本発明で用いるブロック共重合体(A)は、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数が1〜6のフッ素化アルキル基と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a1)を含む重合性単量体を構成要素とする重合体セグメント(A1)と、橋かけ環炭化水素の骨格と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a2)を含む重合性単量体を構成要素とする重合体セグメント(A2)を含むことを特徴とする。
前記重合体セグメント(A1)は、重合性単量体(a1)が2以上重合して得られるセグメントである。重合体セグメント(A1)は、本発明の効果を損なわない範囲で重合性単量体(a1)以外の重合性単量体を併用し、重合性単量体(a1)以外の重合性単量体を構成要素としても良い。併用できる重合性単量体としては、例えば、ポリオキシアルキレン鎖を有する重合性単量体、炭素原子数1〜18の直鎖状のアルキル基を有する重合性単量体、炭素原子数1〜18の分岐状のアルキル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
前記重合体セグメント(A1)は、前記の通り重合性単量体(a1)以外の重合性単量体を構成要素としていても良いが、重合体セグメント(A1)の構成要素となる重合性単量体中の重合性単量体(a1)の含有率が高いことが好ましく、重合体セグメント(A1)の構成要素となる重合性単量体中の重合性単量体(a1)の含有率が100質量%であることがより好ましい。
本発明で用いるフッ素原子が直接結合した炭素原子の数が1〜6のフッ素化アルキル基と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a1)としては、分子中に前記フッ素化アルキル基と重合性不飽和基とを有する化合物であれば、特に制限なく用いることができる。
フッ素原子が直接結合した炭素原子の数が1〜6のフッ素化アルキル基は、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数が1〜6のパーフルオロアルキル基又は水素原子の一部をフッ素原子とした部分フッ素化アルキル基である。これらのフッ素化アルキル基の中でも、レベリング性に優れるブロック共重合体が得られることからパーフルオロアルキル基が好ましい。さらに、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数は多いほど好ましく、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数は4〜6のものが特に好ましい。
前記重合性単量体(a1)が有する重合性不飽和基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、マレイミド基等が挙げられる。これらの中でも、原料の入手容易性、カラーレジスト組成物中の配合成分に対する相溶性を制御することの容易性、重合反応性が良好であることから、(メタ)アクリロイル基が好ましい。重合性単量体(a1)の中でも、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体としては、例えば、下記一般式(1)
〔上記一般式(1)中、R1は水素原子、フッ素原子、メチル基、シアノ基、フェニル基、ベンジル基又は−CnH2n−Rf’(nは1〜8の整数を表し、Rf’は下記式(Rf−1)〜(Rf−4)のいずれか1つの基を表す。)を表し、Xは、下記式(X−1)〜(X−10)のいずれか1つの基を表し、Rfは下記式(Rf−1)〜(Rf−4)のいずれか1つの基を表す。〕
〔上記式(X−1)、(X−3)〜(X−7)中のnは1〜8の整数を表す。上記式(X−8)、(X−9)及び(X−10)中のmは1〜8の整数を表し、nは0〜8の整数を表す。上記式(X−6)及び(X−7)中のRf’’は下記式(Rf−1)〜(Rf−4)のいずれか1つの基を表す。〕
〔上記式(Rf−1)及び(Rf−2)中のnは1〜6の整数を表す。上記式(Rf−3)中のnは2〜6の整数を表す。上記式(Rf−4)中のnは4〜6の整数を表す。〕
で表される単量体を好ましく例示できる。前記重合性単量体(a1)は、1種類だけ使用しても2種以上を併用しても構わない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリレート」とは、メタクリレートとアクリレートの一方又は両方をいい、「(メタ)アクリル酸」とは、メタクリル酸とアクリル酸の一方又は両方をいう。
前記重合体セグメント(A2)は橋かけ環炭化水素の骨格と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a2)を含む重合性単量体が2以上重合して得られるセグメントである。本発明のカラーレジスト組成物を用いて得られるカラーレジストパターンの表面には前記ブロック共重合体(A)を含む層(以下、ブロック層と言うことがある。)が偏在する。前記ブロック共重合(A)は前記橋かけ環炭化水素の骨格の存在によりガラス転移温度(Tg)が高く、その結果、前記ブロック層は固い層になる。つまり、後述するカラーフィルターの製造方法において形成される塗膜層は橋かけ環炭化水素の骨格の存在により硬度の高いブロック層を有する。この硬度の高いブロック層が塗膜層中の顔料が最表面に析出(昇華)することを防ぎ、また、ブロック層中の橋かけ環炭化水素の骨格が、その下にある塗膜層に分散している顔料に対して何らかの影響を及ぼし、その結果、顔料由来の異物の形成を抑制しているものと発明者らは推測している。
前記橋かけ環炭化水素の骨格としては、例えば、アダマンタン環骨格、パーヒドロインデン環骨格、デカリン環骨格、パーヒドロフルオレン環骨格、パーヒドロアントラセン環骨格、パーヒドロフェナントレン環骨格、ジシクロペンタン環骨格、ジシクロペンテン環骨格、パーヒドロアセナフテン環骨格、パーヒドロフェナレン環骨格、ノルボルナン環骨格、ノルボルネン環骨格等が挙げられる。中でも、塗膜層の最表面に、よりTgが高いブロック層を形成でき、その結果、より顔料に由来する異物の発生を抑制できることから、アダマンタン環骨格、ジシクロペンタン環骨格、ジシクロペンテン環骨格、ノルボルナン環骨格及びノルボルネン環骨格からなる群から選ばれる一種以上の骨格が好ましく、アダマンタン環骨格がより好ましい。
前記重合性単量体(a2)が有する重合性不飽和基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、マレイミド基等が挙げられる。これらの中でも、原料の入手容易性、カラーレジスト組成物中の配合成分に対する相溶性を制御することの容易性、重合反応性が良好であることから、(メタ)アクリロイル基が好ましい。
以下、本発明で重合性単量体(a2)として好ましく用いることができるアダマンタン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体について説明する。
前記アダマンタン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体としては、例えば、下記式(a2−1)、(a2−2)で表されるアダマンタン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
(式中、Lは反応性官能基を表し、X及びYは2価の有機基又は直接結合を表し、Rは水素原子、メチル基又はCF3を表す。)
前記反応性官能基としては、例えば、水酸基、イソシアネート基、エポキシ基、カルボキシル基、カルボン酸ハライド基、酸無水物基等が挙げられる。中でも、カラーレジスト組成物の他の構成成分との相溶性が良好なブロック共重合体が得られることから水酸基が好ましい。
上記一般式(a2−1)中の−X−Lで表される前記反応性官能基を有する有機基又は反応性官能基並びにYの結合位置は、アダマンタン環中のどの炭素原子に結合していてもよく、また、−X−Lについては2つ以上有していてもよい。さらに、アダマンタン環を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。また、上記一般式(a2−1)中のX及びYは2価の有機基又は直接結合であるが、この2価の有機基としては、メチレン基、プロピレン基、イソプロピリデン基等の炭素原子数1〜8のアルキレン基が挙げられる。
また、前記式(a2−2)で表される重合性単量体において、(メタ)アクリロイル基は、アダマンタン環中のどの炭素原子に結合していてもよい。また、上記一般式(a2−1)中のアダマンタン構造を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。
前記一般式(a2−1)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される重合性単量体等が挙げられる。
また、一般式(a2−2)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される重合性単量体等が挙げられる。
アダマンタン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の中でも、カラーレジスト組成物中の他の構成成分との相溶性が良好なブロック共重合体が得られることから前記式(a2−1)で表される重合性単量体が好ましく、前記式(a2−1−1)、式(a2−1−3)及び前記式(a2−1−5)で表される重合性単量体がより好ましい。
以下、本発明で重合性単量体(a2)として好ましく用いることができるジシクロペンタン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体について説明する。
前記ジシクロペンタン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体としては、例えば、下記式(a2−3)で表されるジシクロペンタン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
(式中、Rは水素原子、メチル基又はCF3を表す。)
前記式(a2−3)で表される重合性単量体において、(メタ)アクリロイル基は、ジシクロペンタン環中のどの炭素原子に結合していてもよい。また、上記一般式(a2−3)中のジシクロペンタン環を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。
前記一般式(a2−3)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される重合性単量体等が挙げられる。
ジシクロペンタン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の中でも、Tgが高いブロック層が得られることから前記式(a2−3−2)で表される重合性単量体が好ましい。
以下、本発明で重合性単量体(a2)として好ましく用いることができるジシクロペンテン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体について説明する。
前記ジシクロペンテン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体としては、例えば、下記式(a2−4)で表されるジシクロペンテン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
(式中、Rは水素原子、メチル基又はCF3を表す。)
前記式(a2−4)で表される重合性単量体において、(メタ)アクリロイル基は、ジシクロペンテン環中のどの炭素原子に結合していてもよい。また、上記一般式(a2−4)中のジシクロペンテン環を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。
前記一般式(a2−4)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される重合性単量体等が挙げられる。
ジシクロペンテン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の中でも、Tgが高いブロック層が得られることから前記式(a2−4−2)で表される重合性単量体が好ましい。
以下、本発明で重合性単量体(a2)として好ましく用いることができるノルボルナン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体について説明する。
前記ノルボルナン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体としては、例えば、下記式(a2−5)で表されるノルボルナン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
(式中、Rは水素原子、メチル基又はCF3を表す。)
前記式(a2−5)で表される重合性単量体において、(メタ)アクリロイル基は、ノルボルナン環中のどの炭素原子に結合していてもよい。また、上記一般式(a2−5)中のノルボルナン環を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。
前記一般式(a2−5)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される重合性単量体等が挙げられる。
ノルボルナン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の中でも、Tgが高いブロック層が得られることから前記式(a2−5−2)で表される重合性単量体が好ましい。
以下、本発明で重合性単量体(a2)として好ましく用いることができるノルボルネン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体について説明する。
前記ノルボルネン環と重合性不飽和基を有する重合性単量体としては、例えば、下記式(a2−6)で表されるノルボルネン環と(メタ)アクリロイル基を有する化合物等が挙げられる。
(式中、Rは水素原子、メチル基又はCF3を表す。)
前記式(a2−6)で表される重合性単量体において、(メタ)アクリロイル基は、ノルボルネン環中のどの炭素原子に結合していてもよい。また、上記一般式(a2−6)中のノルボルネン環を構成する炭素原子に結合している水素原子は、その一部又は全部がフッ素原子、アルキル基等に置換されていても構わない。
前記一般式(a2−6)で表される重合性単量体のより具体的な例としては、例えば、下記で表される化合物等が挙げられる。
ノルボルネン環と(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の中でも、Tgが高いブロック層が得られることから前記式(a2−6−2)で表される重合性単量体が好ましい。
前記重合体セグメント(A2)を得る際には、本発明の効果を損なわない範囲で重合性単量体(a2)以外の重合性単量体を併用して得ても良い。併用できる重合性単量体としては、例えば、ポリオキシアルキレン鎖を有する重合性単量体、炭素原子数1〜18の直鎖状のアルキル基を有する重合性単量体及び炭素原子数1〜18の分岐状のアルキル基を有する重合性単量体等が挙げられる。
前記重合体セグメント(A2)の構成要素となる重合性単量体中の重合性単量体(a2)の含有率は、該重合性単量体の質量を基準として10〜100質量%であることが、堅固なブロック層を形成できるブロック共重合体となることから好ましく、20〜90質量%がより好ましい。
本発明で用いるブロック共重合体(A)は、前記の通り、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数が1〜6のフッ素化アルキル基と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a1)を含む重合性単量体を構成要素とする重合体セグメント(A1)と、橋かけ環炭化水素の骨格と重合性不飽和基とを有する重合性単量体(a2)を含む重合性単量体を構成要素とする重合体セグメント(A2)を含む。ここで、重合体セグメント(A1)と重合体セグメント(A2)の割合は、カラーレジスト組成物中の他の構成成分との相溶性が良好なブロック共重合体が得られることから質量比で(A1):(A2)=5:95〜90:10が好ましく、10:90〜80:20がより好ましい。
本発明で用いるブロック共重合体(A)を製造する方法としては、特に制限はないが、重合反応を制御しやすく、ブロック共重合体(A)を製造しやすいことからリビングラジカル重合法が好ましい。
一般にリビングラジカル重合においては、活性重合末端が原子又は原子団により保護されたドーマント種が可逆的にラジカルを発生させてモノマーと反応することにより生長反応が進行し、第一のモノマーが消費されても生長末端が活性を失うことなく、逐次的に追加される第二モノマーと反応してブロックポリマーを得ることができる。このようなリビングラジカル重合の例としては、原子移動ラジカル重合(ATRP)、可逆的付加−開裂型ラジカル重合(RAFT)、ニトロキシドを介するラジカル重合(NMP)、有機テルルを用いるラジカル重合(TERP)等が挙げられる。これらのうちどの方法を使用するかは特に制約はないが、制御の容易さなどから上記ATRPが好ましい。ATRPは、有機ハロゲン化物、又はハロゲン化スルホニル化合物等を開始剤、遷移金属化合物と配位子からなる金属錯体を触媒として重合される。
上記ATRPで使用する重合開始剤には、有機ハロゲン化化合物を用いることができる。具体的には、1−フェニルエチルクロライド、1−フェニルエチルブロマイド、クロロホルム、四塩化炭素、2−クロロプロピオニトリル、α,α’−ジクロロキシレン、α,α’−ジブロモキシレン、ヘキサキス(α−ブロモメチル)ベンゼン、炭素原子数1〜6の2−ハロゲン化カルボン酸(例えば2−クロロプロピオン酸、2−ブロモプロピオン酸、2−クロロイソ酪酸、2−ブロモイソ酪酸など)の炭素原子数1〜6のアルキルエステル等が挙げられる。炭素原子数1〜6の2−ハロゲン化カルボン酸の炭素原子数1〜6のアルキルエステルのより具体的な例としては、例えば、2−クロロプロピオン酸メチル、2−クロロプロピオン酸エチル、2−ブロモプロピオン酸メチル、2−ブロモイソ酪酸エチル等が挙げられる。
上記ATRPで使用する遷移金属化合物は、Mn+Xnで表されるものである。遷移金属であるMn+は、Cu+、Cu2+、Fe2+、Fe3+、Ru2+、Ru3+、Cr2+、Cr3+、Mo0、Mo+、Mo2+、Mo3+、W2+、W3+、Rh3+、Rh4+、Co+、Co2+、Re2+、Re3+、Ni0、Ni+、Mn3+、Mn4+、V2+、V3+、Zn+、Zn2+、Au+、Au2+、Ag+及びAg2+からなる群から選択することができる。また、Xは、ハロゲン原子、炭素原子数1〜6のアルコキシル基、(S04)1/2、(P04)1/3、(HP04)1/2、(H2P04)、トリフラート、ヘキサフルオロホスフェート、メタンスルホネート、アリールスルホネート(好ましくはベンゼンスルホネート又はトルエンスルホネート)、SeR1、CN及びR2COOからなる群から選択することができる。ここで、R1は、アリール基、直鎖状又は分岐状の炭素原子数1〜20(好ましくは炭素原子数1〜10)のアルキル基を表し、R2は、水素原子、ハロゲンで1〜5回(好適にはフッ素もしくは塩素で1〜3回)置換されていてもよい直鎖状又は分岐状の炭素原子数1〜6のアルキル基(好ましくはメチル基)を表す。さらに、nは、金属上の形式電荷を表し、0〜7の整数である。
上記遷移金属錯体としては特に限定されないが、好ましいものとして、7、8、9、10、11族の遷移金属錯体が、さらに好ましいものとして、0価の銅、1価の銅、2価のルテニウム、2価の鉄又は2価のニッケルの錯体が挙げられる。
上記の遷移金属と配位結合可能な配位子を有する化合物としては、遷移金属とσ結合を介して配位できる1つ以上の窒素原子、酸素原子、リン原子又は硫黄原子を含む配位子を有する化合物、遷移金属とπ結合を介して配位できる2つ以上の炭素原子を含む配位子を有する化合物、遷移金属とμ結合又はη結合を介して配位できる配位子を有する化合物が挙げられる。
上記配位子を有する化合物の具体例としては、例えば、中心金属が銅の場合は2,2’−ビピリジル及びその誘導体、1,10−フェナントロリン及びその誘導体、テトラメチルエチレンジアミン、ペンタメチルジエチレントリアミン、ヘキサメチルトリス(2−アミノエチル)アミン等のポリアミン等の配位子との錯体が挙げられる。また2価のルテニウム錯体としては、ジクロロトリス(トリフェニルホスフィン)ルテニウム、ジクロロトリス(トリブチルホスフィン)ルテニウム、ジクロロ(シクロオクタジエン)ルテニウム、ジクロロベンゼンルテニウム、ジクロロp−シメンルテニウム、ジクロロ(ノルボルナジエン)ルテニウム、シス−ジクロロビス(2,2’−ビピリジン)ルテニウム、ジクロロトリス(1,10−フェナントロリン)ルテニウム、カルボニルクロロヒドリドトリス(トリフェニルホスフィン)ルテニウム等が挙げられる。さらに2価の鉄錯体としては、ビストリフェニルホスフィン錯体、トリアザシクロノナン錯体等が挙げられる。
また、上記リビングラジカル重合においては、溶媒を使用することが好ましい。使用する溶媒としては、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル系溶媒;ジイソプロピルエーテル、ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;ジクロロメタン、ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒;トルエン、キシレン等の芳香族系溶媒;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系溶剤;ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等の非プロトン性極性溶媒などが挙げられる。また、これらの溶媒は、単独で用いることも2種以上併用することもできる。
本発明で用いるブロック共重合体(A)は、例えば、下記に示す方法で製造することができる。
方法1:重合開始剤、遷移金属化合物、該遷移金属と配位結合可能な配位子を有する化合物及び溶媒の存在下で、重合性単量体(a1)を含む重合性単量体をリビングラジカル重合、好ましくは原子移動ラジカル重合させ、重合体セグメント(A1)を得た後、重合性単量体(a2)を含む重合性単量体を加えて重合体セグメント(A1)に更に重合性単量体(a2)を含む重合性単量体をリビングラジカル重合、好ましくは原子移動ラジカル重合させる方法。
方法2:重合開始剤、遷移金属化合物、該遷移金属と配位結合可能な配位子を有する化合物及び溶媒の存在下で、重合性単量体(a2)を含む重合性単量体をリビングラジカル重合、好ましくは原子移動ラジカル重合させ重合体セグメント(A2)を得た後、重合性単量体(a1)を含む重合性単量体を反応系に加えて重合体セグメント(A2)に更に重合性単量体(a1)を含む重合性単量体をリビングラジカル重合、好ましくは原子移動ラジカル重合させる方法。
前記リビングラジカル重合の際の重合温度は、室温から120℃の範囲が好ましい。
また、本発明で用いるブロック共重合体(A)をリビングラジカル重合により製造する場合は、該ブロック共重合体(A)中に、重合で用いた遷移金属化合物に起因する金属が残留することがある。この残留した金属は必要に応じて重合終了後に活性アルミナ等を用いて除去しても良い。
本発明で用いるブロック共重合体(A)の重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、より堅固なブロック層が得られるブロック共重合体となることから、500〜200,000が好ましく、1,000〜150,000の範囲がより好ましく、1,500〜100,000の範囲がさらに好ましい。また、本発明で用いるブロック共重合体(A)の分散度(Mw/Mn)は、より堅固なブロック層が得られるブロック共重合体となることから、1.5以下が好ましく、1.0〜1.5の範囲がより好ましく、1.0〜1.4の範囲が更に好ましく、1.05〜1.3の範囲が最も好ましい。
ここで、数平均分子量(Mn)及び重量平均分子量(Mw)は、ゲル浸透クロマトグラフィー(以下、「GPC」と略記する。)測定に基づきポリスチレン換算した値である。なお、GPCの測定条件は以下の通りである。
[GPC測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」、
カラム:東ソー株式会社製ガードカラム「HHR−H」(6.0mmI.D.×4cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)
検出器:ELSD(オルテックジャパン株式会社製「ELSD2000」)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIデータ解析バージョン4.30」
測定条件:カラム温度 40℃
展開溶媒 テトラヒドロフラン(THF)
流速 1.0ml/分
試料:樹脂固形分換算で1.0質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(5μl)。
標準試料:前記「GPC−8020モデルIIデータ解析バージョン4.30」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
(単分散ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−1000」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
東ソー株式会社製「F−40」
東ソー株式会社製「F−80」
東ソー株式会社製「F−128」
東ソー株式会社製「F−288」
東ソー株式会社製「F−550」
本発明で用いるブロック共重合体(A)中のフッ素原子含有率は、塗布ムラの少ない良好なレベリング性が得られることから、4〜40質量%の範囲が好ましく、5〜35質量%の範囲がより好ましく、6〜30質量%の範囲がさらに好ましい。なお、フッ素原子含有率は、燃焼イオンクロマトグラフィーにより測定できる。
本発明で用いる顔料(B)は分子量が100〜1,000である。分子量が100〜1,000の顔料は、一般的にカラーレジスト組成物の硬化塗膜内で凝集し、異物を形成しやすい傾向がある。また、硬化塗膜の最表面に析出し、昇華しやすい傾向もある。本発明では、異物を形成しやすく昇華もしやすい顔料(B)と前記ブロック共重合体(A)とを組み合わせることにより顔料(B)が有する前記の傾向が抑制でき、その結果、所望する色相のカラーレジストパターンを容易に得ることができるカラーレジスト組成物を提供することができる。顔料(B)は分子量が150〜950のものが、カラーレジスト組成物中での分散性が良好で、且つ、前記ブロック共重合体(A)の前記異物形成の抑制能や昇華の抑制能の効果をより甘受できることから好ましい。
前記顔料(B)としては、例えば、フタロシアニン構造を有する顔料、ペリレン構造を有する顔料、キナクリドン構造を有する顔料、キノフタロン構造を有する顔料、縮合アゾ構造を有する顔料、モノアゾ構造を有する顔料、アントラセン構造を有する顔料、イソインドリン構造を有する顔料、ベンズイミダゾロン構造を有する顔料、ジケトピロロピロール構造を有する顔料、ナフトール構造を有する顔料、ジスアゾ構造を有する顔料、ジオキサジン構造を有する顔料、アンモニウム塩構造を有する顔料、複合酸化物構造を有する顔料及びキサンテン構造を有する顔料等が挙げられる。
前記フタロシアニン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントブルー15、ピグメントブルー15:1、ピグメントブルー15:2、ピグメントブルー15:3、ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントグリーン58、ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントレッド48:4、ピグメントレッド52:2、ピグメントレッド58:4等が挙げられる。
前記ペリレン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントレッド149、ピグメントレッド178、ピグメントレッド179、ピグメントバイオレット29、ピグメントブラック31等が挙げられる。
前記キナクリドン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントバイオレット19、、ピグメントバイオレッド42、C.I.ピグメントレッド207、ピグメントオレンジ48、ピグメントオレンジ49、ピグメントレッド122、ピグメントレッド202、ピグメントレッド206、ピグメントレッド209等が挙げられる。
前記キノフタロン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントイエロー183、ピグメントイエロー138等が挙げられる。
前記縮合アゾ構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントイエロー95、ピグメントイエロー128、ピグメントイエロー155、ピグメントイエロー166、ピグメントレッド144、ピグメントレッド220等が挙げられる。
前記モノアゾ構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントイエロー65、ピグメントイエロー73、ピグメントイエロー74、ピグメントイエロー97、ピグメントイエロー100、ピグメントイエロー111、ピグメントイエロー151、ピグメントイエロー154、ピグメントイエロー167、ピグメントイエロー175、ピグメントイエロー181、ピグメントイエロー191、ピグメントレッド60、ピグメントレッド175、ピグメントレッド176、ピグメントレッド185、等が挙げられる。
前記アントラセン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントイエロー95、ピグメントイエロー99、ピグメントイエロー147、ピグメントイエロー199、ピグメントレッド168、ピグメントレッド177等が挙げられる。
前記イソインドリン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピグメントイエロー139、ピグメントイエロー185、ピグメントオレンジ69等が挙げられる。
前記ベンズイミダゾロン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントオレンジ64、ピグメントイエロー180、ピグメントイエロー181、ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー154、ピグメントイエロー120、ピグメントイエロー175、ピグメントイエロー180、ピグメントイエロー181、ピグメントイエロー194、ピグメントレッド175、ピグメントレッド176、ピグメントレッド185、ピグメントブルー80等が挙げられる。
前記ジケトピロロピロール構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントレッド254、ピグメントレッド255、ピグメントレッド264、ピグメントレッド270、ピグメントレッド272、ピグメントレッド283等が挙げられる。
前記ナフトール構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントレッド170、ピグメントレッド187、ピグメントレッド184、ピグメントレッド188等が挙げられる。
前記ジスアゾ構造を有する顔料としては、例えば、C.I.ピグメントイエロー83、ピグメントレッド221、ピグメントレッド242、ピグメントイエロー55、ピグメントイエロー81、ピグメントイエロー95等が挙げられる。
前記ジオキサジン構造を有する顔料としては、例えば、C.I.ピグメントバイオレット23、ピグメントバイオレッド37、ピグメントブルー80等が挙げられる。
前記アンモニウム塩構造を有する顔料としては、例えば、C.I.ピグメントバイオレット16、ピグメントブルー27、ピグメントブルー71等が挙げられる。
前記複合酸化物構造を有する顔料としては、例えば、C.I.ピグメントイエロー53、ピグメントイエロー119、ピグメントイエロー157、ピグメントイエロー158、ピグメントイエロー160、ピグメントイエロー216、ピグメントレッド230、ピグメントレッド231、ピグメントレッド233、ピグメントレッド235、ピグメントレッド236、ピグメントブルー28、ピグメントブルー31、ピグメントブルー32、ピグメントブルー35、ピグメントブルー36、ピグメントブルー72、ピグメントブルー73、ピグメントブルー74、ピグメントグリーン19、ピグメントグリーン26、ピグメントグリーン50、ピグメントグリーン51等が挙げられる。
前記キサンテン構造を有する顔料としては、例えば、ピグメントレッド81、ピグメントバイオレット1等が挙げられる。
本発明で用いる顔料の中でも、着色性に優れ、顔料の分散性が良好なカラーレジスト組成物が得られることから顔料(B)は、フタロシアニン構造、ペリレン構造、キナクリドン構造、キノフタロン構造、縮合アゾ構造、モノアゾ構造、アントラセン構造、イソインドリン構造、ベンズイミダゾロン構造、ジケトピロロピロール構造、ナフトール構造、ジスアゾ構造及びジオキサン構造からなる群から選ばれる一種以上の構造を有するものが好ましく、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピグメントブルー15:1、C.I.ピグメントブルー15:2、C.I.ピグメントブルー15:6およびC.I.ピグメントバイオレット23からなる群から選ばれる一種以上のものが、より好ましい。
カラーフィルターの3原色の各画素は、赤(R)、緑(G)、青(B)であるため、前記赤色顔料、緑色顔料及び青色顔料を主成分とし、色再現性を向上する目的で、前記黄色、紫色、オレンジ等の色の有機顔料を色相調整として用いてもよい。
また、本発明のカラーレジスト組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で染料を含有させても良い。染料としては、例えば、下記(b1)
で表される塩やキサンテン系染料等を好ましく例示できる。
前記キサンテン系染料としては、例えば、C.I.アシッドレッド51、52、87、92、289、388、C.I.アシッドバイオレット9、30、C.I.ベーシックレッド8、C.I.モーダントレッド27、ローズベンガルB、スルホローダミンG、ローダミン6G、特開2010−032999号公報や特開2011−138094号公報等に記載されたキサンテン系染料等が挙げられる。
前記キサンテン系染料の中でも、下記式(b2)
[式(b2)中、R1〜R4は、それぞれ独立に、水素原子、−R8又は炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R8、−OH、−OR8、−SO3−、−SO3H、−SO3 −M+、−CO2H、−CO2R8、−SO3R8又は−SO2NR9R10で置換されていてもよい。
R5は、−OH、−SO3−、−SO3H、−SO3 −M+、−CO2H、−CO2 −M+、−CO2R8、−SO3R8又は−SO2NR9R10を表す。
mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR5は同一であるか相異なる。
R6及びR7は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜6のアルキル基を表す。
M+は、+N(R11)4、Na+又はK+を表す。
Xはハロゲン原子を表す。
aは0又は1の整数を表す。
R8は、炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
R9及びR10は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、−OH又はハロゲン原子で置換されていてもよく、該飽和脂肪族炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、−CO−、−NH−又は−NR8−で置き換っていてもよく、R9及びR10は、互いに結合して窒素原子を含んだ3〜10員環の複素環を形成していてもよい。
R11は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基又は炭素原子数7〜10のアラルキル基を表す。]
で表される化合物を主成分とする染料が好ましい。
前記式(b2)中のR1〜R4における炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、トルイル基、キシリル基、メシチル基、プロピルフェニル基及びブチルフェニル基等が挙げられる。
前記式(b2)における炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基は、置換基として、−SO3−、−SO3H、−SO3 −M+及び−SO2NR9R10からなる群から選ばれる少なくとも1種を有していることが好ましく、−SO3 −M+及び−SO2NR9R10からなる群から選ばれる少なくとも1種を有していることがより好ましい。この場合の−SO3 −M+としては、−SO3 −+N(R11)4が好ましい。R1〜R4がこれらの基であると、レジスト組成物は、異物の発生が少なく、かつ耐熱性に優れる塗膜層が得られることが期待できる。
前記式(b2)中のR8〜R11における炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、イコシル基等の炭素数1〜20のアルキル基;シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、トリシクロデシル基等の炭素原子数3〜20のシクロアルキル基等が挙げられる。
前記式(b2)中のR6及びR7における炭素原子数1〜6のアルキル基としては、例えば、上記で挙げたアルキル基のうち、炭素原子数1〜6のもの等が挙げられる。
前記式(b2)中のR11における炭素原子数7〜10のアラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルブチル基等が挙げられる。
前記M+は、例えば、+N(R11)4、Na+又はK+であり、好ましくは+N(R11)4である。前記+N(R11)4としては、例えば、4つのR11のうち、少なくとも2つが炭素原子数5〜20の1価の飽和炭化水素基であることが好ましい。また、4つのR11の合計炭素数は20〜80が好ましく、20〜60がより好ましい。R11がこれらの基であると、本発明のレジスト組成物は、異物が少ない着色塗膜やパターンを形成が期待できる。
また、前記キサンテン系染料の中でも、下記式(b3)
[式(b3)中、R21〜R24は、それぞれ独立に、水素原子、−R26又は炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−SO3−、−SO3 −Ma+、−SO3H、−SO3R26又は−SO2NHR26で置換されていてもよい。
Xは、ハロゲン原子を表す。
a1は、0又は1の整数を表す。
m1は、0〜5の整数を表す。m1が2以上の整数である場合、複数のR25は同一であるか相異なる。
Ma+は、+N(R27)4、Na+又はK+を表す。
R25は、−SO3−、−SO3 −Ma+、−SO3H又はSO2NHR26を表す。
R26は、炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基を表す。
R27は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基又はベンジル基を表す。]
で表される染料がより好ましい。
前記式(b3)中のR21〜R24における炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基としては、例えば、R1〜R4における芳香族炭化水素基として挙げたものと同様の基が挙げられる。中でも、R21及びR23が水素原子で、かつR22及びR24が炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基で、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−SO3−、−SO3−M+、−SO3H、−SO3R26又は−SO2NHR26で置換されていてもよいものであることが好ましい。さらに、R21及びR23が水素原子で、かつ、R22及びR24が炭素原子数6〜10の1価の芳香族炭化水素基で、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−SO3 −M+又は−SO2NHR26で置換されていているものが好ましい。
前記式(b3)中のR26及びR27における炭素原子数1〜20の1価の飽和炭化水素基としては、例えば、前記R8〜R11における飽和炭化水素基として挙げたものと同様の基等が挙げられる。
前記式(b3)中のR21〜R24における−R26は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はエチル基であることが好ましい。
前記式(b3)中の−SO3R26及び−SO2NHR26におけるR26としては、炭素原子数3〜20の分枝鎖状アルキル基が好ましく、炭素原子数6〜12の分枝鎖状アルキル基がより好ましく、2−エチルヘキシル基がさらに好ましい。R26がこれらの基であると、化合物(b3)を含むレジスト組成物は、異物の発生が少ない着色塗膜やパターンが形成できると期待される。
前記Ma+は、+N(R27)4、Na+又はK+であり、好ましくは+N(R27)4である。前記+N(R27)4としては、4つのR27のうち、少なくとも2つが炭素原子数5〜20の1価の飽和炭化水素基であることが好ましい。また、4つのR27の合計炭素原子数は20〜80が好ましく、20〜60がより好ましい。R27がこれらの基である化合物(b3)を含むレジスト組成物は、異物の発生が少ない塗膜層やパターンが形成できると期待される。
前記キサンテン系染料としては、例えば、式(b4)〜式(b21)で表される化合物を主成分とする染料等が挙げられる。尚、下記式中、Raは2−エチルヘキシル基を表す。
キサンテン系染料の主成分となる化合物の中でも、C.I.アシッドレッド289のスルホンアミド化物又はC.I.アシッドレッド289の4級アンモニウム塩が好ましい。このような化合物としては、例えば、式(b4)〜式(b11)、式(b16)及び式(b17)で表される化合物等が挙げられる。
前記式(b1)で表される化合物は、例えば、−SO3Hを有する色素または色素中間体を定法によりクロル化して、得られた−SO2Clを有する色素または色素中間体をR8−NH2で表されるアミンと反応させることにより製造することができる。また、特開平3−78702号公報3頁の右上欄〜左下欄に記載の方法により製造された色素を、上記同様、クロル化後、アミンと反応させることにより製造することもできる。
前記顔料(B)は、単独で用いることも2種以上併用することもできる。
前記顔料(B)の配合量は、後述するアルカリ可溶性樹脂(C)と重合性化合物(D)との合計100質量部に対して、質量基準で10〜100質量部の範囲であることが好ましく、質量基準で10〜80質量部の範囲であることがより好ましく、15〜65質量部の範囲であることが更に好ましい。
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂(C)としては、アルカリ現像液に可溶のものである。アルカリ可溶性樹脂(C)は、カルボキシル基、フェノール性水酸基及びスルホン酸基の群から選ばれる少なくとも1つの酸性基又はその塩を有する樹脂が好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂(C)について、より具体的に説明すると、例えば、以下の樹脂等が挙げられる。
・酸性基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られるアルカリ可溶性樹脂(C1)。
・反応性基を持つ(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られる酸性基を有さない重合体と、該反応性基に対して反応性を有する反応性基と酸基とを有する化合物とを反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(C2)
・エポキシ基含有(メタ)アクリレートと、他の重合性単量体との共重合体に対し、該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和モノカルボン酸を付加させ、さらに不飽和モノカルボン酸の付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部にポリカルボン酸の酸無水物を付加反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(C3)。
・カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(C4)
以下に、上記(C1)〜(C4)について詳細に説明する。
前記アルカリ可溶性樹脂(C1)としては、例えば、カルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られるアルカリ可溶性樹脂やスルホン酸基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られるアルカリ可溶性樹脂等が挙げられる。中でも、カルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られるアルカリ可溶性樹脂が好ましい。
前記カルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、ケイ皮酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシプロピルコハク酸、2−(メタ)アクリロイルオキシプロピルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシプロピルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシプロピルヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシブチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイルオキシブチルアジピン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシブチルマレイン酸、2−(メタ)アクリロイルオキシブチルヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシブチルフタル酸等の重合性単量体;
アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトンを付加させた重合性単量体;ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートにコハク酸、マレイン酸、フタル酸、又はこれらの酸無水物を付加させた重合性単量体等が挙げられる。これらのカルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。前記カルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体の中でも、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルコハク酸が好ましい。
前記スルホン酸基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸−2−スルホエチル、(メタ)アクリル酸−2−スルホプロピル、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロパンスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸又はこれらの塩等が挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂(C1)を調製する際は、本発明の効果を損なわない範囲で他の重合性単量体を併用しても良い。他の単量体としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシメチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル;
スチレン及びその誘導体等の芳香族ビニル化合物;N−ビニルピロリドン等のビニル化合物;N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド等のN−置換マレイミド;
ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー、ポリスチレンマクロモノマー、ポリ2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートマクロモノマー、ポリエチレングリコールマクロモノマー、ポリプロピレングリコールマクロモノマー、ポリカプロラクトンマクロモノマー等のマクロモノマーなどが挙げられる。他の重合性単量体は1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
上記他の重合性単量体の中でも、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−フェニルマレイミドが、透明性が良好で、耐熱性を損ないにくいアルカリ可溶性樹脂が得られることから好ましい。
これら他の重合性単量体の使用量は、全重合性単量体成分中95質量%以下が好ましく、85質量%以下がより好ましい。
アルカリ可溶性樹脂(C1)の具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸と、メチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシルマレイミド等の水酸基を含まない重合性単量体と、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等の水酸基含有重合性単量体との共重合体;
(メタ)アクリル酸と、メチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート等の(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体;
(メタ)アクリル酸とスチレンとの共重合体;(メタ)アクリル酸とスチレンとα−メチルスチレンとの共重合体;(メタ)アクリル酸とシクロヘキシルマレイミドとの共重合体等が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂(C1)の中でも顔料分散性に優れるカラーレジスト組成物が得られることから、ベンジル(メタ)アクリレートを用いたアルカリ可溶性樹脂が好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂(C1)の酸価は、10〜500mgKOH/gの範囲が好ましく、30〜350mgKOH/gの範囲がより好ましく、40〜300mgKOH/gの範囲がさらに好ましい。また、前記アルカリ可溶性樹脂(C1)のGPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜100,000の範囲が好ましく、3,000〜80,000の範囲がより好ましく、4,000〜50,000の範囲がさらに好ましい。
本発明においては、カルボキシル基を有する(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られるカルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂のカルボキシル基にエポキシ基含有不飽和化合物を付加させたアルカリ可溶性樹脂(C1−1)も用いることもできる。
前記エポキシ基含有不飽和化合物としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジル−α−エチルアクリレート、クロトニルグリシジルエーテル、(イソ)クロトン酸グリシジルエーテル、N−(3,5−ジメチル−4−グリシジル)ベンジルアクリルアミド、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。また、耐熱性の向上、前記顔料(B)の分散性の向上を図れることから、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物が好ましい。
前記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物が有する脂環式エポキシ基としては、例えば、2,3−エポキシシクロペンチル基、3,4−エポキシシクロヘキシル基、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕基等が挙げられる。また、エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基が好ましい。脂環式エポキシ基含有不飽和化合物は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
前記カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性樹脂のカルボキシル基部分に、前記エポキシ基含有不飽和化合物を付加させるには、公知の手法を用いることができる。例えば、カルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂とエポキシ基含有不飽和化合物とを、トリエチルアミン、ベンジルメチルアミン等の3級アミン;ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩;ピリジン、トリフェニルホスフィン等の触媒の存在下、有機溶剤中、反応温度50〜150℃で数時間〜数十時間反応させることにより、樹脂のカルボキシル基にエポキシ基含有不飽和化合物を付加することができる。
前記アルカリ可溶性樹脂(C1−1)の酸価は、10〜500mgKOH/gの範囲が好ましく、30〜350mgKOH/gの範囲がより好ましく、40〜300mgKOH/gの範囲がさらに好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂(C1−1)のGPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、2,000〜100,000の範囲が好ましく、3,000〜80,000の範囲がより好ましく、4,000〜50,000の範囲がさらに好ましい。
また、前記アルカリ可溶性樹脂(C1)の中でも、エーテルダイマーやアダマンチル基等の脂環構造を有する(メタ)アクリル酸エステルを重合性単量体として用いて得られたアルカリ可溶性樹脂(C1−2)がより好ましい。
前記エーテルダイマーとしては、例えば、ジメチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−プロピル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソプロピル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−ブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−アミル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ステアリル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ラウリル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−エチルヘキシル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−メトキシエチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−エトキシエチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジフェニル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチルシクロヘキシル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ジシクロペンタジエニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(トリシクロデカニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソボルニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジアダマンチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−メチル−2−アダマンチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも、ジメチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエートが好ましい。これらのエーテルダイマーは、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
アルカリ可溶性樹脂(C1−2)の原料としてエーテルダイマーを用いる場合は、重合性単量体中におけるエーテルダイマーの割合は、ゲル化を抑制して低分子量のアルカリ可溶性樹脂が得られ、透明性や耐熱性に優れるカラーレジスト組成物となることから、全重合性単量体の質量の2〜60質量%の範囲が好ましく、5〜55質量%の範囲がより好ましく、5〜50重量%の範囲がさらに好ましい。
一方、アルカリ可溶性樹脂(C1−2)の原料としてアダマンチル基等の脂環構造を有する(メタ)アクリル酸エステルを用いる場合は、該(メタ)アクリル酸エステルの使用割合は、前記顔料(B)の分散性を向上でき、地汚れ適性が良好なカラーレジスト組成物が得られることから、全重合性単量体の質量の0.5〜60質量%の範囲が好ましく、1〜55質量%の範囲がより好ましく、5〜50重量%の範囲がさらに好ましい。
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂(C1)の製造方法としては、特に制限はなく、従来公知の各種方法を採用することができるが、特に、溶液重合法が好ましい。なお、重合温度や重合濃度(重合濃度(質量%)=[重合性単量体の全質量/(重合性単量体の全質量+溶媒質量)]×100)は、使用する重合性単量体の種類や比率、目標とするアルカリ可溶性樹脂の分子量によって異なる。重合温度に関しては、40〜150℃の範囲が好ましく、重合温度60〜130℃の範囲がより好ましい。また、重合濃度に関しては、5〜50質量%の範囲が好ましく、10〜40質量%の範囲がより好ましい。
溶液重合法で用いる溶媒は、通常のラジカル重合反応で使用されるものでよい。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。これら溶媒は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
前記重合性単量体を重合する際には、必要に応じて、重合開始剤を使用しても良い。重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物などが挙げられる。これら重合開始剤は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。これらの重合開始剤の使用量は、用いる単量体の組み合わせや、反応条件、目標とするアルカリ可溶性樹脂(C1)の分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千〜数万のアルカリ可溶性樹脂が得られることから、全重合性単量体成分に対して0.1〜15質量%の範囲が好ましく、0.5〜10質量%の範囲がより好ましい。
また、分子量調整のために、連鎖移動剤を添加してもよい。連鎖移動剤としては、例えば、n−ドデシルメルカプタン、メルカプト酢酸、メルカプト酢酸メチル等のメルカプタン系連鎖移動剤;α−メチルスチレンダイマー等が挙げられるが、連鎖移動効果が高く、反応系内に残存する重合性単量体を低減でき、入手も容易な、n−ドデシルメルカプタン、メルカプト酢酸が好ましい。連鎖移動剤を使用する場合の使用量は、用いる単量体の組み合わせや、反応条件、目標とする単量体の分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千〜数万のアルカリ可溶性樹脂を得られることから、全単量体に対して0.1〜15質量%の範囲が好ましく、0.5〜10質量%の範囲がより好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂(C2)は、反応性基を持つ(メタ)アクリル系重合性単量体を必須の成分として重合させて得られる酸性基を有さない重合体と、該反応性基に対して反応性を有する反応性基と酸基とを有する化合物とを反応させて得られる。アルカリ可溶性樹脂(C2)は、例えば、以下のアルカリ可溶性樹脂が例示できる。
・2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのような水酸基を有する重合性単量体を必須の成分として重合体を得た後、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させて得られるアルカリ可溶性樹脂。
・グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する重合性単量体を必須の成分として重合体を得た後、N−メチルアミノ安息香酸、N−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させて得られるアルカリ可溶性樹脂。
・2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有する重合性単量体を必須の成分として重合体を得た後、2−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させて得られるアルカリ可溶性樹脂。
前記アルカリ可溶性樹脂(C2)の重量平均分子量は、塗膜形成性が良好で耐熱性に優れる塗膜が得られることから、GPCにて測定したポリスチレン換算の重量平均分子量が1,000〜200,000の範囲が好ましく、2,000〜50,000の範囲がより好ましく、2,000〜30,000の範囲がさらに好ましい。また、必要に応じ、前記アルカリ可溶性樹脂(C1)の調製に用いる重合性単量体を併用してアルカリ可溶性樹脂(C2)を得ても良い。
前記アルカリ可溶性樹脂(C3)は、エポキシ基含有(メタ)アクリレートと、他の重合性単量体との共重合体に対し、該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部に不飽和モノカルボン酸を付加させ、さらに不飽和モノカルボン酸の付加反応により生じた水酸基の少なくとも一部にポリカルボン酸の酸無水物を付加反応させて得られる。
前記エポキシ基含有(メタ)アクリレートとしては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。中でもグリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。これらのエポキシ基含有(メタ)アクリレートは1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
また、前記アルカリ可溶性樹脂(C3)の原料であるエポキシ基含有(メタ)アクリレート以外の他の重合性単量体として、ノルボルネン骨格、ジシクロペンタジエン骨格等の脂環式構造を有するモノマーを用いると、本発明のカラーレジスト組成物の硬化物の耐熱性、機械的強度を向上できるため好ましい。
また、脂環式構造を有さない重合性単量体を前記エポキシ基含有(メタ)アクリレート以外の他の重合性単量体として用いてもよい。このような重合性モノマーとしては、例えば、スチレン、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド、エステル誘導体等のビニル芳香族類;
ブタジエン、2,3−ジメチルブタジエン、イソプレン、クロロプレン等のジエン類;
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸−n−プロピル、(メタ)アクリル酸−i−プロピル、(メタ)アクリル酸−n−ブチル、(メタ)アクリル酸−s−ブチル、(メタ)アクリル酸−t−ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボロニル、(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸プロパギル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ナフチル、(メタ)アクリル酸アントラセニル、(メタ)アクリル酸アントラニノニル、(メタ)アクリル酸ピペロニル、(メタ)アクリル酸サリチル、(メタ)アクリル酸フリル、(メタ)アクリル酸フルフリル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ピラニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸フェネチル、(メタ)アクリル酸クレジル、(メタ)アクリル酸−1,1,1−トリフルオロエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオルエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−iso−プロピル、(メタ)アクリル酸トリフェニルメチル、(メタ)アクリル酸クミル、(メタ)アクリル酸−3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル等の(メタ)アクリル酸エステル類;
(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸−N,N−ジ−i−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド;(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、酢酸ビニル等のビニル化合物類;
シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジエステル類;N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド等のモノマレイミド類;N−(メタ)アクリロイルフタルイミド等が挙げられる。
上記の他の重合性単量体の中でも、本発明のカラーレジスト組成物の硬化物の耐熱性、機械的強度を向上できることから、スチレン、(メタ)アクリル酸ベンジル及びモノマレイミド類の中から少なくとも1種を用いることが好ましい。スチレン、(メタ)アクリル酸ベンジル及びモノマレイミド類の使用割合は、他の重合性単量体の全量を基準として1〜70モル%が好ましく、3〜50モル%がより好ましい。
なお、前記エポキシ基含有(メタ)アクリレートと、前記他の重合性単量体との共重合反応は、ラジカル重合開始剤を用いた溶液重合法等の公知の重合方法を用いることができる。使用する溶剤はラジカル重合に不活性なものであれば特に限定されるものではなく、通常用いられている有機溶剤を使用することができる。
前記エポキシ基含有(メタ)アクリレートと前記他の重合性単量体との共重合体としては、エポキシ基含有(メタ)アクリレートに由来する繰返し単位5〜90モル%と、他のラジカル重合性モノマーに由来する繰返し単位10〜95モル%とからなるものが好ましく、前者20〜80モル%と、後者80〜20モル%とからなるものがより好ましく、前者30〜70モル%と、後者70〜30モル%とからなるものがさらに好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂(C3)は、上記エポキシ基含有(メタ)アクリレートと他の重合性単量体との共重合体のエポキシ基部分に、不飽和モノカルボン酸(重合性成分)と、ポリカルボン酸の酸無水物(アルカリ可溶性成分)とを反応させる事により得られる。
前記不飽和モノカルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、α位がハロアルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、又はシアノ基などで置換された(メタ)アクリル酸等のモノカルボン酸等が挙げられる。これらの中でも(メタ)アクリル酸が好ましい。これらの不飽和モノカルボン酸は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。この不飽和モノカルボン酸を用いることで、前記アルカリ可溶性樹脂(C3)に重合性を付与することができる。
前記不飽和モノカルボン酸は、通常、前記共重合体が有するエポキシ基の10〜100モル%に付加させることが好ましく、30〜100モル%に付加させることがより好ましく、50〜100モル%に付加させることがさらに好ましい。
前記ポリカルボン酸の酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸等のジカルボン酸の酸無水物;無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物等の3つ以上のカルボキシル基を有するカルボン酸の無水物などが挙げられる。これらの中でも、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸が好ましい。これらのポリカルボン酸の酸無水物は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。このポリカルボン酸の酸無水物を用いることで、前記アルカリ可溶性樹脂(C3)にアルカリ可溶性を付与することができる。
前記ポリカルボン酸の酸無水物は、通常、前記共重合体が有するエポキシ基に、不飽和モノカルボン酸を付加させることにより生じる水酸基の10〜100モル%に付加させることが好ましく、20〜90モル%に付加させることがより好ましく、30〜80モル%に付加させることがさらに好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂(C3)のゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、3,000〜100,000の範囲が好ましく、5,000〜50,000の範囲がより好ましい。また、前記アルカリ可溶性樹脂(C3)の分散度(Mw/Mn)は、2.0〜5.0の範囲が好ましい。
前記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(C4)は、例えば、エポキシ樹脂にα,β−不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸無水物を反応させることにより得られる。
前記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(市販品として、三菱化学株式会社製の「jER828」、「jER1001」、「jER1002」、「jER1004」等)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(市販品として、日本化薬株式会社製の「NER−1302」(エポキシ当量323,軟化点76℃))、ビスフェノールF型樹脂(市販品として、三菱化学株式会社製の「jER807」、「EP−4001」、「EP−4002」、「EP−4004」等)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂のアルコール性水酸基とエピクロルヒドリンの反応により得られるエポキシ樹脂(市販品として、日本化薬株式会社製の「NER−7406」(エポキシ当量350,軟化点66℃))、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニルグリシジルエーテル(市販品として、三菱化学株式会社製の「YX−4000」)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(市販品として、日本化薬株式会社製の「EPPN−201」、三菱化学株式会社製の「EP−152」、「EP−154」、ダウケミカル日本株式会社製の「DEN−438」)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(市販品として、日本化薬株式会社製の「EOCN−102S」、「EOCN−1020」、「EOCN−104S」)、トリグリシジルイソシアヌレート(市販品として、日産化学工業株式会社製の「TEPIC」)、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂(市販品として、日本化薬株式会社製の「EPPN−501」、「EPN−502」、「EPPN−503」)、フルオレンエポキシ樹脂(市販品として、新日鐵化学株式会社製のカルドエポキシ樹脂「ESF−300」)、脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学工業株式会社製の「セロキサイド2021P」、「セロキサイドEHPE」)、ジシクロペンタジエンとフェノールの反応によるフェノール樹脂をグリシジル化したジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(例えば、日本化薬株式会社製の「XD−1000」、DIC株式会社製の「EXA−7200」、日本化薬株式会社製の「NC−3000」、「NC−7300」)、フルオレン骨格を有するエポキシ樹脂(特開平4−355450号公報参照)等を用いることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
エポキシ樹脂の他の例としては共重合型エポキシ樹脂が挙げられる。共重合型エポキシ樹脂としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルメチルシクロヘキセンオキサイド、ビニルシクロヘキセンオキサイド等のエポキシ基を有するモノマーと、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、スチレン、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、α−メチルスチレン、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、ポリオキシアルキレン鎖を有する(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有さない重合性単量体とを共重合させて得られる共重合体が挙げられる。
前記ポリオキシアルキレン鎖を有する(メタ)アクリレートとしては、例えば、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート;メトキシジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、メトキシテトラエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、等のアルコキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート等が挙げられる。
前記共重合型エポキシ樹脂の分子量は、1,000〜200,000の範囲が好ましい。また、共重合型エポキシ樹脂の原料として用いるエポキシ基を有するモノマーの使用量は、エポキシ基を有さないモノマーに対して10〜70質量%の範囲が好ましく、20〜50質量%の範囲がより好ましい。
前記共重合型エポキシ樹脂の市販品としては、例えば、日油株式会社製の「CP−15」、「CP−30」、「CP−50」、「CP−20SA」、「CP−510SA」、「CP−50S」、「CP−50M」、「CP−20MA」等が挙げられる。
前記エポキシ樹脂の分子量は、塗膜形成性が良好でα,β−不飽和モノカルボン酸の付加反応時のゲル化を防止できることから、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量として、200〜200,000の範囲が好ましく、300〜100,000の範囲がより好ましい。
α,β−不飽和モノカルボン酸としては、例えば、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられ、アクリル酸及びメタクリル酸が好ましく、アクリル酸が反応性に良好なことからより好ましい。エステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとしては、アクリル酸−2−サクシノイルオキシエチル、アクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル、アクリル酸−2−フタロイルオキシエチル、アクリル酸−2−ヘキサヒドロフタロイルオキシエチル、メタクリル酸−2−サクシノイルオキシエチル、メタクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル、メタクリル酸−2−フタロイルオキシエチル、メタクリル酸−2−ヘキサヒドロフタロイルオキシエチル、クロトン酸−2−サクシノイルオキシエチル等が挙げられ、アクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル及びアクリル酸−2−フタロイルオキシエチルが好ましく、アクリル酸−2−マレイノイルオキシエチルがより好ましい。これらのα,β−不飽和モノカルボン酸及びα,β−不飽和モノカルボン酸エステルは、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルと、エポキシ樹脂との付加反応は、公知の方法を用いることができ、例えば、エステル化触媒存在下、50〜150℃の温度で反応させる方法が挙げられる。エステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の3級アミン;テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩等を用いることができる。
α,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルの使用量は、原料となるエポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対し0.5〜1.2当量の範囲が好ましく、0.7〜1.1当量の範囲がより好ましい。
α,β−不飽和カルボン酸又はそのエステルが付加したエポキシ樹脂に、さらに付加させる多塩基酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらの中でも、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が好ましく、無水テトラヒドロフタル酸及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物がより好ましい。これらの多塩基酸無水物は、1種類のみで用いることも2種以上併用することもできる。
多塩基酸無水物の付加反応についても公知の方法を用いることができ、α,β−不飽和カルボン酸又はそのエステルの付加反応と同様な条件下で連続して反応させることができる。多塩基酸無水物の使用量は、アルカリ現像性及び良好な塗膜を形成できることから、生成するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価が10〜150の範囲となるような量が好ましく、20〜140の範囲となるような量がより好ましい。
また、カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂として特開平6−49174号公報記載のナフタレン含有樹脂;特開2003−89716号公報、特開2003−165830号公報、特開2005−325331号公報、特開2001−354735号公報記載のフルオレン含有樹脂;特開2005−126674号公報、特開2005−55814号公報、特開2004−295084号公報等に記載の樹脂も例示できる。また、市販品としては、ダイセル化学工業株式会社製の「ACA−200M」等も例示できる。
前記アルカリ可溶性樹脂(C)は、上記のアルカリ可溶性樹脂(C1)〜(C4)のうち1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。また、アルカリ可溶性樹脂(C)は、後述する顔料分散剤と併用することで、基板上の非画素部に未溶解物が残存することなく、基板との密着性に優れた、高濃度の色画素を形成できるため好ましい。具体的には、アルカリ可溶性樹脂(C)の一部を後述の顔料分散剤とともに、分散処理工程に使用することが好ましい。この場合、アルカリ可溶性樹脂(C)は、顔料に対して5〜200質量%の範囲で使用することが好ましく、10〜100質量%の範囲で使用することがより好ましい。
また、本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂(C)として、上記のアルカリ可溶性樹脂(C1)〜(C4)以外のアルカリ可溶性樹脂を使用しても良い。このような樹脂として、例えば、酸性基としてフェノール性水酸基を有する重合性単量体を必須成分として用いて得られるアルカリ可溶性樹脂や、酸性基としてスルホン酸基を有する重合性単量体を必須成分として用いて得られるアルカリ可溶性樹脂等が挙げられる。ここで、前記フェノール性水酸基を有する重合性単量体としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。また、これらの単量体の芳香環に結合したフェノール性水酸基及びビニル基以外の1個以上の水素原子が、アルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等も挙げられる。また、酸性基としてスルホン酸基を有する重合性単量体としては、例えば、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アリルオキシプロパンスルホン酸、(メタ)アクリル酸−2−スルホエチル、又はこれらの塩等が挙げられる。
本発明のレジスト組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂(C)の含有割合は、塗膜層の外観や基板への密着性が良好となることから、全固形分中に0.1〜80質量%の範囲が好ましく、1〜60質量%の範囲がより好ましい。
本発明で用いる重合性化合物(D)としては、例えば、エチレン性不飽和結合を一つ以上有する重合性化合物を例示することができる。
エチレン性不飽和結合を一つ有する重合性化合物(D1)としては、例えば、前記(c1)、(c2)、(c3)として挙げた化合物等が挙げられる。中でも、(メタ)アクリル酸エステル類が好ましい。
エチレン性不飽和結合を二つ有する重合性化合物(D2)としては、例えば、1,3―ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシエチル)エーテル、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を三つ有する重合性化合物(D3)としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物等が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を四つ有する重合性化合物(D4)としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を5つ以上有する重合性化合物(D5)としては、例えば、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートと酸無水物カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレートと酸無水物等が挙げられる。
また、本発明で用いる重合性化合物(D)として、光硬化性樹脂も例示することができる。
前記光硬化性樹脂は、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシビニルエステル樹脂、マレイミド基含有樹脂等が挙げられる。
前記ウレタン(メタ)アクリレート樹脂は、例えば、脂肪族ポリイソシアネート化合物又は芳香族ポリイソシアネート化合物とヒドロキシ基含有(メタ)アクリレート化合物とを反応させて得られるウレタン結合と(メタ)アクリロイル基とを有する樹脂等が挙げられる。
前記脂肪族ポリイソシアネート化合物としては、例えば、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘプタメチレンジイソシアネート、オクタメチレンジイソシアネート、デカメチレンジイソシアネート、2−メチル−1,5−ペンタンジイソシアネート、3−メチル−1,5−ペンタンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、2−メチルペンタメチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネート、水素添加キシリレンジイソシアネート、水素添加テトラメチルキシリレンジイソシアネート、シクロヘキシルジイソシアネート等が挙げられ、また、芳香族ポリイソシアネート化合物としては、トリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネート等が挙げられる。
前記ヒドロキシ基含有(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、1,5−ペンタンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート等の2価アルコールのモノ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ビス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)ヒドロキシエチルイソシアヌレート等の3価のアルコールのモノ又はジ(メタ)アクリレート、あるいは、これらのアルコール性水酸基の一部をε−カプロラクトンで変性した水酸基含有モノ及びジ(メタ)アクリレート;ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の1官能の水酸基と3官能以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物、あるいは、該化合物をさらにε−カプロラクトンで変性した水酸基含有多官能(メタ)アクリレート;ジプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のオキシアルキレン鎖を有する(メタ)アクリレート化合物;ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリオキシブチレン−ポリオキシプロピレンモノ(メタ)アクリレート等のブロック構造のオキシアルキレン鎖を有する(メタ)アクリレート化合物;ポリ(エチレングリコール−テトラメチレングリコール)モノ(メタ)アクリレート、ポリ(プロピレングリコール−テトラメチレングリコール)モノ(メタ)アクリレート等のランダム構造のオキシアルキレン鎖を有する(メタ)アクリレート化合物等が挙げられる。
上記した脂肪族ポリイソシアネート化合物又は芳香族ポリイソシアネート化合物とヒドロキシ基含有(メタ)アクリレート化合物との反応は、例えば、ウレタン化触媒の存在下、常法により行うことができる。ここで使用し得るウレタン化触媒は、具体的には、ピリジン、ピロール、トリエチルアミン、ジエチルアミン、ジブチルアミンなどのアミン類;トリフェニルホスフィン、トリエチルホスフィンなどのホフィン類;ジブチル錫ジラウレート、オクチル錫トリラウレート、オクチル錫ジアセテート、ジブチル錫ジアセテート、オクチル酸錫などの有機錫化合物;オクチル酸亜鉛などの有機金属化合物が挙げられる。
これらのウレタン(メタ)アクリレート樹脂の中でも特に脂肪族ポリイソシアネート化合物とヒドロキシ基含有(メタ)アクリレート化合物とを反応させて得られるものが硬化塗膜の透明性に優れ、かつ、活性エネルギー線に対する感度が良好で硬化性に優れる点から好ましい。
次に、不飽和ポリエステル樹脂は、例えば、α,β−不飽和二塩基酸又はその酸無水物、該二塩基酸又はその酸無水物以外の二塩基酸及び、グリコール類の重縮合によって得られる硬化性樹脂等が挙げられる。α,β−不飽和二塩基酸又はその酸無水物としては、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、クロルマレイン酸、及びこれらのエステル等が挙げられる。
α,β−不飽和二塩基酸又はその酸無水物以外の二塩基酸やその酸無水物としては、例えば、芳香族飽和二塩基酸、脂肪族二塩基酸、脂環族飽和二塩基酸及びこれらの酸無水物等が挙げられる。芳香族飽和二塩基酸又はその酸無水物としては、例えば、フタル酸、無水フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ニトロフタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、ハロゲン化無水フタル酸及びこれらのエステル等が挙げられる。脂肪族二塩基酸、脂環族飽和二塩基酸及びこれらの酸無水物としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸、グルタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸及びこれらのエステル等が挙げられる。グリコール類としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2−メチルプロパン−1,3−ジオール、ネオペンチルグリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ビスフェノールA、水素化ビスフェノールA、エチレングリコールカーボネート、2,2−ジ−(4−ヒドロキシプロポキシジフェニル)プロパン等が挙げられ、その他にエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド等の酸化物も同様に使用できる。
次に、エポキシビニルエステル樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂のエポキシ基に(メタ)アクリル酸を反応させて得られるもの等が挙げられる。
マレイミド基含有樹脂としては、例えば、N−ヒドロキシエチルマレイミドとイソホロンジイソシアネートとをウレタン化して得られる2官能マレイミドウレタン化合物、マレイミド酢酸とポリテトラメチレングリコールとをエステル化して得られる2官能マレイミドエステル化合物、マレイミドカプロン酸とペンタエリスリトールのテトラエチレンオキサイド付加物とをエステル化して得られる4官能マレイミドエステル化合物、マレイミド酢酸と多価アルコール化合物とをエステル化して得られる多官能マレイミドエステル化合物等が挙げられる。これらの光硬化性樹脂は、単独で用いることも2種以上併用することもできる。
本発明で用いる重合性化合物(D)のなかでも特に塗膜層の硬度に優れる点からトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスルトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスルトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスルトールテトラ(メタ)アクリレート等の3官能以上の多官能(メタ)アクリレートが好ましい。これらの重合性化合物(D)は、単独で用いることも2種以上併用することもできる。
重合性化合物(D)の合計含有量は、カラーレジスト組成物の固形分に対して、10〜50質量%が好ましく、15〜50質量%がより好ましい。重合性化合物(D)の合計含有量が、前記の範囲にあると、感度や、塗膜層の強度や平滑性、信頼性が良好になる傾向がある。
重合性化合物(D)の中でも重合性化合物(D5)の含有量は、カラーレジスト組成物の固形分に対して、1〜50質量%が好ましく、5〜40質量%がより好ましく、5〜35質量%が特に好ましい。重合性化合物(D5)の含有量が、前記の範囲にあると、感度や、塗膜層の強度や平滑性、信頼性が良好になる傾向がある。
また、重合性化合物(D)の中でも重合性化合物(D5)の含有量は、重合性化合物(D1)、(D2)、(D3)、(D4)及び(D5)の合計量に対して、10〜95質量%が好ましく、20〜90質量%がより好ましい。重合性化合物(D5)の含有量が、前記の範囲にあると、感度や、塗膜層の強度や平滑性、信頼性が良好になる傾向がある。
本発明のカラーレジスト組成物は、例えば、ブロック共重合体(A)と顔料(B)とアルカリ可溶性樹脂(C)と重合性化合物(D)とを混合することにより得ることができる。前記ブロック共重合体(A)と顔料(B)とアルカリ可溶性樹脂(C)と重合性化合物(D)とを混合する際には、分散剤を用いて有機溶剤中で分散させて調製した顔料分散液を顔料(B)として用いることが、良好な分散性が得られ、所望の色相を得られることから好ましい。
前記分散剤としては、例えば、界面活性剤;顔料の中間体もしくは誘導体;ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂等の樹脂型分散剤等が挙げられる。これら顔料分散剤の中でも、樹脂型分散剤が好ましく、アクリル系樹脂型の分散剤がより好ましく、主鎖又は側鎖にN,N−ジ置換アミノ基及び酸性基を有するアクリル系重合体を含有する樹脂型分散剤が更に好ましい。このような樹脂型分散剤の市販品としては、例えば、ビックケミー社製の「BYK−160」、「BYK−161」、「BYK−2001」、エフカーケミカルズ社製の「エフカ46」、味の素ファインテクノ株式会社製の「アジスパーPB−814」等が挙げられる。これらの分散剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
前記顔料分散液の調製の際に用いられる有機溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル系溶剤;エトキシプロピオネート等のプロピオネート系溶剤;トルエン、キシレン、メトキシベンゼン等の芳香族系溶剤;ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;N,N−ジメチルホルムアミド、γ−ブチロラクタム、N−メチル−2−ピロリドン等の窒素化合物系溶剤;γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶剤;カルバミン酸エステル等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
前記顔料分散液の調製方法としては、例えば、顔料(B)の混練分散工程と微分散工程を経る方法、微分散工程のみ行う方法等が挙げられる。
前記混練分散工程では、顔料(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)及び必要に応じて前記分散剤を混合し混練する。混練に用いる機械は、例えば、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは二軸の押出機等を混練機として用いることができ、これらの混練機を用いて強い剪断力を加えながら分散することにより顔料(B)を前記アルカリ可溶性樹脂(C)中に分散することができる。また、顔料(B)を上記の混練を行う前に、ソルトミリング法等によって粒子サイズを微細化しておくことが好ましい。ここで、前記アルカリ可溶性樹脂は、本発明のカラーレジスト組成物の製造方法で用いる全量を用いても良いし、一部を用いても良い。
前記微分散工程では、前記混練分散工程で得られた顔料(B)を含む組成物に有機溶剤を加えたもの、又は、顔料(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)溶剤及び必要に応じて前記分散剤を混合したものを、ガラス、ジルコニアやセラミックの微粒の分散用メディアと共に分散機を用いて混合分散することにより、顔料(B)の粒子を一次粒子に近い微小な状態にまで分散することができる。
前記有機溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル系溶剤;エトキシプロピオネート等のプロピオネート系溶剤;トルエン、キシレン、メトキシベンゼン等の芳香族系溶剤;ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;N,N−ジメチルホルムアミド、γ−ブチロラクタム、N−メチル−2−ピロリドン等の窒素化合物系溶剤;γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶剤;カルバミン酸エステル等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
前記顔料(B)の一次粒子の平均粒子径は、10〜100nmであることが好ましく、10〜60nmであることがより好ましい。なお、この顔料(B)の平均粒子径は、動的光散乱式の粒度分布計で測定したものであり、例えば、日機装株式会社製のナノトラック(Nanotrac)粒度分布測定装置「UPA−EX150」、「UPA−EX250」等で測定することができる。
前記カラーレジスト組成物の製造方法おいて、ブロック共重合体(A)と、顔料(B)と、アルカリ可溶性樹脂(C)と、重合性化合物(D)とを混合させる際は、固形分換算でそれぞれ0.0001〜10質量部、5〜80質量部、0.1〜80質量部、5〜80質量部となるように混合させるのが好ましく、それぞれ0.001〜5質量部、5〜70質量部、1〜60質量部、10〜70質量部がより好ましい。
前記カラーレジスト組成物の製造方法において、ブロック共重合体(A)と、顔料(B)と、アルカリ可溶性樹脂(C)と、重合性化合物(D)とを混合させる際は、種々の方法を用いて良い。具体的には、例えば振とう機、ペイントシェーカー、攪拌翼を用いた攪拌等の方法を用いて混合すればよいし、混合する際に必要に応じて有機溶剤を添加させても良い。有機溶剤は、例えば、前記顔料分散液の調整の際に用いることができる有機溶剤を使用できる。有機溶剤の使用量は、例えば、塗膜層形成成分100質量部に対して通常100〜1000質量部である。
本発明のカラーレジスト組成物は紫外線等の活性エネルギー線を照射して、硬化させる為、通常、重合開始剤を配合する。重合開始剤はカラーレジスト組成物の製造時において、ブロック共重合体(A)と、顔料(B)と、アルカリ可溶性樹脂(C)と、重合性化合物(D)を混合させる際に混合しても良いし、(A)と(B)と(C)と(D)とを混合した後に混合しても良い。
前記重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルメチルケタール、アゾビスイソブチロニトリル、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−1−オン、1−(4’−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4’−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’’−ジエチルイソフタロフェン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ベンゾインイソプロピルエーテル、チオキサンソン、2−クロロチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロピルチオキサンソン、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6,−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられ、単独でも2種以上を併用してもよい。これらの中でも、顔料(B)の影響を比較的受けにくく、高い硬化性を示すが2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1が好ましい。
前記重合開始剤の配合量は、顔料(B)、アルカリ可溶性樹脂(C)及び重合性化合物(D)の合計100質量部に対して、0.01〜15質量部の範囲であることが好ましく、0.3〜7質量部の範囲であることがより好ましい。
また、本発明のカラーレジスト組成物には、必要に応じてアミン化合物又はリン化合物等の光増感剤を添加し、光重合を促進することもできる。
更に、本発明のカラーレジスト組成物は、用途、特性等の目的に応じ、本発明の効果を損なわない範囲で、有機溶剤、重合禁止剤、帯電防止剤、消泡剤、粘度調整剤、耐光安定剤、耐熱安定剤、酸化防止剤等の添加剤を配合することができる。
前記有機溶剤としては、例えば、前記顔料分散液の調製方法で用いることが出来る有機溶剤等が挙げられる。有機溶媒の使用量は、用途や目的とする膜厚や粘度によって異なるが、前記アルカリ可溶性樹脂(C)及び重合性化合物(D)の合計に対して、質量基準で、0.5〜6倍量の範囲であることが好ましい。
前記重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
前記帯電防止剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェノール、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミド、脂肪酸ポリエチレングリコールエステル、脂肪酸ソルビタンエステル、ポリオキシエチレン脂肪酸ソルビタンエステル、脂肪酸グリセリンエステル、アルキルポリエチレンイミン等のノニオン系帯電防止剤、アルキルアミン塩、アルキル第4級アンモニウム塩、アルキルイミダゾリン誘導体等のカチオン系帯電防止剤等が挙げられる。
前記消泡剤としては、例えば、シリコーン系消泡剤や、フッ素系消泡剤、ノニオン系界面活性剤、ポリエーテル,高級アルコール、ポリマー系界面活性剤等が挙げられる。
前記粘度調整剤としては、例えば、アルカリ性に調整することによって増粘可能なアクリル重合体や合成ゴムラテックス、分子が会合することによって増粘可能なウレタン樹脂、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、水添加ヒマシ油、アマイドワックス、酸化ポリエチレン、金属石鹸、ジベンジリデンソルビトール等が挙げられる。
前記耐光安定剤としては、例えば、ヒンダードアミン系化合物、リン系化合物、シアノアクリレート系化合物等が挙げられる。
前記耐熱安定剤としては、例えば、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、1,1,3−トリス(2−メチル−4−ヒドロキシ−5−5−t−ブチル フェニル)ブタン、N,N’−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシケイ皮酸アミド)、4,4’−ビス(2,6−ジ−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−エチル−6−t−ブチルフェノール)、ペンタエリスリチル−テトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]等のヒンダードフェノール類;N,N’−ビス(β−ナフチル)−p−フェニレンジアミン、N−N’−ジフェニル−p−フェニレンジアミン、ポリ(2,2,4−トリメチル−1,2−ジヒドロキノリン)等の芳香族アミン類;ジラウリルチオジプロピオネート等のイオウ化合物;トリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)フォスファイト等のリン化合物等が挙げられる。
前記酸化防止剤としては、例えば、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤、有機硫黄系酸化防止剤、リン酸エステル系酸化防止剤等が挙げられる
本発明のカラーフィルターは、本発明のカラーレジスト組成物の塗膜層が基板上に形成されていることを特徴とする。本発明のカラーフィルターは、例えば、以下の工程を含む製造方法で製造することができる。
(1)ブロック共重合体(A)と、顔料(B)と、アルカリ可溶性樹脂(C)と、重合性化合物(D)とを混合し、カラーレジスト組成物を得る工程。
(2)前記カラーレジスト組成物の塗膜層を基板上に形成し、塗膜層を有する基板を得る工程。
(3)前記塗膜層を乾燥(プリベーク)させ、乾燥した塗膜層を有する基板を得る工程。
(4)前記乾燥した塗膜層上にフォトマスクを用いて所望のパターンを露光する工程。
(5)アルカリ現像液を用いて現像処理を行う工程。
(6)蒸留水で洗浄(リンス)後、乾燥する工程。
前記基板としては、透明で適度の強度のものであれば、その材質は特に限定されるものではない。材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂;ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン系樹脂;ポリカーボネート系樹脂;ポリメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂;ポリスルホン系樹脂等の熱可塑性樹脂製シート;エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂シート;または各種ガラス等が挙げられる。この中でも、耐熱性が高いことからガラスが好ましい。これらの透明基板には、接着性等の表面物性の改良のため、必要に応じ、コロナ放電処理やオゾン処理等の表面処理、シランカップリング剤やウレタン系樹脂等の各種樹脂等による薄膜形成処理等を行なってもよい。透明基板の厚さは、通常0.05mm以上、好ましくは0.1mm以上、また、通常10mm以下、好ましくは7mm以下である。また、各種樹脂による薄膜形成処理を行なう場合、その膜厚は、通常0.01μm以上、好ましくは0.05μm以上、また、通常10μm以下、好ましくは5μm以下、更に好ましくは1〜2μmの範囲である。
カラーフィルターは、通常、上述の基板上にブラックマトリックスを設け、更に赤色、緑色、青色の各画素画像を形成するレジスト組成物の塗膜を形成することにより、作製することができる。前記ブラックマトリックスは、遮光金属薄膜を利用して形成しても良いし、前記ブロック共重合体(A)と、黒色の着色剤と、アルカリ可溶性樹脂(C)と、重合性化合物(D)を混合して得られるレジスト組成物を用いて形成しても良い。
前記遮光金属薄膜を形成する為に用いることができる遮光金属材料としては、例えば、金属クロム、酸化クロム、窒化クロム等のクロム化合物や、ニッケルとタングステンの合金等が用いられ、前記遮光金属薄膜は、これらの社交金属材料を複数層状に積層させたものであってもよい。これらの遮光金属薄膜は、一般にスパッタリング法によって形成される。
前記金属クロムに対しては硝酸第二セリウムアンモニウムと過塩素酸および/または硝酸とを混合したエッチング液を用い、その他の材料に対しては、材料に応じたエッチング液を用いて蝕刻し、最後にレジスト組成物を専用の剥離剤で剥離することによって、ブラックマトリックスを形成することができる。この場合、先ず、蒸着またはスパッタリング法等により、基板上にこれら金属または金属酸化物の薄膜を形成する。次いで、この薄膜上にブラックマトリックスを形成するためのレジスト組成物の塗膜層を形成する。次いで、ストライプ、モザイク、トライアングル等の繰り返しパターンを有するフォトマスクを用いて、塗膜層を露光・現像し、画像を形成する。その後、この塗膜層にエッチング処理を施してブラックマトリックスを形成することができる。
ブラックマトリックスを設けた基板上に、赤色、緑色、青色のうち一色の色材を含有するカラーレジスト組成物を塗布し、乾燥した後、塗膜層の上にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化または光硬化により画素画像を形成させ、着色層を作成する。この操作を、赤色、緑色、青色の三色のカラーレジスト組成物について各々行うことによって、カラーフィルター画像を形成することができる。
前記カラーレジスト組成物の基板への供給方法としては、例えば、グラビアコーター、ロールコーター、コンマコーター、ナイフコーター、カーテンコーター、シャワーコーター、スピンコーター、スリットコーター、スリット・アンド・スピンコーター、スリットダイコーター、ディッピング、スクリーン印刷、スプレー、アプリケーター、バーコーター等を用いた方法等が挙げられる。
塗膜層の厚さは、厚過ぎるとパターン現像が困難となるとともに、液晶セル化工程でのギャップ調整が困難となることがある一方で、薄過ぎると顔料濃度を高めることが困難となり、所望の色発現が不可能となることがある。塗膜層の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常0.2〜20μm、好ましくは0.5〜10μm、更に好ましくは0.8〜5μmの範囲である。
基板にカラーレジスト組成物を塗布し塗膜層を基板上に形成した後、(3)工程において乾燥(プリベーク)させる。乾燥(プリベーク)は、例えば、ホットプレート、オーブン等で50〜140℃の温度範囲で10〜300秒間加熱することにより行うことができる。中でも、70〜130℃の温度範囲で30〜180秒間加熱するのが好ましく、80〜120℃の温度範囲で30〜90秒間加熱するのがより好ましい。また、より完全に乾燥を行うため、乾燥(プリベーク)前に真空乾燥を行っても構わない。
乾燥(プリベーク)後に、(4)工程でフォトマスクを用いて所望のパターンに露光する。具体的には、例えば、乾燥(プリベーク)した塗膜層上に、ネガのマトリックスパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外線または可視光線等の活性エネルギー線の照射を行う。この際、必要に応じ、レジスト組成物により形成された塗膜層の酸素による感度の低下を防ぐため、該塗膜層上にポリビニルアルコール層等の酸素遮断層を形成した後に露光を行ってもよい。
前記活性エネルギー線としては、光、電子線、放射線等の活性エネルギー線が挙げられる。具体的なエネルギー源又は硬化装置としては、例えば、殺菌灯、紫外線用蛍光灯、カーボンアーク、キセノンランプ、複写用高圧水銀灯、中圧又は高圧水銀灯、超高圧水銀灯、無電極ランプ、メタルハライドランプ、自然光等を光源とする紫外線、又は走査型、カーテン型電子線加速器による電子線等が挙げられる。なお、電子線で硬化させる場合には、前記レジスト組成物への前記重合開始剤の配合は不要である。
前記活性エネルギー線の中でも特に紫外線であることが好ましい。また、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射すると塗膜の表面硬化性が向上するため好ましい。また、必要に応じて熱をエネルギー源として併用し、活性エネルギー線にて硬化した後、熱処理を行ってもよい。
露光後は、(5)工程において現像処理を行う。上記の現像処理では、未露光の未硬化部分をアルカリ現像液に溶出させ、光硬化した硬化部分のみを残す。アルカリ現像液としては、未硬化部分を溶解し、RGBの各画素部及びブラックマトリックス部となる硬化部分を溶解しないものであれば特に制限なく用いることができる。具体的なアルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5,4,0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。このアルカリ現像液のアルカリ濃度は0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。また、現像温度としては、通常20℃〜30℃であり、現像時間としては20〜90秒の範囲が好ましい。
現像処理後には、(6)工程において蒸留水で洗浄(リンス)後、乾燥する。洗浄、乾燥する際は必要に応じてポストベーク処理を行なうことができる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常200〜250℃の温度範囲で加熱する。ポストベーク処理は、現像後の層を、前記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行える。
発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルターを有することを特徴とする。具体的には、本発明のカラーフィルターの画素上にITO等の透明電極を形成した基板を他の基板とともに液晶層を挟持する基板として用い、バックライト、偏光板、液晶層を組み合わせた液晶表示装置を例示することができる。
本発明のカラーフィルターを用いた液晶表示装置は、例えば、テレビ、パーソナルコンピューター、プロジェクター、携帯ゲーム機、携帯電話、携帯情報端末(PDA)、デジタルオーディオプレイヤー、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーション等の画像表示部として広範囲に用いることができる。
以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明をさらに詳しく説明する。例中、断りのない限り、部、%は質量基準である。GPCの測定条件は下記の通りである。
[GPC測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」、
カラム:東ソー株式会社製ガードカラム「HHR−H」(6.0mmI.D.×4cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR−N」(7.8mmI.D.×30cm)
検出器:ELSD(オルテックジャパン株式会社製「ELSD2000」)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIデータ解析バージョン4.30」
測定条件:カラム温度 40℃
展開溶媒 テトラヒドロフラン(THF)
流速 1.0ml/分
試料:樹脂固形分換算で1.0質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(5μl)。
標準試料:前記「GPC−8020モデルIIデータ解析バージョン4.30」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
(単分散ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−1000」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
東ソー株式会社製「F−40」
東ソー株式会社製「F−80」
東ソー株式会社製「F−128」
東ソー株式会社製「F−288」
東ソー株式会社製「F−550」
参考製造例1(顔料分散液の製造)
赤色顔料であるC.I.PigmentRed254(BASF社製「IRGAPHOR RED BT−CF」、分子量357.2)10gをポリビンに入れ、プロピレングリコールモノメチルエーテアセテート(PGME)44gと、DISPERBYK LPN21116(ビックケミー株式会社製)12gと、0.3−0.4mmΦのセプルビーズを加え、ペイントコンディショナー(東洋精機株式会社製)で2時間分散し、赤色の顔料分散液(1)を得た。
参考製造例2(同上)
黄色顔料であるC.I.PigmentYellow129(チバスペシャリティケミカルズ社製「イルガジンイエローL0800」、分子量324.8)10gをポリビンに入れ、PGMEAを67gと、DISPERBYK 161(ビックケミー株式会社製)23gと、0.3−0.4mmΦのセプルビーズを加え、ペイントコンディショナー(東洋精機株式会社製)で2時間分散し、黄色の顔料分散液(2)を得た。
参考製造例3(同上)
黄色顔料としてC.I.PigmentYellow138(BASF社製「パリオトールイエローK0961HD」、分子量695.0)を用いた以外は参考製造例2と同様にして黄色の顔料分散液(3)を得た。
参考製造例4(同上)
黄色顔料としてC.I.PigmentYellow139(BASF社製「パリオトールイエローD1819」、分子量367.3)を用いた以外は参考製造例2と同様にして黄色の顔料分散液(4)を得た。
参考製造例5(同上)
黄色顔料としてC.I.PigmentYellow150(ランクセス社製「E4GNGT」、分子量282.2)を用いた以外は参考製造例2と同様にして、黄色の顔料分散液(5)を得た。
参考製造例6(同上)
黄色顔料としてC.I.PigmentYellow185(BASF社製「パリオトールイエローD1155」、分子量337.3)を用いた以外は参考製造例2と同様にして、黄色の顔料分散液(6)を得た。
参考製造例7〔ブロック共重合体(A)の合成〕
窒素置換したフラスコに、溶剤として2−プロパノール47.5gと、3−ヒドロキシ−1−アダマンチルメタクリレート25.6gを仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら40℃に昇温した。次いで、2,2’−ビピリジル5.3g、塩化第一銅1.9gを仕込み、フラスコ内を40℃に保ちながら30分撹拌した。その後、2−ブロモイソ酪酸エチル3.3gを加え、窒素気流下、40℃で2時間反応させ、橋かけ環炭化水素の骨格を含む重合体セグメントを得た。次いで、該重合体セグメントを含む反応系に2−(トリデカフルオロヘキシル)エチルメタクリレート45.9gを加え、40℃で5時間反応させ、反応物を得た。次いで、得られた反応物に、活性アルミナ30gを加えて攪拌した。活性アルミナを濾過後、溶媒を減圧留去してブロック共重合体(1)を得た。このブロック共重合体(1)の分子量をGPCで測定した結果、重量平均分子量(Mw)3,100で、数平均分子量(Mn)2,700で、(Mw/Mn)は1.15あった。また、フッ素原子含有量は14.5%であった。
参考製造例8〔アルカリ可溶性樹脂の合成)
攪拌機、温度計、冷却管および窒素導入管を装備した4つ口フラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gを仕込み、窒素気流下、攪拌しながら内温を110℃に昇温した。次いで、ベンジルメタクリレート80gとメタクリル酸20gからなる混合液と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46g、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.5g及びt−アミルパーベンゾエート0.15gからなる混合液をそれぞれ4時間かけて滴下した。滴下終了後、内温を110℃に保持したまま8時間重合反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにて希釈し、不揮発分40%のアルカリ可溶性樹脂の樹脂溶液を得た。この樹脂の重量平均分子量は17,000であった。
参考製造例9(比較対照用共重合体の合成)
窒素置換した反応容器に、メタノール67gと、2,2’−ビピリジル0.961gと、塩化第一銅0.305gとを仕込み、室温で60分撹拌した。その後、2−(ノナフルオロブチル)エチルメタクリレート3.37gと、2−(トリデカフルオロヘキシル)エチルメタクリレート3.33gと、ポリ(1,2−オキシブチレン)オキシプロピレンモノメタクリレート(日油株式会社製「ブレンマー10PPB−500B」;オキシブチレンの平均繰り返し数6)13.3gと、ポリエチレングリコールモノメタクリレート(日油株式会社製「ブレンマーPE−200」;オキシエチレンの平均繰り返し数4.5)20gと、2−ブロモイソ酪酸エチル0.6gを加え、窒素気流下、60℃で10時間反応させた。次いで、得られた反応物に、活性アルミナ30gを加えて攪拌した。活性アルミナを濾過後、溶媒を減圧留去して橋かけ環構造を有さない比較対照用共重合体(1’)を得た。比較対照用共重合体(1’)の分子量をGPCで測定した結果、重量平均分子量(Mw)17,000、数平均分子量(Mn)13,000で、(Mw/Mn)は1.25であった。また、フッ素原子含有量は9.1質量%であった。
実施例1(カラーレジスト組成物)
赤色の顔料分散液(1)5.9g、参考製造例8で得たアルカリ可溶性樹脂の40質量%樹脂溶液を1.5g、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物であるアロニックスM−402(東亞合成化学株式会社製)を0.6g、光重合開始剤としてBASFジャパン株式会社製イルガキュア# 369を0.05g、ブロック共重合体(1)を固形分換算で0.0014g、PGMEA2.2g加え混合して、カラーレジスト組成物(1)を調製した。カラーレジスト組成物(1)を用いて塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)を下記方法に従って評価した。
<塗膜層中の異物の抑制性の評価方法>
カラーレジスト組成物(1)を7cm×7cmのガラス板上に回転数1000rpm、回転時間10秒の条件でスピンコーティングした後、80℃で3分間乾燥させ乾燥した塗膜層を有する物品を得た。乾燥した塗膜層に対し高圧水銀灯を使用して50mJ/cm2で活性エネルギー線を照射して硬化した塗膜層を有する物品を得た。その後、物品を270℃で1時間加熱した後、キーエンス製デジタルマイクロスコープVHX−900にて塗膜層を観察し、下記基準に従って評価した。評価結果を第1表に示す。
○:1cm×1cm四方の塗膜層中に確認できる異物が1個以下である。
△:1cm×1cm四方の塗膜層中に確認できる異物が平均2〜9個である。
×:1cm×1cm四方の塗膜層中に確認できる異物が平均10以上である。
また、塗膜の表面の観察を容易にするため、前記カラーレジスト組成物(1)の製造において、赤色の顔料分散液(1)を添加しない組成物を調製した。この組成物を用いて下記の方法に従い塗膜の平滑性を評価した。
<塗膜の平滑性の評価方法>
アルカリ可溶性樹脂の40質量%樹脂溶液を3.0g、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物であるアロニックスM−402(東亞合成化学株式会社製)1.2gと、ブロック共重合体(1)を固形分換算で0.002g、PGMEA 8.1gを混合し、組成物を得た。この組成物3mlを10cm×10cmのクロムメッキガラス基板の中央部分に滴下し、回転数500rpm、回転時間30秒の条件でスピンコ−ティングした後、110℃で2分間加熱乾燥させて塗膜層を有する物品を作成した。塗膜層を目視で観察し、下記基準に従って塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
<塗膜層の平滑性の評価基準>
○:塗膜ムラがほとんど観察されない。
△:塗膜ムラが一部観察される。
×:塗膜ムラが多く観測される。
実施例2(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(2)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーレジスト組成物(2)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
実施例3(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(3)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーレジスト組成物(3)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
実施例4(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(4)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーレジスト組成物(4)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
実施例5(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(5)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーレジスト組成物(5)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
実施例6(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(6)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーレジスト組成物(6)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第1表に示す。
比較例1(比較対照用カラーレジスト組成物)
ブロック共重合体(1)を用いるかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(1)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。
比較例2(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(2)を用い、且つ、ランダム共重合体(1)のかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(2’)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。
比較例3(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(3)を用い、且つ、ランダム共重合体(1)のかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(3’)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。
比較例4(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(4)を用い、且つ、ランダム共重合体(1)のかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(4’)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。
比較例5(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(5)を用い、且つ、ランダム共重合体(1)のかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(5’)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。
比較例6(同上)
赤色の顔料分散液(1)のかわりに黄色の顔料分散液(6)を用い、且つ、ランダム共重合体(1)のかわりに比較対照用共重合体(1’)を用いた以外は実施例1と同様にして比較対照用カラーレジスト組成物(6’)を調製した。実施例1と同様にして塗膜層を作成し、塗膜層中の異物(顔料由来の異物)の発生を抑制する能力(抑制性)及び塗膜層の平滑性を評価した。評価結果を第2表に示す。