JP6723469B2 - 2in1型チョッパモジュール - Google Patents

2in1型チョッパモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP6723469B2
JP6723469B2 JP2019545468A JP2019545468A JP6723469B2 JP 6723469 B2 JP6723469 B2 JP 6723469B2 JP 2019545468 A JP2019545468 A JP 2019545468A JP 2019545468 A JP2019545468 A JP 2019545468A JP 6723469 B2 JP6723469 B2 JP 6723469B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diode
elements
igbt
effective area
module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019545468A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2019064402A1 (ja
Inventor
長谷川 滋
滋 長谷川
哲 根岸
哲 根岸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of JPWO2019064402A1 publication Critical patent/JPWO2019064402A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6723469B2 publication Critical patent/JP6723469B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49838Geometry or layout
    • H01L23/49844Geometry or layout for devices being provided for in H01L29/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70Bipolar devices
    • H01L29/72Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
    • H01L29/739Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
    • H01L29/7393Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/86Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
    • H01L29/861Diodes
    • H01L29/872Schottky diodes
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/003Constructional details, e.g. physical layout, assembly, wiring or busbar connections
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/42Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
    • H02M7/44Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/48Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H02M7/53Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M7/537Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/0601Structure
    • H01L2224/0603Bonding areas having different sizes, e.g. different heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • H01L2224/48139Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49111Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting two common bonding areas, e.g. Litz or braid wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/12Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
    • H01L29/16Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
    • H01L29/1608Silicon carbide

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)

Description

本発明は2in1型チョッパモジュールに関する。
電力制御に用いられる半導体装置として半導体モジュールがある。半導体モジュールの一例として、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT:Insulated Gate Bipolar Transistor)モジュールが挙げられる。IGBTモジュールはゲート駆動信号により通電電流のオンオフの制御がなされるものであり、高電圧かつ大電流のスイッチングが可能である。IGBTを含む半導体パワーモジュールはモータなどを駆動するインバータなどに幅広く使用されている。
2in1型半導体モジュールは、モータ駆動装置等への実装が簡便であるため、一般的に用いられている。2in1型半導体モジュールには、例えばIGBTモジュールとチョッパモジュールがある。
2in1型IGBTモジュールは、2つの回路の直列接続からなり、各回路は、IGBT素子と、当該IGBT素子に逆並列接続されたダイオード素子を備えている。IGBTモジュールでは、1つの絶縁基板上にIGBT素子とダイオード素子が搭載される場合が多い。通常のインバータ動作ではIGBT素子とダイオード素子に交互に同程度の電流が流れるため、いずれかの素子が常に発熱しており、絶縁基板はこれらの素子からの熱を受ける。
2in1型チョッパモジュールは、2in1型IGBTモジュールにおいて、直列接続された2つの回路のうち1つの回路からIGBT素子を除外した構成である。従って、チョッパモジュールでは、ダイオード素子のみが搭載される絶縁基板がある。IGBT素子と、当該IGBT素子に逆並列接続されたダイオード素子を備える回路は、インバータ動作時にIGBT素子とダイオード素子に交互に同程度の電流を流すことが必要なため、前述のIGBTモジュールと同一の構成になっている。ダイオード素子のみが搭載される絶縁基板は、ダイオード素子とIGBT素子の両方が搭載される絶縁基板に比べて受ける熱量が少ない。
チョッパモジュールと同様な回路構成を有する従来技術として、特許文献1の図8には昇圧チョッパ回路および降圧チョッパ回路が開示されている。
特開2010−200406号公報
通常、半導体モジュールは冷却器に設置されて積極的に冷却される。そのため、チョッパモジュールにおいて絶縁基板に単独で搭載されるダイオード素子は、絶縁基板上に共に搭載されるIGBT素子またはダイオード素子よりも低温側温度が低くなる傾向にある。従って、チョッパモジュールにおいて絶縁基板に単独で搭載されるダイオード素子は、高温側温度と低温側温度の差が大きくなる。その結果、チョッパモジュールではダイオード素子上のワイヤの温度サイクル寿命が短くなるという問題があった。
本発明は上述の問題に鑑みてなされたものであり、2in1型チョッパモジュールにおいて、ワイヤの温度サイクル寿命の低下を抑制することを目的とする。
本発明の2in1型半導体モジュールは、スイッチングトランジスタと、スイッチングトランジスタに逆並列接続された第1ダイオードと、スイッチングトランジスタおよび第1ダイオードに直列接続された第2ダイオードと、スイッチングトランジスタおよび第1ダイオードを搭載する第1配線パターンと、第2ダイオードを搭載する第2配線パターンと、を備え、スイッチングトランジスタと第1ダイオードの順方向通電時の電力損失は略同一であり、第2ダイオードの有効面積は第1ダイオードの有効面積より大きいことを特徴とする。
本発明の2in1型半導体モジュールでは、インバータ動作時に、スイッチングトランジスタと第1ダイオードには交互に同程度の電流が流れ、それらの電力損失は略同一である。従って、第1配線パターンを搭載する絶縁基板は常時発熱を受けるのに対し、第2配線パターンを搭載する絶縁基板は第2ダイオードの通電時しか発熱を受けない。従って、両絶縁基板に対する冷却能力が同等であれば、第2ダイオードは第1ダイオードより低温側温度が低くなる。しかし、第1ダイオードより第2ダイオードの有効面積が大きいため、第2ダイオードは第1ダイオードより発熱量が小さく、その高温側温度が低くなる。従って、第2ダイオードにおける温度差が小さくなる。その結果、第2ダイオードに接続されたワイヤの温度サイクル寿命が長くなる。
本発明の目的、特徴、態様、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
2in1型IGBTモジュールの回路図である。 2in1型IGBTモジュールの内部構成図である。 2in1型チョッパモジュールの回路図である。 2in1型チョッパモジュールの内部構成図である。 実施の形態1の2in1型チョッパモジュールの回路図である。 実施の形態1の2in1型チョッパモジュールの内部構成図である。 実施の形態2の2in1型チョッパモジュールの内部構成図である。 実施の形態3の2in1型チョッパモジュールの内部構成図である。
<A.前提技術>
図1は、本発明の前提技術となる2in1型IGBTモジュール100の回路図である。2in1型IGBTモジュール100は、回路101と回路102の直列接続で構成される。回路101は、IGBT103と、IGBT103に逆並列接続されたダイオード104を備える。回路102は、IGBT105と、IGBT105に逆並列接続されたダイオード106を備える。IGBT103,105は、例えばSi製である。
2in1型IGBTモジュール100の主電極は、P主電極107、N主電極108、AC主電極109の3つである。P主電極107は、IGBT105のコレクタおよびダイオード106のカソードに接続される。AC主電極109は、回路101と回路102の接続点に接続される。主電極Nは、IGBT103のエミッタおよびダイオード104のアノードに接続される。
図2は、2in1型IGBTモジュール100の内部構造を示す平面模式図である。なお、図2では内部構造を分かりやすく説明するため、ゲート配線、センス配線および筐体等は図示していない。
図2において、ベース板110上に絶縁基板111,112,113が設置される。絶縁基板111,112,113上には、配線パターン114,115,116がそれぞれ形成される。配線パターン114上には図1の回路102が形成され、配線パターン115上には図1の回路101が形成される。具体的には、配線パターン114上には、3つのIGBT素子117と、3つのダイオード素子118が、それぞれはんだ接合により設置される。配線パターン115上には、3つのIGBT素子119と、3つのダイオード素子120が、それぞれはんだ接合により設置される。
3つのIGBT素子117が図1のIGBT105を構成し、3つのダイオード素子118が図1のダイオード106を構成する。また、3つのIGBT素子119が図1のIGBT103を構成し、3つのダイオード素子120が図1のダイオード104を構成する。
IGBT素子117の表面電極とダイオード素子118の表面電極、そしてダイオード素子118の表面電極と配線パターン115は、それぞれアルミワイヤ121により接続されている。また、IGBT素子119の表面電極とダイオード素子120の表面電極、そしてダイオード素子120の表面電極と配線パターン116は、それぞれアルミワイヤ122により接続されている。なお、ここではアルミワイヤ121,122について説明したが、銅など他の材質のワイヤが用いられても良い。
また、配線パターン114,115,116には、P主電極107、AC主電極109、N主電極108がそれぞれ接続されている。
インバータ動作時、同一絶縁基板上に形成された2種類の素子、すなわちIGBT素子117とダイオード素子118、またはIGBT素子119とダイオード素子120には、略同一の電流が交互に逆方向に流れ、各素子は発熱する。これら2種類の素子は、順方向に通電した場合の電力損失が略同一になるように設計されており、それゆえ最高チップ温度が略同一である。
図3は、本発明の前提技術となる2in1型チョッパモジュール130の回路図である。2in1型チョッパモジュール130は、回路101と、回路101に直列接続されたダイオード106とを備えて構成される。言い換えれば、2in1型チョッパモジュール130は2in1型IGBTモジュール100の回路102からIGBT105を除去した構成である。
図4は、2in1型チョッパモジュール130の内部構造を示す平面模式図である。なお、図4では内部構造を分かりやすく説明するため、ゲート配線、センス配線、筐体等は図示していない。
図4に示す2in1型チョッパモジュール130の内部構成は、絶縁基板111上の配線パターン114に3つのIGBT素子117が形成されず、3つのダイオード素子118のみが形成されている点が、図2に示した2in1型IGBTモジュール100の内部構成と異なる。2in1型チョッパモジュール130においても、インバータ動作時にIGBT103とダイオード104に対し交互に逆方向に略同一の電流を流すことが必要であるため、絶縁基板112,113上の構成は、2in1型IGBTモジュール100と同様である。
2in1型チョッパモジュール130は、2in1型IGBTモジュール100からIGBT105を除去することにより得られるため、2in1型IGBTモジュール100に対して新たな構成部材またはプロセスを必要としないという利点があり、それゆえ3レベル回路などに広く用いられている。
2in1型チョッパモジュール130のインバータ動作時、IGBT103とダイオード104に交互に電流が流れる。従って、絶縁基板112はIGBT素子119とダイオード素子120のどちらかから常に熱供給を受ける。一方、絶縁基板111にはダイオード素子126のみが搭載され、IGBT素子が搭載されない。ダイオード素子126を流れる電流の大きさは、IGBT素子119またはダイオード素子120を流れる電流の大きさと略同一であるが、絶縁基板111ではダイオード素子126の電流導通時にしか発熱が生じない。従って、絶縁基板111は絶縁基板112に比べて受ける熱量が小さい。
通常、半導体モジュールは冷却器に設置されて積極的に冷却されるため、絶縁基板111,112に対する冷却能力が同等であるとすると、絶縁基板111に搭載されるダイオード素子126のインバータ動作時の低温側温度は、絶縁基板112に搭載されるIGBT素子119またはダイオード素子120よりも低くなる傾向がある。そして、ダイオード素子120,126において電流導通時の高温側温度が等しい場合、ダイオード素子126における低温時と高温時の温度差はダイオード素子120よりも大きくなる。アルミワイヤの温度サイクル寿命は温度差が大きい程短いため、ダイオード素子126の温度差が大きくなることにより、ダイオード素子126上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命が短くなるという問題があった。
<B.実施の形態1>
<B−1.構成>
図5は、実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141の回路図である。図5に示す2in1型チョッパモジュール141の回路図は図3に示す2in1型チョッパモジュール130の回路図と同様である。
図6は、2in1型チョッパモジュール141の内部構成図である。図6では内部構造を分かりやすく説明するため、ゲート配線、センス配線、筐体等を図示していない。2in1型チョッパモジュール141では、3個のダイオード素子118に代えて3個のダイオード素子123がはんだ接合により配線パターン114に設置されており、これ以外の構成は図4に示す2in1型チョッパモジュール130の内部構成と同様である。3つのダイオード素子123が図5のダイオード106を構成する。
ダイオード素子123は、ダイオード素子120に比べて1個当たりの有効面積が大きい。そして、ダイオード素子123はダイオード素子120と同数である。従って、絶縁基板111上に搭載された全てのダイオード素子123の合計有効面積は、絶縁基板112上に搭載された全てのダイオード素子120の合計有効面積よりも大きい。
なお、ダイオード素子123およびダイオード素子120の個数は図6に示す3個に限らず、同数である限り1個でも複数でも良い。
絶縁基板112に搭載されたIGBT素子119とダイオード素子120は、電力損失が略同一になるように設計されているため、両素子に交互に逆方向に略同一の電流が流れた場合に、両素子の最高チップ温度が略同一になる。両素子の最高チップ温度に差異があると、両素子に対するアルミワイヤの温度サイクル寿命に差が生じるため、最高チップ温度の差は20%以内が望ましい。
通常、半導体モジュールは冷却器に設置され積極的に冷却される。2in1型チョッパモジュール141のインバータ動作時、絶縁基板112上ではIGBT素子119とダイオード素子120の双方に電流が流れて発熱が生じるのに対し、絶縁基板111上ではダイオード素子123の通電時にしか発熱が生じない。そのため、絶縁基板111は、絶縁基板112よりも発熱が生じない間に冷却される時間が長い。よって、ダイオード素子123はIGBT素子119およびダイオード素子120よりも低温側温度が低くなる。
しかし、本実施の形態において、ダイオード素子123はダイオード素子120に比べて有効面積が大きいため、同一電流導通時の発熱量が小さくなる。その結果、ダイオード素子123はダイオード素子120より最高温度が低くなる。従って、ダイオード素子123における高温時と低温時の温度差が小さくなり、ダイオード素子123上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
なお、特許文献1の図1のチョッパ回路は、回路図上は本明細書の図5に示された2in1型チョッパモジュール141と同様である。但し、特許文献1の図1のチョッパ回路は、スイッチング素子に瞬時的な逆電圧が印加されることを回避するためスイッチング素子に小さなダイオードを逆並列に接続したものである。逆並列ダイオードにスイッチング素子と同程度の電流を導通させることはできないため、特許文献1の図1のチョッパ回路2in1型チョッパモジュール141とは用途が異なる。
<B−2.変形例>
上記の説明では、2in1型チョッパモジュールを構成するスイッチングトランジスタにSi製IGBTを用いたが、スイッチングトランジスタをSiC等のワイドバンドギャップ製の素子としても良い。これにより、スイッチングトランジスタのスイッチング損失を小さくすることができる。
また、ダイオード104を、例えばSiC等のワイドバンドギャップ製の素子としても良い。これにより、ダイオード104のリカバリ損失を小さくすることができる。
また、ダイオード106をSiC等のワイドバンドギャップ製の素子としても良い。これにより、ダイオード106における導通損失を小さくすることができる。
これらスイッチングトランジスタまたはダイオードの材料は、2in1型チョッパモジュールの使用目的にあわせて最適な特性を得るために、適宜選択することが可能である。
また、図5ではダイオード106のカソードをP主電極107に、アノードをAC主電極109にそれぞれ接続しているが、使用される回路構成に応じてこの向きが逆であっても良い。
また、図5ではIGBT103とダイオード104からなる回路101が、AC主電極109とN主電極108の間に接続されているが、これは一例に過ぎない。回路101は、P主電極107とAC主電極109の間に接続されていても良い。
さらに、これまでの説明では、絶縁基板を3枚としたが、各配線パターンが電気的に独立している限り、絶縁基板は3枚に限定されない。
なお、ここで説明された変形例は、後述する実施の形態2および実施の形態3などにも適用可能である。
<B−3.効果>
実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141は、スイッチングトランジスタであるIGBT103と、IGBT103に逆並列接続された第1ダイオードであるダイオード104と、IGBT103およびダイオード104に直列接続された第2ダイオードであるダイオード106と、IGBT103およびダイオード104を搭載する第1配線パターンである配線パターン115と、ダイオード106を搭載する第2配線パターンである配線パターン114と、を備える。そして、IGBT103とダイオード104の順方向通電時の電力損失は略同一であるため、インバータ動作時のダイオード106の低温側温度はIGBT103とダイオード104よりも低くなる。しかし、ダイオード106の有効面積をダイオード104の有効面積より大きくすることにより、同一電流導通時のダイオード106の発熱量をダイオード104より小さくすることができる。その結果、ダイオード106の最高温度はダイオード104よりも低くなる。従って、ダイオード106における高温時と低温時の温度差が小さくなり、ダイオード106上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
また、2in1型チョッパモジュール141において、第1ダイオードであるダイオード104は、1又は複数の第1ダイオード素子であるダイオード素子120で構成され、第2ダイオードであるダイオード106は、ダイオード素子120と同数の第2ダイオード素子であるダイオード素子123で構成される。そして、ダイオード素子123の1個当たりの有効面積は、ダイオード素子120の1個当たりの有効面積より大きい。従って、絶縁基板111に搭載されたダイオード素子123の合計有効面積は絶縁基板112に搭載されたダイオード素子120の合計有効面積より大きい。その結果、ダイオード素子123の最高温度はダイオード素子120よりも低くなる。従って、ダイオード素子123における高温時と低温時の温度差が小さくなり、ダイオード素子123上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
<C.実施の形態2>
<C−1.構成>
図7は、実施の形態2に係る2in1型チョッパモジュール142の内部構成図である。2in1型チョッパモジュール142の回路図は図5に示されており、実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141と同様である。
図7では内部構造を分かりやすく説明するため、ゲート配線、センス配線、筐体等を図示していない。
2in1型チョッパモジュール142の構成のうち、絶縁基板111上の配線パターン114上の構成が実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141と異なり、その他は2in1型チョッパモジュール141と同様である。そのため、以下では配線パターン114上の構成についてのみ説明する。
2in1型チョッパモジュール142では、絶縁基板111上の配線パターン114上に、ダイオード素子124が5個設置されている。すなわち、2in1型チョッパモジュール142では、5個のダイオード素子125が図5のダイオード106を構成している。
絶縁基板112上の配線パターン115上にはダイオード素子120が3個設置されているが、ダイオード素子124の数はそれよりも多い。また、ダイオード素子124とダイオード素子120は同一のダイオード素子であり、両者の1個当たりの有効面積は同一である。従って、配線パターン114上の全てのダイオード素子124の合計有効面積は、配線パターン115上の全てのダイオード素子120の合計有効面積よりも大きい。これにより、ダイオード106の有効面積がダイオード104の有効面積よりも大きくなる。
なお、図7ではダイオード素子124の個数を5個としたが、ダイオード素子120の個数より多ければよく5個に限らない。
実施の形態1と同様、絶縁基板111上ではダイオード素子124の通電時にしか発熱が生じないため、IGBT素子119とダイオード素子120が交互に発熱する絶縁基板112上よりも発熱期間が短い。そのため、ダイオード素子124の低温側温度はIGBT素子119とダイオード素子120よりも低くなる。
しかし、本実施の形態において、5個のダイオード素子124の合計有効面積は3個のダイオード素子120の合計有効面積より大きいため、同一電流導通時の5個のダイオード素子124の発熱量を3個のダイオード素子120より小さくすることができる。その結果、ダイオード素子124の最高温度はダイオード素子120よりも低くなる。従って、ダイオード素子124における高温時と低温時の温度差が小さくなり、ダイオード素子124上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
<C−2.効果>
実施の形態2に係る2in1型チョッパモジュール142において、第1ダイオードであるダイオード104は、1又は複数の第1ダイオード素子であるダイオード素子120で構成され、第2ダイオードであるダイオード106は、ダイオード素子120より多数の第2ダイオード素子であるダイオード素子124で構成され、ダイオード素子124の1個あたりの有効面積は、ダイオード素子120の1個あたりの有効面積と等しい。従って、絶縁基板111上に搭載された全てのダイオード素子124の合計有効面積は、絶縁基板112上に搭載された全てのダイオード素子120の合計有効面積よりも大きくなる。そのため、絶縁基板111上に搭載された全てのダイオード素子124の発熱量は絶縁基板112上に搭載された全てのダイオード素子120の発熱量よりも小さくなる。よって、ダイオード素子124の最高温度はダイオード素子120よりも低くなる。従って、ダイオード素子124における高温時と低温時の温度差が小さくなり、ダイオード素子124上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
<D.実施の形態3>
<D−1.構成>
図8は、実施の形態3に係る2in1型チョッパモジュール143の内部構成図である。2in1型チョッパモジュール143の回路図は図5に示されており、実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141と同様である。
図8では内部構造を分かりやすく説明するため、ゲート配線、センス配線、筐体等を図示していない。
2in1型チョッパモジュール143の構成のうち、絶縁基板111上の配線パターン114上の構成が実施の形態1に係る2in1型チョッパモジュール141と異なり、その他は2in1型チョッパモジュール141と同様である。そのため、以下では配線パターン114上の構成についてのみ説明する。
配線パターン114上に、Si製の3個のダイオード素子125とSiC(シリコンカーバイド)製の4個のショットキーバリアダイオード素子126が設置されている。すなわち、2in1型チョッパモジュール143では、3個のダイオード素子125と4個のショットキーバリアダイオード素子126の並列接続により図5のダイオード106が構成される。なお、上記ではショットキーバリアダイオード素子126をSiC製と述べたが、他のワイドバンドギャップ半導体を材料としたものでも良い。
ダイオード106はダイオード104より有効面積が大きい。従って、ダイオード素子125とショットキーバリアダイオード素子126の合計有効面積は、配線パターン115上に設置されたダイオード素子120の合計有効面積よりも大きくなるように構成される。ダイオード106の導通損失はダイオード104の導通損失より小さい。この条件が満たされる限り、ダイオード素子125とショットキーバリアダイオード素子126の個数は図8に示したものに限らず1個でも複数でも良い。また、ダイオード素子125の1個当たりの有効面積は、図8においてはダイオード素子120の1個当たりの有効面積と等しいように示されているが、ダイオード素子120の1個当たりの有効面積より大きくても小さくても良い。また、ショットキーバリアダイオード素子126の1個当たりの有効面積は、図8においてはダイオード素子120の1個当たりの有効面積よりも小さく示しているが、ダイオード素子120と等しくてもより大きくても良い。
<D−2.効果>
実施の形態3に係る2in1型チョッパモジュール143において、第1ダイオードであるダイオード104は、1又は複数の第1ダイオード素子であるダイオード素子120で構成され、第2ダイオードであるダイオード106は、Si製のダイオード素子125およびワイドバンドギャップ半導体製のショットキーバリアダイオード素子126の並列接続で構成される。ダイオード素子125およびショットキーバリアダイオード素子126において、個数および1個あたりの有効面積は特に限定しない。但し、ダイオード素子125およびショットキーバリアダイオード素子126の合計有効面積、すなわちダイオード106の有効面積が、ダイオード素子120の合計有効面積、すなわちダイオード104の有効面積よりも大きくなるようにする。これにより、実施の形態1と同様に、ダイオード素子125およびショットキーバリアダイオード素子126の最高温度がダイオード素子120の最高温度よりも低くなる。従って、ダイオード素子125およびショットキーバリアダイオード素子126における高温時と低温時の温度差が小さくなり、これらの素子上のアルミワイヤ121の温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
また、ワイドバンドギャップ半導体製のショットキーバリアダイオード素子126は小電流領域の導通損失が小さい。そして、Si製のダイオード素子125は大電流領域の導通損失が小さくサージ電流耐量が高い。従って、2in1型チョッパモジュール143は低損失でサージ電流耐量の高いモジュールとなる。
これまでの説明では、2in1型チョッパモジュールを構成するスイッチングトランジスタにIGBTを用いた。しかし、スイッチングトランジスタにはシリコン製逆導通IGBTまたはMOSFET等の逆導通型トランジスタを用いても良い。その場合、ダイオード104の順方向通電時にスイッチングトランジスタをオンさせることにより逆導通トランジスタにも電流が流れるため、ダイオード104のみが通電する場合よりも回路101全体の電圧降下を小さくすることが可能である。
この場合、回路102のダイオード106の有効面積を回路101のダイオード104の有効面積より大きくすることは前述の通りである。但し、ダイオード104の順方向通電時に逆導通トランジスタをオンさせた場合の回路101全体の導通損失より、回路102のダイオード106の導通損失が小さくなる程度にダイオード106の合計有効面積を大きくすることにより、ダイオード106上のアルミワイヤの温度サイクル寿命の低下を防ぐことが可能となる。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての態様において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
100 2in1型IGBTモジュール、101,102 回路、103,105 IGBT、104,106 ダイオード、107 P主電極、108 N主電極、109 AC主電極、110 ベース板、111,112,113 絶縁基板、114,115,116 配線パターン、117,119 IGBT素子、118,120,123,124,125 ダイオード素子、121,122 アルミワイヤ、126 ショットキーバリアダイオード素子、130,141,142,143 2in1型チョッパモジュール。

Claims (5)

  1. スイッチングトランジスタ(103)と、
    前記スイッチングトランジスタ(103)に逆並列接続された第1ダイオード(104)と、
    前記スイッチングトランジスタ(103)および前記第1ダイオード(104)に直列接続された第2ダイオード(106)と、
    前記スイッチングトランジスタ(103)および前記第1ダイオード(104)を搭載する第1配線パターン(115)と、
    前記第2ダイオード(106)を搭載する第2配線パターン(114)と、
    を備え、
    前記スイッチングトランジスタ(103)と前記第1ダイオード(104)の順方向通電時の電力損失は略同一であり、
    前記第2ダイオード(106)の有効面積は前記第1ダイオード(104)の有効面積より大きい、
    2in1型チョッパモジュール(141,142,143)。
  2. 前記第1ダイオード(104)は、1又は複数の第1ダイオード素子(120)で構成され、
    前記第2ダイオード(106)は、前記第1ダイオード素子(120)と同数の第2ダイオード素子(123)で構成され、
    前記第2ダイオード素子(123)の1個あたりの有効面積は前記第1ダイオード素子(120)の1個あたりの有効面積より大きい、
    請求項1に記載の2in1型チョッパモジュール(141)。
  3. 前記第1ダイオード(104)は、1又は複数の第1ダイオード素子(120)で構成され、
    前記第2ダイオード(106)は、前記第1ダイオード素子(120)より多数の第2ダイオード素子で構成され、
    前記第2ダイオード素子の1個あたりの有効面積は前記第1ダイオード素子(120)の1個あたりの有効面積と等しい、
    請求項1に記載の2in1型チョッパモジュール(142)。
  4. 前記第1ダイオード(104)は、1又は複数の第1ダイオード素子(120)で構成され、
    前記第2ダイオード(106)は、Si製のダイオード素子(125)およびワイドバンドギャップ半導体製のショットキーバリアダイオード素子(126)の並列接続で構成される、
    請求項1に記載の2in1型チョッパモジュール(143)。
  5. 前記スイッチングトランジスタ(103)は、逆導通型トランジスタで構成され、
    逆導通状態の前記逆導通型トランジスタ(103)と前記第1ダイオード(104)の双方に通電する場合の、前記逆導通型トランジスタ(103)および前記第1ダイオード(104)の電圧降下より、前記第2ダイオード(106)の電圧降下が小さい、
    請求項1から4のいずれか1項に記載の2in1型チョッパモジュール。
JP2019545468A 2017-09-28 2017-09-28 2in1型チョッパモジュール Active JP6723469B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/035096 WO2019064402A1 (ja) 2017-09-28 2017-09-28 2in1型チョッパモジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019064402A1 JPWO2019064402A1 (ja) 2019-12-26
JP6723469B2 true JP6723469B2 (ja) 2020-07-15

Family

ID=65901118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019545468A Active JP6723469B2 (ja) 2017-09-28 2017-09-28 2in1型チョッパモジュール

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11251161B2 (ja)
JP (1) JP6723469B2 (ja)
CN (1) CN111133577B (ja)
DE (1) DE112017007902T5 (ja)
WO (1) WO2019064402A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021005690A (ja) * 2019-06-27 2021-01-14 住友電気工業株式会社 半導体モジュール
WO2022193255A1 (en) * 2021-03-18 2022-09-22 Huawei Technologies Co., Ltd. High-symmetrical semiconductor arrangement

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002299550A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
JP4580270B2 (ja) 2005-05-11 2010-11-10 株式会社京三製作所 パワーモジュール
JP4695918B2 (ja) 2005-05-12 2011-06-08 株式会社京三製作所 パワーモジュール
CN101317321A (zh) * 2005-11-29 2008-12-03 丰田自动车株式会社 用于电动车辆的dc-dc变压器
JP2007336643A (ja) * 2006-06-13 2007-12-27 Toyota Motor Corp パワーモジュール
JP2009159184A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Hitachi Ltd フリーホイールダイオードとを有する回路装置、及び、ダイオードを用いた回路装置とそれを用いた電力変換器
JP5321124B2 (ja) 2009-02-23 2013-10-23 三菱電機株式会社 半導体スイッチング装置
JP5355283B2 (ja) * 2009-07-30 2013-11-27 ヤンマー株式会社 Dc−dcコンバータ回路
WO2012039114A1 (ja) * 2010-09-24 2012-03-29 オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド 回路装置
JP6253409B2 (ja) * 2011-07-11 2017-12-27 三菱電機株式会社 電力用半導体モジュール
JP2013038911A (ja) * 2011-08-08 2013-02-21 Toyota Motor Corp コンバータ
JP2014063806A (ja) * 2012-09-20 2014-04-10 Toshiba Corp 半導体装置
WO2015008333A1 (ja) * 2013-07-16 2015-01-22 三菱電機株式会社 半導体装置
JP6207460B2 (ja) * 2014-05-19 2017-10-04 三菱電機株式会社 半導体装置
CA2983171C (en) * 2015-04-20 2018-12-04 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation Converter and power conversion device including the same

Also Published As

Publication number Publication date
CN111133577A (zh) 2020-05-08
DE112017007902T5 (de) 2020-05-14
CN111133577B (zh) 2023-10-10
WO2019064402A1 (ja) 2019-04-04
US20200343226A1 (en) 2020-10-29
JPWO2019064402A1 (ja) 2019-12-26
US11251161B2 (en) 2022-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5970983B2 (ja) 電力変換装置
JP6065979B2 (ja) 半導体装置
JP6705393B2 (ja) 半導体装置及び電力変換装置
JP6934823B2 (ja) 3レベルiタイプインバータおよび半導体モジュール
JP5596748B2 (ja) 両面冷却パワー半導体パッケージ
US20220302075A1 (en) Power semiconductor module
JP2007012721A (ja) パワー半導体モジュール
JP7337711B2 (ja) 半導体装置
JP2013033812A (ja) パワー半導体モジュール
JP6196853B2 (ja) 3レベルコンバータハーフブリッジ
JP6745991B2 (ja) 半導体パワーモジュール
JP2015135895A (ja) 半導体モジュール
JP2018107494A (ja) 半導体装置及びインバータシステム
JP6723469B2 (ja) 2in1型チョッパモジュール
JP2019079839A (ja) 半導体パワーモジュール
JP6922450B2 (ja) 半導体モジュール
JP2024008998A (ja) 電子回路、半導体モジュール及び半導体装置
JP6594290B2 (ja) 電力変換装置
JP6356904B2 (ja) パワーモジュール,電力変換装置,および車両用駆動装置
JP2011211017A (ja) 半導体モジュールおよびそれを備えた半導体装置
JP2005236108A (ja) 半導体装置
JP5716702B2 (ja) 半導体装置
JP2013055278A (ja) 電力用半導体スイッチおよび電力変換装置
WO2023175909A1 (ja) インバータおよび電動車両
JP2013504999A (ja) パワー半導体モジュール、および、パワー半導体回路装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190829

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200526

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200623

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6723469

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250