JP6732858B6 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
150 光源
160 光感知器
Claims (14)
- 基板上に塗布されたコーティング膜の一領域に向かってレーザ光を照射する光源と、
前記レーザ光が前記コーティング膜の表面により反射して生成された基準光及び前記レーザ光が前記コーティング膜を透過して散乱された測定光間の干渉による光干渉データを取得する光感知器と、
前記光源を移動させる移動部と、
前記基準光の光量に基づいて前記コーティング膜の表面の反射率を導き出し、
前記反射率が既に定義された反射率未満であるか否かを決定し、
前記反射率が前記既に定義された反射率以上であるという決定によって、前記光干渉データに基づいて前記一領域に該当する前記コーティング膜の厚さを導き出し、
前記反射率が前記既に定義された反射率未満であるという決定によって、前記移動部を制御して前記コーティング膜の他の領域に向かってレーザ光が照射されるように前記光源を移動させるプロセッサと、
を含む基板検査装置。 - 前記プロセッサは、
前記光干渉データに基づいて前記コーティング膜の深さ方向への断面を示す断面イメージを取得し、
前記断面イメージ上の境界線に基づいて、前記コーティング膜の厚さを決定する、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記光源は、第1方向に沿って前記コーティング膜に向かって前記レーザ光を照射し、
前記光感知器は、前記第1方向の逆方向に進む前記基準光及び測定光をキャプチャーして前記光干渉データを取得する、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記光源は、前記レーザ光が空気以外の媒介体を透過せずに直接前記コーティング膜の前記表面に照射されるように配置される、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記レーザ光に対する前記コーティング膜の表面の反射率は、前記コーティング膜に混合された蛍光染料の蛍光染料混合率により決定され、
前記蛍光染料混合率は、前記反射率が予め設定された基準値を超えるようにする値に設定される、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記コーティング膜は、アクリル、ウレタン、ポリウレタン、シリコン、エポキシ、UV(Ultra Violet)硬化物質及びIR(Infra Red)硬化物質の中で選択された少なくとも1つの物質により形成される、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記コーティング膜の表面は曲面に形成される、
請求項1に記載の基板検査装置。 - 基板上に塗布されたコーティング膜の一領域に向かってレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光が前記コーティング膜の表面により反射して生成された基準光及び前記レーザ光が前記コーティング膜を透過して散乱された測定光間の干渉による光干渉データを取得する段階と、
前記基準光の光量に基づいて前記コーティング膜の表面の反射率を導き出す段階と、
前記反射率が既に定義された反射率未満であるか否かを決定する段階と、
前記反射率が前記既に定義された反射率以上であるという決定によって、前記光干渉データに基づいて前記一領域に該当する前記コーティング膜の厚さを導き出す段階と、
前記反射率が前記既に定義された反射率未満であるという決定によって、前記コーティング膜の他の領域に向かってレーザ光が照射されるように光源を移動させる段階と、
を含む基板検査方法。 - 前記コーティング膜の厚さを導き出す段階は、
前記光干渉データに基づいて前記コーティング膜の深さ方向への断面を示す断面イメージを取得する段階と、
前記断面イメージ上の境界線に基づいて、前記コーティング膜の厚さを決定する段階と、
を含む、
請求項8に記載の基板検査方法。 - 前記レーザ光は、第1方向に沿って前記一領域に向かって照射され、前記基準光及び測定光は、前記第1方向の逆方向に進む、
請求項8に記載の基板検査方法。 - 前記レーザ光は、空気以外の媒介体を透過せずに直接前記コーティング膜の前記表面に照射される、
請求項8に記載の基板検査方法。 - 前記レーザ光に対する前記コーティング膜の表面の反射率は、前記コーティング膜に混合された蛍光染料の蛍光染料混合率により決定され、
前記蛍光染料混合率は、前記反射率が予め設定された基準値を超えるようにする値に設定される、
請求項8に記載の基板検査方法。 - 前記コーティング膜は、アクリル、ウレタン、ポリウレタン、シリコン、エポキシ、UV硬化物質及びIR硬化物質の中で選択された少なくとも1つの物質により形成される、
請求項8に記載の基板検査方法。 - 前記コーティング膜の表面は曲面に形成される、
請求項8に記載の基板検査方法。
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