TWI557505B - 感光性樹脂組成物及其應用 - Google Patents

Description

感光性樹脂組成物及其應用

本發明係有關一種黑色矩陣用感光性樹脂組成物及使用該黑色矩陣所形成之彩色濾光片及液晶顯示元件。特別是提供一種改善解析度及錐度角的黑色矩陣用感光性樹脂組成物及使用該黑色矩陣所形成之彩色濾光片及液晶顯示元件。

近年來，各式各樣的液晶顯示技術蓬勃發展，而為了提高目前液晶顯示器之對比度及顯示品質，一般會於顯示器中的彩色濾光片之條紋(stripe)及點(dot)間隙中放置黑色矩陣。上述黑色矩陣可防止因畫素間的光洩漏所引起之對比度下降及色純度下降等問題。以往黑色矩陣所使用的材料皆以含有鉻或氧化鉻等的蒸鍍膜為主，然而，以上述蒸鍍膜作為黑色矩陣的材料時，存在製程複雜且材料昂貴等缺點。為了解決此問題，先前提出有利用感光性樹脂組成物透過光平版印刷(photo lithographic)之方式形成黑色矩陣之技術。

目前業界對於黑色矩陣的遮光性要求日益提高，其解決方法之一就是增加黑色顏料的使用量，藉此提高黑色矩陣的遮光性。舉例而言，日本專利特開第2006-259716號公報揭示一種黑色矩陣用的感光性樹脂組成物，其包含高使用量的黑色顏料、鹼可溶性樹脂、光聚合起始劑、具有二官能基的反應性單體以及有機溶劑。其中，具有二官能基的反應性單體可改善化合物之間的反應，以形成高精細的 圖案。藉此，於感光性樹脂組成物中，當以提升黑色顏料使用量之方式以增加遮光性之同時，尚可保持感光性樹脂組成物之錐度角。

另外，日本專利特開第2008-268854號公報揭示一種黑色矩陣用的感光性樹脂組成物。該感光性樹脂組成物包含具有羧酸基及含不飽和基之鹼可溶性樹脂、含乙烯性不飽和基的光聚合單體、光聚合起始劑及高使用量之黑色顏料。該黑色矩陣用感光性樹脂組成物中，藉由使用特定的鹼可溶性樹脂來改善高使用量黑色顏料之感光性樹脂組成物之解析度。

雖然現有技術中提高了黑色顏料使用量之感光性樹脂組成物能夠增加解析度等，然而，上述各前案之感光性樹脂組成物其解析度及錐度角尚未能令業界所接受。有鑑於此，仍有需要開發出可改善解析度及錐度角的黑色矩陣用感光性樹脂組成物。

本發明利用提供特殊光起始劑及特殊熱起始劑之成分，而得到解析度及錐度角俱佳之黑色矩陣用感光性樹脂組成物。

因此，本發明提供一種感光性樹脂組成物，包含：鹼可溶性樹脂(A)；具有乙烯性不飽和基的化合物(B)；光起始劑(C)；溶劑(D)；黑色顏料(E)；及熱起始劑(F)；其中：該光起始劑(C)包含式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)： 式(I)中：Y¹表示具有1至5個甲基之甲基苯基基團；Y²表示C₁至C₁₀之烷基、苯甲醯基或C₃至C₆之環烷基；Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲醯基；及 Y⁴表示-H、 其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；該熱起始劑(F)係選自由偶氮化合物、過氧化物以及過氧化氫化合物所組之族群的至少一種。

本發明亦提供一種黑色矩陣，其係由前述之感光樹脂組成物所形成。

本發明又提供一種彩色濾光片，係包含前述之黑色矩陣。

本發明再提供一種液晶顯示元件，係包含前述之彩色濾光片。

1‧‧‧錐度角(θ)

2‧‧‧畫素圖

3‧‧‧基板

10‧‧‧畫素

圖1顯示掃描式電子顯微鏡中錐度角與光阻圖案之關係示意圖。

本發明提供一種感光性樹脂組成物，包含：鹼可溶性樹脂(A)；具有乙烯性不飽和基的化合物(B)；光起始劑(C)；溶劑(D)；黑色顏料(E)；及熱起始劑(F)；其中：該光起始劑(C)包含式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)： 式(I)中：Y¹表示具有1至5個甲基之甲基苯基基團；Y²表示C₁至C₁₀之烷基、苯甲醯基或C₃至C₆之環烷基；Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲醯基；及 Y⁴表示-H、 其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；該熱起始劑(F)係選自由偶氮化合物、過氧化物以及過氧化氫化合物所組之族群的至少一種。

根據本發明之該鹼可溶性樹脂(A)包含具有不飽和基的樹脂(A-1)，該具有不飽和基的樹脂(A-1)是由一第一混合物進行聚合反應而獲得，該混合物包括：含聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)；四羧酸或其酸二酐(a-2)；及二羧酸或其酸酐(a-3)。

該含聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)是由具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)以及具有至少一個羧酸基與至少一個乙烯性不飽和基的化合物(ii)進行聚合反應而獲得。

該具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)具有如下式(II)所示之結構：

其中，該R¹、該R²、該R³與該R⁴分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳香基或C₆至C₁₂的芳烷基。

該具有如式(II)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)可包括但不限於由雙酚芴型化合物(bisphenol fluorene)與鹵化環氧丙烷(epihalohydrin)反應而得之含環氧基之雙酚芴型化合物。

上述之雙酚芴型化合物的具體例如：9,9-雙(4-羥基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-氟苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-甲氧基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene]等化合物。

上述適合之鹵化環氧丙烷(epihalohydrin)可包括但不限於3-氯-1,2-環氧丙烷(epichlorohydrin)或3-溴-1,2-環氧丙烷(epibromohydrin)等。

上述所得之含環氧基之雙酚芴型化合物包含但不限於 (1)新日鐵化學製造之商品：例如ESF-300等；(2)大阪瓦斯製造之商品：例如PG-100、EG-210等；(3)S.M.S Technology Co.製造之商品：例如SMS-F9PhPG、SMS-F9CrG、SMS-F914PG等。

其次，該具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)更可具有如下式(III)所示之結構：

其中，R⁵至R¹⁸分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10之整數。

該具有如式(III)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)可例如在鹼金屬氫氧化物存在下，使具有下式(III-1)結構之化合物與鹵化環氧丙烷進行反應而得：

該(III-1)中，R⁵至R¹⁸以及n的定義是分別與式(III)中的R⁵至R¹⁸以及n的定義相同，在此不另贅述。

再者，該具有如式(III)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)是在酸觸媒存在下，使用具有下式(III-2)結構之化合物與酚(phenol)類進行縮合反應後，形成具有式(III-1)結構之化合物。接著，加入過量的鹵化環氧丙烷進行脫鹵化氫反應(dehydrohalogenation)，而得具有如式(III)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)：

其中，R¹⁹與R²⁰分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基；X¹及X²分別為相同或不同之鹵素原子、C₁至C₆的烷基或C₁至C₆的烷氧基。較佳地，前述之鹵素原子可例如氯或溴，前述之烷基可例如甲基、乙基或第三丁基，前述之烷氧基可例如甲氧基或乙氧基。

上述適合之酚類的具體例如：酚(phenol)、甲酚(cresol)、乙酚(ethylphenol)、n-丙酚(n-propylphenol)、異丁酚(isobutylphenol)、t-丁酚(t-butylphenol)、辛酚(octylphenol)、壬基苯酚(nonylphenol)、茬酚(xylenol)、甲基丁基苯酚(methylbutylphenol)、二第三丁基酚(di-t-butylphenol)、乙烯苯酚(vinylphenol)、丙烯苯酚(propenylphenol)、乙炔苯酚(ethinylphenol)、環戊苯酚(cyclopentylphenol)、環己基酚(cyclohexylphenol)或環己基甲酚(cyclohexylcresol)等。前述之酚類一般可單獨一種或混合複數種使用。

基於上述具有式(III-2)結構之化合物的使用量為1莫耳，酚類的使用量為0.5莫耳至20莫耳，然以2莫耳至15莫耳為較佳。

前述之酸觸媒的具體例如：鹽酸、硫酸、對甲苯磺酸(p-toluenesulfonic acid)、草酸(oxalic acid)、三氟化硼(boron trifluoride)、無水氯化鋁(aluminium chloride anhydrous)、氯化鋅(zinc chloride)等，然以對甲苯磺酸、硫酸或鹽酸為較佳。前述之酸觸媒可單獨一種或混合複數種使用。

另外，前述之酸觸媒之使用量雖無特別之限制，但，較 佳地，基於上述具有式(III-2)結構之化合物的使用量為100重量百分比(wt%)，酸觸媒的使用量為0.1wt%至30wt%。

前述之縮合反應可在無溶劑或是在有機溶劑之存在下進行。其次，上述之有機溶劑的具體例如：甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)或甲基異丁基酮(methyl isobutyl ketone)等。上述之有機溶劑可單獨一種或混合複數種使用。

基於具有式(III-2)結構之化合物及酚類的總重量為100wt%，上述之有機溶劑的使用量為50wt%至300wt%，然以100wt%至250wt%為較佳。另外，前述之縮合反應的操作溫度為40℃至180℃，且縮合反應的操作時間為1小時至8小時。

在完成前述之縮合反應後，可進行中和處理或水洗處理。前述之中和處理是將反應後的溶液之pH值調整為pH 3至pH 7，然以pH 5至pH 7為較佳。前述之水洗處理可使用中和劑來進行，其中此中和劑為鹼性物質，且其具體例如：氫氧化鈉(sodium hydroxide)、氫氧化鉀(potassium hydroxide)等鹼金屬氫氧化物；氫氧化鈣(calcium hydroxide)、氫氧化鎂(magnesium hydroxide)等鹼土類金屬氫氧化物；二伸乙三胺(diethylene triamine)、三伸乙四胺(triethylenetetramine)、苯胺(aniline)、苯二胺(phenylene diamine)等有機胺；以及氨(ammonia)、磷酸二氫鈉(sodium dihydrogen phosphate)等。前述之水洗處理可採用習知方法進行，例如，在反應後的溶液中，加入含中和劑的水溶液，反覆進行萃取即可。經中和處理或水洗處理後，經減壓加熱處理，將未反應的酚類及溶劑予以餾除，並進行濃縮，即可獲得具有式(III-1)結構之化合物。

上述適合之鹵化環氧丙烷的具體例如：3-氯-1,2-環氧丙烷、3-溴-1,2-環氧丙烷或上述之任意組合。在進行前述之脫鹵化氫反應之前，可預先添加或於反應過程中添加氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金 屬氫氧化物。前述之脫鹵化氫反應的操作溫度為20℃至120℃，其操作時間範圍為1小時至10小時。

在一實施例中，上述脫鹵化氫反應中所添加之鹼金屬氫氧化物亦可使用其水溶液。在此實施例中，將上述之鹼金屬氫氧化物水溶液連續添加至脫鹵化氫反應系統內的同時，可於減壓或常壓下，連續蒸餾出水及鹵化環氧丙烷，藉此分離並除去水，同時可將鹵化環氧丙烷連續地回流至反應系統內。

上述之脫鹵化氫反應進行前，亦可添加氯化四甲銨(tetramethyl ammonium chloride)、溴化四甲銨(tetramethyl ammonium bromide)、三甲基苄基氯化銨(trimethyl benzyl ammonium chloride)等的四級銨鹽作為觸媒，並在50℃至150℃下，反應1小時至5小時，再加入鹼金屬氫氧化物或其水溶液，於20℃至120℃的溫度下，其使反應1小時至10小時，以進行脫鹵化氫反應。

基於上述之具有式(III-1)結構之化合物中的羥基總當量為1當量，上述之鹵化環氧丙烷的使用量為1當量至20當量，然以2當量至10當量為較佳。基於上述之具有式(III-1)結構之化合物中的羥基總當量為1當量，上述之脫鹵化氫反應中添加的鹼金屬氫氧化物的使用量為0.8當量至15當量，然以0.9當量至11當量為較佳。

此外，為了使上述之脫鹵化氫反應順利進行，亦可添加甲醇、乙醇等醇類之外，亦可添加二甲碸(dimethyl sulfone)、二甲亞碸(dimethyl sulfoxide)等非質子性(aprotic)的極性溶媒等來進行反應。在使用醇類的情況下，基於上述之鹵化環氧丙烷的總量為100wt%，醇類的使用量為2wt%至20wt%。然以4wt%至15wt%為較佳。在使用非質子性的極性溶媒的例子中，基於鹵化環氧丙烷的總量為100wt%，非質子性的極性溶媒的使用量為5wt%至100wt%然以10wt%至90wt%為較佳。

在完成脫鹵化氫反應後，可選擇性地進行水洗處理。之後，利用加熱減壓的方式，例如於溫度為110℃至250℃且壓力為1.3kPa(10mmHg)以下，除去鹵化環氧丙烷、醇類及非質子性的極性溶媒等。

為了避免形成之環氧樹脂含有加水分解性鹵素，可將脫鹵化氫反應後的溶液加入甲苯、甲基異丁基酮(methyl isobutyl ketone)等溶劑，並加入氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物水溶液，再次進行脫鹵化氫反應。在脫鹵化氫反應中，基於上述之具有式(III-1)結構之化合物中的羥基總當量為1當量，鹼金屬氫氧化物的使用量為0.01莫耳至0.3莫耳，然以0.05莫耳至0.2莫耳為較佳。另外，上述之脫鹵化氫反應的操作溫度範圍為50℃至120℃，且其操作時間範圍為0.5小時至2小時。

在完成脫鹵化氫反應後，藉由過濾及水洗等步驟去除鹽類。此外，可利用加熱減壓的方式，將甲苯、甲基異丁基酮等溶劑予以餾除，則可得到具有如式(III)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)。上述具有如式(III)所示之結構之具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)可包含但不限於例如商品名為NC-3000、NC-3000H、NC-3000S及NC-3000P等日本化藥製之商品。

該具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物(ii)是選自於由以下(1)至(3)所組成之一族群：(1)丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯氧乙基丁二酸(2-methacryloyloxyethylbutanedioic acid)、2-甲基丙烯醯氧丁基丁二酸、2-甲基丙烯醯氧乙基己二酸、2-甲基丙烯醯氧丁基己二酸、2-甲基丙烯醯氧乙基六氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧乙基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丙基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丁基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丙基丁二酸、2-甲基丙烯醯氧丙基己二酸、2-甲基丙烯醯氧丙基四氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧丙基 鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧丁基鄰苯二甲酸，或2-甲基丙烯醯氧丁基氫鄰苯二甲酸；(2)由含羥基之(甲基)丙烯酸酯與二元羧酸化合物反應而得之化合物，其中二元羧酸化合物包含但不限於己二酸、丁二酸、馬來酸、鄰苯二甲酸；(3)由含羥基之(甲基)丙烯酸酯與羧酸酐化合物(iii)反應而得之半酯化合物，其中含羥基之(甲基)丙烯酸酯包含但不限於2-羥基乙基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)acrylate]、2-羥基乙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)methacrylate]、2-羥基丙基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)acrylate]、2-羥基丙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)methacrylate]，4-羥基丁基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)acrylate]、4-羥基丁基甲基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)methacrylate]，或季戊四醇三甲基丙烯酸酯等。

該四羧酸或其酸二酐(a-2)包括含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)、除了所述含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)之外的其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)，或上述兩者的組合。

含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)，其中該含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)選自由式(2-1)表示的含有氟原子的四羧酸化合物以及由式(2-2)表示的含有氟原子的四羧酸二酐化合物所組成的族群。具體而言，由式(2-1)表示的含有氟原子的四羧酸化合物以及由式(2-2)表示的含有氟原子的四羧酸二酐化合物如下。

式(2-1)與式(2-2)中，L²為具有氟的四價芳香族基團，且較佳為具有苯環。具體而言，較佳為選自由式(L-1)至式(L-6)表示之基團中的其中一者。

式(L-1)至式(L-6)中，E各自獨立表示氟原子或三氟甲基；及＊表示與碳原子鍵結的位置。

詳言之，含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)的具體例包括4,4'-六氟亞異丙基二鄰苯二甲酸(4,4'-hexafluoro isopropylidene diphthalic acid)、1,4-二氟均苯四甲酸(1,4-difluoropyromellitic acid)、1-單氟均苯四甲酸(1-monofluoropyromellitic acid)、1,4-二(三氟甲基)均苯四甲酸(1,4-ditrifluoromethylpyromellitic acid)等含氟的芳香族四羧酸(aromatic tetracarboxylic acid)、上述四羧酸之二酐化合物，或上述化合物的組合。

含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)的具體例還包括3,3'-六氟亞異丙基二鄰苯二甲酸(3,3'-(hexafluoro isopropylidene)diphthalic acid)、5,5'-[2,2,2-三氟-1-[3-(三氟甲基)苯基]亞乙基]二鄰苯二甲酸(5,5'-[2,2,2-trifluoro-1-[3-(trifluoromethyl)phenyl]ethylidene]diphthalic acid)、5,5'-[2,2,3,3,3-五氟-1-(三氟甲基)亞丙基]二鄰苯二甲酸(5,5'-[2,2,3,3,3-pentafluoro-1-(trifluoromethyl)propylidene]diphthalic acid)、5,5'-氧基雙[4,6,7-三氟-均苯四甲酸](5,5'-oxybis[4,6,7-trifluoro-pyromellitic acid]、3,6-雙(三氟甲基)均苯四甲酸 (3,6-bis(trifluoromethyl)pyromellitic acid)、4-(三氟甲基)均苯四甲酸(4-(trifluoromethyl)pyromellitic acid)、1,4-雙(3,4-二羧酸三氟苯氧基)四氟苯(1,4-bis(3,4-dicarboxylic acid trifluorophenoxy)tetrafluoro benzene)等含氟的四羧酸、上述四羧酸之二酐化合物，或上述化合物的組合。

其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)包括飽和直鏈烴四羧酸、脂環式四羧酸、芳香族四羧酸、上述四羧酸之二酐化合物，或其組合。

飽和直鏈烴四羧酸的具體例包括丁烷四羧酸、戊烷四羧酸、己烷四羧酸，或上述化合物的組合。飽和直鏈烴四羧酸亦可具有取代基。

脂環式四羧酸的具體例包括環丁烷四羧酸、環戊烷四羧酸、環已烷四羧酸，降冰片烷四羧酸，或上述化合物的組合。脂環式四羧酸亦可具有取代基。

芳香族四羧酸的具體例包括均苯四甲酸、二苯甲酮四羧酸、聯苯四羧酸(Biphenyl tetracarboxylic acid)、聯苯醚四羧酸、二苯基碸四羧酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸，或上述化合物的組合。芳香族四羧酸亦可具有取代基。

二羧酸或其酸酐(a-3)包括含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)、除了所述含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)之外的其他二羧酸、其酸酐(a-3-2)，或上述兩者的組合。

含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)，該含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)選自由式(3-1)表示的含有氟原子的二羧酸化合物以及由式(3-2)表示的含有氟原子的二羧酸酐化合物所組成的族群。具體而言，由式(3-1)表示的含有氟原子的二羧酸化合物以及由式(3-2)所示的含有氟原子的二羧酸酐化合物如下：

式(3-1)與式(3-2)中，L³表示碳數為1至100的含氟原子的有機基。

含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)的具體例包括3-氟鄰苯二甲酸(3-fluorophthalic acid)、4-氟鄰苯二甲酸(4-fluorophthalic acid)、四氟鄰苯二甲酸(tetrafluorophthalic acid)、3,6-二氟鄰苯二甲酸(3,6-difluorophthalic acid)、四氟琥珀酸(tetrafluoro succinic acid)、上述二羧酸之酸酐化合物，或上述化合物的組合。

其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)的具體例包括飽和直鏈烴二羧酸、飽和環狀烴二羧酸、不飽和二羧酸、上述二羧酸化合物之酸酐，或上述化合物的組合。

飽和直鏈烴二羧酸的具體例包括丁二酸、乙醯基丁二酸、己二酸、壬二酸、檸蘋酸(Citramalic acid)、丙二酸、戊二酸、檸檬酸、酒石酸、氧代戊二酸、庚二酸、癸二酸、辛二酸、二甘醇酸(diglycolic acid)，或上述化合物的組合。飽和直鏈烴二羧酸中的烴基亦可被取代。

飽和環狀烴二羧酸的具體例包括六氫鄰苯二甲酸、環丁烷二羧酸、環戊烷二羧酸、降冰片烷二羧酸、六氫偏苯三酸(hexahydrotrimellitic acid)，或上述化合物的組合。飽和環狀烴二羧酸亦可為飽和烴經取代的脂環式二羧酸。

不飽和二羧酸的具體例包括馬來酸、衣康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、甲基橋亞甲基四氫鄰苯二甲酸(methyl endo- methylene tetrahydro phthalic acid)、氯茵酸(chlorendic acid)、偏苯三酸，或上述化合物的組合。

其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)的具體例包括三甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐、三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐、甲基二甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐、甲基二乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐、三甲氧基矽烷基丁基丁二酸酐、三乙氧基矽烷基丁基丁二酸酐、甲基二乙氧基矽烷基丁基丁二酸酐、對(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(甲基二甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(甲基二乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(甲基二乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐等二羧酸酐，或上述二羧酸酐之二羧酸化合物，或上述化合物的組合。

其他二羧酸化合物較佳為丁二酸、衣康酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫偏苯三酸、鄰苯二甲酸、偏苯三酸或上述化合物的組合，更佳為丁二酸、衣康酸、四氫鄰苯二甲酸或上述化合物的組合。

其他二羧酸酐較佳為丁二酸酐、衣康酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫偏苯三酸酐、鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐或上述化合物的組合。

較佳地，該四羧酸或其酸二酐(a-2)及該二羧酸或其酸酐(a-3)中，至少一者含有氟原子。

具有不飽和基的樹脂(A-1)的合成方法並無特別限制，只要將含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)、四羧酸或其酸二酐(a-2)以及二羧酸或其酸酐(a-3-2)反應即可獲得。

在製備上述的具有不飽和基的樹脂(A-1)時，為加速反應，通常會於反應溶液中添加鹼性化合物作為反應觸媒。上述的反應觸媒的具體例包括三苯基膦(triphenyl phosphine)、三苯基銻(triphenyl stibine)、三乙胺(triethylamine)、三乙醇胺(triethanolamine)、氯化四甲基銨(tetramethylammonium chloride)、氯化苄基三乙基銨(benzyltriethylammonium chloride)或上述反應觸媒的組合。上述的反應觸媒可單獨或組合多種來使用。

此外，為了控制聚合度，通常還會於反應溶液中添加阻聚劑(inhibitor)。上述的阻聚劑的具體例包括甲氧基酚(methoxyphenol)、甲基氫醌(methylhydroquinone)、氫醌(hydroquinone)、2,6-二第三丁基對甲酚(2,6-di-tert-butyl-p-cresol)、吩噻嗪(phenothiazine)或其類似物。上述的阻聚劑可單獨或組合多種來使用。

在製備上述具有不飽和基的樹脂(A-1)時，必要時可使用聚合反應溶劑。上述的聚合反應溶劑的具體例包括：乙醇、丙醇、異丙醇、丁醇、異丁醇、2-丁醇、己醇、乙二醇或其類似物的醇類化合物；甲乙酮、環己酮或其類似物的酮類化合物；甲苯、二甲苯或其類似物的芳香族烴類化合物；賽珞素、丁基賽珞素(butyl cellosolve)或其類似物的賽珞素(cellosolve)類化合物；卡必妥、丁基卡必妥或其類似物的卡必妥類化合物；丙二醇單甲醚或其類似物的丙二醇烷基醚類化合物；二丙二醇單甲醚(di(propylene glycol)methyl ether)或其類似物的多丙二醇烷基醚(poly(propylene glycol)alkyl ether)類化合物；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙二醇乙醚醋酸酯(ethylene glycol monoethyl ether acetate)、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate)、丙二醇單甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl monoether acetate)或其類似物的醋酸酯類化合物；乳酸乙酯(ethyl lactate)、乳酸丁酯(butyl lactate)或其類似物的乳酸烷酯(alkyl lactate)類化合物；或二烷基二醇醚類；或2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、 3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乙氧基乙酸乙酯等其他酯類。上述的聚合反應溶劑可單獨使用或組合多種來使用。另外，上述鹼可溶性樹脂(A-1)的酸價為50mgKOH/g至200mgKOH/g，較佳為60mgKOH/g至180mgKOH/g。

此外，的合成方法例如可採用如日本專利特開平9-325494號公報所述般，在反應溫度為90℃至140℃下使二醇化合物與四羧酸二酐反應的公知的方法。此外，在反應溫度為90℃至130℃下使第一混合物均勻地溶解並使其進行反應，接著在反應溫度為40℃至80℃下進行反應以及熟成(aging)。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該具有不飽和基的樹脂(A-1)的使用量為30至100重量份；較佳為50至100重量份為較佳；更佳為70至100重量份。當使用具有不飽和基的樹脂(A-1)時，可進一步改善該感光樹脂組成物之解析度及錐度角。

根據本發明之鹼可溶性樹脂(A)，另包含聚矽氧烷聚合物(A-2)。

該聚矽氧烷聚合物(A-2)可選擇使用矽烷單體(silane monomer)、聚矽氧烷預聚物(siloxane prepolymer)或者矽烷單體與聚矽氧烷預聚物的組合進行聚合(即水解(hydrolysis)及部分縮合(partially condensation))來形成。

本發明之該聚矽氧烷聚合物(A-2)的聚合用矽烷單體包含至少一具有式(IV)結構之矽烷單體：Si(Z¹)_t(OZ²)_4-t 式(IV)

t為1至3之整數，且當t表示2或3時，複數個Z¹各自為相同或不同；且當4-t表示2或3時，複數個Z²各自為相同或不同；至少一個Z¹表示經酸酐基取代之C₁至C₁₀之烷基、經環氧基取代 之C₁至C₁₀之烷基或經環氧基取代之烷氧基，且其餘Z¹表示氫、C₁至C₁₀之烷基、C₂至C₁₀之烯基或C₆至C₁₅之芳香基；及Z²表示氫、C₁至C₆之烷基、C₁至C₆之醯基或C₆至C₁₅之芳香基。該經酸酐基取代且C₁至C₁₀烷基的具體例，如：乙基丁二酸酐、丙基丁二酸酐或丙基戊二酸酐等。

該經環氧基取代且C₁至C₁₀烷基的具體例，如：環氧丙烷基戊基(oxetanylpentyl)或2-(3,4-環氧環己基)乙基[2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl]等。

該經環氧基取代的氧烷基之具體例，如：環氧丙氧基丙基(glycidoxypropyl)或2-環氧丙烷基丁氧基(2-oxetanylbutoxy)等。

於Z²中，前述之烷基可包含但不限於甲基、乙基、正丙基、異丙基或正丁基等。醯基可包含但不限於乙醯基。芳香基則可包含但不限於苯基。

該式(IV)所示的矽烷單體可包含但不限於3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷(3-glycidoxypropyltrimethoxysilane；TMS-GAA)、3-環氧丙氧基丙基三乙氧基矽烷(3-glycidoxypropyltriethoxysilane)、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷[2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxy silane]、2-環氧丙烷基丁氧基丙基三苯氧基矽烷(2-oxetanylbutoxypropyltriphenoxysilane)、3-(三苯氧基矽基)丙基丁二酸酐、3-(三甲氧基矽基)丙基戊二酸酐(TMSG)、3-(三乙氧基矽基)丙基戊二酸酐、3-(三苯氧基矽基)丙基戊二酸酐、二異丙氧基-二(2-環氧丙烷基丁氧基丙基)矽烷[diisopropoxy-di(2-oxetanylbutoxy propyl)silane；DIDOS]、二(3-環氧丙烷基戊基)二甲氧基矽烷[di(3-oxetanylpentyl)dimethoxy silane]、(二正丁氧基矽基)二(丙基丁二酸酐)、(二甲氧基矽基)二(乙基丁二酸酐)、3-環氧丙氧基丙基二甲基甲 氧基矽烷(3-glycidoxypropyldimethylmethoxysilane)、3-環氧丙氧基丙基二甲基乙氧基矽烷(3-glycidoxypropyldimethylethoxysilane)、二(2-環氧丙烷基丁氧基戊基)-2-環氧丙烷基戊基乙氧基矽烷[di(2-oxetanylbutoxypentyl)-2-oxetanylpentylethoxy silane]、三(2-環氧丙烷基戊基)甲氧基矽烷[tri(2-oxetanylpentyl)methoxy silane]、(苯氧基矽基)三(丙基丁二酸酐)、(甲基甲氧基矽基)二(乙基丁二酸酐)；東亞合成株式會社製造，型號為TMSOX-D之2-環氧丙烷基丁氧基丙基三甲氧基矽烷(2-oxetanylbutoxypropyltrimethoxysilane)，型號為TESOX-D之2-環氧丙烷基丁氧基丙基三乙氧基矽烷(2-oxetanylbutoxypropyltriethoxysilane)，型號為TMSOX之3-乙基-3-{[3-(三甲氧基矽基)丙氧基]甲基}環氧丙烷；信越化學株式會社製造，型號為X-12-967之3-(三甲氧基矽基)丙基丁二酸酐；WACKER公司所製造，型號為GF-20之3-(三乙氧基矽基)丙基丁二酸酐等。上述式(IV)所示之矽烷單體可單獨一種使用或混合複數種使用。

於本發明之另一較佳具體例中，本發明之該聚矽氧烷聚合物(A-2)的聚合用矽烷單體還包含下列結構式(IV-1)所示之矽烷單體：Si(Z³)_u(OZ⁴)_4-u 式(IV-1)

其中：Z³表示選自由氫原子、C₁至C₁₀之烷基、C₂至C₁₀之烯基及C₆至C₁₅之芳基所組成之群，其中C₁至C₁₀之烷基不含有羧酸酐取代基；Z⁴係獨立選自由氫原子、C₁至C₆之烷基、C₁至C₆之醯基及C₆至C₁₅之芳基所組成之群；及u表示1至3之整數；當u代表2或3時，複數的Z³可相同亦可 不同；當(4-u)代表2、3或4時，複數的Z⁴可相同或相異。

於Z³中，烷基可包含但不限於甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第三丁基、正己基、正葵基、三氟甲基、3,3,3-三氟丙基、3-胺丙基、3-巰丙基或3-異氰酸丙基等。烯基可包含但不限於乙烯基、3-丙烯醯氧基丙基或3-甲基丙烯醯氧基丙基等。芳香基可包含但不限於苯基、甲苯基、對-羥基苯基、1-(對-羥基苯基)乙基、2-(對-羥基苯基)乙基、4-羥基-5-(對-羥基苯基羰氧基)戊基或萘基等。

於Z⁴中，烷基可包含但不限於甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基等。醯基可包含但不限於乙醯基。芳香基可包含但不限於苯基。

式(IV-1)所示的矽烷單體可包含但不限於四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、四乙醯氧基矽烷、四苯氧基矽烷、甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、甲基三正丁氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、乙基三異丙氧基矽烷、乙基三正丁氧基矽烷、正丙基三甲氧基矽烷、正丙基三乙氧基矽烷、正丁基三甲氧基矽烷、正丁基三乙氧基矽烷、正己基三甲氧基矽烷、正己基三乙氧基矽烷、癸基三甲氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、對-羥基苯基三甲氧基矽烷、1-(對-羥基苯基)乙基三甲氧基矽烷、2-(對-羥基苯基)乙基三甲氧基矽烷、4-羥基-5-(對-羥基苯基羰氧基)戊基三甲氧基矽烷、三氟甲基三甲氧基矽烷、三氟甲基三乙氧基矽烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基矽烷、3-胺丙基三甲氧基矽烷、3-胺丙基三乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二甲基二乙醯氧基矽烷、二正丁基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、三正丁基乙氧基矽烷、3-巰丙基三甲氧基矽烷、3-丙烯醯氧 基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷或3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷等。前述式(IV-1)所示之矽烷單體可單獨一種使用或混合複數種使用。

較佳地，本發明之該聚矽氧烷聚合物(A-2)的聚合用聚矽氧烷預聚物包含如下式(IV-2)所示之聚矽氧烷：

其中：Z⁵、Z⁶、Z⁷及Z⁸可為相同或不同，且分別選自由氫原子、C₁至C₁₀之烷基、C₂至C₆之烯基及C₆至C₁₅之芳基所組成之群；其中該烷基、烯基或芳基較佳係含有取代基；其中每個Z⁵可為相同或不同，且每個Z⁶可為相同或不同；前述之烷基可包含但不限於甲基、乙基或正丙基等。烯基可包含但不限於乙烯基、丙烯醯氧基丙基或甲基丙烯醯氧基丙基等。芳香基可包含但不限於苯基、甲苯基或萘基等；s為介於1至1000間之整數；較佳地，s為介於3至300間之整數；更佳地，s為介於5至200間之整數。

Z⁹及Z¹⁰係分別選自由氫原子、C₁至C₆之烷基、C₁至C₆之醯基及C₆至C₁₅之芳基所組成之群；其中該烷基、醯基或芳基較佳係含有取代基。較佳地，烷基例如但不限於甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基等；醯基例如但不限於乙醯基；芳基例如但不限於苯基。

式(IV-2)所示之聚矽氧烷可包含但不限於1,1,3,3-四甲基-1,3-二甲氧基二矽氧烷、1,1,3,3-四甲基-1,3-二乙氧基二矽氧烷、 1,1,3,3-四乙基-1,3-二乙氧基二矽氧烷或Gelest公司製造之矽烷醇末端聚矽氧烷，其型號分別為DM-S12(分子量為400至700)、DMS-S15(分子量為1500至2000)、DMS-S21(分子量為4200)、DMS-S27(分子量為18000)、DMS-S31(分子量為26000)、DMS-S32(分子量為36000)、DMS-S33(分子量為43500)、DMS-S35(分子量為49000)、DMS-S38(分子量為58000)、DMS-S42(分子量為77000)或PDS-9931(分子量為1000至1400)等。式(IV-2)所示之聚矽氧烷可單獨一種使用或混合複數種使用。

較佳地，本發明之該聚矽氧烷聚合物(A-2)可由所述的矽烷單體及/或聚矽氧烷預聚物經由共聚合來製備，或組合二氧化矽(silicon dioxide)粒子經由共聚合反應來製備。

該二氧化矽粒子的平均粒徑並無特別的限制，其平均粒徑範圍為2nm至250nm。較佳地，其平均粒徑範圍為5nm至200nm。更佳地，其平均粒徑範圍為10nm至100nm。

該二氧化矽粒子可包含但不限於觸媒化成株式會社製造，型號為OSCAR 1132(粒徑為12nm，且分散劑為甲醇)、OSCAR 1332(粒徑為12nm，且分散劑為正丙醇)、OSCAR 105(粒徑為60nm，且分散劑為γ-丁內酯)或OSCAR 106(粒徑為120nm，且分散劑為二丙酮醇)等之商品；扶桑化學株式會社製造，型號為Quartron PL-1-IPA(粒徑為13nm，且分散劑為異丙酮)、Quartron PL-1-TOL(粒徑為13nm，且分散劑為甲苯)、Quartron PL-2L-PGME(粒徑為18nm，且分散劑為丙二醇單甲醚)或Quartron PL-2L-MEK(粒徑為18nm，且分散劑為甲乙酮)等之商品；日產化學株式會社製造，型號為IPA-ST(粒徑為12nm，且分散劑為異丙醇)、EG-ST(粒徑為12nm，且分散劑為乙二醇)、IPA-ST-L(粒徑為45nm，且分散劑為異 丙醇)或IPA-ST-ZL(粒徑為100nm，且分散劑為異丙醇)等之商品。該二氧化矽粒子可單獨一種使用或混合複數種使用。

前述之部份縮合反應可使用一般之方法，例如：在矽烷單體及/或聚矽氧烷預聚物中添加溶劑及水，且可選擇性地添加觸媒。接著，於50℃至150℃下加熱攪拌0.5小時至120小時。攪拌時，反應可藉由蒸餾去除副產物(醇類或水等)。

基於該矽烷單體及/或聚矽氧烷預聚物的總使用量為100克，該溶劑的使用量為15克至1200克。較佳地，該溶劑的使用量為20克至1100克。更佳地，該溶劑的使用量為30克至1000克。

基於該矽烷單體及/或聚矽氧烷預聚物中所含的可水解基團為1莫耳，水解所使用之水的使用量為0.5莫耳至2莫耳。

上述之觸媒沒有特別的限制。較佳地，該觸媒可選自於酸觸媒或鹼觸媒。該酸觸媒可包含但不限於鹽酸、硝酸、硫酸、氟酸、草酸、磷酸、醋酸、三氟醋酸、蟻酸、多元羧酸或其酐類，或者離子交換樹脂等。該鹼觸媒可包含但不限於二乙胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化鈉、氫氧化鉀、具有胺基的烷氧基矽烷或離子交換樹脂等。

基於該矽烷單體及/或聚矽氧烷預聚物的總量為100克，該觸媒的使用量範圍為0.005克至15克。較佳地，該觸媒的使用量範圍為0.01克至12克。更佳地，該觸媒的使用量範圍為0.05克至10克。

基於安定性的觀點，經縮合反應後所製得具有酸酐基或環氧基之聚矽氧烷聚合物(A-2)以不含副產物(如醇類或水)及觸媒為佳，因此所製得具有酸酐基或環氧基之聚矽氧烷聚合物(A-2)可選擇性地進行純化。純化方法並無特別限制，較佳可使用疏水性溶劑稀 釋該具有酸酐基或環氧基之聚矽氧烷聚合物(A-2)，接著以蒸發器濃縮經水洗滌數回的有機層，以除去醇類或水。另外，可使用離子交換樹脂除去觸媒。

基於鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份，該聚矽氧烷聚合物(A-2)的使用量為30至100重量份；較佳為50至100重量份為較佳；更佳為70至100重量份。當使用聚矽氧烷聚合物(A-2)時，可進一步改善該感光樹脂組成物之解析度及錐度角。

根據本發明之該鹼可溶性樹脂(A)可選擇性包括其他鹼可溶性樹脂(A-3)。其他鹼可溶性樹脂(A-3)包含但不限於含羧酸基或羥基之樹脂，其具體例如丙烯酸系樹脂、尿烷(urethane)系樹脂及酚醛清漆型(novolac)樹脂等。

根據本發明之感光性樹脂組成物包含一具有乙烯性不飽和基的化合物(B)。

根據本發明之該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)可選自具有1個乙烯性不飽和基的化合物或具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基的化合物。

前述之具有1個乙烯性不飽和基的化合物的具體例包括(甲基)丙烯醯胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、氮，氮-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯(tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基 乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己內醯胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。上述的具有1個乙烯性不飽和基的化合物(B-1)可單獨使用或組合多種來使用。

前述之具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基的化合物的具體例包括乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質的三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧乙烷(ethylene oxide,EO)改質的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧丙烷(propylene oxide,PO)改質的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯(di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate)、經環氧乙烷改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的甘油三(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質的雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚縮 水甘油醚(甲基)丙烯酸酯或其類似物，或上述化合物的組合。上述具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基的化合物可單獨使用或組合多種來使用。

上述具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的具體例包括：三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧乙烷改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內酯改質的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質的甘油三丙烯酸酯或其類似物，或上述化合物的組合。

具有乙烯性不飽和基的化合物(B)較佳為三丙烯酸三羥甲基丙酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯或上述化合物的組合。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為20至180重量份；較佳為25至160重量份；更佳為30至140重量份。

本發明之光起始劑(C)包含式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)：

該Y¹表示具有1至5個甲基之甲基苯基基團，其具體例為 或；Y²表示C₁至C₁₀之烷基、苯甲醯基 或C₃至C₆之環烷基，較佳地，前述之烷基可例如甲基；Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲醯基，其中以乙基為佳；Y⁴表示-H、 其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基。

本發明之較佳具體實施例中，該式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)包括具有如下示式(I-1)至(I-12)所示之結構：

於本發明之一具體例中，式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)係透過下述反應而得：首先，將咔唑化合物、醯氯化合物(acyl chloride)及n-甲基苯醯氯(n-methyl phenyl acyl chloride)在氯化鋁的存在下依序放入，該反應可以得到一醯基化合物，該醯基化合物在鹼觸媒的催化下與亞硝酸異戊酯(isoamyl nitrite)反應而得α-酮肟化合物；接著，該α-酮肟化合物與醯氯化合物在三乙胺(triethylamine)觸媒的催化下反應而得上述式(I)所示之α-酮肟酯化合物。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該式(I)所示結構之α-酮肟酯化合物(C-1)的使用量為10至80重量份；較佳為12至70重量份；更佳為15至60重量份。當無使用該式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)，則感光性樹脂組成物的解析度及錐度角不佳。

於本發明之一較佳具體例中，該本發明之光起始劑(C) 另包含一光起始劑(C-2)，在本發明之一實施例中，其可包含但不限於O-醯基肟系化合物、三氮雜苯系化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等，以下分述之。

上述之O-醯基肟系化合物的具體例為：1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals製的OXE 01)、1-[4-(苯醯基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals製的OXE 02)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3- 取代基]-1-(O-乙醯基肟)等。

前述之O-醯基肟系化合物以1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)[OXE 01]、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)[OXE 02]、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)等為較佳。上述之O-醯基肟系化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

上述之三氮雜苯系化合物可包括但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物及4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。

前述之乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為：2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。

前述之2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為：2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三 氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。

前述之4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為：4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三 氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。

前述之三氮雜苯系化合物以4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等為較佳。上述之三氮雜苯系化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

上述之苯乙烷酮類化合物之具體例為：對二甲胺苯乙烷酮、α,α'-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2'-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等。前述之苯乙烷酮類化合物以2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等為較佳。上述之苯乙烷酮類 化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

上述之二咪唑類化合物之具體例為：2,2'-雙(鄰-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(鄰-氟苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(鄰-甲基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(鄰-乙基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(對-甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(2,2',4,4'-四甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-雙(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑等。前述之二咪唑類化合物以2,2'-雙(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑為較佳。上述之二咪唑類化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

上述之二苯甲酮類化合物之具體例為：噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4'-雙(二甲胺)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙胺)二苯甲酮等。前述之二苯甲酮類化合物以4,4'-雙(二乙胺)二苯甲酮為較佳。上述之二苯甲酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

上述之α-二酮類化合物之具體例為：苯偶醯、乙醯基等。上述之酮醇類化合物之具體例為：二苯乙醇酮。上述之酮醇醚類化合物之具體例為：二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮異丙醚等。上述之醯膦氧化物類化合物之具體例為：2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。上述之醌類化合物之具體例為：蒽醌、1,4-萘醌等。上述之含鹵素類化合物之具體例為：苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等。上述之過氧化物之具體例為：二-第三丁基過氧化物等。上述之α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等可 單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該光起始劑(C)的使用量為15至90重量份；較佳為17至80重量份；更佳為20至70重量份。

本發明適合之溶劑(D)以可以溶解鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、黑色顏料(E)及熱起始劑(F)，且不與上述成分相互反應，並具有適當揮發性者為佳。

前述之溶劑(D)之具體例如：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丙醚、二乙二醇單正丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、三丙二醇單甲醚或三丙二醇單乙醚等烷基二醇單烷醚類化合物；乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯或丙二醇甲醚醋酸酯或丙二醇乙醚醋酸酯等烷基二醇單烷醚醋酸酯類化合物；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚或四氫呋喃等其他醚類化合物；甲乙酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮或二丙酮醇等酮類化合物；乳酸甲酯或乳酸乙酯等乳酸烷酯類化合物；2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、羥基醋酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸異丙酯、醋酸正丁酯、醋酸異丁酯、醋酸正戊酯、醋酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯醋酸甲酯、乙醯醋酸乙酯或2-氧基丁酸乙酯等其他酯類化合物；甲苯或二甲苯等芳香族烴類化合物；N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲醯胺或N,N-二甲基乙醯胺等羧酸胺類化合物；或 上述之任意組合。前述之溶劑(D)一般可單獨一種或混合複數種使用。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該溶劑(D)的使用量為1000至9000重量份；較佳為1200至8000重量份；更佳為1500至7000重量份。

適用於本發明之黑色顏料(E)以具有耐熱性、耐光性以及耐溶劑性的黑色顏料為較佳。

前述之黑色顏料(E)之具體例如：二萘嵌苯黑(perylene black)、花青黑(cyanine black)、苯胺黑(aniline black)等黑色有機顏料；由紅、藍、綠、紫、黃色、花青(cyanine)、洋紅(magenta)等顏料中，選擇兩種或兩種以上的顏料進行混合，使其成近黑色化之混色有機顏料；碳黑(carbon black)、氧化鉻、氧化鐵、鈦黑(titanium black)、石墨等遮光材，其中前述之碳黑可包含但不限於C.I.pigment black 7等，前述之碳黑的具體例如三菱化學所製造之市售品(商品名MA100、MA230、MA8、#970、#1000、#2350、#2650)。前述之黑色顏料(F)一般可單獨一種或混合複數種使用。

基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該黑色顏料(F)的使用量為150至1000重量份；較佳為170至900重量份；更佳為200至800重量份。

本發明之熱起始劑(F)並無特別限制，在本發明之一實施例中，其可包含但不限於偶氮化合物、有機過氧化物及過氧化氫化合物等。

上述之偶氮化合物的具體例為：2,2'-偶氮二異丁腈[2,2'-azobis(isobutyronitrile)]、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)[2,2'-azobis(2-methyl butyronitrile)]、1,1'-偶氮二(環己烷-2-甲腈)[1,1'-azobis(cyclohexane-1-carbonitrile)]、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊 腈)[2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲醯胺{1-[(1-cyano-1-methylethyl)azo]formamide}、2,2-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羥基甲基)-2-羥基乙基]丙醯胺{2,2-azobis{2-methyl-N-[1,1-bis(hydroxymethyl)-2-hydroxyethyl]propionamide}、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙醯胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-methylpropionamide]、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙醯胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-ethyl propionamide]、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙醯胺){2,2'-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide)}、2,2'-偶氮二(氮-環己基-2-甲基丙醯胺)[2,2'-azobis(N-cyclohexyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙醯胺)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methylpropionate)]或2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)[2,2'-azobis(2,4,4-trimethyl pentene)]等。

上述之有機過氧化物的具體例為：過氧化苯甲醯、過氧化二第三丁基、過氧化二異丁醯(diisobutyryl peroxide)、過氧化新癸酸異丙苯酯(cumyl peroxyneodecanoate)、過氧化二碳酸二丙酯(di-n-propyl peroxydicarbonate)、過氧化二碳酸二異丙酯(diisopropyl peroxydicarbonate)、過氧化二碳酸二第二丁酯(di-sec-butyl peroxydicarbonate)、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化新癸酸酯(1,1,3,3-tetramethylbutyl peroxyneodecanoate)、二(4-第三丁基環己基)過氧化二碳酸酯[di(4-t-butyl cyclohexyl)peroxydicarbonate]、1-環己基-1-甲基乙基過氧化二碳酸酯(1-cyclohexyl-1-methylethyl peroxyneodecanoate)、雙(2-乙氧基乙基)過氧化二碳酸酯[di(2-ethoxy-ethyl)peroxydicarbonate]、雙(2-乙基己基)過氧化二碳酸酯[di(2-ethylhexyl)peroxydicarbonate]、過氧化新癸酸第三己酯(t-hexyl peroxyneodecanoate)、二甲氧基丁基過氧化二碳酸酯(dimethoxybutyl peroxydicarbonate)、第三丁基過氧化新癸酸酯(t-butyl peroxyneodecanoate)、第三己基過氧化新戊酸酯(t-hexyl peroxypivalate)、第三丁基過氧化新戊酸酯(t-butyl peroxypivalate)、過氧化二(3,5,5-三甲基己醯)[di(3,5,5-trimethyl hexanoyl)peroxide]、過氧化二辛醯(di-n-octanoyl peroxide)、過氧化二月桂醯(dilauroyl peroxide)、過氧化二硬脂酸(distearoyl peroxide)、2-乙基過氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯(1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate)、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(2-ethylhexanoylperoxy)hexane]、2-乙基過氧化己酸第三己酯(t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate)、過氧化二(4-甲基苯甲醯)[di(4-methylbenzoyl)peroxide]、2-乙基過氧化己酸第三丁酯(t-butylperoxy-2-ethylhexanoate)、過氧化二苯甲醯(dibenzoyl peroxide)、過氧化異丁酸第三丁酯(t-butyl peroxyisobutyrate)、1,1-二(第三丁基過氧化)-2-甲基環己烷(1,1-di(t-butylperoxy)-2-methylcyclohexane)、1,1-二(第三丁基過氧化)-3,3,5-三甲基環己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane]、1,1-二(第三己基過氧化)環己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)cyclohexane]、1,1-二(第三丁基過氧化)環己烷[1,1-di(t-butylperoxy)cyclohexane]、2,2-二[4,4-二(第三丁基過氧化)環己基]丙烷{2,2-di[4,4-di(t-butylperoxy)cyclohexyl]propane}、第三己基過氧化異丙基碳酸酯(t-hexyl peroxy isopropyl monocarbonate)、第三丁基過氧化馬來酸酯(t-butylperoxy maleate)、第三丁基過氧化-3,5,5-三甲基己酸酯(t-butyl peroxy-3,5,5-trimethyl hexanoate)、第三丁基過氧化月桂酸酯(t-butyl peroxy laurate)、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲醯過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di-(3-methyl benzoyl peroxy)hexane]、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯(t-butyl peroxy isopropyl monocarbonate)、第三丁基過氧化-2-乙基己基碳酸酯(t-butyl peroxy- 2-ethylhexyl monocarbonate)、第三己基過氧化苯甲酸酯(t-hexyl peroxy benzoate)、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲醯過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(benzoyl peroxy)hexane]、第三丁基過氧化醋酸酯(t-butyl peroxy acetate)、2,2-二(第三丁基過氧化)丁烷[2,2-di(t-butylperoxy)butane]、第三丁基過氧化苯甲酸酯(t-butyl peroxy benzoate)、丁基-4,4-二(第三丁基過氧化戊酸酯[n-butyl-4,4-di(t-butylperoxy)valerate]、二(2-第三丁基過氧化異丙基)苯[di(2-t-butyl peroxy isopropyl)benzene]、過氧化異丙苯(dicumyl peroxide)、二第三己基過氧化物(di-t-hexyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butyl peroxy)hexane]、二第三丁基過氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己炔[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexyne-3]、第三丁基三甲基過氧化矽烷(t-butyl trimethylsilyl peroxide)、二(3-甲基苯甲醯基)過氧化物[di(3-methylbenzoyl)peroxide]與苯甲醯基(3-甲基丙甲醯基)過氧化物[benzoyl(3-methylbenzoyl)peroxide]與二苯甲醯基過氧化物(dibenzoyl peroxide)的混合物等。

上述之過氧化氫化合物的具體例為：萜烷過氧化氫(p-menthane hydroperoxide)、二異丙基苯過氧化氫[diisopropylbenzene hydroperoxide]、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化氫(1,1,3,3-tetramethyl butyl hydroperoxide)、異丙苯過氧化氫(cumene hydroperoxide)、第三丁基過氧化氫(t-butyl hydroperoxide)等。

前述之熱起始劑(F)以2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、過氧化二異丁醯、過氧化二苯甲醯、過氧化異丁酸第三丁酯、異丙苯過氧化氫、過氧化新癸酸異丙苯酯等為較佳。上述之熱起始劑(F)可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。

在本發明之一具體例中，基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該熱起始劑(F)的使用量為4至40重量份；較佳為6至35重量份；更佳為8至30重量份。若無使用熱起始劑(F)，則該感光樹脂組成物之解析度不佳。

在不影響本發明功效的前提下，本發明之感光性樹脂組成物更可選擇性進一步添加添加劑(G)，其包含但不限於界面活性劑、填充劑、密著促進劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集劑，或鹼可溶性樹脂(A)以外之其他能增加各種性質(如機械性質)的聚合物等。

前述之界面活性劑可選自於由陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚矽氧烷系、氟素系界面活性劑或上述之任意組合所組成之一族群。進而言之，前述之界面活性劑可包含但不限於聚乙氧基十二烷基醚、聚乙氧基硬酯醯醚或聚乙氧基油醚等聚乙氧基烷基醚類；聚乙氧基辛基苯基醚或聚乙氧基壬基苯基醚等聚乙氧基烷基苯基醚類；聚乙二醇二月桂酸酯或聚乙二醇二硬酸酯等聚乙二醇二酯類；山梨糖醇酐脂肪酸酯類；脂肪酸改質之聚酯類；以及三級胺改質之聚胺基甲酸酯類。上述之界面活性劑可單獨一種或混合複數種使用。

適合之界面活性劑的具體例如：KP(信越化學工業製)、SF-8427(道康寧東麗聚矽氧股份有限公司製)、Polyflow(共榮社油脂化學工業製)、F-Top(Tochem Product Co.,Ltd.製)、Megafac(大日本INK化學工業製)、Fluorade(住友3M製)、Asahi Guard、Surflon(旭硝子製)或SINOPOL E8008(中日合成化學製)等。

適合之填充劑的具體例如：玻璃或鋁等。

適合之密著促進劑的具體例如：乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、 3-環氧丙醇丙基甲基二乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙醯氧基丙基三甲氧基矽烷或3-巰丙基三甲氧基矽烷等。

適合之抗氧化劑的具體例如：2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)或2,6-二-第三丁基苯酚等。

適合之防凝集劑的具體例如：聚丙烯酸鈉等。

適合之架橋劑的具體例如：日本環氧樹脂公司製的1031S、157S-70等之環氧系化合物或樹脂等。

基於前述之鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，添加劑(G)中的填充劑、密著促進劑、抗氧化劑、防凝集劑或鹼可溶性樹脂(A)以外的聚合物的含量為10重量份以下，較佳為6重量份。

基於前述之鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，添加劑(G)中的界面活性劑的含量為6重量份以下，較佳為4重量份以下。

基於前述之鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，添加劑中的架橋劑的含量為100重量份以下，較佳為80重量份以下。

本發明之感光性樹脂組成物一般係將上述之鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D)、黑色顏料(E)以及熱起始劑(F)放置於攪拌器中攪拌，使其均勻混合成溶液狀態，必要時亦可添加界面活性劑、填充劑、密著促進劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集劑等添加劑(G)，予以均勻混合後，便可調製得呈溶液狀態之感光性樹脂組成物。

其次，本發明之感光性樹脂組成物之製備方法並沒有特別的限定，例如，可將黑色顏料(E)直接加入感光性樹脂組成物中分散而成，或者是事先將一部分的黑色顏料(E)分散於一部分的含有鹼可溶性樹脂(A)及溶劑(D)的媒介中，形成顏料分散液後，再混合具有 乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、熱起始劑(F)、鹼可溶性樹脂(A)及溶劑(D)之其餘部份而製得。上述黑色顏料(E)之分散步驟則可藉由例如珠磨機(beads mill)或輥磨機(roll mill)等混合器混合上述成份而進行。

本發明亦提供一種黑色矩陣，其係由前述之感光樹脂組成物所形成。

該黑色矩陣係由對如上所述的感光樹脂組成物依序施予預烤、曝光、顯影及曝後烤處理而製得，其中，於膜厚為1μm時，此黑色矩陣之光學密度範圍為3.0以上。較佳地，於膜厚為1μm時，此黑色矩陣之光學密度範圍為3.2至5.5；更佳地，於膜厚為1μm時，此黑色矩陣之光學密度範圍為3.5至5.5。

本發明之黑色矩陣可以藉由旋轉塗佈或流延塗佈等塗佈方法，將前述之感光性樹脂組成物塗佈在基板上，並以減壓乾燥及預烤處理將其中的溶劑去除，進而在基板上形成一預烤塗膜。其中，前述減壓乾燥及預烤之條件，依各成份的種類、配合比率而異，通常，減壓乾燥是在一小於200mmHg之壓力下進行1秒至20秒，而預烤處理則是在70℃至110℃溫度下進行1分鐘至15分鐘。預烤後，將前述塗膜於指定之光罩下曝光，然後於23±2℃的溫度下浸漬於一顯影劑中，歷時15秒至5分鐘，以將不要之部份除去而形成特定的圖案。曝光所使用的光線，以g線、h線或i線等之紫外線為佳，而紫外線照射裝置可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素燈。

前述適用的顯影劑之具體例如：氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、矽酸鈉、甲基矽酸鈉、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲胺、氫氧化四乙胺、膽鹼、吡咯、哌啶或1,8-二氮雜二環-〔5,4,0〕-7-十一烯等之鹼性化合物等。顯影液之濃度一般為0.001重量百分比(wt%)至10wt%，較佳 為0.005wt%至5wt%，更佳為0.01wt%至1wt%。

使用此等顯影劑時，一般係於顯影後以水洗淨，再以壓縮空氣或壓縮氮氣將圖案風乾後，再以熱板或烘箱等加熱裝置進行後烤處理。後烤溫度通常為150至250℃，其中，使用熱板之加熱時間為5分鐘至60分鐘，使用烘箱之加熱時間為15分鐘至150分鐘。經過以上之處理步驟後即可於基板上形成黑色矩陣。

上述基材之具體例如：用於液晶顯示裝置等之無鹼玻璃、鈉鈣玻璃、硬質玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃及於此等玻璃上附著透明導電膜者；或用於固體攝影裝置等之光電變換裝置基板(如：矽基板)等。

本發明又提供一種彩色濾光片，係包含前述之黑色矩陣。

本發明之彩色濾光片之形成方法可藉由迴轉塗佈、流延塗佈或輥式塗佈等塗佈方式，將上述混合成溶液狀態之彩色濾光片用感光性組成物塗佈在基板上，其中此基板已預先利用前述之感光樹脂組成物形成隔離各畫素著色層之黑色矩陣。塗佈後，先以減壓乾燥之方式，去除大部分之溶劑，再以預烤(pre-bake)方式將溶劑去除而形成一預烤塗膜。其中，減壓乾燥及預烤之條件，依各成份之種類，配合比率而異，通常，減壓乾燥乃在0mmHg至200mmHg之壓力下進行1秒鐘至60秒鐘，而預烤乃在70℃至110℃溫度下進行1分鐘至15分鐘。預烤後，該預烤塗膜介於所指定之光罩(mask)間曝光，於23±2℃溫度下浸漬於前述之顯影液15秒至5分鐘進行顯影，不要之部分除去而形成具有圖案。曝光使用之光線，以g線、h線、i線等之紫外線為佳，而紫外線裝置可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素燈。

經上述顯像後以水洗淨，並以壓縮空氣或壓縮氮氣將圖案風乾後，再以熱板或烘箱等加熱裝置進行後烤處理，後烤處理的條 件悉如前述，此處不贅述。

各色(主要包括紅、綠、藍三色)重覆上述步驟，便可製得彩色濾光片之畫素層。其次，在畫素層上以220℃至250℃溫度之真空環境下，形成氧化銦錫(ITO)蒸鍍膜，必要時，對ITO鍍膜施行蝕刻暨佈線之後，再塗佈液晶配向膜用聚醯亞胺，進而燒成之，即可作為液晶顯示元件用之彩色濾光片。

本發明再提供一種液晶顯示元件，係包含前述之彩色濾光片。

本發明之液晶顯示元件，係藉由上述彩色濾光片之製造方法所形成之彩色濾光片基板，與設置有薄膜電晶體(thin film transistor；TFT)之驅動基板，在上述二片基板間介入間隙(晶胞間隔，cell gap)作對向配置，上述二片基板的周圍部位用封止劑貼合，在基板表面以及封止劑所區分出的間隙內充填注入液晶，封住注入孔而構成液晶晶胞(cell)。然後，在液晶晶胞的外表面，亦即構成液晶晶胞的各個基板的其他側面上，貼合偏光板後，而製得液晶顯示元件。

至於前述使用的液晶，亦即液晶化合物或液晶組成物，此處並未特別限定，惟可使用任何一種液晶化合物及液晶組成物。

再者，前述使用的液晶配向膜，係用於限制液晶分子之配向，此處並未特別限定，舉凡無機物或有機物任一者均可。至於形成液晶配向膜之技術為本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者所熟知，且非為本發明的重點，故不另贅述。

茲以下列實例予以詳細說明本發明，唯並不意謂本發明僅侷限於此等實例所揭示之內容。

<含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)的製備例> 製備例1：含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-1)之製造方法

將100重量份的茀環氧化合物(型號ESF-300，新日鐵化學製造；環氧當量231)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及130重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續式添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘，並且反應過程的溫度維持在100℃至110℃，反應15小時後，即可獲得固成分濃度為50重量%的淡黃色透明混合液。接著，使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟，即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例1的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-1)。

製備例2：含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-2)之製造方法

將100重量份的茀環氧化合物(型號PG-100，大阪瓦斯製造；環氧當量259)、35重量份的甲基丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及135重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘，並且反應過程的溫度維持在100℃至110℃下，反應15小時後，即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟，即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例2的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-2)。

製備例3：含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-3)之製造方法

將100重量份的茀環氧化合物(型號ESF-300，新日鐵化學製造；環氧當量231)、100重量份的2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及200重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘，且反應過程的溫度維持在100℃至110℃下，反應15小時後，即可獲得固體成分含量 為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟，可得固體成分含量為99.9重量%的製備例3的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-3)。

<具有不飽和基的樹脂(A-1)的合成例> 合成例(A-1-1)

將1.0莫耳的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-1)、0.3莫耳的聯苯四羧酸(a-2-2-a)、1.4莫耳的馬來酸(a-3-2-a)、1.9克的氯化苄基三乙基銨、0.6克的2,6-二第三丁基對甲酚以及700克的丙二醇單甲醚醋酸酯以同時添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中，以形成反應溶液。在此，「同時添加」是指於相同反應時間添加四羧酸或其酸二酐(a-2)與二羧酸或其酸酐(a-3)。接著，將上述反應溶液加熱至110℃，並且反應2小時，即可得酸價為125毫克KOH/克且數量平均分子量為2455的合成例1的具有不飽和基的樹脂(以下稱為具有不飽和基的樹脂(A-1-1))。

合成例(A-1-2)

將1.0莫耳的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1-2)、2.9克的氯化苄基三乙基銨、0.5克的2,6-二第三丁基對甲酚以及950克的丙二醇甲醚醋酸酯加入至500毫升的四口燒瓶中，以形成反應溶液。接著，添加0.6莫耳的二苯甲酮四羧酸二酐(a-2-2-b)，並在90℃下反應2小時。然後，添加0.7莫耳的四氫鄰苯二甲酸酐(a-3-2-b)、0.1莫耳的鄰苯二甲酸酐(a-3-2-c)，並在90℃下反應4小時。在此，「分段添加」是指於不同的反應時間分別添加四羧酸或其酸二酐(a-2)與二羧酸或其酸酐(a-3)，亦即先添加四羧酸或其酸二酐(a-2)，之後再添加二羧酸或其酸酐(a-3)。經上述合成步驟，可得酸價為92毫克KOH/克且數量平均分子量為5130的合成例2的具有不飽和基的樹脂(以下稱為具有不飽和基的樹脂(A-1-2))。

合成例(A-1-3)、合成例(A-1-6)以及合成例(A-1-8)

合成例(A-1-3)、合成例(A-1-6)以及合成例(A-1-8)的具有不飽和基的樹脂是以與合成例(A-1-1)相同的步驟來製備，不同之處在於：改變具有不飽和基的樹脂的成分種類、使用量、反應時間、反應溫度以及反應物添加時間，其配方及條件分別如表1所示，此處不另贅述。

合成例(A-1-4)、合成例(A-1-5)以及合成例(A-1-7)

合成例(A-1-4)、合成例(A-1-5)以及合成例(A-1-7)的具有不飽和基的樹脂是以與合成例(A-1-2)相同的步驟來製備，不同之處在於：改變具有不飽和基的樹脂的成分種類、使用量、反應時間、反應溫度及反應物添加時間，其配方及條件分別如表1所示，此處不另贅述。

<聚矽氧烷聚合物(A-2)的合成例> 合成例(A-2-1)

在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入0.3莫耳的甲基三甲氧基矽烷(以下簡稱MTMS)、0.45莫耳的苯基三甲氧基矽烷(以下簡稱PTMS)、0.05莫耳的3-(三乙氧基矽基)丙基丁二酸酐(以下簡稱GF-20)、0.2莫耳的3-(三甲氧基矽基)丙基甲基丙烯酸酯(以下簡稱KBM-503)及180克之4-羥基-4-甲基-2-戊酮(以下簡稱為DAA)，並於室溫下一邊攪拌一邊於30分鐘內添加草酸水溶液(0.4克之草酸溶解於75克的水中)。接著，將燒瓶浸漬於30℃的油浴中，攪拌30分鐘後，將上述之反應溶液加熱至110℃，持續攪拌以進行聚縮合反應。反應6小時後，利用蒸餾方式去除溶液中之溶劑，即可得到聚矽氧烷聚合物(A-2-1)。

合成例(A-2-2)及(A-2-3)

合成例(A-2-2)及(A-2-3)係使用與合成例(A-2-1)的製作方法相同之製備方法，不同之處在於合成例(A-2-2)及(A-2-3)係改變聚矽氧烷聚合物中原料的種類與使用量及聚合條件，其配方及聚合條件分別如表2所示，此處不另贅述。

合成例(A-3-1)：其他鹼可溶性樹脂之製造方法

將1重量份的2,2’-偶氮雙異丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、20重量份的甲基丙烯酸、15重量份的苯乙烯、35重量份的甲基丙烯酸苯甲酯、10重量份的甘油單甲基丙烯酸酯及20重量份的N-苯基馬來醯亞胺置於一裝有攪拌器及冷凝器之圓底燒瓶中，並使該燒瓶內部充滿氮氣，之後，緩慢攪拌並升溫至80℃，使各反應物均勻混合並進行聚合反應4小時。之後，再將其升溫至100℃，並添加0.5重量份的2,2’-偶氮二異丁腈進行1小時聚合後，即可得一其它鹼可溶性樹脂(以下簡稱為(A-3-1))。

<感光性樹脂的實施例> 實施例1

將100重量份的合成例1的具有不飽和基的樹脂(A-1-1)、180重量份的三丙烯酸三羥甲基丙酯(以下簡稱B-1)、80重量份的式(I-1)所示之α-酮肟酯化合物(以下簡稱C-1-1)、10重量份的1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9氫-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯肟)(商品名OXE-02；汽巴精化有限公司製造)(以下簡稱C-2-1)、900重量份的C.I.Pigment BK7(以下簡稱E-1)，及9000重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱D-1)，以搖動式攪拌器形成均勻溶液狀態，即可製得一本發明感光性樹脂組成物。所得之感光性樹脂組成物以後述之各評價方式進行特性測定，所得結果如第3表所示。

實施例2至實施例16

實施例2至實施例16的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表3所示)，其中表3中標號所對應的化合物如下所示。將所製得的感光性樹脂組成物以下列各評價方式進行評價，其結果如表3所示。

比較例1至比較例9

比較例1至比較例9的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表4所示)。將所製得的感光性樹脂組成物以下列各評價方式進行評價，其結果如表4所示。

表3及表4中：

<評價方式> 解析度：

以旋轉塗佈方式將實施例以及比較例所製得的各種感光性樹脂組成物，塗佈於玻璃基板上。接著，在100℃下預烤2分鐘，即可得到約1.2μm的預烤塗膜。然後，將上述預烤塗膜放置於線與間距(line and space)的光罩(由日本惠爾康(Nibbon Filcon)製造)下，並且利用50mJ/cm²的紫外光(曝光機型號AG500-4N；由M&R Nano Technology製造)進行曝光。接著，以0.045%氫氧化鉀水溶液於23℃下顯影1分鐘，以將基板上未曝光部份的塗膜除去。然後，將具有特定的圖案的玻璃基板以水洗淨。最後，將玻璃基板上所形成的圖案的線條幅度的最小值定義為解析度。將線條幅度以下列方式評價。值得注意的是，最小圖案線幅越小代表感光性樹脂組成物的解析度越好。

◎：最小圖案線幅≦4μm

○：4μm<最小圖案線幅≦6μm

△：6μm<最小圖案線幅≦8μm

×：8μm<最小圖案線幅

錐度角：

以旋轉塗佈方式將實施例以及比較例所製得的各種感光性樹脂組成物，塗佈於玻璃基板上。接著，在100℃下預烤2分鐘，即可得到約1.2μm的預烤塗膜。然後，將上述預烤塗膜放置於光罩下進行曝光(曝光機型號AG500-4N；由M&R Nano Technology製造)。接著，以0.045%氫氧化鉀水溶液於23℃下顯影1分鐘，以將基板上未曝光部份的塗膜除去。然後，將具有特定的圖案的玻璃基板以水洗淨而得到光阻圖案。以掃描式電子顯微鏡(S-4800、Hitachi High-Technologies製)觀察光阻圖案的錐度角(參考圖1)。

◎：50度≦錐度角≦60度

○：60度<錐度角≦65度或45度≦錐度角<50度

△：65度<錐度角≦80度或30度≦錐度角<45度

×：80度<錐度角或錐度角<30度

上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，而非限制本發明。習於此技術之人士對上述實施例所做之修改及變化仍不違背本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之申請專利範圍所列。

Claims (12)

1. 一種感光性樹脂組成物，包含：鹼可溶性樹脂(A)；具有乙烯性不飽和基的化合物(B)；光起始劑(C)；溶劑(D)；黑色顏料(E)；及熱起始劑(F)；其中：該光起始劑(C)包含式(I)所示之α-酮肟酯化合物(C-1)： 式(I)中：Y¹表示具有1至5個甲基之甲基苯基基團；Y²表示C₁至C₁₀之烷基、苯甲醯基或C₃至C₆之環烷基；Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲醯基；及Y⁴表示或；其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；該熱起始劑(F)係選自由偶氮化合物、過氧化物以及過氧化氫化合物所組之族群的至少一種； 其中該鹼可溶性樹脂(A)包含具有不飽和基的樹脂(A-1)，該具有不飽和基的樹脂(A-1)是由一第一混合物進行聚合反應而獲得，該第一混合物包括：含聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)；四羧酸或其酸二酐(a-2)；及二羧酸或其酸酐(a-3)；其中，該含聚合性不飽和基的二醇化合物(a-1)是由具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)以及具有至少一個羧酸基與至少一個乙烯性不飽和基的化合物(ii)進行聚合反應而獲得；其中該具有至少二個環氧基的環氧化合物(i)包含具有如下式(II)所示之結構的化合物、如下式(III)所示之結構的化合物或如下式(II)所示之結構的化合物及如下式(III)所示之結構的化合物之組合： 其中，R¹、R²、R³與R⁴分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳香基或C₆至C₁₂的芳烷基；及 其中R⁵至R¹⁸分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10之整數。
2. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中該四羧酸或其酸二酐(a-2)包括含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)、除了該含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)之外的其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)或上述兩者的組合；及該二羧酸或其酸酐(a-3)包括含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)、除了所述含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)之外的其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)或上述兩者的組合；該四羧酸或其酸二酐(a-2)及該二羧酸或其酸酐(a-3)中，至少一者含有氟原子。
3. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中該鹼可溶性樹脂(A)包含聚矽氧烷聚合物(A-2)，該聚矽氧烷聚合物(A-2)係由矽烷單體聚合而成，且該矽烷單體包含至少一具有式(I)結構之矽烷單體：Si(Z¹)_t(OZ²)_4-t 式(IV)t為1至3之整數，且當t表示2或3時，複數個Z¹各自為相同或不同；且當4-t表示2或3時，複數個Z²各自為相同或不同；至少一個Z¹表示經酸酐基取代之C₁至C₁₀之烷基、經環氧基取代之C₁至C₁₀之烷基或經環氧基取代之烷氧基，且其餘Z¹表示氫、C₁至C₁₀之烷基、C₂至C₁₀之烯基或C₆至C₁₅之芳香基；及Z²表示氫、C₁至C₆之烷基、C₁至C₆之醯基或C₆至C₁₅之芳香基。
4. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中該偶氮化合物係選自由 2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、1,1'-偶氮二(環己烷-2-甲腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲醯胺、2,2-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羥基甲基)-2-羥基乙基]丙醯胺、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙醯胺]、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙醯胺]、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙醯胺)、2,2'-偶氮二(氮-環己基-2-甲基丙醯胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙醯胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)以及2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)所組之族群的至少一種。
5. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中該過氧化物係選自由過氧化苯甲醯、過氧化二第三丁基、過氧化二異丁醯、過氧化新癸酸異丙苯酯、過氧化二碳酸二丙酯、過氧化二碳酸二異丙酯、過氧化二碳酸二第二丁酯、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化新癸酸酯、二(4-第三丁基環己基)過氧化二碳酸酯、1-環己基-1-甲基乙基過氧化二碳酸酯、雙(2-乙氧基乙基)過氧化二碳酸酯、雙(2-乙基己基)過氧化二碳酸酯、過氧化新癸酸第三己酯、二甲氧基丁基過氧化二碳酸酯、第三丁基過氧化新癸酸酯、第三己基過氧化新戊酸酯、第三丁基過氧化新戊酸酯、過氧化二(3,5,5-三甲基己醯)、過氧化二辛醯、過氧化二月桂醯、過氧化二硬脂酸、2-乙基過氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸過氧化)己烷、2-乙基過氧化己酸第三己酯、過氧化二(4-甲基苯甲醯)、2-乙基過氧化己酸第三丁酯、過氧化二苯甲醯、過氧化異丁酸第三丁酯、1,1-二(第三丁基過氧化)-2-甲基環己烷、1,1-二(第三丁基過氧化)-3,3,5-三甲基環己烷、1,1-二(第三己基過氧化)環己烷、1,1-二(第三丁基過氧化)環己烷、2,2-二[4,4-二(第三丁基過氧化)環己基]丙烷、第三己基過氧化異丙基碳酸酯、第三丁基過氧化馬來酸酯、第三丁基過氧化-3,5,5-三甲 基己酸酯、第三丁基過氧化月桂酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲醯過氧化)己烷、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯、第三丁基過氧化-2-乙基己基碳酸酯、第三己基過氧化苯甲酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲醯過氧化)己烷、第三丁基過氧化醋酸酯、2,2-二(第三丁基過氧化)丁烷、第三丁基過氧化苯甲酸酯、丁基-4,4-二(第三丁基過氧化戊酸酯、二(2-第三丁基過氧化異丙基)苯、過氧化異丙苯、二第三己基過氧化物、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己烷、二第三丁基過氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己炔、第三丁基三甲基過氧化矽烷、二(3-甲基苯甲醯基)過氧化物與苯甲醯基(3-甲基丙甲醯基)過氧化物與二苯甲醯基過氧化物的混合物所組之族群的至少一種。
6. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中該過氧化氫化合物係選自由萜烷過氧化氫、二異丙基苯過氧化氫、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化氫、異丙苯過氧化氫以及第三丁基過氧化氫所組成之族群的至少一種。
7. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中，基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為20至180重量份；該光起始劑(C)的使用量為15至90重量份；該具有式(I)所示α-酮肟酯化合物(C-1)的使用量為10至80重量份；該溶劑(D)的使用量為的使用量為1000至9000重量份；該黑色顏料(E)的使用量為150至1000重量份；及該熱起始劑(F)的使用量為4至40重量份。
8. 根據請求項1之感光性樹脂組成物，其中，基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，該具有不飽和基的樹脂(A-1)的使用量為30至100重量份。
9. 根據請求項3之感光性樹脂組成物，其中，基於鹼可溶性樹脂(A) 的使用量為100重量份，該聚矽氧烷聚合物(A-2)的使用量為30至100重量份。
10. 一種黑色矩陣，其係由根據請求項1至9任何一項之感光樹脂組成物所形成。
11. 一種彩色濾光片，係包含根據請求項10之黑色矩陣。
12. 一種液晶顯示元件，係包含根據請求項11之彩色濾光片。