屈折率を１．７とする以外は実施例１と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
比較例２ａ
実施例２において、ナノ構造フィルム２１の接着剤層側の表面を平坦に形成する以外は実施例２と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
比較例２ｂ
実施例２において、ナノ構造フィルム２１の両面を平坦に形成する以外は実施例２と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
実施例３
実施例１において、接着剤層２３の屈折率を１．７５とし、被着体の屈折率を１．７５とする以外は実施例１と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
比較例３ａ
実施例３において、ナノ構造フィルム２１の接着剤層側の表面を平坦に形成する以外は実施例３と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
比較例３ｂ
実施例３において、ナノ構造フィルム２１の両面を平坦に形成する以外は実施例３と同様にしてナノ構造フィルム貼着体の分光反射スペクトルを計算した。
以上の実施例及び比較例の計算結果を図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃに示す。これにより、被着体に平坦なフィルムが貼着されていると（比較例１ｂ、２ｂ、３ｂ）６〜８％の反射が発生し、ナノ構造フィルム２１の表面にのみナノ構造が形成されていると反射率は２％以下程度に低減できるがリップルが発生するのに対し、ナノ構造フィルム２１の両面にナノ構造が形成されていると、リップルを発生させることなく、良好に反射を低減できることがわかる。
実施例４
実施例１において、ナノ構造フィルム２１の第１の構造体の高さを２２０ｎｍ、第２の構造体の高さを２００ｎｍとし、実施例１と同様にナノ構造体フィルム被着体の分光反射スペクトルを計算した。結果を図８に示す。
比較例４
実施例１において、ナノ構造フィルム２１の第１の構造体の高さを２２０ｎｍとし、ナノ構造フィルム２１の接着剤層側の表面を平坦とし、実施例１と同様にナノ構造体フィルム被着体の分光反射スペクトルを計算した。結果を図８に示す。
なお、図８には、ナノ構造フィルム２１の両面を平坦に形成した場合（比較例１ｂ）の計算結果も示した。
実施例５
実施例１において、ナノ構造フィルム２１の第１の構造体の高さを２２０ｎｍ、第２の構造体の高さを１００ｎｍとし、実施例１と同様にナノ構造体フィルム被着体の分光反射スペクトルを計算した。結果を図８に示す。
図８から、接着剤層側に構造体２６を形成することでリップルの抑制効果があること、この構造体２６の高さを第１の構造体２５の高さと同程度の２００ｎｍとするとリップルの抑制効果が大きいが、第２の構造体２６の高さを１００ｎｍとしてもリップルの抑制効果があることがわかる。
実施例６
実施例１と同様にしてマスターフィルムの反転凹凸樹脂層上にナノ構造フィルムを形成し、マスターフィルム付きナノ構造フィルムを得た。
光硬化性接着剤であるシリコーン接着剤（信越化学工業（株）製、ＫＥＲ２５００）を白板ガラスに塗布し（塗布厚０．００５〜０．０１ｍｍ）、その上に、上述のマスターフィルム付きナノ構造フィルムのナノ構造フィルム面を重ね合わせ、光硬化性接着剤を光硬化させてナノ構造フィルムを白板ガラスに固定し、次いで、マスターフィルム１０を剥離し、ナノ構造フィルム付き白板ガラスを得た。
このナノ構造フィルム付き白板ガラスの耐光性を調べるため、ナノ構造フィルム付き白板ガラスのナノ構造フィルム側から次の条件で光照射し、光照射の前後で、ナノ構造フィルム付き白板ガラスの分光透過率を日本分光（株）製Ｖ５６０分光機と絶対反射率測定機ＡＲＶ４７４Ｓにより測定した。
光照射条件
光源：紫外線ＬＥＤランプ（波長３８５ｎｍ）
強度：１０００ｍＷ／ｃｍ2
光源とナノ構造フィルム付き白板ガラスとの距離：２ｃｍ
照射時間：２時間
また、対照として、(i)シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）フィルム（日本ゼオン（株）製、ＺＦ１４）（厚さ１００μｍ）、（ｉｉ）実施例４で、白板ガラスにナノ構造フィルムを固定するために使用したシリコーン接着剤と同じシリコーン接着剤を、塗布厚０．０１ｍｍで塗布し、光硬化させたもの、の分光透過率を同様に測定した。
結果を図９に示す。図９から、ナノ構造フィルムは、一般に光学特性に優れているといわれるＣＯＰフィルム（対照(i)）や、ナノ構造フィルムの無いシリコーン接着剤（対照(ii)）よりも耐光性に優れていることがわかる。
本発明の光学フィルムは、カメラ、ディスプレイ、プロジェクター、望遠鏡などの光学デバイスにおいて、反射防止機能を付与するフィルムとして有用である。
１、１Ｂ マスターフィルム付きナノ構造フィルム
１０ マスターフィルム
１１ 反転凹凸樹脂層
１１ｐ 第１の光硬化性樹脂
１２ ベースフィルム
１５ 構造体
２０、２０Ｂ 光学フィルム
２１ ナノ構造フィルム
２１ｐ 第２の光硬化性樹脂
２３、２３Ｂ 接着剤層
２３ｂ 光硬化性接着剤
２５ 第１の構造体
２６ 第２の構造体
３０ 原盤
３１ ナノ構造の表面凹凸
３２ 第２の原盤
４１ 被着体
４２ 黒色ＰＥＴ板
５０ タッチパネル
５１ 枠部
５２ 反射防止フィルム
５３ 粘着剤層
５４ 空隙
Ｄ１ ナノ構造フィルムの層厚
Ｄ２ 接着剤層の層厚
Ｄ３ 反転樹脂層の層厚
ｓ 段差

Claims (23)

  1. フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルムと、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面に積層されている接着剤層と、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面に剥離可能に積層されているマスターフィルムとを有するマスターフィルム付きナノ構造フィルムであって、
    ナノ構造フィルムが一体成形されており、
    ナノ構造フィルムとマスターフィルムの互いの対向面の表面凹凸が反転しており、
    ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面と接着剤層との間の接着強度が、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面とマスターフィルムとの間の接着強度よりも大きいマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  2. フィルムの片面に該フィルム表面の凹部又は凸部により形成された複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造を有し、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部により形成された複数の第２の構造体を有するナノ構造フィルムと、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面に積層されている接着剤層と、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面に剥離可能に積層されているマスターフィルムとを有するマスターフィルム付きナノ構造フィルムであって、
    構造体の高さと構造体の底面の径の比を構造体のアスペクト比とした場合に、第２の構造体のアスペクト比が第１の構造体のアスペクト比よりも小さいか、又は第２の構造体の個数密度が第１の構造体の個数密度よりも小さく、
    ナノ構造フィルムとマスターフィルムの互いの対向面の表面凹凸が反転しており、
    ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面と接着剤層との間の接着強度が、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面とマスターフィルムとの間の接着強度よりも大きいマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  3. ナノ構造フィルムの両面の凹凸を含む厚さが１〜６０μｍである請求項１又は２記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  4. 第２の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられている請求項１〜３のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  5. 第２の構造体のアスペクト比が第１の構造体のアスペクト比よりも小さい請求項１記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  6. ナノ構造フィルムの両面の凹凸を含む厚さが１〜１０μｍである請求項１〜５のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  7. 接着剤層の表面の凹凸を含む厚さが１〜５０μｍである請求項６記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  8. マスターフィルムが、ナノ構造フィルムの表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層と該反転凹凸樹脂層と積層しているベースフィルムを有する請求項１〜７のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  9. マスターフィルムが、第１の構造体の形成面側表面に無機膜を有する請求項１〜８のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  10. ナノ構造フィルムとマスターフィルムの少なくとも一方に離型剤が添加されている請求項１〜９のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  11. ナノ構造フィルムとマスターフィルムの弾性率が異なる請求項１〜１０のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  12. ナノ構造フィルムとマスターフィルムの表面凹凸が、それぞれ光硬化樹脂で形成されている請求項１〜１１のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルム。
  13. 請求項１記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法であって、
    複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造の表面凹凸を有する原盤を作製する原盤の作製工程、
    原盤のナノ構造の表面凹凸を転写型として、ナノ構造の表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層を形成する工程を含むマスターフィルムの形成工程、
    フィルムの片面に、マスターフィルムの反転凹凸樹脂層の表面凹凸を転写型としてナノ構造を形成すると共に、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部からなる複数の第２の構造体を一体成形するナノ構造フィルムの形成工程、及び
    第２の構造体に接着剤層を積層する工程
    を有し、
    マスターフィルムとナノ構造フィルムとを剥離可能に形成し、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面と接着剤層との間の接着強度を、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面とマスターフィルムとの間の接着強度よりも大きくする、マスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  14. 請求項２記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法であって、
    複数の第１の構造体が可視光波長以下のピッチで設けられているナノ構造の表面凹凸を有する原盤を作製する原盤の作製工程、
    原盤のナノ構造の表面凹凸を転写型として、ナノ構造の表面凹凸に対して反転した表面凹凸を有する反転凹凸樹脂層を形成する工程を含むマスターフィルムの形成工程、
    フィルムの片面に、マスターフィルムの反転凹凸樹脂層の表面凹凸を転写型としてナノ構造を形成すると共に、該フィルムの他面に該他面の凹部又は凸部からなる複数の第２の構造体を形成するナノ構造フィルムの形成工程、及び
    第２の構造体に接着剤層を積層する工程
    を有し、
    ナノ構造フィルムの形成工程において、構造体の高さと構造体の底面の径の比を構造体のアスペクト比とした場合に、第２の構造体のアスペクト比を第１の構造体のアスペクト比よりも小さくするか、又は第２の構造体の個数密度を第１の構造体の個数密度よりも小さくし、マスターフィルムとナノ構造フィルムとを剥離可能に形成し、ナノ構造フィルムの第２の構造体の形成面と接着剤層との間の接着強度を、ナノ構造フィルムの第１の構造体の形成面とマスターフィルムとの間の接着強度よりも大きくする、
    マスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  15. ナノ構造フィルムの両面の凹凸を含む厚さを１〜６０μｍに形成する請求項１３又は１４記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  16. ナノ構造フィルムの形成工程において、第２の構造体を可視光波長以下のピッチで形成する請求項１３〜１５のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  17. ナノ構造フィルムの両面の凹凸を含む厚さを１〜１０μｍに形成する請求項１３〜１６のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  18. 接着剤層の表面の凹凸を含む厚さを１〜５０μｍに形成する請求項１３〜１７のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  19. マスターフィルムの形成工程において、原盤の表面凹凸の形成面に、第１の硬化性樹脂を密着させ、該第１の硬化性樹脂を硬化させ、原盤から剥離することにより反転凹凸樹脂層を形成し、
    ナノ構造フィルムの形成工程において、マスターフィルムの表面凹凸の形成面に第２の硬化性樹脂を塗布し、塗布した第２の硬化性樹脂の表面を、第２の構造体に対して反転した表面凹凸を有する原盤で押さえつつ第２の硬化性樹脂を硬化させてナノ構造フィルムを形成する、
    請求項１３〜１８のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  20. 第１の硬化性樹脂として、ベースフィルムに塗工されている第１の硬化性樹脂を使用する請求項１９記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  21. マスターフィルムの形成工程において、反転凹凸樹脂層を形成後、その表面凹凸の形成面に無機膜を形成する請求項１３〜２０のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  22. 反転凹凸樹脂層を形成する樹脂と、ナノ構造フィルムを形成する樹脂の少なくとも一方に離型剤が添加されている請求項１３〜２１のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
  23. 第１の硬化性樹脂又は第２の硬化性樹脂に、第１の硬化性樹脂又は第２の硬化性樹脂が硬化後に低弾性となる樹脂を配合する請求項１９〜２２のいずれかに記載のマスターフィルム付きナノ構造フィルムの製造方法。
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