JP6656104B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6656104B2 JP6656104B2 JP2016140142A JP2016140142A JP6656104B2 JP 6656104 B2 JP6656104 B2 JP 6656104B2 JP 2016140142 A JP2016140142 A JP 2016140142A JP 2016140142 A JP2016140142 A JP 2016140142A JP 6656104 B2 JP6656104 B2 JP 6656104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- memory units
- memory
- pitch
- along
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/10—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the top-view layout
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/20—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B41/23—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B41/27—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/20—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels
- H10B43/23—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels
- H10B43/27—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by three-dimensional arrangements, e.g. with cells on different height levels with source and drain on different levels, e.g. with sloping channels the channels comprising vertical portions, e.g. U-shaped channels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
- H10B43/35—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region with cell select transistors, e.g. NAND
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置を例示する模式的断面図である。
図2(a)及び図2(b)は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置を例示する模式的断面図である。
図1は、図2(a)のA1−A2線断面図である。図1は、図2(b)のA3−A4線断面図でもある。図2(a)は、図1のB1−B2線断面図である。図2(b)は、図1のB3−B4線断面図である。
図3は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置を例示する模式的断面図である。
図3は、図1の一部を拡大した模式的断面図である。
図4(a)〜図4(e)、及び、図5(a)〜図5(e)は、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法を例示する模式的断面図である。
図6(a)は、図5(a)の工程後で図5(c)の工程の前の状態を例示している。図6(b)は、図5(c)の工程の後の状態を例示している。図6(b)においては、図を見やすくするために、第2膜62(絶縁層22)が省略されている。
図7(a)に示すように、複数の第1メモリ部MP1の1つM1の第1中心C1と、複数の第2メモリ部MP2の1つM2の第2中心C2と、の間の距離q1は、第1ピッチp1よりも大きく、第1ピッチp1の2倍よりも小さい。
b0=[{(P1)/2}2+(P2)2]1/2−Dx
で表される。
b1=[{(P1+Pd)/2}2+(P2)2]1/2−Dx
で表される。
図8に示すように、本実施形態に係る別の半導体記憶装置111においても、複数の第1メモリ部MP1の1つM1の第2方向(X軸方向)における第1中心C1と、複数の第2メモリ部MP2の1つM2の第2方向における第2中心C2と、の間の第2方向に沿った距離q1は、第1ピッチp1よりも長く第1ピッチp1の2倍よりも短い。半導体記憶装置111においては、第3方向(第1方向及び第2方向と交差する方向であり、例えばY軸方向)における第1中心C1の位置と、第3方向における第3中心C3の位置と、の間の第3方向に沿った距離p2は、第1ピッチp1と同じである。これ以外は、半導体記憶装置110と同様なので説明を省略する。半導体記憶装置111においても、記憶密度を向上できる半導体記憶装置が提供できる。
本実施形態は、半導体記憶装置の製造方法に係る。
本製造方法は、例えば、図4(a)〜図4(e)、及び、図5(a)〜図5(e)に関して説明した処理の少なくとも一部を含む。
本製造方法によれば、記憶密度を向上できる半導体記憶装置の製造方法が提供できる。
(構成1)
第1方向に並び前記第1方向と交差する第2方向に延びる複数の導電層を含む積層体であって、第1領域と、前記第2方向において前記第1領域と並ぶ第2領域と、を含む前記積層体と、
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第1メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第2メモリ部と、
を備え、
前記複数の第1メモリ部の1つの前記第2方向における第1中心と、前記複数の第2メモリ部の1つの前記第2方向における第2中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短い、半導体記憶装置。
(構成2)
前記複数の第1メモリ部の数は、3以上100以下である、構成1記載の半導体記憶装置。
(構成3)
前記複数の第1メモリ部の前記1つと、前記複数の第2メモリ部の前記1つと、の間の第2方向に沿う距離は、前記複数の導電層の1つの前記第1方向に沿う厚さの1.2倍以上である、構成1または2に記載の半導体記憶装置。
(構成4)
前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離は、前記厚さの1.2倍よりも短い、構成3記載の半導体記憶装置。
(構成5)
前記複数の第1メモリ部の前記1つと、前記複数の第2メモリ部の前記1つと、の間の第2方向に沿う距離は、前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離よりも長い、構成1または2に記載の半導体記憶装置。
(構成6)
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第3メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第4メモリ部と、
をさらに備え、
前記複数の第3メモリ部の1つの前記第2方向における第3中心と、前記複数の第4メモリ部の1つの前記第2方向における第4中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短い、構成1〜5のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成7)
前記第1中心の前記第2方向における位置は、前記第3中心の前記第2方向における位置と、前記第4中心の前記第2方向における位置と、の間にある、構成6記載の半導体記憶装置。
(構成8)
前記第4中心の前記第2方向における前記位置は、前記第1中心の前記第2方向における前記位置と、前記第2中心の前記第2方向における位置と、の間にある、構成7記載の半導体記憶装置。
(構成9)
前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向における前記第1中心の位置と、前記第3方向における前記第3中心の位置と、の間の前記第3方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも短い、構成6〜8のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成10)
前記第1ピッチをP1とし、
前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向における前記第1中心の位置と、前記第3方向における前記第3中心の位置と、の間の前記第3方向に沿った距離をP2とし、
前記複数の第1メモリ部の前記1つの前記第2方向の長さをDxとし、
b0=[{(P1)/2}2+(P2)2]1/2−Dxとしたとき、
前記b0は、前記複数の導電層の1つの前記第1方向に沿う厚さの1.2倍よりも小さい、構成6〜9のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成11)
前記複数の第1メモリ部の前記1つと、前記複数の第2メモリ部の前記1つと、の間の第2方向に沿う距離と、前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離と、の差をPdとし、
b1=[{(P1+Pd)/2}2+(P2)2]1/2−Dxとしたとき、
前記b1は、前記厚さの1.2倍以上である、構成10記載の半導体記憶装置。
(構成12)
複数の第5メモリ部と、
複数の第6メモリ部と、
をさらに備え、
前記積層体は、第3領域、第4領域及び第5領域をさらに含み、
前記第3領域は、前記第1方向と前記第2方向と交差する第3方向において前記第1領域と並び、
前記第4領域は、前記第2方向において前記第3領域と並び前記第3方向において前記第2領域と並び、
前記第5領域は、前記第1領域と前記第3領域との間、及び、前記第2領域と前記第4領域との間に位置し、
前記複数の第5メモリ部は、前記第3領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並び、
前記複数の第6メモリ部は、前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並び、
前記第5領域は、前記第2方向において連続している、構成1〜11のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成13)
前記第5領域の前記第3方向に沿う幅は、前記複数の第1メモリ部の2つどうしの間の距離よりも大きい、構成12記載の半導体記憶装置。
(構成14)
前記積層体は、第6領域及び第7領域をさらに含み、
前記第6領域と前記第7領域の間に前記第1〜第5領域が位置し、
前記第6領域は、前記第2方向において連続しており、
前記第7領域は、前記第2方向において連続している、構成12または13に記載の半導体記憶装置。
(構成15)
前記複数の導電層の1つは、前記第6領域に含まれる部分と、前記第1領域に含まれる部分と、を含み、
前記第6領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第6領域に含まれる前記部分の体積に対する比は、前記第1領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第1領域に含まれる前記部分の体積に対する比よりも低い、または、
前記第6領域に含まれる前記部分は、ボイドを含まない、構成14記載の半導体記憶装置。
(構成16)
前記複数の導電層の前記1つは、前記第5領域に含まれる部分をさらに含み、
前記第5領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第5領域に含まれる前記部分の体積に対する比は、前記第1領域に含まれる前記部分におけるボイドの前記体積の、前記第1領域に含まれる前記部分の前記体積に対する前記比よりも低い、または、
前記第5領域に含まれる前記部分は、ボイドを含まない、構成15記載の半導体記憶装置。
(構成17)
前記複数の第1メモリ部の前記1つの前記第2方向の長さは、前記第1ピッチの1/2よりも長い、構成1〜16のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成18)
前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離は、前記第1ピッチの1/2よりも短い、構成1〜17のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成19)
前記複数の第1メモリ部の前記1つは、
前記積層体の中を前記第1方向に延びる半導体ボディと、
前記半導体ボディと前記複数の導電層との間に設けられた第1メモリ絶縁膜と、
前記半導体ボディと前記第1メモリ絶縁膜との間に設けられた第2メモリ絶縁膜と、
前記第1メモリ絶縁膜と前記第2メモリ絶縁膜との間に設けられたメモリ膜と、
を含む、構成1〜18のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
(構成20)
基体の面上に、前記面に対して垂直な第1方向に並ぶ複数の第1膜と、前記複数の第1膜の間に設けられた第2膜と、を含む積層膜を形成し、
前記積層膜の第1領域の中を前記第1方向に延び前記第1方向と交差する第2方向に第1ピッチで並ぶ複数の第1メモリ部と、前記積層膜の第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に前記第1ピッチで並ぶ複数の第2メモリ部と、を形成し、前記第2領域は前記第2方向において前記第1領域と並び、前記複数の第1メモリ部の1つの前記第2方向における第1中心と、前記複数の第2メモリ部の1つの前記第2方向における第2中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短く、
前記積層膜に孔を形成し、前記孔を介して前記複数の第1膜を除去し、
前記複数の第1膜が除去されて形成された空間に導電層となる材料を導入する、半導体記憶装置の製造方法。
Claims (8)
- 第1方向に並び前記第1方向と交差する第2方向に延びる複数の導電層を含む積層体であって、第1領域と、前記第2方向において前記第1領域と並ぶ第2領域と、を含む前記積層体と、
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第1メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第2メモリ部と、
を備え、
前記複数の第1メモリ部の1つの前記第2方向における第1中心と、前記複数の第2メモリ部の1つの前記第2方向における第2中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短く、
前記複数の第1メモリ部の前記1つと、前記複数の第2メモリ部の前記1つと、の間の前記第2方向に沿う距離は、前記複数の導電層の1つの前記第1方向に沿う厚さの1.2倍以上である、半導体記憶装置。 - 前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離は、前記厚さの1.2倍よりも短い、請求項1記載の半導体記憶装置。
- 第1方向に並び前記第1方向と交差する第2方向に延びる複数の導電層を含む積層体であって、第1領域と、前記第2方向において前記第1領域と並ぶ第2領域と、を含む前記積層体と、
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第1メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第2メモリ部と、
を備え、
前記複数の第1メモリ部の1つの前記第2方向における第1中心と、前記複数の第2メモリ部の1つの前記第2方向における第2中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短く、
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第3メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第4メモリ部と、
をさらに備え、
前記複数の第3メモリ部の1つの前記第2方向における第3中心と、前記複数の第4メモリ部の1つの前記第2方向における第4中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短く、
前記第1ピッチをP1とし、
前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向における前記第1中心の位置と、前記第3方向における前記第3中心の位置と、の間の前記第3方向に沿った距離をP2とし、
前記複数の第1メモリ部の前記1つの前記第2方向の長さをDxとし、
b0=[{(P1)/2}2+(P2)2]1/2−Dxとしたとき、
前記b0は、前記複数の導電層の1つの前記第1方向に沿う厚さの1.2倍よりも小さく、
前記複数の第1メモリ部の前記1つと、前記複数の第2メモリ部の前記1つと、の間の第2方向に沿う距離と、前記複数の第1メモリ部の2つの間の前記第2方向に沿う最短距離と、の差をPdとし、
b1=[{(P1+Pd)/2}2+(P2)2]1/2−Dxとしたとき、
前記b1は、前記厚さの1.2倍以上である、半導体記憶装置。 - 第1方向に並び前記第1方向と交差する第2方向に延びる複数の導電層を含む積層体であって、第1領域と、前記第2方向において前記第1領域と並ぶ第2領域と、を含む前記積層体と、
前記第1領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って第1ピッチで並ぶ複数の第1メモリ部と、
前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並ぶ複数の第2メモリ部と、
を備え、
前記複数の第1メモリ部の1つの前記第2方向における第1中心と、前記複数の第2メモリ部の1つの前記第2方向における第2中心と、の間の前記第2方向に沿った距離は、前記第1ピッチよりも長く前記第1ピッチの2倍よりも短く、
複数の第5メモリ部と、
複数の第6メモリ部と、
をさらに備え、
前記積層体は、第3領域、第4領域及び第5領域をさらに含み、
前記第3領域は、前記第1方向と前記第2方向と交差する第3方向において前記第1領域と並び、
前記第4領域は、前記第2方向において前記第3領域と並び前記第3方向において前記第2領域と並び、
前記第5領域は、前記第1領域と前記第3領域との間、及び、前記第2領域と前記第4領域との間に位置し、
前記複数の第5メモリ部は、前記第3領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並び、
前記複数の第6メモリ部は、前記第2領域の中を前記第1方向に延び前記第2方向に沿って前記第1ピッチで並び、
前記第5領域は、前記第2方向において連続しており、
前記第5領域の前記第3方向に沿う幅は、前記第1ピッチよりも大きい、半導体記憶装置。 - 前記積層体は、第6領域及び第7領域をさらに含み、
前記第6領域と前記第7領域の間に前記第1〜第5領域が位置し、
前記第6領域は、前記第2方向において連続しており、
前記第7領域は、前記第2方向において連続している、請求項4記載の半導体記憶装置。 - 前記複数の導電層の1つは、前記第6領域に含まれる部分と、前記第1領域に含まれる部分と、を含み、
前記第6領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第6領域に含まれる前記部分の体積に対する比は、前記第1領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第1領域に含まれる前記部分の体積に対する比よりも低い、または、
前記第6領域に含まれる前記部分は、ボイドを含まない、請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記複数の導電層の前記1つは、前記第5領域に含まれる部分をさらに含み、
前記第5領域に含まれる前記部分におけるボイドの体積の、前記第5領域に含まれる前記部分の体積に対する比は、前記第1領域に含まれる前記部分におけるボイドの前記体積の、前記第1領域に含まれる前記部分の前記体積に対する前記比よりも低い、または、
前記第5領域に含まれる前記部分は、ボイドを含まない、請求項6記載の半導体記憶装置。 - 前記複数の第1メモリ部の前記1つは、
前記積層体の中を前記第1方向に延びる半導体ボディと、
前記半導体ボディと前記複数の導電層との間に設けられた第1メモリ絶縁膜と、
前記半導体ボディと前記第1メモリ絶縁膜との間に設けられた第2メモリ絶縁膜と、
前記第1メモリ絶縁膜と前記第2メモリ絶縁膜との間に設けられたメモリ膜と、
を含む、請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016140142A JP6656104B2 (ja) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 半導体記憶装置 |
US15/646,245 US10546868B2 (en) | 2016-07-15 | 2017-07-11 | Semiconductor memory device including an insulating portion adjacent to first and second pluralities of conductive layers |
TW106123577A TWI641110B (zh) | 2016-07-15 | 2017-07-14 | 半導體記憶裝置及其製造方法 |
CN201710573204.8A CN107634063B (zh) | 2016-07-15 | 2017-07-14 | 半导体存储装置及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016140142A JP6656104B2 (ja) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018011012A JP2018011012A (ja) | 2018-01-18 |
JP6656104B2 true JP6656104B2 (ja) | 2020-03-04 |
Family
ID=60940717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016140142A Active JP6656104B2 (ja) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 半導体記憶装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10546868B2 (ja) |
JP (1) | JP6656104B2 (ja) |
CN (1) | CN107634063B (ja) |
TW (1) | TWI641110B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020043211A (ja) | 2018-09-10 | 2020-03-19 | キオクシア株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100707217B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 리세스-타입 제어 게이트 전극을 구비하는 반도체 메모리소자 및 그 제조 방법 |
KR101584113B1 (ko) * | 2009-09-29 | 2016-01-13 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
DE102011084603A1 (de) * | 2010-10-25 | 2012-05-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Dreidimensionales Halbleiterbauelement |
JP2012174872A (ja) | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP5551129B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2014-07-16 | 株式会社東芝 | 記憶装置 |
US8957495B2 (en) * | 2012-02-09 | 2015-02-17 | Micron Technology, Inc. | Memory cell profiles |
JP5903326B2 (ja) | 2012-05-01 | 2016-04-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体記憶装置 |
KR102007274B1 (ko) * | 2013-01-15 | 2019-08-05 | 삼성전자주식회사 | 수직형 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
KR20140113024A (ko) * | 2013-03-15 | 2014-09-24 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 저항 변화 메모리 장치 및 그 구동방법 |
KR102078597B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2020-04-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 |
US9299410B2 (en) * | 2013-09-04 | 2016-03-29 | Shintaro SAKAI | Reading magnetic memory based on regions within a cell array |
CN104659207B (zh) * | 2013-11-19 | 2019-04-26 | 三星电子株式会社 | 存储装置 |
KR20150135804A (ko) * | 2014-05-26 | 2015-12-04 | 삼성전자주식회사 | 가변 저항 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
KR102244219B1 (ko) * | 2014-09-29 | 2021-04-27 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
US20160260815A1 (en) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device and method of manufacturing the same |
US10304849B2 (en) * | 2015-09-10 | 2019-05-28 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
US10103155B2 (en) * | 2016-03-09 | 2018-10-16 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor memory device |
KR102637644B1 (ko) * | 2016-07-14 | 2024-02-19 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치 |
IT201700019392A1 (it) * | 2017-02-21 | 2018-08-21 | Sabrina Barbato | Dispositivo di memoria 3d |
US10256245B2 (en) * | 2017-03-10 | 2019-04-09 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory device with short-free source select gate contact via structure and method of making the same |
-
2016
- 2016-07-15 JP JP2016140142A patent/JP6656104B2/ja active Active
-
2017
- 2017-07-11 US US15/646,245 patent/US10546868B2/en active Active
- 2017-07-14 CN CN201710573204.8A patent/CN107634063B/zh active Active
- 2017-07-14 TW TW106123577A patent/TWI641110B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018011012A (ja) | 2018-01-18 |
US10546868B2 (en) | 2020-01-28 |
TWI641110B (zh) | 2018-11-11 |
CN107634063A (zh) | 2018-01-26 |
US20180019253A1 (en) | 2018-01-18 |
CN107634063B (zh) | 2021-04-30 |
TW201804598A (zh) | 2018-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10109641B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing same | |
JP5351201B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
US11251196B2 (en) | Integrated circuit device and method of fabricating the same | |
US10381368B2 (en) | Semiconductor memory device | |
TWI725346B (zh) | 半導體記憶裝置 | |
US8835990B2 (en) | 3D memory array | |
JP6226788B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP6613177B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP2013131580A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2019050271A (ja) | 記憶装置 | |
JP2018160529A (ja) | 記憶装置 | |
JP6656104B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2018049935A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2020043211A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20180277559A1 (en) | Semiconductor memory device and method for manufacturing same | |
TWI804899B (zh) | 半導體裝置及其製造方法 | |
JP2020043277A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US20170243817A1 (en) | Semiconductor memory device | |
TWI807630B (zh) | 半導體記憶裝置 | |
CN107293551B (zh) | 半导体结构与其制造方法 | |
JP2022030876A (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170620 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20180905 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190919 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6656104 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |