JP6441673B2 - ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体 - Google Patents

ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体 Download PDF

Info

Publication number
JP6441673B2
JP6441673B2 JP2014502356A JP2014502356A JP6441673B2 JP 6441673 B2 JP6441673 B2 JP 6441673B2 JP 2014502356 A JP2014502356 A JP 2014502356A JP 2014502356 A JP2014502356 A JP 2014502356A JP 6441673 B2 JP6441673 B2 JP 6441673B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon black
group
acid
dye
dispersion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014502356A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2013129555A1 (ja
Inventor
浩幸 井戸川
浩幸 井戸川
学 東
学 東
祥人 中島
祥人 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Chemical Industry Co Ltd
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Original Assignee
Daido Chemical Industry Co Ltd
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Chemical Industry Co Ltd, Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd filed Critical Daido Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP2014502356A priority Critical patent/JP6441673B2/ja
Publication of JPWO2013129555A1 publication Critical patent/JPWO2013129555A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6441673B2 publication Critical patent/JP6441673B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512Light shielding layers, e.g. black matrix
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F8/00Chemical modification by after-treatment
    • C08F8/46Reaction with unsaturated dicarboxylic acids or anhydrides thereof, e.g. maleinisation
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/105Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/22Absorbing filters
    • G02B5/223Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Pigments, Carbon Blacks, Or Wood Stains (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Description

本発明はカラーフィルターのブラックマトリックス用レジスト組成物に利用するカーボンブラック分散体に関する。詳しくは、カラーフィルターのブラックマトリックスにおいて、高遮光かつ高抵抗で密着性に優れた細線パターンを形成することができるカーボンブラック分散体に関するものである。
近年、液晶テレビ、液晶モニター、カラー液晶携帯電話等あらゆる分野でカラー液晶表示装置が用いられるようになってきた。カラーフィルターはカラー液晶表示装置の視認性を左右する重要な部材の一つであり、視認性を向上させより鮮明な画像を得るために、ブラックマトリックスの更なる高遮光化が要求されており、感光性樹脂組成物にカーボンブラック等の顔料を従来よりも多量に添加しなければならなくなってきている。
しかし、顔料の含有量が増加すると、カラーフィルター形成時、特にブラックレジスト膜では紫外線領域の光が塗膜深部にまで届きにくくなり、光硬化性組成物中の硬化不良によってパターンの密着不良や現像時のパターン剥がれ、エッジ形状のシャープ性損失が生じるという問題が発生する。そこで、高濃度の顔料が含まれる場合でも硬化不良が生じないように、高感度の光重合開始剤や重合度の高いアクリルモノマーが用いられるようになってきたが、現在の技術では光重合開始剤やアクリルモノマーについて高感度化が限界に来ているのが現状であり、高濃度顔料領域において良好なパターン形成をおこなうための十分な感度や密着性及び保存安定性が得られないという問題があった。
また、顔料としてカーボンブラックを利用した場合、カーボンブラックは導電性を有するため、遮光性を上げるために樹脂中のカーボンブラック濃度を高くすると得られるブラックマトリックスの抵抗値が低下し、カラーフィルター上の透明電極とブラックマトリックスの間や対向電極間で導通して画像不良を引き起こし易くなるという問題があった。
そこで、先に本発明者らは、顔料分散の際に使用するアルカリ可溶性樹脂として特定のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物を利用し、それらを分散剤とともに共分散させたカーボンブラック顔料分散体を使用したカラーフィルター用レジスト組成物を提案した(特許文献1参照)。かかるレジスト組成物によれば、高遮光を達成する高濃度の顔料を含む領域において、高感度で高い密着性能を有し、かつ優れた保存安定性を達成することができるようになった。
特開2008−9401号公報
しかしながら、上記レジスト組成物によっても、細線パターンにおいて高遮光と高抵抗を両立することは未だ困難であり、例えば遮光性改善のためにカーボンブラックを多量に添加した場合に、10μm以下の細線パターンの密着性が十分に得られないことや、抵抗が要求レベルに達しないことが課題として残されていた。
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、上記レジスト組成物において、高遮光、高抵抗を維持しつつ、更に高感度で高い密着性能と保存安定性を達成することができるカーボンブラック分散体を提供することにある。
本発明の上記目的は、下記の手段によって達成される。
(1)すなわち、本発明は、カーボンブラックと光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂とを溶剤に分散させてなるブラックマトリックス用カーボンブラック分散体であって、前記カーボンブラックは、表面が染料で被覆されてなる染料被覆カーボンブラックを含み、前記光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂は、ビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、(a)ジカルボン酸又はその酸一無水物と(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを、(a)と(b)のモル比が1:10〜10:1となるよう反応させて得られる下記一般式(I)
Figure 0006441673
(式中、R、R、R及びRは、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Aは、−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は直結合を表し、Xは4価のカルボン酸残基を表し、Y及びYは、それぞれ独立して水素原子又は−OC−Z−(COOH)m(但し、Zは2価又は3価カルボン酸残基を表し、mは1〜2の数を表す)を表し、nは1〜20の整数を表す)で示されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物を含む、ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(2)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料の含有率が、0.5〜10質量%である、(1)に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(3)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が陰イオン性又は非イオン性の染料である、(1)又は(2)に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(4)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が濃色系の染料である、(1)乃至(3)の何れか1つに記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(5)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が金属又は金属塩によりレーキ化されている、(1)乃至(4)の何れか1つに記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(6)本発明はまた、前記金属又は金属塩は、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム若しくはマンガン又はこれらの塩である、(5)に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(7)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックは、表面に少なくとも1種類の酸性官能基を有するカーボンブラックを用いて得られたものである、(1)乃至(6)の何れか1つに記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(8)本発明はまた、前記酸性官能基は、水酸基、オキソ基、ヒドロペルオキシ基、カルボニル基、カルボキシル基、ペルオキシカルボン酸基、アルデヒド基、ケトン基、ニトロ基、ニトロソ基、アミド基、イミド基、スルホン酸基、スルフィン酸基、スルフェン酸基、チオカルボン酸基、クロロシル基、クロリル基、ペルクロリル基、ヨードシル基又はヨージル基である、(7)に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(9)本発明はまた、前記染料被覆カーボンブラックの配合量が、15〜35質量%である、(1)乃至(8)の何れか1つに記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
(10)本発明はまた、前記エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物の配合量が、2〜20質量%である、(1)乃至(9)の何れか1つに記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体である。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、表面が染料で被覆されてなる染料被覆カーボンブラックと、特定のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物とを含んでなるので、ブラックマトリックス用レジスト組成物に用いた場合、現像特性及び基板密着性の優れた細線パターン形成が可能となり、これをカラーフィルターに適用すると、高遮光かつ高抵抗で信頼性の高いブラックマトリックスを作成することができる。
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、カーボンブラックと光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂とを溶剤に分散させてなるものである。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体で利用されるカーボンブラックは、表面が染料で被覆されてなる染料被覆カーボンブラックを含む。
本発明の染料被覆カーボンブラックに利用される原料カーボンブラックの種類は特に限定されるものではなく、ランプブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、チャンネルブラック、ファーネスブラック等の既知のカーボンブラックを利用することができる。
また、原料カーボンブラックは、平均一次粒子径が5〜60nmのものが好ましく、10〜50nmのものがより好ましく、20〜45nmのものが特に好ましい。ここで、平均一次粒子径とは、カーボンブラック一次粒子1500個を電子顕微鏡で観察して求めた一次粒子径の相加平均値をいう。原料カーボンブラックの平均一次粒子径が上記下限未満では、凝集を起こしやすくミルベースの安定性が悪くなり高濃度での分散が困難になる一方、上記上限を超えると、ブラックマトリックスが形状不良を生じやすくなり表面粗さも悪くなるので、何れも好ましくない。
また、原料カーボンブラックは、DBP吸油量が100ml/100g以下のものが好ましい。ここで、DBP吸油量とは、カーボンブラック100gが吸収するフタル酸ジブチル(DBP)の容量をいう(JIS6217)。原料カーボンブラックのDBP吸油量が上記上限を超えると、抵抗値が低下し、また、粘度が高くなるので塗布性が悪くなり、黒色度が低下したりするので好ましくない。
さらに、原料カーボンブラックは、pH値が2〜10のものが好ましく、5〜9のものがより好ましく、4〜8のものが特に好ましい。ここで、pH値とは、カーボンブラックと蒸留水の混合液をガラス電極pH計で測定した値をいう(JIS6221)。原料カーボンブラックのpHが上記下限未満では全体のバランスが崩れ安定性が悪くなり、上記上限を超えると膜剥がれが生じやすくなるので何れも好ましくない。
さらに、原料カーボンブラックは、灰分が1.0%以下、比表面積が20〜300m/gのものが好適に利用される。灰分が上記上限を超えると抵抗値が低下するので好ましくなく、また、比表面積が、上記下限を下回るとブラックマトリックスの形状不良が生じやすくなり、上記上限を超えると分散剤、樹脂、染料等を多量に必要とするため、何れも好ましくない。
また、原料カーボンブラックは、事前に酸化処理が施されて表面に少なくとも1種類の酸性官能基を有していることが好ましく、複数種類の酸化処理が施されて表面に2種類以上の酸性官能基を有していることがより好ましい。事前に酸化処理が施されていないものは表面に酸性官能基を有しないか酸性官能基の数が不十分であるため、得られるブラックマトリックス用カーボンブラックの分散性が十分に確保できず抵抗値が低下してブラックマトリックスの絶縁性が不十分となり、カラーフィルター上の透明電極とブラックマトリックスの間や対向電極間で導通して画像不良を引き起こし易くなるので好ましくない。かかる酸化処理としては、オゾンガス、硝酸、次亜塩素酸ナトリウム、過酸化水素、一酸化窒素ガス、二酸化窒素ガス、無水硫酸、フッ素ガス、濃硫酸、硝酸、各種過酸化物等を用いる方法が挙げられ、前記酸性官能基としては、水酸基、オキソ基、ヒドロペルオキシ基、カルボニル基、カルボキシル基、ペルオキシカルボン酸基、アルデヒド基、ケトン基、ニトロ基、ニトロソ基、アミド基、イミド基、スルホン酸基、スルフィン酸基、スルフェン酸基、チオカルボン酸基、クロロシル基、クロリル基、ペルクロリル基、ヨードシル基、ヨージル基等が挙げられる。
本発明の染料被覆カーボンブラックに利用される染料としては、カーボンブラックの表面に吸着可能なものであれば特に限定されるものではなく、既知の塩基性染料、酸性染料、直接染料、反応性染料等を利用することができるが、スルホン基やカルボキシル基がカーボンブラック上の官能基と相互作用すること、アミノ基とアルカリ可溶性樹脂が反応してしまうこと、硫酸バンド等で不溶化できること等から、陰イオン性又は非イオン性の染料がより好適に利用できる。また、得られるブラックマトリックスの遮光性をより高いものにするため光吸収性の高い黒色に近い濃色系の染料を用いることが好ましい。このような染料の具体例としては、Food Black No.1、Food Black No.2、Food Red No.40、Food Blue No.1、Food Yellow No.7等の食用色素染料、Bernacid Red 2BMN、Basacid Black X34(BASF X-34)(BASF社製)、Kayanol Red 3BL(Nippon Kayaku Company社製)、Dermacarbon 2GT(Sandoz社製)、Telon Fast Yellow 4GL-175、BASF Basacid Black SE 0228、Basacid Black X34(BASF X-34)(BASF社製)、Basacid Blue 750(BASF社製)、Bernacid Red(Bemcolors, Poughkeepsie, N. Y. 社製)、BASF Basacid Black SE 0228(BASF社製)等の各色の酸性染料、Pontamine Brilliant Bond Blue A及びその他のPontamine Brilliant Bond Blue A及びその他のPontamine(登録商標)染料(Bayer Chemicals Corporation、Pittsburgh,PA社製)、Cartasol Yellow GTF Presscake(Sandoz, Inc社製);Cartasol Yellow GTF Liquid Special 110(Sandoz, Inc. 社製);Yellow Shade 16948(Tricon社製)、Direct Brilliant Pink B(Crompton & Knowles社製)、Carta Black 2GT(Sandoz, Inc. 社製)、Sirius Supra Yellow GD 167、Cartasol Brilliant Yellow 4GF(Sandoz社製);、Pergasol Yellow CGP(Ciba-Geigy社製)、Pyrazol Black BG(JCI社製)、Diazol Black RN Quad(JCJ社製)、Pontamine Brilliant Bond Blue; Berncolor A. Y. 34等の各色の直接染料、Cibacron Brilliant Red 3B-A(Reactive Red 4)(Aldrich Chemical、Milwaukee, WI社製)、Drimarene Brilliant Red X-2B(Reactive Red 56)(Pylam Products, Inc. Tempe, AZ社製)、Levafix Brilliant Red E-4B,Levafix Brilliant Red F-6BA,及び類似のLevafix(登録商標)dyes Dystar L. P.(Charlotte, NC社製)製の染料、Procion Red H8B(Reactive Red 31)(JCI America社製)、等の各色の反応性染料、Neozapon Red 492(BASF社製)、Orasol Red G(Ciba-Geigy社製)、Aizen Spilon RedC-BH(Hodogaya Chemical Company社製)、Spirit Fast Yellow 3G、Aizen Spilon Yellow C-GNH(Hodogaya Chemical Company社製)、Orasol Black RL(Ciba-Geigy社製)、Orasol Black RLP(Ciba-Geigy社製)、Savinyl Black RLS(Sandoz社製)、Orasol Blue GN (Ciba-Geigy社製)、Luxol BlueMBSN (Morton-Thiokol社製)、Morfast Black Concentrate A(Morton-Thiokol社製)等の油溶性染料等が挙げられる。これらは単独で利用されてもよいし又は2種以上を組み合わせて利用されてもよい。
また、本発明で利用される染料被覆カーボンブラックにおける染料の含有量は、0.5〜10質量%が好ましく、1〜7質量%がより好ましく、1〜5質量%が特に好ましい。染料の含有量が上記下限未満では被覆が不十分となり高い抵抗値が得られず、上記上限を超えると被覆されなかった余剰の染料が分散性を阻害し増粘・凝集を起こし易くなるので、何れも好ましくない。
さらに、本発明で利用される染料被覆カーボンブラックは、金属又は金属塩により前記染料がレーキ化されていることが好ましい。かかるレーキ化により、染料が金属又は金属塩を介してカーボンブラックの表面や前記酸性官能基に固定され、染料がカーボンブラックの表面から離脱し難くなるので、染料が溶出し難くなり高い遮蔽性を維持することができる。かかるレーキ化に利用される金属又は金属塩としては、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム若しくはマンガン又はこれらの塩酸塩、硫酸塩等が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。レーキ化に利用される金属又は金属塩の添加量は、染料に対して0.3倍モル以上が好ましく、0.5倍モル以上がより好ましく、0.8倍モル以上が特に好ましい。金属又は金属塩の添加量が上記未満では、染料の固定が不十分となりカーボンブラック表面から離脱し易くなり、ミルベースの安定性が悪く抵抗値も低下するので好ましくない。
なお、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、前記染料被覆カーボンブラック以外に、通常の又は所定の処理を施したカーボンブラックを含むものであっても構わない。
次に、本発明で利用される染料被覆カーボンブラックの製造方法について説明する。まず、原料のカーボンブラックを水(電気伝導度が一定となるよう水道水にイオン交換水を適宜混合して調製したもの、以下同じ)と混合してスラリーとし、所定時間加熱撹拌してカーボンブラックを洗浄処理し、冷却後再度水洗する。次に、得られたカーボンブラックに水を加えて再びスラリーとし、上述した酸化剤を添加して所定温度で所定時間撹拌してカーボンブラックの表面を酸化処理し、水洗する。酸化処理は、必要により複数回、酸化剤の種類を変えて行う。次いで、得られた酸化処理済のカーボンブラックを水と混合して再びスラリーとし、目的の染料被覆カーボンブラックに対して前記所定含有量となるよう染料を添加し、40〜90℃で1〜5時間撹拌して、カーボンブラックの表面に染料を吸着して被覆させる。更に、添加した染料と等モルの上述した金属又は金属塩を添加し、30〜70℃で1〜5時間撹拌して、染料を金属又は金属塩でレーキ化してカーボンブラックの表面に染料を固定させる。そして、これを冷却後水洗し、ろ過乾燥することにより、目的の染料被覆カーボンブラックを得ることができる。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体で利用される光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂は、下記一般式(I)
Figure 0006441673
(式中、R、R、R及びRは、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Aは、−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は直結合を表し、Xは4価のカルボン酸残基を表し、Y及びYは、それぞれ独立して水素原子又は−OC−Z−(COOH)(但し、Zは2価又は3価カルボン酸残基を表し、mは1〜2の数を表す)を表し、nは1〜20の整数を表す)で示されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物を含むことを特徴とする。
本発明で利用されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)は、ビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物とテトラカルボン酸又はその酸二無水物とを反応させて得られる。
本発明のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)を与えるビスフェノール類としては、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)プロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)エーテル、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン、4,4'−ビフェノール、3,3'−ビフェノール等およびこれらの誘導体が挙げられる。これらの中では、上記一般式(I)において、Aが9,9−フルオレニル基を有するものが特に好適に利用される。
本発明のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)を得る次のステップは、上記ビスフェノール類とエピクロルヒドリンを反応させて2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物を得るものである。この反応の際には、一般にジグリシジルエーテル化合物のオリゴマー化を伴うため、下記一般式(II)
Figure 0006441673
の化合物を得ることになる。ここで、一般式(II)の式中のR、R、R、R及びAは一般式(I)と同義であり、lは0〜10の整数である。好ましいR、R、R及びRは水素原子であり、好ましいAは9,9−フルオレニル基である。また、lは通常複数の値が混在するため平均値0〜10(整数とは限らない)となるが、好ましいlの平均値は0〜3である。lの値が上限値を超えると、一般式(I)の化合物として樹脂組成物としたとき組成物の粘度が大きくなりすぎて塗工がうまく行かなくなったり、アルカリ可溶性が十分に付与できずアルカリ現像性が非常に悪くなったりする。
次に、一般式(II)の化合物に(メタ)アクリル酸(アクリル酸若しくはメタクリル酸又はこれらの両方)を反応させ、得られたヒドロキシ基を有する反応物に、多塩基酸であるジカルボン酸類又はトリカルボン酸とテトラカルボン酸類の少なくとも各1種類を反応させてエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物を得る。上記エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)は、エチレン性不飽和二重結合とカルボキシル基とを併せ持つため、アルカリ現像型感光性樹脂組成物に優れた光硬化性、良現像性、パターニング特性を与え、良好なブラックマトリックスが得られるものである。
本発明のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)に利用されるジカルボン酸類としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸又はその酸無水物や脂環式ジカルボン酸又はその酸無水物、芳香族ジカルボン酸やその酸無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。また、脂環式ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ヘキサヒドロフタル酸、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ノルボルナンジカルボン酸等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。更に、芳香族ジカルボン酸やその酸無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。また、ジカルボン酸類の代わりに、トリカルボン酸類又はその酸一無水物を使用してもよく、係る具体例としては、例えばトリメリット酸又はその酸一無水物を挙げることができる。
また、本発明のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)に利用されるテトラカルボン酸類としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物や脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物、又は、芳香族多価カルボン酸又はその酸二無水物が使用される。ここで、鎖式テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等があり、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸二無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸ノルボルナンテトラカルボン酸等があり、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸二無水物でもよい。更に、芳香族テトラカルボン酸やその酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸二無水物が挙げられ、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸二無水物でもよい。
本発明のエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)に利用される(a)ジカルボン酸類と(b)テトラカルボン酸類との使用割合は、(a)と(b)のモル比が1:10〜10:1、好ましくは1:5〜1:1となる範囲である。エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)におけるジカルボン酸類とテトラカルボン酸類との使用割合が上記範囲を逸脱すると最適分子量が得られず、アルカリ現像性、光透過性、耐熱性、耐溶剤性、パターン形状等が劣化するので好ましくない。なお、テトラカルボン酸類の使用割合が大きいほどアルカリ溶解性が大となり、分子量が大となる傾向がある。
また、本発明で利用されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)は、重量平均分子量(Mw)が2000〜10,000の間であることが好ましく、3000〜7000の間であることが特に好ましい。重量平均分子量(Mw)が2000に満たないと現像時のパターンの密着性が維持できず、パターン剥がれが生じ、また、重量平均分子量(Mw)が10,000を超えるとガラス基板への密着性が高くなりすぎてしまい、残渣やパターン部の残膜が残り易くなる。更に、エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)は、その酸価が30〜200KOHmg/gの範囲にあることが望ましい。この値が、30KOHmg/g未満ではアルカリ現像がうまくできないか強アルカリ等の特殊な現像条件が必要となり、200KOHmg/gを超えるとアルカリ現像液の浸透が早くなり剥離現像が起きるので、何れも好ましくない。
本発明で利用されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)は、上述の工程により、既知の方法、例えば、特許文献1に記載の方法で製造することができる。先ず、一般式(II)のエポキシ化合物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させる方法としては、例えば、エポキシ化合物のエポキシ基と当モルの不飽和基含有モノカルボン酸を溶剤中に添加し、触媒(トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、2,6−ジイソブチルフェノール等)の存在下、空気を吹き込みながら90〜120℃に加熱・攪拌して反応させるという方法がある。次に、反応生成物であるエポキシアクリレート化合物の水酸基に酸無水物を反応させる方法としては、エポキシアクリレート化合物と酸二無水物および酸一無水物の所定量を溶剤中に添加し、触媒(臭化テトラエチルアンモニウム、トリフェニルホスフィン等)の存在下、90〜130℃で加熱・攪拌して反応させるという方法がある。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体における上記染料被覆カーボンブラックの配合量は、15〜35質量%、好ましくは20〜30質量%である。染料被覆カーボンブラックの配合量が上記下限未満では、遮光性が十分でなくなり、望ましいコントラストを得るためには膜厚を厚くしなければならなくなり、ブラックマトリックスの面平滑性が得にくい。また、染料被覆カーボンブラックの配合量が上記上限を超えると、カーボンブラック分散体の分散安定性が低下し、また、本来のバインダーとなる感光性樹脂の含有量も減少するため、良好な現像特性が得られなくなるので何れも好ましくない。
また、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体における上記エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物の配合量は、2〜20質量%、好ましくは5〜15質量%である。エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物の配合量が上記下限未満では、ミルベースの安定性が悪くなり抵抗値が低下するので好ましくなく、上記上限を超えると、ミルベースの粘度が高くなり塗布性が悪く平滑性が低下するので好ましくない。
さらに、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体には、必要により、染料被覆カーボンブラック以外のカーボンブラックや酸化クロム、酸化鉄、チタンブラック、アニリンブラック、シアニンブラック等の遮光材、ペリレンブラック、シアニンブラック等の黒色有機顔料や2種以上の顔料を混合して擬似黒色化した混色有機顔料等の着色材、エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)以外の光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂、1級、2級又は3級アミノ基、ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環等の塩基性官能基を有する高分子分散剤等の分散剤が添加されてもよい。
また、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体に用いられる溶剤としては、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類、α−又はβ−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類等の単一又は混合溶媒が挙げられる。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(I)及び必要により加えられる他の成分を最適な量の溶媒に添加して混合・溶解した後、染料被覆カーボンブラックを添加し、ガラスビーズ、ジルコニアビーズ等のメディアを加えた後、ペイントコンディショナー、サンドグランダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー、超音波等を単独又は複数組み合わせて分散処理することにより得られる。この分散処理によって、顔料成分が微粒子化及び分散安定化されるため、レジスト組成物の塗布特性の向上が図れ、ブラックマトリックスの遮光能力向上及びカーボンブラックのような導電性を有する遮光材を用いる場合の高抵抗化に有利である。
分散後の2次粒子径としては、カーボンブラックの分散粒径が50〜200nm、好ましくは80〜150nmとなるように調製するのが好ましい。ここでの分散粒径は、例えば公知のレーザードップラー式の粒度測定器で求めた平均の粒子径である。また分散液の粘度は、公知のコーンプレート型粘度計より求めたとき、分散液の液温25℃で3.0〜100.0mPa・s、好ましくは3.0〜20.0mPa・sに調製するのが好ましい。
本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、公知の光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤及び溶剤等、並びに必要に応じて硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、充填材、レベリング剤、消泡剤、分散剤用とは別の界面活性剤等の添加剤を配合して、カラーフィルターのブラックマトリックス用等のレジスト組成物として利用することができる。
次に、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体を、実施例を示して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
[参考例1]
染料被覆カーボンブラックの調製(1)
カーボンブラック(TPX-1099:cabot社製)1000gを水と混合してスラリー10Lを調製し、95℃で1時間撹拌させ放冷した後水洗した。これを再び水と混合処理してスラリー10Lを調製し、70%の硝酸42.9gを添加して40℃で4時間撹拌した。これを放冷して水洗した後再び水と混合してスラリー10Lを調製し、13%の次亜塩素酸ナトリウム水溶液769.2gを添加して40℃で6時間撹拌した。これを放冷して水洗した後再び水と混合してスラリー10Lを調製し、純度38.4%の染料(Direct Deep BLACK)38.1gを添加して40℃で1時間撹拌し、その後更に硫酸アルミニウム10.1gを添加して40℃で1時間撹拌した。これを放冷した後水洗し、ろ過乾燥させて、染料被覆カーボンブラックを得た。
カルボキシル基量の測定
得られた染料被覆カーボンブラックの酸性官能基量(カルボキシル基量)を、特開2000−248197号公報に記載の方法に従って、以下のとおり測定した。
染料被覆カーボンブラック10gを秤量し、0.1規定の炭酸水素ナトリウム水溶液50ml中で1時間振盪して反応させた後濾過し、濾液の上澄み液20mlを採取して0.01規定の塩酸水溶液で滴定した。カルボキシル基量は、カーボンブラック1g中のミリモル量(mmol/g)として下式に従って求めた。
カルボキシル基量=(50/20×0.01×(滴定量−空滴定量))/カーボンブラック試料質量
得られた染料被覆カーボンブラックのカルボキシル基量は、53.9mmol/gであった。
[参考例2]
染料未被覆カーボンブラックの調製
染料被覆及び硫酸アルミニウムによるレーキ処理を施さなかった以外は参考例1とほぼ同様に処理して、染料未被覆カーボンブラックを得た。
[参考例3]
樹脂被覆カーボンブラックの調製
ポリ塩化ビニル(日産化学(株)製ニッサンビニルE−430)にシクロヘキサノンを添加し、約90℃に加熱して溶解させ、ポリ塩化ビニルを10質量%含有したシクロヘキサノン溶液を調製した。一方、カーボンブラック(ファーネスブラック、三菱化学(株)製#3050)と水とを混合して強力に撹拌し、カーボンブラックを6質量%含有した均一な懸濁液を調製した。次に、前記シクロヘキサノン溶液に懸濁液を撹拌しながら添加し、水相のカーボンブラックを溶剤相に移行させた。次いで、カーボンブラックと分離した水を、デカンテーションによって除去したのち、80〜120℃に加熱した2本のロールを有するロールミルで約5分間混練して樹脂組成物を得た。次に、樹脂組成物を加熱ロールによりシート状に切出し、これを常温の2本のロールを有するロールミルに通し、約30mm以下の大きさにまで粉砕したのち、水中に移し、約3000rpmの速度で約3分間撹拌して粒子径が0.1〜3mmの粒状物となるように粉砕整粒し、整粒物を得た。この整粒物を80〜150℃で乾燥し、樹脂被覆カーボンブラックを得た。
本発明のカーボンブラック分散体の調製
参考例1で得られた染料被覆カーボンブラック600gと、ウレタン系分散剤のBYK−167(ビックケミー・ジャパン社製)93.2gと、フルオレン骨格を有するエポキシアクリレート酸付加物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度=56.5質量%、新日鐵化学社製「V259ME」)378gと溶剤プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1328.8gとをビーズミルで分散して本発明のカーボンブラック分散体を得た。
[比較例1]
比較用カーボンブラック分散体1(染料未被覆カーボンブラック使用)の調製
染料被覆カーボンブラックに替えて参考例2で得られた染料未被覆カーボンブラックを用いた以外は実施例1とほぼ同様に処理して、比較用カーボンブラック分散体1を得た。
[比較例2]
比較用カーボンブラック分散体2(樹脂被覆カーボンブラック使用)の調製
染料被覆カーボンブラックに替えて参考例3で得られた樹脂被覆カーボンブラックを用いた以外は実施例1とほぼ同様に処理して、比較用カーボンブラック分散体2を得た。
[比較例3]
比較用カーボンブラック分散体3(分散樹脂なし)の調製
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレート酸付加物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を添加せず、溶剤プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1706.8gとした以外は実施例1とほぼ同様に処理して、比較用カーボンブラック分散体3を得た。
[評価]
ブラックマトリックス用レジスト組成物の調製
実施例1で得られた本発明のカーボンブラック分散体及び比較例1〜3で得られた比較用カーボンブラック分散体1〜3を用いて、表1に示した各配合成分にて均一に混合し、それぞれレジスト組成物1〜4を調製した。なお、表中の配合成分は以下のものを使用した。
エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物:フルオレン骨格を有するエポキシアクリレート酸付加物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(樹脂固形分濃度=56.5質量%、新日鐵化学社製「V259ME」)
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物(日本化薬社製「KAYARAD−DPHA」)
光重合開始剤1:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(0−アセチルオキシム)(BASF社製「イルガキュアOXE02」)
シランカップリング剤:3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学社製「KBM−503」)
界面活性剤:メガファックF475(DIC社製)
溶剤1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
溶剤2:シクロヘキサノン
Figure 0006441673
現像特性(パターン線幅・パターン直線性・解像度)の評価
上記で得られた各レジスト組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、露光ギャップを100μmに調整し、乾燥塗膜の上に、ライン/スペース=2μm/2μm、4μm/4μm、5μm/5μm、6μm/6μm、8μm/8μm、10μm/10μm及び20μm/20μmのネガ型フォトマスクを被せ、i線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで80mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.08%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間(ブレイクタイム=BT)から、+10秒、+20秒の現像後、5kgf/cm圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去してガラス基板上に画素パターンを形成し、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後の10μm線のマスク幅に対する線幅、パターン直線性及び解像度を評価した。結果を表2に示す。なお、各評価方法は次のとおりである。
パターン線幅:測長顕微鏡(ニコン社製「XD−20」)を用いてマスク幅10μmのパターン線幅を測定した。
パターン直線性:ポストベーク後の10μmマスクパターンを顕微鏡観察し、基板に対する剥離やパターンエッジ部分のギザツキが認められないものを○、一部に認められるものを△、全体に渡って認められるものを×と評価した。
解像度:2μm、4μm、5μm、6μm、8μm、10μm及び20μmマスクパターンのうち、基板上に残った最小パターンサイズを解像度とした。
Figure 0006441673
ODの評価
上記で得られた各レジスト組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、露光ギャップを100μmに調整し、乾燥塗膜の上に、15mm×15mm開口があるネガ型フォトマスクを被せ、i線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで80mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.08%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間(ブレイクタイム=BT)から、+20秒の現像後、5kgf/cm圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去してガラス基板上に画素パターンを形成、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後、15mm×15mm開口部に形成された画素のODをマクベス透過濃度計を用いて評価した。結果を表3に示す。
表面抵抗の評価
上記で得られた各レジスト組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、i線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで80mJ/cmの紫外線をマスクなしで照射し、光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.08%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、フォトマスクを被せた時にパターンが現れ始める現像時間(ブレイクタイム=BT)から、+20秒の現像後、5kgf/cm圧のスプレー水洗を行い、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間及び180分間熱ポストベークした後、表面抵抗を測定した。結果を表3に示す。
ガラス基板との密着性の評価
上記で得られた各レジスト組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、ネガ型フォトマスクを用いずにi線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで80mJ/cmでベタ露光し、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした。そして、上記で得られたポストベーク基板について、JISK6856−1994の3点折り曲げ密着試験方法に準じた評価法により、以下のようにしてガラス基板との密着強度を評価した。上記のポストベーク基板、及びレジスト組成物を塗布してないガラス基板(コーニング1737)それぞれを20mm×63mmの短冊状に切断し、試験片を用意した。ポストベーク済の塗膜板と樹脂組成物を塗布してないガラス基板とが一定の量のシール剤エポキシ系接着剤(三井化学製「ストラクトボンドXN−21s」)を介して重ね合わせ幅が8mmになるように、双方の基板(試験片)を貼りあわせた。この重ね合わせたときのシール剤エポキシ系接着剤の形は円形であり、かつ直径が約5mmであった。その後、重ね合わせた試験片を90℃、20分のプリベーク、続いて、150℃、2時間ポストベークをそれぞれ実施し、三点折り曲げ試験片を作成した。さらに20mm×63mmの塗布していないガラス片同士も上記と同じ方法で張り合わせた比較試験用のサンプルを作成した。上記で得られた試験片において、重ね合わせ部位が中心となるよう、塗布板と対向基板(塗布無し基板)、又は塗布していない比較試験用のガラス基板を2点の支持体で支え(2点の支持体の長さは3cm)、重ね合わせ部の真上から真下に向かってオリエンテック社製「UCT−100」を用いて1mm/分の速度で加重をかけていき、剥離面の観察とそのときの加重を読み取り、シール剤エポキシ系接着剤の塗布面積で割り、単位面積当たりの加重を密着強度とした。また、121℃、100%RH、2atm、及び5時間の条件下においてPCT(プレッシャー・クッカー・テスト)を実施した後、同様の密着強度テストを実施し、PCT前後での密着強度を評価した。PCT前後におけるレジストを塗布していないガラス同士の密着強度をそれぞれ100としたときの、各組成の密着強度を相対値として示した。PCT前後において70以上を○、70未満を×とした。結果を表3に示す。
Figure 0006441673
表2及び表3から明らかなとおり、本発明のカーボンブラック分散体を用いたレジスト組成物1は、比較用カーボンブラック分散体1(染料未被覆カーボンブラック使用)を用いたレジスト組成物2と比較して、パターン線幅、パターン直線性及び解像度の現像特性において同等の性能を発揮するとともに、表面抵抗及びガラス基板との密着強度において極めて優れた性能を示した。また、本発明のカーボンブラック分散体を用いたレジスト組成物1は、比較用カーボンブラック分散体2(樹脂被覆カーボンブラック使用)を用いたレジスト組成物3と比較して、パターン線幅、パターン直線性及び解像度の現像特性において何れも優れた性能を示すとともに、ガラス基板との密着強度にも優れており、さらに、比較用カーボンブラック分散体3(分散樹脂なし)を用いたレジスト組成物4と比較して、優れた解像度を有するとともに、表面抵抗にも優れていた。
上述したように、本発明のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体は、ブラックマトリックス用レジスト組成物に用いると、高抵抗で且つ現像特性及びガラス基板との密着性の優れた細線パターン形成が可能となり、これをカラーフィルターに適用すると、高遮光性かつ高抵抗で信頼性の高いブラックマトリックスを作成することが可能となる。したがって、カラー液晶表示装置、カラーファクシミリ、イメージセンサー等の各種の多色表示体や光学機器等に使用されるインク、及びブラックマトリックスを有するカラーフィルターや、テレビ、ビデオモニター又はコンピューターのディスプレー等に利用した場合極めて有用であり、特に、スマートフォン向けの中小型高精細ディスプレー用として極めて有用である。

Claims (10)

  1. カーボンブラックと光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂とを溶剤に分散させてなるブラックマトリックス用カーボンブラック分散体であって、
    前記カーボンブラックは、予め酸化剤による酸化処理が施されたカーボンブラックの表面が染料で被覆されてなる染料被覆カーボンブラックを含み、
    前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が金属又は金属塩によりレーキ化されており、
    前記光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂は、ビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、(a)ジカルボン酸、トリカルボン酸又はその酸一無水物と(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物とを、(a)と(b)のモル比が1:10〜10:1となるよう反応させて得られる下記一般式(I)
    Figure 0006441673
    (式中、R、R、R及びRは、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Aは、−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は直結合を表し、Xは4価のカルボン酸残基を表し、Y及びYは、それぞれ独立して水素原子又は−OC−Z−(COOH)(但し、Zは2価又は3価カルボン酸残基を表し、mは1〜2の数を表す)を表し、nは1〜20の整数を表す)で示されるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物を含む、
    ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  2. 前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料の含有率が、0.5〜10質量%である、請求項1に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  3. 前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が陰イオン性又は非イオン性の染料である、請求項1又は2に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  4. 前記染料被覆カーボンブラックは、前記染料が濃色系の染料である、請求項1乃至3の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  5. 前記金属又は金属塩は、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム若しくはマンガン又はこれらの塩である、請求項1乃至4の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  6. 前記染料被覆カーボンブラックは、表面に少なくとも1種類の酸性官能基を有するカーボンブラックを用いて得られたものである、請求項1乃至の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  7. 前記酸性官能基は、水酸基、オキソ基、ヒドロペルオキシ基、カルボニル基、カルボキシル基、ペルオキシカルボン酸基、アルデヒド基、ケトン基、ニトロ基、ニトロソ基、アミド基、イミド基、スルホン酸基、スルフィン酸基、スルフェン酸基、チオカルボン酸基、クロロシル基、クロリル基、ペルクロリル基、ヨードシル基又はヨージル基である、請求項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  8. 前記染料被覆カーボンブラックの配合量が、15〜35質量%である、請求項1乃至の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  9. 前記エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物の配合量が、2〜20質量%である、請求項1乃至の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
  10. 前記染料被覆カーボンブラックは、予め異なる酸化剤による複数の酸化処理が施されたカーボンブラックの表面が染料で被覆されてなるものである、請求項1乃至の何れか1項に記載のブラックマトリックス用カーボンブラック分散体。
JP2014502356A 2012-02-29 2013-02-28 ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体 Active JP6441673B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014502356A JP6441673B2 (ja) 2012-02-29 2013-02-28 ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012043637 2012-02-29
JP2012043637 2012-02-29
JP2014502356A JP6441673B2 (ja) 2012-02-29 2013-02-28 ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体
PCT/JP2013/055354 WO2013129555A1 (ja) 2012-02-29 2013-02-28 ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2013129555A1 JPWO2013129555A1 (ja) 2015-07-30
JP6441673B2 true JP6441673B2 (ja) 2018-12-19

Family

ID=49082746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014502356A Active JP6441673B2 (ja) 2012-02-29 2013-02-28 ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6441673B2 (ja)
KR (1) KR101989129B1 (ja)
CN (1) CN104254790B (ja)
TW (1) TWI621668B (ja)
WO (1) WO2013129555A1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI557505B (zh) * 2014-12-19 2016-11-11 奇美實業股份有限公司 感光性樹脂組成物及其應用
TWI557504B (zh) * 2014-12-19 2016-11-11 奇美實業股份有限公司 感光性樹脂組成物及其應用
KR102431444B1 (ko) 2015-07-14 2022-08-11 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6838866B2 (ja) * 2016-04-28 2021-03-03 東京応化工業株式会社 感光性樹脂組成物
JP7280017B2 (ja) 2017-03-31 2023-05-23 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 感光性樹脂組成物、遮光膜、液晶表示装置、および液晶表示装置の製造方法
CN109739068B (zh) * 2018-12-27 2022-03-25 北京欣奕华材料科技有限公司 炭黑分散体、感光树脂组合物、彩色滤光片、显示装置
JP7263153B2 (ja) * 2019-06-27 2023-04-24 東京応化工業株式会社 感光性組成物、硬化物、ブラックマトリクス、ブラックバンク、カラーフィルター、画像表示装置、及びパターン化された硬化膜の製造方法
CN111025848B (zh) * 2019-12-31 2023-04-11 阜阳欣奕华材料科技有限公司 一种高分子分散剂及其应用
JP2022083711A (ja) * 2020-11-25 2022-06-06 サカタインクス株式会社 ブラックマトリックス用顔料分散組成物、ブラックマトリックス用レジスト組成物、及び、ブラックマトリックス
CN114156329B (zh) * 2021-11-30 2023-07-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制作方法、显示装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4871237A (ja) * 1971-12-24 1973-09-27
JP3515841B2 (ja) * 1995-05-11 2004-04-05 御国色素株式会社 液晶パネル用組成物
JP3356932B2 (ja) * 1996-07-24 2002-12-16 シャープ株式会社 カラーフィルタ、その製造方法及び液晶表示装置
JP3861508B2 (ja) * 1999-04-28 2006-12-20 東洋インキ製造株式会社 水性顔料分散体およびインクジェット用記録液
JP3781616B2 (ja) * 1999-08-27 2006-05-31 三菱化学株式会社 高抵抗性カーボンブラック及びカラーフィルター
JP2004198717A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Showa Denko Kk カラーフィルターブラックマトリックスレジスト組成物及びその組成物に用いるカーボンブラック分散液組成物
JP4175123B2 (ja) * 2003-01-24 2008-11-05 東洋インキ製造株式会社 複合化カーボンブラックの製造方法
JP4464081B2 (ja) * 2003-06-27 2010-05-19 東海カーボン株式会社 ブラックマトリックス用カーボンブラック顔料
JP4706820B2 (ja) * 2004-10-28 2011-06-22 戸田工業株式会社 ブラックマトリックス用黒色着色材料、ブラックマトリックス用黒色組成物、ブラックマトリックス並びにカラーフィルター
US7090962B2 (en) * 2004-12-03 2006-08-15 Industrial Technology Research Institute Alkali-soluble resin with polyaromatic group and photosensitive composition comprising the resin
JP5255783B2 (ja) 2006-06-01 2013-08-07 新日鉄住金化学株式会社 カラーフィルター用レジスト組成物及びその製造方法並びにそれを用いたカラーフィルター
TWI416174B (zh) * 2006-06-01 2013-11-21 Nippon Steel & Sumikin Chem Co 濾色片用光阻組成物及其製造方法以及使用該組成物之濾色片
JP5315708B2 (ja) * 2008-01-31 2013-10-16 富士ゼロックス株式会社 表示デバイス用水性遮光塗料組成物、表示デバイス用絶縁性遮光膜、および表示デバイス
CN102436142B (zh) * 2010-09-29 2013-11-06 第一毛织株式会社 黑色光敏树脂组合物以及使用其的光阻层

Also Published As

Publication number Publication date
TWI621668B (zh) 2018-04-21
CN104254790B (zh) 2018-05-22
JPWO2013129555A1 (ja) 2015-07-30
TW201402711A (zh) 2014-01-16
WO2013129555A1 (ja) 2013-09-06
KR101989129B1 (ko) 2019-06-13
KR20140130224A (ko) 2014-11-07
CN104254790A (zh) 2014-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6441673B2 (ja) ブラックマトリックス用カーボンブラック分散体
JP6426469B2 (ja) ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物およびその製造方法
JP5136139B2 (ja) 樹脂ブラックマトリクス用黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置
TW201734144A (zh) 著色感光性樹脂組合物、濾色器及其製法、影像顯示裝置
JP5099094B2 (ja) 黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルターおよび液晶表示装置
JP2010097214A (ja) 液晶表示装置用カラーフィルター基板、および液晶表示装置
JPWO2015056688A1 (ja) ブラックマトリックス用顔料分散物及びそれを含有するブラックマトリックス用顔料分散レジスト組成物
CN109328322A (zh) 负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件、具备元件的显示装置、及有机el显示器
JP6425343B2 (ja) ブラックマトリックス用カーボンブラック及びその製造方法
JP2009169049A (ja) カラーフィルター用感光性レジスト組成物およびカラーフィルター
JP2009282115A (ja) カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ
JP5157686B2 (ja) 黒色樹脂組成物、樹脂ブラックマトリクス、カラーフィルター、および液晶表示装置
TW202319407A (zh) 感光性樹脂組成物、硬化膜、彩色濾光片、觸控面板及顯示裝置
JP2023051765A (ja) 感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルター、タッチパネルおよび表示装置
JP2018081168A (ja) カラーレジスト組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置
KR101299967B1 (ko) 스핀리스용 열경화성 수지 조성물
JP2023098642A (ja) ブラックレジスト用感光性樹脂組成物、その製造方法、遮光膜、カラーフィルター、タッチパネルおよび表示装置
CN116360215A (zh) 黑色抗蚀剂用感光性树脂组合物、其制造方法、遮光膜、彩色滤光片、触摸屏及显示装置
JP2024092968A (ja) 感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルター、タッチパネル及び表示装置
KR20140023616A (ko) 착색 감광성 수지 조성물
WO2024111217A1 (ja) 感光性樹脂組成物、樹脂硬化膜、及び画像表示素子
KR100665757B1 (ko) 벤젠화합물로 표면처리된 카본블랙 및 이를 이용한 블랙 매트릭스용 카본블랙 분산액 조성물

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150423

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160227

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160428

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170228

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170501

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170629

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170724

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180109

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20180312

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180510

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20180627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20180627

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20180720

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181113

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181122

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6441673

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250