JP6564528B2 - 磁気イメージセンサー - Google Patents
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Description
(1)配置抵抗基板20上に印刷導体ペースト(本願の実施例において金導体ペーストを使用する)を印刷し、高温で焼結して、導体金の成分を還元し、
(2)テンプレートエッチングによって、共通電極21と個別電極22を形成し、
(3)予定の位置(所定の位置)に抵抗ペーストを印刷し、高温で焼結して抵抗22を形成し、
(4)必要な領域にガラスペーストを印刷し、高温で焼結して抵抗と電極の保護層を形成する。
VREF0=[Rm/(Rm+Rt)]*VDD (1)
であって、VREF0は磁場がない場合の各磁気センシング抵抗の電位(即ち、各画素の基準電位)で、外部磁場がある場合、Rmは外部磁場の変化に伴って抵抗値が変化して、電圧信号の変化Vsigが発生され、当該電圧信号はVREF0上に重ね合わされ、走査中に、駆動回路3が二つの抵抗間から収集した信号は当該二つの電圧の重畳信号で、即ち、駆動回路3が出力するシリアル信号SIGはVREF0+Vsigである。
Vout=[(VREF0−VREF)+Vsig]*N (2)
であって、Vsigが正であることがあれば負であることもあるので、出力信号が負値にならないように、通常、VREF0−VREFの差はVsigの最大絶対値より大きい。
VREF0 = VDD/2 (3)
であることが分かり、つまり、Rmの元の抵抗値がどのレベルであっても、抵抗修正によってRtの抵抗値を合致するように調節すると、全ての画素の信号の基準電位は完全に一致し、且つ電源電圧の半分になる。
k=0.5である場合、VREF0=(2/3)*VDDで、
k=2である場合、VREF0=(1/3)*VDDである。
Claims (8)
- 磁気イメージセンサーであって、
走査方向に沿って配列され、検出対象範囲内の磁気信号変化を検出するための磁気センシング抵抗(1)と、
前記磁気センシング抵抗(1)に接続され、抵抗値を調節可能な抵抗である配置抵抗(2)と、
前記磁気センシング抵抗(1)に接続され、前記磁気センシング抵抗(1)が検出した信号の出力制御を行う駆動回路(3)と、を含み、
前記配置抵抗(2)が前記磁気センシング抵抗(1)に一対一対応して接続され、
前記配置抵抗(2)の抵抗値が、対応する前記磁気センシング抵抗(1)の抵抗値に一致するように調節され、
前記磁気イメージセンサーはさらに磁鉄(5)を含み、該磁鉄(5)は前記磁気イメージセンサーの内部に設けられ、SとNが前記磁鉄(5)の両極であって、縦方向の磁場を発生する磁鉄であって、走査方向に沿って配列され、前記磁気センシング抵抗(1)の下方に設けられ、前記磁鉄(5)の中央線が前記磁気センシング抵抗(1)に対応し、
前記磁気イメージセンサーには保護層(32)が設けられ、接続配線(31)によって電気的接続を完成した後、前記保護層(32)を形成して、前記磁気センシング抵抗(1)、前記駆動回路(3)及び前記接続配線(31)を保護する磁気イメージセンサー。 - 前記配置抵抗(2)が、厚膜印刷工程によって製造された抵抗である請求項1に記載の磁気イメージセンサー。
- 前記配置抵抗(2)が設けられる配置抵抗基板(20)と、
前記磁気センシング抵抗(1)と前記駆動回路(3)が設けられる装着基板(30)と、
前記配置抵抗基板(20)と前記装着基板(30)が設けられる接続基板(10)と、をさらに含む請求項1に記載の磁気イメージセンサー。 - 前記配置抵抗基板(20)はセラミック材料からなる基板で、前記配置抵抗(2)上に保護膜(23)が設けられる請求項3に記載の磁気イメージセンサー。
- 前記装着基板(30)上に接続パッド(301)が設けられ、
前記配置抵抗(2)が、
共通電極(21)と、
接続配線(31)によって前記接続パッド(301)上で前記磁気センシング抵抗(1)に一対一対応して接続される個別電極(22)と、を含む請求項3に記載の磁気イメージセンサー。 - 前記配置抵抗(2)は複数の配置抵抗(2)であって、
前記共通電極(21)は複数の共通電極(21)であって、前記複数の共通電極(21)中の各共通電極(21)を前記複数の配置抵抗(2)中の二つの配置抵抗(2)が共有し、
又は、
前記複数の配置抵抗(2)において隣接する二つの配置抵抗(2)間に独立電極(24)が設けられ、各配置抵抗にいずれも単独の共通電極ブランチ(21a)が設けられる請求項5に記載の磁気イメージセンサー。 - 前記磁気センシング抵抗(1)は、半導体ウェーハ上に真空コーティングして製造されたトンネル構造の磁気抵抗体(100)であって、前記磁気抵抗体(100)の両端に前記両端を接続するための第1パッド(101)と第2パッド(102)が設けられる請求項1に記載の磁気イメージセンサー。
- 前記駆動回路(3)が、
シフトレジスタ回路(3a)と、
オンされて前記磁気センシング抵抗(1)が検出した信号を受信するためのスイッチ回路(3b)と、を含み、
前記磁気イメージセンサーが、
前記駆動回路(3)から出力されたシリアルSIG信号を受信して、前記シリアルSIG信号に増幅処理を行う信号増幅回路(4)をさらに含む請求項1に記載の磁気イメージセンサー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201511019323.6 | 2015-12-29 | ||
CN201511019323.6A CN105701904B (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 磁图像传感器 |
PCT/CN2016/111769 WO2017114314A1 (zh) | 2015-12-29 | 2016-12-23 | 磁图像传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018535391A JP2018535391A (ja) | 2018-11-29 |
JP6564528B2 true JP6564528B2 (ja) | 2019-08-21 |
Family
ID=56226031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018512211A Active JP6564528B2 (ja) | 2015-12-29 | 2016-12-23 | 磁気イメージセンサー |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10690733B2 (ja) |
EP (1) | EP3399504B1 (ja) |
JP (1) | JP6564528B2 (ja) |
CN (1) | CN105701904B (ja) |
WO (1) | WO2017114314A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105701904B (zh) | 2015-12-29 | 2018-03-30 | 威海华菱光电股份有限公司 | 磁图像传感器 |
CN106197248B (zh) * | 2016-07-21 | 2018-05-29 | 威海华菱光电股份有限公司 | 膜厚的检测装置 |
CN108182754A (zh) * | 2016-12-08 | 2018-06-19 | 株式会社村田制作所 | 磁检测装置 |
CN107123185A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-09-01 | 深圳怡化电脑股份有限公司 | 一种有价文件磁性字符的识别装置及方法 |
US20200300935A1 (en) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | Lexmark International, Inc. | Hall Effect Prism Sensor |
GB2615816A (en) * | 2022-02-21 | 2023-08-23 | The Governor & Company Of The Bank Of England | Document recognition device |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN104105977B (zh) | 2012-02-13 | 2017-09-26 | 株式会社村田制作所 | 磁传感装置 |
CN104797952B (zh) * | 2012-11-15 | 2017-04-19 | 三菱电机株式会社 | 磁性传感器装置 |
JP5611409B1 (ja) | 2013-04-26 | 2014-10-22 | 三菱電機株式会社 | Tmr磁気センサデバイスの製造方法 |
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CN104301851B (zh) * | 2014-07-14 | 2018-01-26 | 江苏多维科技有限公司 | Tmr近场磁通信系统 |
CN205302449U (zh) * | 2015-12-29 | 2016-06-08 | 威海华菱光电股份有限公司 | 磁图像传感器 |
CN105701904B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-03-30 | 威海华菱光电股份有限公司 | 磁图像传感器 |
-
2015
- 2015-12-29 CN CN201511019323.6A patent/CN105701904B/zh active Active
-
2016
- 2016-12-23 EP EP16881103.2A patent/EP3399504B1/en active Active
- 2016-12-23 US US15/745,439 patent/US10690733B2/en active Active
- 2016-12-23 WO PCT/CN2016/111769 patent/WO2017114314A1/zh active Application Filing
- 2016-12-23 JP JP2018512211A patent/JP6564528B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10690733B2 (en) | 2020-06-23 |
US20180306875A1 (en) | 2018-10-25 |
CN105701904B (zh) | 2018-03-30 |
EP3399504B1 (en) | 2023-03-29 |
EP3399504A1 (en) | 2018-11-07 |
WO2017114314A1 (zh) | 2017-07-06 |
EP3399504A4 (en) | 2019-08-07 |
CN105701904A (zh) | 2016-06-22 |
JP2018535391A (ja) | 2018-11-29 |
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