JP6679328B2 - インプリント装置、制御方法及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1を参照しながら本発明の一実施形態のインプリント装置の概要について説明する。図1は、インプリント装置の装置構成例を示す図である。本実施形態のインプリント装置100は、インプリントサイクルを繰り返すことによって基板の複数のショット領域にパターンを形成するように構成されている。ここで、1つのインプリントサイクルは、原版(型)を未硬化樹脂(インプリント材)に押し付けた状態で該インプリント材を硬化させることによって基板の1つのショット領域にパターンを形成するサイクルである。
図7は、実施例2のインプリント装置の構成例を示す図である。実施例1のシャッタ15及び計算機16に加え、本実施例のインプリント装置は、透過率分布を持ったフィルタ18及びフィルタ駆動機構18aを備えている。フィルタ18は、透過率分布が互いに異なる複数枚のフィルタで構成されている。計算機16は、フィルタ駆動機構18aにも接続されている。計算機16は、取得した基板1上のパターン欠陥分布に基づいて計算した必要な硬化光の光量に応じて、シャッタ開閉時間に加えてフィルタの選択の選択を行い、フィルタの切り替え(光路内への出し入れ)指令も行うことができる。計算機16からフィルタの切り替え指令を受けたフィルタ駆動機構18aは、互いに異なる透過率分布のある複数のフィルタの中から選択されたフィルタに切り替えることができる。
図9は、実施例3のインプリント装置の構成例を示す図である。実施例1のシャッタ15及び計算機16に加え、本実施例のインプリント装置は、ランプの位置を駆動できる機構として、光源ランプ20及びランプ位置駆動機構20aを備えている。光源ランプ20にランプ位置駆動機構20aが接続されている。ランプ位置駆動機構20aは計算機16に接続されており、計算機16からのランプ位置の指令に基づき、光源ランプ20を駆動する駆動部である。計算機16は、紫外光6aの露光量を制御する制御部であり、シャッタ駆動機構15aに加えランプ位置駆動機構20aを制御する。したがって、計算機16が取得した、実施例2の図8に示されるような上下左右の欠陥分布に対して、光源ランプ20の位置を制御することで、欠陥分布に対応した露光量分布を持った硬化光を照射することが可能である。フィルタと比べて露光エネルギーのロスなく露光量分布を持たせることが可能である。なお、フィルタ切り替え機構とランプ位置駆動機構を併用した構成でもよい。
図10は、実施例3のインプリント装置の構成例を示す図である。本実施例のインプリント装置は、紫外光発生装置6の光源にLED素子を用いた構成となっている。紫外光発生装置6内にLED素子群21を備え、LED素子群21は、LED電力制御装置21aがつながっている。LED電力制御装置21aは、計算機16に接続されており、計算機16で欠陥分布に基づき算出された露光量分布またはLED電力量の分布に基づいて各LED素子への電力を個別に変更することができる。LED素子は、例えば、紫外線LEDである。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含み得る。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチング工程の代わりに、パターンを形成された基板を処理(加工)する他の工程を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
5 原版
6 紫外光発生装置
6a 紫外光
16 計算機
100 インプリント装置
Claims (9)
- インプリント材の硬化阻害を防ぐための気体を供給した状態で、基板上のインプリント材に型を接触させインプリント材を硬化させることでパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を硬化させる硬化光を照射する光源と、
前記気体を供給した状態でインプリント処理を行った基板を検査することで予め取得された、前記気体の濃度が不足することにより生じる基板上の位置に対するパターンの欠陥分布に基づいて、前記基板上の複数のショット領域のそれぞれにおける前記インプリント材を硬化させる前記硬化光の光量の制御を行う制御部と、を備え
ることを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記欠陥分布における欠陥が多い基板上の領域の前記硬化光の光量を、前記欠陥分布における欠陥が少ない基板上の領域の前記硬化光の光量よりも多くなるように制御することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 透過率分布のあるフィルタを備え、
前記制御部は、前記気体の濃度が不足することにより生じる欠陥分布に基づいて、前記フィルタの光路内への出し入れを制御することにより、前記硬化光の光量の制御を行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント装置。 - 互いに異なる透過率分布のある複数のフィルタを備え、
前記制御部は、前記基板上の位置に対するパターンの欠陥分布に基づいて、前記複数のフィルタのうち光路内に入れるフィルタを選択することにより、前記硬化光の光量の制御を行う
ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記光源の位置を駆動させる駆動部を備え、
前記制御部は、前記駆動部を制御して、前記光源の位置を制御することにより、前記硬化光の光量の制御を行う
ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記光源は複数のLED素子を有し、
前記制御部は、前記LED素子ごとに個別に電力制御を行うことにより、前記硬化光の光量の制御を行う
ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記インプリント材と前記型との押圧領域にインプリント材の硬化阻害を防ぐための気体を供給する供給部をさらに有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 基板上のインプリント材に型を用いてパターンを形成するインプリント装置を用いて、前記インプリント材を硬化させる硬化光の露光量の制御方法であって、
インプリント材の硬化阻害を防ぐための気体を供給した状態で、基板上のインプリント材に型を接触させインプリント材を硬化させることで形成された基板上のパターンのパターン欠陥分布を検査する工程と、
検査された前記パターンの欠陥分布に基づいて、ショット毎の前記硬化光の光量を決定する工程と、
決定した前記ショット毎の硬化光の光量に基づいて前記硬化光の光量を制御する工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板上に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、を有する
ことを特徴とする物品の製造方法。
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