CN105717743B - 感光性树脂组合物及其应用 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种感光性树脂组合物及其应用。该感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、溶剂(D)、黑色颜料(E)及热起始剂(F)。根据本发明的黑色矩阵用感光性树脂组合物具有改善解析度及锥度角(Taper angle)的优点。

Description

感光性树脂组合物及其应用

技术领域

本发明提供了一种黑色矩阵用感光性树脂组合物及使用该黑色矩阵所形成的彩色滤光片及液晶显示元件，特别是提供一种改善解析度及锥度角的黑色矩阵用感光性树脂组合物及使用该黑色矩阵所形成的彩色滤光片及液晶显示元件。

背景技术

近年来，各式各样的液晶显示技术蓬勃发展，而为了提高目前液晶显示器的对比度及显示品质，一般会于显示器中的彩色滤光片的条纹(stripe)及点(dot)间隙中放置黑色矩阵，该黑色矩阵可防止因像素间的光泄漏所引起的对比度下降及色纯度下降等问题。以往黑色矩阵所使用的材料皆以含有铬或氧化铬等的蒸镀膜为主，然而，以上述蒸镀膜作为黑色矩阵的材料时，存在工艺复杂且材料昂贵等缺点。为了解决此问题，现有技术中有利用感光性树脂组合物通过光平版印刷(photo lithographic)的方式以形成黑色矩阵的技术。

目前，本领域对于黑色矩阵的遮光性的要求日益提高，其解决方法之一：就是增加黑色颜料的使用量，以此来提高黑色矩阵的遮光性。举例而言，日本专利特开第2006-259716号公报公开了一种黑色矩阵用的感光性树脂组合物，其包含高使用量的黑色颜料、碱可溶性树脂、光聚合起始剂、具有二官能基的反应性单体以及有机溶剂。其中，具有二官能基的反应性单体可以改善化合物之间的反应，以形成高精细的图案。由此，在感光性树脂组合物中，当以提升黑色颜料的使用量的方式来增加遮光性的同时，尚可以保持感光性树脂组合物的锥度角。

另外，日本专利特开第2008-268854号公报公开了一种黑色矩阵用的感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物包含具有羧酸基及含不饱和基的碱可溶性树脂、含乙烯性不饱和基的光聚合单体、光聚合起始剂及高使用量的黑色颜料；在该黑色矩阵用感光性树脂组合物中，通过使用特定的碱可溶性树脂来改善高使用量黑色颜料的感光性树脂组合物的解析度。

虽然，现有技术中提高了黑色颜料使用量的感光性树脂组合物能够增加解析度等，然而，上述各前案的感光性树脂组合物其解析度及锥度角尚未能令本领域所接受。有鉴于此，仍有需要开发出可改善解析度及锥度角的黑色矩阵用感光性树脂组合物。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明利用提供特殊碱可溶性树脂及特殊光起始剂的成分，而得到解析度及锥度角俱佳的黑色矩阵用感光性树脂组合物。

因此，本发明提供了一种感光性树脂组合物，包含：

碱可溶性树脂(A)；

具有乙烯性不饱和基的化合物(B)；

光起始剂(C)；

溶剂(D)；

黑色颜料(E)；及

热起始剂(F)；

其中：所述光起始剂(C)包含式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)：

式(I)中：Y¹表示具有1至5个甲基的甲基苯基基团；

Y²表示C₁至C₁₀的烷基、苯甲酰基或C₃至C₆的环烷基；

Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲酰基；及

Y⁴表示-H、

其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；

所述热起始剂F选自由偶氮化合物、过氧化物以及过氧化氢化合物所组的族群中的至少一种。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述碱可溶性树脂(A)包含具有不饱和基的树脂(A-1)，该具有不饱和基的树脂(A-1)是由第一混合物反应而获得，该第一混合物包括：

含聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)；

四羧酸或其酸二酐(a-2)；及

二羧酸或其酸酐(a-3)；

其中，所述含聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)是由具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)以及具有至少一个羧酸基与至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)进行聚合反应而获得。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)包含具有如下式(II)所示结构的化合物、如下式(III)所示结构的化合物或如下式(II)所示结构的化合物及如下式(III)所示结构的化合物的组合：

其中，R¹、R²、R³与R⁴分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳香基或C₆至C₁₂的芳烷基；及

其中，R⁵至R¹⁸分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10的整数。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述四羧酸或其酸二酐(a-2)包括含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)、除了该含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)之外的其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)或上述两者的组合；；及所述二羧酸或其酸酐(a-3)包括含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)、除了所述含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)之外的其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)或上述两者的组合；所述四羧酸或其酸二酐(a-2)及所述二羧酸或其酸酐(a-3)中，至少一者含有氟原子。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述碱可溶性树脂(A)包含聚硅氧烷聚合物(A-2)，该聚硅氧烷聚合物(A-2)是由硅烷单体聚合而成，且该硅烷单体包含至少一具有式(IV)结构的硅烷单体：

Si(Z¹)_t(OZ²)_4-t 式(IV)

式(IV)中，t为1至3的整数，且当t表示2或3时，多个Z¹各自为相同或不同；且当4-t表示2或3时，多个Z²各自为相同或不同；

至少一个Z¹表示经酸酐基取代的C₁至C₁₀的烷基、经环氧基取代的C₁至C₁₀的烷基或经环氧基取代的烷氧基，且其余Z¹表示氢、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基或C₆至C₁₅的芳香基；及Z²表示氢、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基或C₆至C₁₅的芳香基。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述偶氮化合物选自由2,2'-偶氮二异丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、1,1'-偶氮二(环己烷-2-甲腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲酰胺、2,2'-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙酰胺]、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙酰胺]、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(氮-环己基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)以及2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)所组成的族群中的至少一种。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述过氧化物选自由过氧化苯甲酰、过氧化二叔丁基、过氧化二异丁酰、过氧化新癸酸异丙苯酯、过氧化二碳酸二丙酯、过氧化二碳酸二异丙酯、过氧化二碳酸二仲丁酯、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化新癸酸酯、二(4-叔丁基环己基)过氧化二碳酸酯、1-环己基-1-甲基乙基过氧化二碳酸酯、双(2-乙氧基乙基)过氧化二碳酸酯、双(2-乙基己基)过氧化二碳酸酯、过氧化新癸酸叔己酯、二甲氧基丁基过氧化二碳酸酯、叔丁基过氧化新癸酸酯、叔己基过氧化新戊酸酯、叔丁基过氧化新戊酸酯、过氧化二(3,5,5-三甲基己酰)、过氧化二辛酰、过氧化二月桂酰、过氧化二硬脂酸、2-乙基过氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸过氧化)己烷、2-乙基过氧化己酸叔己酯、过氧化二(4-甲基苯甲酰)、2-乙基过氧化己酸叔丁酯、过氧化二苯甲酰、过氧化异丁酸叔丁酯、1,1-二(叔丁基过氧化)-2-甲基环己烷、1,1-二(叔丁基过氧化)-3,3,5-三甲基环己烷、1,1-二(叔己基过氧化)环己烷、1,1-二(叔丁基过氧化)环己烷、2,2-二[4,4-二(叔丁基过氧化)环己基]丙烷、叔己基过氧化异丙基碳酸酯、叔丁基过氧化马来酸酯、叔丁基过氧化-3,5,5-三甲基己酸酯、叔丁基过氧化月桂酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲酰过氧化)己烷、叔丁基过氧化异丙基碳酸酯、叔丁基过氧化-2-乙基己基碳酸酯、叔己基过氧化苯甲酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲酰过氧化)己烷、叔丁基过氧化醋酸酯、2,2-二(叔丁基过氧化)丁烷、叔丁基过氧化苯甲酸酯、丁基-4,4-二(叔丁基过氧化戊酸酯、二(2-叔丁基过氧化异丙基)苯、过氧化异丙苯、二叔己基过氧化物、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己烷、二叔丁基过氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己炔、叔丁基三甲基过氧化硅烷、以及二(3-甲基苯甲酰基)过氧化物与苯甲酰基(3-甲基丙甲酰基)过氧化物同二苯甲酰基过氧化物的混合物所组成的族群中的至少一种。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，所述过氧化氢化合物选自由萜烷过氧化氢、二异丙基苯过氧化氢、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化氢、异丙苯过氧化氢以及叔丁基过氧化氢所组成的族群中的至少一种。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为20至180重量份；所述光起始剂(C)的使用量为15至90重量份；所述具有式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)的使用量为10至80重量份；所述溶剂(D)的使用量为1000至9000重量份；所述黑色颜料(E)的使用量为150至1000重量份；及所述热起始剂(F)的使用量为4至40重量份。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述具有不饱和基的树脂(A-1)的使用量为30至100重量份。

根据本发明所述的感光性树脂组合物，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述聚硅氧烷聚合物(A-2)的使用量为30至100重量份。

本发明还提供了一种黑色矩阵，其是上述的感光树脂组合物所形成的。

本发明又提供了一种彩色滤光片，其包含上述的黑色矩阵。

本发明再提供一种液晶显示元件，其包含上述的彩色滤光片。

附图说明

图1为扫描式电子显微镜中锥度角与光阻图案的关系示意图。

主要附图标号说明：

1 锥度角(θ)

2 光阻图案

3 基板

10 光阻层。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和有益效果有更加清楚的理解，现对本发明的技术方案进行以下详细说明，但不能理解为对本发明的可实施范围的限定。

本发明提供了一种感光性树脂组合物，包含：

碱可溶性树脂(A)；

具有乙烯性不饱和基的化合物(B)；

光起始剂(C)；

溶剂(D)；

黑色颜料(E)；及

热起始剂(F)；

其中：所述光起始剂(C)包含式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)：

式(I)中：Y¹表示具有1至5个甲基的甲基苯基基团；

Y²表示C₁至C₁₀的烷基、苯甲酰基或C₃至C₆的环烷基；

Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲酰基；及

Y⁴表示-H、

其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；

所述热起始剂F选自由偶氮化合物、过氧化物以及过氧化氢化合物所组的族群中的至少一种。

本发明的该碱可溶性树脂(A)包含具有不饱和基的树脂(A-1)，该具有不饱和基的树脂(A-1)是由第一混合物进行聚合反应而获得的，该第一混合物包括：含聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)、四羧酸或其酸二酐(a-2)、及二羧酸或其酸酐(a-3)。

上述含聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)是由具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)以及具有至少一个羧酸基与至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)进行聚合反应而获得的。

上述具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)具有如下式(II)所示的结构：

其中，R¹、R²、R³与R⁴分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳香基或C₆至C₁₂的芳烷基。

上述具有如式(II)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可包括但不限于由双酚芴型化合物(bisphenol fluorene)与卤化环氧丙烷(epihalohydrin)反应而得的含环氧基的双酚芴型化合物。

上述双酚芴型化合物的具体例如：9,9-双(4-羟基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-氟苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene]等化合物。

上述适合的卤化环氧丙烷(epihalohydrin)可包括但不限于3-氯-1,2-环氧丙烷(epichlorohydrin)或3-溴-1,2-环氧丙烷(epibromohydrin)等。

上述所得的含环氧基的双酚芴型化合物包含但不限于(1)新日铁化学制造的商品：例如ESF-300等；(2)大阪瓦斯制造的商品：例如PG-100、EG-210等；(3)S.M.STechnology Co.制造的商品：例如SMS-F9PhPG、SMS-F9CrG、SMS-F914PG等。

其次，上述具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)更可具有如下式(III)所示的结构：

其中，R⁵至R¹⁸分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10的整数。

上述具有如式(III)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可例如在碱金属氢氧化物存在下，使具有下式(III-1)结构的化合物与卤化环氧丙烷进行反应而得到的：

式(III-1)中，R⁵至R¹⁸以及n的定义分别与式(III)中的R⁵至R¹⁸以及n的定义相同，在此不另赘述。

再者，上述具有如式(III)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)是在酸催化剂的存在下，使用具有下式(III-2)结构的化合物与酚(phenol)类进行缩合反应后，形成具有式(III-1)结构的化合物；接着，加入过量的卤化环氧丙烷进行脱卤化氢反应(dehydrohalogenation)，而得到具有如式(III)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)：

其中，R¹⁹与R²⁰分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基；X¹及X²分别为相同或不同的卤素原子、C₁至C₆的烷基或C₁至C₆的烷氧基；优选地，前述的卤素原子可例如氯或溴，前述的烷基可例如甲基、乙基或叔丁基，前述的烷氧基可例如甲氧基或乙氧基。

上述适合的酚类的具体例如：酚(phenol)、甲酚(cresol)、乙酚(ethylphenol)、n-丙酚(n-propylphenol)、异丁酚(isobutylphenol)、t-丁酚(t-butylphenol)、辛酚(octylphenol)、壬基苯酚(nonylphenol)、二甲酚(xylenol)、甲基丁基苯酚(methylbutylphenol)、二叔丁基酚(di-t-butylphenol)、乙烯苯酚(vinylphenol)、丙烯苯酚(propenylphenol)、乙炔苯酚(ethinylphenol)、环戊苯酚(cyclopentylphenol)、环己基酚(cyclohexylphenol)或环己基甲酚(cyclohexylcresol)等。前述的酚类一般可单独一种或混合多种使用。

基于上述具有式(III-2)结构的化合物的使用量为1摩尔，酚类的使用量为0.5摩尔至20摩尔，优选为2摩尔至15摩尔。

前述的酸催化剂的具体例如：盐酸、硫酸、对甲苯磺酸(p-toluenesulfonicacid)、草酸(oxalic acid)、三氟化硼(boron trifluoride)、无水氯化铝(aluminiumchloride anhydrous)、氯化锌(zinc chloride)等，优选为对甲苯磺酸、硫酸或盐酸。前述的酸催化剂可单独一种或混合多种使用。

另外，前述的酸催化剂的使用量虽无特别的限制，但，优选地，基于上述具有式(III-2)结构的化合物的使用量为100重量百分比(wt％)，酸催化剂的使用量为0.1wt％至30wt％。

前述的缩合反应可在无溶剂或是在有机溶剂的存在下进行；其次，上述有机溶剂的具体例如：甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)或甲基异丁基酮(methyl isobutyl ketone)等。上述有机溶剂可单独一种或混合多种使用。

基于具有式(III-2)结构的化合物及酚类的总重量为100wt％，上述有机溶剂的使用量为50wt％至300wt％，优选为100wt％至250wt％。另外，前述的缩合反应的操作温度为40℃至180℃，且缩合反应的操作时间为1小时至8小时。

在完成前述的缩合反应后，可进行中和处理或水洗处理。前述的中和处理是将反应后的溶液的pH值调整为3至7，优选为5至7。前述的水洗处理可使用中和剂来进行，其中此中和剂为碱性物质，且其具体例如：氢氧化钠(sodium hydroxide)、氢氧化钾(potassiumhydroxide)等碱金属氢氧化物；氢氧化钙(calcium hydroxide)、氢氧化镁(magnesiumhydroxide)等碱土类金属氢氧化物；二乙烯三胺(diethylene triamine)、三乙烯四胺(triethylenetetramine)、苯胺(aniline)、苯二胺(phenylene diamine)等有机胺；以及氨(ammonia)、磷酸二氢钠(sodium dihydrogen phosphate)等。前述的水洗处理可采用公知的方法进行，例如，在反应后的溶液中，加入含中和剂的水溶液，反复进行萃取即可。经中和处理或水洗处理后，经减压加热处理，将未反应的酚类及溶剂予以馏除，并进行浓缩，即可获得具有式(III-1)结构的化合物。

上述适合的卤化环氧丙烷的具体例如：3-氯-1,2-环氧丙烷、3-溴-1,2-环氧丙烷或上述的任意组合。在进行前述的脱卤化氢反应之前，可预先添加或于反应过程中添加氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物。前述的脱卤化氢反应的操作温度为20℃至120℃，其操作时间范围为1小时至10小时。

在一实施例中，上述脱卤化氢反应中所添加的碱金属氢氧化物亦可使用其水溶液。在此实施例中，将上述碱金属氢氧化物水溶液连续添加至脱卤化氢反应系统内的同时，可于减压或常压下，连续蒸馏出水及卤化环氧丙烷，以分离并除去水，同时可将卤化环氧丙烷连续地回流至反应系统内。

上述脱卤化氢反应进行前，亦可添加四甲基氯化铵(tetramethyl ammoniumchloride)、四甲基溴化铵(tetramethyl ammonium bromide)、三甲基苄基氯化铵(trimethyl benzyl ammonium chloride)等的四级铵盐作为催化剂，并在50℃至150℃下，反应1小时至5小时，再加入碱金属氢氧化物或其水溶液，于20℃至120℃的温度下，其使反应1小时至10小时，以进行脱卤化氢反应。

基于上述具有式(III-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量，上述卤化环氧丙烷的使用量为1当量至20当量，优选为2当量至10当量。基于上述具有式(III-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量，上述脱卤化氢反应中添加的碱金属氢氧化物的使用量为0.8当量至15当量，优选为0.9当量至11当量。

此外，为了使上述脱卤化氢反应顺利进行，亦可添加除甲醇、乙醇等醇类之外，亦可添加二甲砜(dimethyl sulfone)、二甲亚砜(dimethyl sulfoxide)等非质子性(aprotic)的极性溶剂等来进行反应。在使用醇类的情况下，基于上述卤化环氧丙烷的总量为100wt％，醇类的使用量为2wt％至20wt％。优选为4wt％至15wt％。在使用非质子性的极性溶剂的例子中，基于卤化环氧丙烷的总量为100wt％，非质子性的极性溶剂的使用量为5wt％至100wt％，优选为10wt％至90wt％。

在完成脱卤化氢反应后，可选择性地进行水洗处理。之后，利用加热减压的方式，例如于温度为110℃至250℃且压力为1.3kPa(10mmHg)以下，除去卤化环氧丙烷、醇类及非质子性的极性溶剂等。

为了避免形成的环氧树脂含有加水分解性卤素，可将脱卤化氢反应后的溶液加入甲苯、甲基异丁基酮(methyl isobutyl ketone)等溶剂，并加入氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物水溶液，再次进行脱卤化氢反应。在脱卤化氢反应中，基于上述具有式(III-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量，碱金属氢氧化物的使用量为0.01摩尔至0.3摩尔，优选为0.05摩尔至0.2摩尔。另外，上述脱卤化氢反应的操作温度范围为50℃至120℃，且其操作时间范围为0.5小时至2小时。

在完成脱卤化氢反应后，通过过滤及水洗等步骤去除盐类。此外，可利用加热减压的方式，将甲苯、甲基异丁基酮等溶剂予以馏除，则可得到具有如式(III)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)。上述具有如式(III)所示结构的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可包含但不限于例如NC-3000、NC-3000H、NC-3000S及NC-3000P等日本化药制造的商品。

上述具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)是选自于由以下(1)至(3)所组成的族群：(1)丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧乙基丁二酸(2-methacryloyloxyethylbutanedioic acid)、2-甲基丙烯酰氧丁基丁二酸、2-甲基丙烯酰氧乙基己二酸、2-甲基丙烯酰氧丁基己二酸、2-甲基丙烯酰氧乙基六氢邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧乙基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丙基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丁基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丙基丁二酸、2-甲基丙烯酰氧丙基己二酸、2-甲基丙烯酰氧丙基四氢邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧丙基邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧丁基邻苯二甲酸，或2-甲基丙烯酰氧丁基氢邻苯二甲酸；(2)由含羟基的(甲基)丙烯酸酯与二元羧酸化合物反应而得的化合物，其中二元羧酸化合物包含但不限于己二酸、丁二酸、马来酸、邻苯二甲酸；(3)由含羟基的(甲基)丙烯酸酯与羧酸酐化合物(iii)反应而得的半酯化合物，其中含羟基的(甲基)丙烯酸酯包含但不限于2-羟基乙基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)acrylate]、2-羟基乙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)methacrylate]、2-羟基丙基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)acrylate]、2-羟基丙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)methacrylate]，4-羟基丁基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)acrylate]、4-羟基丁基甲基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)methacrylate]，或季戊四醇三甲基丙烯酸酯等。

上述四羧酸或其酸二酐(a-2)包括含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)、除了所述含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)之外的其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)，或上述两者的组合。

其中，上述含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)选自由式(2-1)表示的含有氟原子的四羧酸化合物以及由式(2-2)表示的含有氟原子的四羧酸二酐化合物所组成的族群。具体而言，由式(2-1)表示的含有氟原子的四羧酸化合物以及由式(2-2)表示的含有氟原子的四羧酸二酐化合物如下所示。

式(2-1)与式(2-2)中，L²为具有氟的四价芳香族基团，且优选为具有苯环。具体而言，优选为选自由式(L-1)至式(L-6)表示的基团中的其中之一。

式(L-1)至式(L-6)中，E各自独立表示氟原子或三氟甲基；及*表示与碳原子键结的位置。

具体而言，含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)的具体例包括4,4'-六氟亚异丙基二邻苯二甲酸(4,4'-hexafluoro isopropylidene diphthalic acid)、1,4-二氟均苯四甲酸(1,4-difluoropyromellitic acid)、1-单氟均苯四甲酸(1-monofluoropyromellitic acid)、1,4-二(三氟甲基)均苯四甲酸(1,4-ditrifluoromethylpyromellitic acid)等含氟的芳香族四羧酸(aromatictetracarboxylic acid)、上述四羧酸的二酐化合物，或上述化合物的组合。

含有氟原子的四羧酸或其酸二酐(a-2-1)的具体例还包括3,3'-六氟亚异丙基二邻苯二甲酸(3,3'-(hexafluoro isopropylidene)diphthalic acid)、5,5'-[2,2,2-三氟-1-[3-(三氟甲基)苯基]亚乙基]二邻苯二甲酸(5,5'-[2,2,2-trifluoro-1-[3-(trifluoromethyl)phenyl]ethylidene]diphthalic acid)、5,5'-[2,2,3,3,3-五氟-1-(三氟甲基)亚丙基]二邻苯二甲酸(5,5'-[2,2,3,3,3-pentafluoro-1-(trifluoromethyl)propylidene]diphthalic acid)、5,5'-氧基双[4,6,7-三氟-均苯四甲酸](5,5'-oxybis[4,6,7-trifluoro-pyromellitic acid]、3,6-双(三氟甲基)均苯四甲酸(3,6-bis(trifluoromethyl)pyromellitic acid)、4-(三氟甲基)均苯四甲酸(4-(trifluoromethyl)pyromellitic acid)、1,4-双(3,4-二羧酸三氟苯氧基)四氟苯(1,4-bis(3,4-dicarboxylic acid trifluorophenoxy)tetrafluoro benzene)等含氟的四羧酸、上述四羧酸的二酐化合物，或上述化合物的组合。

其他四羧酸或其酸二酐(a-2-2)包括饱和直链烃四羧酸、脂环式四羧酸、芳香族四羧酸、上述四羧酸的二酐化合物，或其组合。

饱和直链烃四羧酸的具体例包括丁烷四羧酸、戊烷四羧酸、己烷四羧酸，或上述化合物的组合。饱和直链烃四羧酸亦可具有取代基。

脂环式四羧酸的具体例包括环丁烷四羧酸、环戊烷四羧酸、环已烷四羧酸，降冰片烷四羧酸，或上述化合物的组合。脂环式四羧酸亦可具有取代基。

芳香族四羧酸的具体例包括均苯四甲酸、二苯甲酮四羧酸、联苯四羧酸(Biphenyltetracarboxylic acid)、联苯醚四羧酸、二苯基砜四羧酸、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸，或上述化合物的组合。芳香族四羧酸亦可具有取代基。

二羧酸或其酸酐(a-3)包括含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)、除了所述含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)之外的其他二羧酸、其酸酐(a-3-2)，或上述两者的组合。

上述含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)选自由式(3-1)表示的含有氟原子的二羧酸化合物以及由式(3-2)表示的含有氟原子的二羧酸酐化合物所组成的族群。具体而言，由式(3-1)表示的含有氟原子的二羧酸化合物以及由式(3-2)所示的含有氟原子的二羧酸酐化合物如下所示：

式(3-1)与式(3-2)中，L³表示碳数为1至100的含氟原子的有机基。

含有氟原子的二羧酸或其酸酐(a-3-1)的具体例包括3-氟邻苯二甲酸(3-fluorophthalic acid)、4-氟邻苯二甲酸(4-fluorophthalic acid)、四氟邻苯二甲酸(tetrafluorophthalic acid)、3,6-二氟邻苯二甲酸(3,6-difluorophthalic acid)、四氟琥珀酸(tetrafluoro succinic acid)、上述二羧酸的酸酐化合物，或上述化合物的组合。

其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)的具体例包括饱和直链烃二羧酸、饱和环状烃二羧酸、不饱和二羧酸、上述二羧酸化合物的酸酐，或上述化合物的组合。

饱和直链烃二羧酸的具体例包括丁二酸、乙酰基丁二酸、己二酸、壬二酸、柠苹酸(Citramalic acid)、丙二酸、戊二酸、柠檬酸、酒石酸、氧代戊二酸、庚二酸、癸二酸、辛二酸、二甘醇酸(diglycolic acid)，或上述化合物的组合。饱和直链烃二羧酸中的烃基亦可被取代。

饱和环状烃二羧酸的具体例包括六氢邻苯二甲酸、环丁烷二羧酸、环戊烷二羧酸、降冰片烷二羧酸、六氢偏苯三酸(hexahydrotrimellitic acid)，或上述化合物的组合。饱和环状烃二羧酸亦可为饱和烃经取代的脂环式二羧酸。

不饱和二羧酸的具体例包括马来酸、衣康酸、邻苯二甲酸、四氢邻苯二甲酸、甲基桥亚甲基四氢邻苯二甲酸(methyl endo-methylene tetrahydro phthalic acid)、氯茵酸(chlorendic acid)、偏苯三酸，或上述化合物的组合。

其他二羧酸或其酸酐(a-3-2)的具体例包括三甲氧基硅烷基丙基丁二酸酐、三乙氧基硅烷基丙基丁二酸酐、甲基二甲氧基硅烷基丙基丁二酸酐、甲基二乙氧基硅烷基丙基丁二酸酐、三甲氧基硅烷基丁基丁二酸酐、三乙氧基硅烷基丁基丁二酸酐、甲基二乙氧基硅烷基丁基丁二酸酐、对(三甲氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、对(三乙氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、对(甲基二甲氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、对(甲基二乙氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、间(三甲氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、间(三乙氧基硅烷基)苯基丁二酸酐、间(甲基二乙氧基硅烷基)苯基丁二酸酐等二羧酸酐，或上述二羧酸酐的二羧酸化合物，或上述化合物的组合。

其他二羧酸化合物优选为丁二酸、衣康酸、四氢邻苯二甲酸、六氢偏苯三酸、邻苯二甲酸、偏苯三酸或上述化合物的组合，更优选为丁二酸、衣康酸、四氢邻苯二甲酸或上述化合物的组合。

其他二羧酸酐优选为丁二酸酐、衣康酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢偏苯三酸酐、邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐或上述化合物的组合。

优选地，上述四羧酸或其酸二酐(a-2)及该二羧酸或其酸酐(a-3)中，至少其一含有氟原子。

具有不饱和基的树脂(A-1)的合成方法并无特别限制，只要将含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)、四羧酸或其酸二酐(a-2)以及二羧酸或其酸酐(a-3-2)反应即可获得。

在制备上述的具有不饱和基的树脂(A-1)时，为加速反应，通常会于反应溶液中添加碱性化合物作为反应催化剂。上述的反应催化剂的具体例包括三苯基膦(triphenylphosphine)、三苯基锑(triphenyl stibine)、三乙胺(triethylamine)、三乙醇胺(triethanolamine)、四甲基氯化铵(tetramethylammonium chloride)、氯化苄基三乙基铵(benzyltriethylammonium chloride)或上述反应催化剂的组合。上述的反应催化剂可单独或组合多种来使用。

此外，为了控制聚合度，通常还会于反应溶液中添加阻聚剂(inhibitor)。上述的阻聚剂的具体例包括甲氧基酚(methoxyphenol)、甲基氢醌(methylhydroquinone)、氢醌(hydroquinone)、2,6-二叔丁基对甲酚(2,6-di-tert-butyl-p-cresol)、吩噻嗪(phenothiazine)或其类似物。上述的阻聚剂可单独或组合多种来使用。

在制备上述具有不饱和基的树脂(A-1)时，必要时可使用聚合反应溶剂。上述的聚合反应溶剂的具体例包括：乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、异丁醇、2-丁醇、己醇、乙二醇或其类似物的醇类化合物；甲乙酮、环己酮或其类似物的酮类化合物；甲苯、二甲苯或其类似物的芳香族烃类化合物；乙二醇乙醚、乙二醇丁醚(butyl cellosolve)或其类似物的溶纤剂(cellosolve)类化合物；卡必醇(二乙二醇乙醚)、丁基卡必醇(二乙二醇丁醚)或其类似物的卡必醇类化合物；丙二醇单甲醚或其类似物的丙二醇烷基醚类化合物；二丙二醇单甲醚(di(propylene glycol)methyl ether)或其类似物的多丙二醇烷基醚(poly(propyleneglycol)alkyl ether)类化合物；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙二醇乙醚醋酸酯(ethyleneglycol monoethyl ether acetate)、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methylether acetate)、丙二醇单甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl monoether acetate)或其类似物的醋酸酯类化合物；乳酸乙酯(ethyl lactate)、乳酸丁酯(butyl lactate)或其类似物的乳酸烷酯(alkyl lactate)类化合物；或二烷基二醇醚类；或2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乙氧基乙酸乙酯等其他酯类。上述的聚合反应溶剂可单独使用或组合多种来使用。另外，上述碱可溶性树脂(A-1)的酸值为50mgKOH/g至200mgKOH/g，优选为60mgKOH/g至180mgKOH/g。

此外，合成方法例如可采用如日本专利特开平9-325494号公报所述的方法，即在反应温度为90℃至140℃下使二醇化合物与四羧酸二酐反应的公知的方法。此外，在反应温度为90℃至130℃下使第一混合物均匀地溶解并使其进行反应，接着在反应温度为40℃至80℃下进行反应以及熟成(aging)。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，上述具有不饱和基的树脂(A-1)的使用量为30至100重量份；优选为50至100重量份；更优选为70至100重量份。当使用具有不饱和基的树脂(A-1)时，可进一步改善该感光树脂组合物的解析度及锥度角。

根据本发明的碱可溶性树脂(A)，另包含聚硅氧烷聚合物(A-2)。

上述聚硅氧烷聚合物(A-2)可选择使用硅烷单体(silane monomer)、聚硅氧烷预聚物(siloxane prepolymer)或者硅烷单体与聚硅氧烷预聚物的组合进行聚合(即水解(hydrolysis)及部分缩合(partially condensation))来形成。

本发明的上述聚硅氧烷聚合物(A-2)的聚合用硅烷单体包含至少一具有式(IV)结构的硅烷单体：

Si(Z¹)_t(OZ²)_4-t 式(IV)

t为1至3的整数，且当t表示2或3时，多个Z¹各自为相同或不同；且当4-t表示2或3时，多个Z²各自为相同或不同；

至少一个Z¹表示经酸酐基取代的C₁至C₁₀的烷基、经环氧基取代的C₁至C₁₀的烷基或经环氧基取代的烷氧基，且其余Z¹表示氢、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基或C₆至C₁₅的芳香基；及Z²表示氢、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基或C₆至C₁₅的芳香基。上述经酸酐基取代且C₁至C₁₀烷基的具体例，如：乙基丁二酸酐、丙基丁二酸酐或丙基戊二酸酐等。

上述经环氧基取代且C₁至C₁₀烷基的具体例，如：环氧丙烷基戊基(oxetanylpentyl)或2-(3,4-环氧环己基)乙基[2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl]等。

上述经环氧基取代的氧烷基的具体例，如：环氧丙氧基丙基(glycidoxypropyl)或2-环氧丙烷基丁氧基(2-oxetanylbutoxy)等。

于Z²中，上述的烷基可包含但不限于甲基、乙基、正丙基、异丙基或正丁基等。酰基可包含但不限于乙酰基。芳香基则可包含但不限于苯基。

上述式(IV)所示的硅烷单体可包含但不限于3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(3-glycidoxypropyltrimethoxysilane；TMS-GAA)、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷(3-glycidoxypropyltriethoxysilane)、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷[2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxy silane]、2-环氧丙烷基丁氧基丙基三苯氧基硅烷(2-oxetanylbutoxypropyltriphenoxysilane)、3-(三苯氧基硅基)丙基丁二酸酐、3-(三甲氧基硅基)丙基戊二酸酐(TMSG)、3-(三乙氧基硅基)丙基戊二酸酐、3-(三苯氧基硅基)丙基戊二酸酐、二异丙氧基-二(2-环氧丙烷基丁氧基丙基)硅烷[diisopropoxy-di(2-oxetanylbutoxy propyl)silane；DIDOS]、二(3-环氧丙烷基戊基)二甲氧基硅烷[di(3-oxetanylpentyl)dimethoxy silane]、(二正丁氧基硅基)二(丙基丁二酸酐)、(二甲氧基硅基)二(乙基丁二酸酐)、3-环氧丙氧基丙基二甲基甲氧基硅烷(3-glycidoxypropyldimethylmethoxysilane)、3-环氧丙氧基丙基二甲基乙氧基硅烷(3-glycidoxypropyldimethylethoxysilane)、二(2-环氧丙烷基丁氧基戊基)-2-环氧丙烷基戊基乙氧基硅烷[di(2-oxetanylbutoxypentyl)-2-oxetanylpentylethoxy silane]、三(2-环氧丙烷基戊基)甲氧基硅烷[tri(2-oxetanylpentyl)methoxy silane]、(苯氧基硅基)三(丙基丁二酸酐)、(甲基甲氧基硅基)二(乙基丁二酸酐)；东亚合成株式会社制造，型号为TMSOX-D的2-环氧丙烷基丁氧基丙基三甲氧基硅烷(2-oxetanylbutoxypropyltrimethoxysilane)，型号为TESOX-D的2-环氧丙烷基丁氧基丙基三乙氧基硅烷(2-oxetanylbutoxypropyltriethoxysilane)，型号为TMSOX的3-乙基-3-{[3-(三甲氧基硅基)丙氧基]甲基}环氧丙烷；信越化学株式会社制造，型号为X-12-967的3-(三甲氧基硅基)丙基丁二酸酐；WACKER公司所制造，型号为GF-20的3-(三乙氧基硅基)丙基丁二酸酐等。上述式(IV)所示的硅烷单体可单独一种使用或混合多种使用。

于本发明的另一优选具体例中，本发明的该聚硅氧烷聚合物(A-2)的聚合用硅烷单体还包含下列结构式(IV-1)所示的硅烷单体：

Si(Z³)_u(OZ⁴)_4-u 式(IV-1)

其中：Z³表示选自由氢原子、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基及C₆至C₁₅的芳基所组成的群，其中C₁至C₁₀的烷基不含有羧酸酐取代基；

Z⁴独立选自由氢原子、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基及C₆至C₁₅的芳基所组成的群；及u表示1至3的整数；当u代表2或3时，多个Z³可相同亦可不同；当(4-u)代表2、3或4时，多个Z⁴可相同或相异。

于Z³中，烷基可包含但不限于甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、正己基、正葵基、三氟甲基、3,3,3-三氟丙基、3-胺丙基、3-巯丙基或3-异氰酸丙基等。烯基可包含但不限于乙烯基、3-丙烯酰氧基丙基或3-甲基丙烯酰氧基丙基等。芳香基可包含但不限于苯基、甲苯基、对-羟基苯基、1-(对-羟基苯基)乙基、2-(对-羟基苯基)乙基、4-羟基-5-(对-羟基苯基羰氧基)戊基或萘基等。

于Z⁴中，烷基可包含但不限于甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基等。酰基可包含但不限于乙酰基。芳香基可包含但不限于苯基。

式(IV-1)所示的硅烷单体可包含但不限于四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四乙酰氧基硅烷、四苯氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三异丙氧基硅烷、甲基三正丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三异丙氧基硅烷、乙基三正丁氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、正丁基三甲氧基硅烷、正丁基三乙氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、癸基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、对-羟基苯基三甲氧基硅烷、1-(对-羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(对-羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、4-羟基-5-(对-羟基苯基羰氧基)戊基三甲氧基硅烷、三氟甲基三甲氧基硅烷、三氟甲基三乙氧基硅烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷、3-胺丙基三甲氧基硅烷、3-胺丙基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二甲基二乙酰氧基硅烷、二正丁基二甲氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、三甲基甲氧基硅烷、三正丁基乙氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷等。前述式(IV-1)所示的硅烷单体可单独一种使用或混合多种使用。

优选地，本发明的该聚硅氧烷聚合物(A-2)的聚合用聚硅氧烷预聚物包含如下式(IV-2)所示的聚硅氧烷：

其中：Z⁵、Z⁶、Z⁷及Z⁸可为相同或不同，且分别选自由氢原子、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₆的烯基及C₆至C₁₅的芳基所组成的群；其中该烷基、烯基或芳基优选为含有取代基；其中每个Z⁵可为相同或不同，且每个Z⁶可为相同或不同；前述的烷基可包含但不限于甲基、乙基或正丙基等。烯基可包含但不限于乙烯基、丙烯酰氧基丙基或甲基丙烯酰氧基丙基等。芳香基可包含但不限于苯基、甲苯基或萘基等；

s为介于1至1000之间的整数；优选地，s为介于3至300之间的整数；更优选地，s为介于5至200之间的整数。

Z⁹及Z¹⁰分别选自由氢原子、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基及C₆至C₁₅的芳基所组成的群；其中该烷基、酰基或芳基优选为含有取代基。优选地，烷基例如但不限于甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基等；酰基例如但不限于乙酰基；芳基例如但不限于苯基。

式(IV-2)所示的聚硅氧烷可包含但不限于1,1,3,3-四甲基-1,3-二甲氧基二硅氧烷、1,1,3,3-四甲基-1,3-二乙氧基二硅氧烷、1,1,3,3-四乙基-1,3-二乙氧基二硅氧烷或Gelest公司制造的硅烷醇末端聚硅氧烷，其型号分别为DM-S12(分子量为400至700)、DMS-S15(分子量为1500至2000)、DMS-S21(分子量为4200)、DMS-S27(分子量为18000)、DMS-S31(分子量为26000)、DMS-S32(分子量为36000)、DMS-S33(分子量为43500)、DMS-S35(分子量为49000)、DMS-S38(分子量为58000)、DMS-S42(分子量为77000)或PDS-9931(分子量为1000至1400)等。式(IV-2)所示的聚硅氧烷可单独一种使用或混合多种使用。

优选地，本发明的该聚硅氧烷聚合物(A-2)可由所述的硅烷单体及/或聚硅氧烷预聚物经由共聚合来制备，或组合二氧化硅(silicon dioxide)粒子经由共聚合反应来制备。

上述二氧化硅粒子的平均粒径并无特别的限制，其平均粒径范围为2nm至250nm。优选地，其平均粒径范围为5nm至200nm。更优选地，其平均粒径范围为10nm至100nm。

上述二氧化硅粒子可包含但不限于触媒化成株式会社制造，型号为OSCAR 1132(粒径为12nm，且分散剂为甲醇)、OSCAR 1332(粒径为12nm，且分散剂为正丙醇)、OSCAR 105(粒径为60nm，且分散剂为γ-丁内酯)或OSCAR 106(粒径为120nm，且分散剂为二丙酮醇)等商品；扶桑化学株式会社制造，型号为Quartron PL-1-IPA(粒径为13nm，且分散剂为异丙酮)、Quartron PL-1-TOL(粒径为13nm，且分散剂为甲苯)、Quartron PL-2L-PGME(粒径为18nm，且分散剂为丙二醇单甲醚)或Quartron PL-2L-MEK(粒径为18nm，且分散剂为甲乙酮)等商品；日产化学株式会社制造，型号为IPA-ST(粒径为12nm，且分散剂为异丙醇)、EG-ST(粒径为12nm，且分散剂为乙二醇)、IPA-ST-L(粒径为45nm，且分散剂为异丙醇)或IPA-ST-ZL(粒径为100nm，且分散剂为异丙醇)等商品。上述二氧化硅粒子可单独一种使用或混合多种使用。

上述的部份缩合反应可使用一般的方法，例如：在硅烷单体及/或聚硅氧烷预聚物中添加溶剂及水，且可选择性地添加催化剂。接着，于50℃至150℃下加热搅拌0.5小时至120小时。搅拌时，反应可通过蒸馏去除副产物(醇类或水等)。

基于该硅烷单体及/或聚硅氧烷预聚物的总使用量为100克，上述溶剂的使用量为15克至1200克。优选地，上述溶剂的使用量为20克至1100克。更优选地，上述溶剂的使用量为30克至1000克。

基于该硅烷单体及/或聚硅氧烷预聚物中所含的可水解基团为1摩尔，水解所使用的水的使用量为0.5摩尔至2摩尔。

上述催化剂没有特别的限制。优选地，该催化剂可选自于酸催化剂或碱催化剂。该酸催化剂可包含但不限于盐酸、硝酸、硫酸、氟酸、草酸、磷酸、醋酸、三氟醋酸、蚁酸、多元羧酸或其酐类，或者离子交换树脂等。该碱催化剂可包含但不限于二乙胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氢氧化钠、氢氧化钾、具有胺基的烷氧基硅烷或离子交换树脂等。

基于该硅烷单体及/或聚硅氧烷预聚物的总量为100克，该催化剂的使用量范围为0.005克至15克。优选地，该催化剂的使用量范围为0.01克至12克。更优选地，该催化剂的使用量范围为0.05克至10克。

基于稳定性的观点，优选经缩合反应后所制得的具有酸酐基或环氧基的聚硅氧烷聚合物(A-2)不含副产物(如醇类或水)及催化剂，因此所制得的具有酸酐基或环氧基的聚硅氧烷聚合物(A-2)可选择性地进行纯化。纯化方法并无特别限制，优选可使用疏水性溶剂稀释该具有酸酐基或环氧基的聚硅氧烷聚合物(A-2)，接着以蒸发器浓缩经水洗涤数回的有机层，以除去醇类或水。另外，可使用离子交换树脂除去催化剂。

基于碱可溶性树脂(A)的总量为100重量份，该聚硅氧烷聚合物(A-2)的使用量为30至100重量份；优选为50至100重量份；更优选为70至100重量份。当使用聚硅氧烷聚合物(A-2)时，可进一步改善该感光树脂组合物的解析度及锥度角。

根据本发明的该碱可溶性树脂(A)可选择性包括其他碱可溶性树脂(A-3)。其他碱可溶性树脂(A-3)包含但不限于含羧酸基或羟基的树脂，其具体例如丙烯酸系树脂、尿烷(氨基甲酸乙酯，urethane)系树脂及酚醛清漆型(novolac)树脂等。

根据本发明的感光性树脂组合物包含具有乙烯性不饱和基的化合物(B)。

根据本发明的该具有乙烯性不饱和基的化合物(B)可选自具有1个乙烯性不饱和基的化合物或具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物。

上述的具有1个乙烯性不饱和基的化合物的具体例包括(甲基)丙烯酰胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯酰吗啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、异丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸异冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯(tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己内酰胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚单(甲基)丙烯酸乙二酯、聚单(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。上述的具有1个乙烯性不饱和基的化合物(B-1)可单独使用或组合多种来使用。

上述的具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物的具体例包括乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧乙烷(ethylene oxide,EO)改性的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧丙烷(propylene oxide,PO)改性的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羟甲基丙酯(di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate)、经环氧乙烷改性的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改性的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改性的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改性的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改性的甘油三(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改性的双酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯或其类似物，或上述化合物的组合。上述具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物可单独使用或组合多种来使用。

上述具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的具体例包括：三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧乙烷改性的三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧丙烷改性的三丙烯酸三羟甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羟甲基丙酯、经环氧丙烷改性的甘油三丙烯酸酯或其类似物，或上述化合物的组合。

具有乙烯性不饱和基的化合物(B)优选为三丙烯酸三羟甲基丙酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯或上述化合物的组合。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为20至180重量份；优选为25至160重量份；更优选为30至140重量份。

本发明的光起始剂(C)包含式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)：

式(1)中，该Y¹表示具有1至5个甲基的甲基苯基基团，其具体例为

Y²表示C₁至C₁₀的烷基、苯甲酰基或C₃至C₆的环烷基，优选地，前述的烷基可例如甲基；Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲酰基，其中优选为乙基；

Y⁴表示-H、

其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基。

在本发明的优选具体实施例中，该式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)包括具有如下示式(I-1)至(I-12)所示的结构：

在本发明的一具体例中，式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)是通过下述反应而得到的：首先，将咔唑化合物、酰氯化合物(acyl chloride)及n-甲基苯酰氯(n-methylphenyl acyl chloride)在氯化铝的存在下依序放入，该反应可以得到酰基化合物，该酰基化合物在碱催化剂的催化下与亚硝酸异戊酯(isoamyl nitrite)反应而得α-酮肟化合物；接着，该α-酮肟化合物与酰氯化合物在三乙胺(triethylamine)催化剂的催化下反应而得到上述式(I)所示的α-酮肟酯化合物。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该式(I)所示结构的α-酮肟酯化合物(C-1)的使用量为10至80重量份；优选为12至70重量份；更优选为15至60重量份。当不使用该式(I)所示的α-酮肟酯化合物(C-1)时，则感光性树脂组合物的解析度及锥度角不佳。

于本发明的一优选具体例中，本发明的光起始剂(C)另包含一光起始剂(C-2)，在本发明的一实施例中，其可包含但不限于O-酰基肟系化合物、三氮杂苯系化合物、苯乙烷酮类化合物、二咪唑类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等，以下分别予以阐述。

上述O-酰基肟系化合物的具体例为：1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)(例如CibaSpecialty Chemicals制的OXE 01)、1-[4-(苯酰基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)(例如CibaSpecialty Chemicals制的OXE 02)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)等。

上述O-酰基肟系化合物优选为1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)[OXE 01]、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)[OXE 02]、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)等。上述O-酰基肟系化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

上述三氮杂苯系化合物可包括但不限于乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物、2-(萘并-1-基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物及4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物等。

上述乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为：2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-3-(1-对-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮杂苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等。

上述2-(萘并-1-基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为：2-(萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯等。

上述4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为：4-[对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N-(对-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-双(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮杂苯等。

上述三氮杂苯系化合物优选为4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等。上述三氮杂苯系化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

上述苯乙烷酮类化合物的具体例为：对二甲胺苯乙烷酮、α,α'-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2'-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、对-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等。上述苯乙烷酮类化合物优选为2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等。上述苯乙烷酮类化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

上述二咪唑类化合物的具体例为：2,2'-双(邻-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(邻-氟苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(邻-甲基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(邻-甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(邻-乙基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(对-甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(2,2',4,4'-四甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑、2,2'-双(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑等。上述的二咪唑类化合物优选为2,2'-双(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪唑。上述二咪唑类化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

上述二苯甲酮类化合物的具体例为：噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-砜、二苯甲酮、4,4'-双(二甲胺)二苯甲酮、4,4'-双(二乙胺)二苯甲酮等。上述二苯甲酮类化合物优选为4,4'-双(二乙胺)二苯甲酮。上述二苯甲酮类化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

上述α-二酮类化合物的具体例为：苯偶酰、乙酰基等。上述酮醇类化合物的具体例为：二苯乙醇酮。上述酮醇醚类化合物的具体例为：二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮异丙醚等。上述酰膦氧化物类化合物的具体例为：2,4,6-三甲基苯酰二苯基膦氧化物、双-(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。上述醌类化合物的具体例为：蒽醌、1,4-萘醌等。上述含卤素类化合物的具体例为：苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜、三(三氯甲基)-s-三氮杂苯等。上述过氧化物的具体例为：二-叔丁基过氧化物等。上述α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该光起始剂(C)的使用量为15至90重量份；优选为17至80重量份；更优选为20至70重量份。

本发明适合的溶剂(D)优选为可以溶解碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、黑色颜料(E)及热起始剂(F)，且不与上述成分相互反应，并具有适当挥发性的溶剂。

上述溶剂(D)的具体例如：乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单正丙醚、二乙二醇单正丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单正丙醚、二丙二醇单正丁醚、三丙二醇单甲醚或三丙二醇单乙醚等烷基二醇单烷醚类化合物；乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯或丙二醇甲醚醋酸酯或丙二醇乙醚醋酸酯等烷基二醇单烷醚醋酸酯类化合物；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚或四氢呋喃等其他醚类化合物；甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮或二丙酮醇等酮类化合物；乳酸甲酯或乳酸乙酯等乳酸烷酯类化合物；2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、羟基醋酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸异丙酯、醋酸正丁酯、醋酸异丁酯、醋酸正戊酯、醋酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰醋酸甲酯、乙酰醋酸乙酯或2-氧基丁酸乙酯等其他酯类化合物；甲苯或二甲苯等芳香族烃类化合物；N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺等羧酸胺类化合物；或上述的任意组合。上述溶剂(D)一般可单独一种或混合多种使用。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该溶剂(D)的使用量为1000至9000重量份；优选为1200至8000重量份；更优选为1500至7000重量份。

适用于本发明的黑色颜料(E)优选为具有耐热性、耐光性以及耐溶剂性的黑色颜料。

上述黑色颜料(E)的具体例如：二萘嵌苯黑(perylene black)、花青黑(cyanineblack)、苯胺黑(aniline black)等黑色有机颜料；由红、蓝、绿、紫、黄色、花青(cyanine)、洋红(magenta)等颜料中，选择两种或两种以上的颜料进行混合，使其成近黑色化的混色有机颜料；碳黑(carbon black)、氧化铬、氧化铁、钛黑(titanium black)、石墨等遮光材，其中上述的碳黑可包含但不限于C.I.pigment black 7等，上述碳黑的具体例如三菱化学所制造的市售品(MA100、MA230、MA8、#970、#1000、#2350、#2650)。上述黑色颜料(F)一般可单独一种或混合多种使用。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该黑色颜料(F)的使用量为150至1000重量份；优选为170至900重量份；更优选为200至800重量份。

本发明的热起始剂(F)并无特别限制，在本发明的一实施例中，其可包含但不限于偶氮化合物、有机过氧化物及过氧化氢化合物等。

上述偶氮化合物的具体例为：2,2'-偶氮二异丁腈[2,2'-azobis(isobutyronitrile)]、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)[2,2'-azobis(2-methylbutyronitrile)]、1,1'-偶氮二(环己烷-2-甲腈)[1,1'-azobis(cyclohexane-1-carbonitrile)]、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)[2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲酰胺{1-[(1-cyano-1-methylethyl)az o]formamide}、2,2'-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺{2,2-azobi s{2-methyl-N-[1,1-bis(hydroxymethyl)-2-hydroxyethyl]propionamide}、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙酰胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-methylpropionamide]、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙酰胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-ethyl propionamide]、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙酰胺){2,2'-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide)}、2,2'-偶氮二(氮-环己基-2-甲基丙酰胺)[2,2'-azobis(N-cyclohexyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酰胺)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methylpropionate)]或2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)[2,2'-azobis(2,4,4-trimethyl pentene)]等。

上述有机过氧化物的具体例为：过氧化苯甲酰、过氧化二叔丁基、过氧化二异丁酰(diisobutyryl peroxide)、过氧化新癸酸异丙苯酯(cumyl peroxyneodecanoate)、过氧化二碳酸二丙酯(di-n-propyl peroxydicarbonate)、过氧化二碳酸二异丙酯(diisopropylperoxydicarbonate)、过氧化二碳酸二仲丁酯(di-sec-butyl peroxydicarbonate)、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化新癸酸酯(1,1,3,3-tetramethylbutyl peroxyneodecanoate)、二(4-叔丁基环己基)过氧化二碳酸酯[di(4-t-butyl cyclohexyl)peroxydicarbonate]、1-环己基-1-甲基乙基过氧化二碳酸酯(1-cyclohexyl-1-methylethylperoxyneodecanoate)、双(2-乙氧基乙基)过氧化二碳酸酯[di(2-ethoxy-ethyl)peroxydicarbonate]、双(2-乙基己基)过氧化二碳酸酯[di(2-ethylhexyl)peroxydicarbonate]、过氧化新癸酸叔己酯(t-hexyl peroxyneodecanoate)、二甲氧基丁基过氧化二碳酸酯(dimethoxybutyl peroxydicarbonate)、叔丁基过氧化新癸酸酯(t-butyl peroxyneodecanoate)、叔己基过氧化新戊酸酯(t-hexyl peroxypivalate)、叔丁基过氧化新戊酸酯(t-butyl peroxypivalate)、过氧化二(3,5,5-三甲基己酰)[di(3,5,5-trimethyl hexanoyl)peroxide]、过氧化二辛酰(di-n-octanoyl peroxide)、过氧化二月桂酰(dilauroyl peroxide)、过氧化二硬脂酸(distearoyl peroxide)、2-乙基过氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯(1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate)、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸过氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(2-ethylhexanoylperoxy)hexane]、2-乙基过氧化己酸叔己酯(t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate)、过氧化二(4-甲基苯甲酰)[di(4-methylbenzoyl)peroxide]、2-乙基过氧化己酸叔丁酯(t-butylperoxy-2-ethylhexanoate)、过氧化二苯甲酰(dibenzoyl peroxide)、过氧化异丁酸叔丁酯(t-butyl peroxyisobutyrate)、1,1-二(叔丁基过氧化)-2-甲基环己烷(1,1-di(t-butylperoxy)-2-methylcyclohexane)、1,1-二(叔丁基过氧化)-3,3,5-三甲基环己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)-3,3,5–trimethylcyclohexane]、1,1-二(叔己基过氧化)环己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)cyclohexane]、1,1-二(叔丁基过氧化)环己烷[1,1-di(t-butylperoxy)cyclohexane]、2,2-二[4,4-二(叔丁基过氧化)环己基]丙烷{2,2-di[4,4-di(t-butylperoxy)cyclohexyl]propane}、叔己基过氧化异丙基碳酸酯(t-hexyl peroxyisopropyl monocarbonate)、叔丁基过氧化马来酸酯(t-butylperoxy maleate)、叔丁基过氧化-3,5,5-三甲基己酸酯(t-butyl peroxy-3,5,5-trimethyl hexanoate)、叔丁基过氧化月桂酸酯(t-butyl peroxy laurate)、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲酰过氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di-(3-methyl benzoyl peroxy)hexane]、叔丁基过氧化异丙基碳酸酯(t-butyl peroxy isopropyl monocarbonate)、叔丁基过氧化-2-乙基己基碳酸酯(t-butyl peroxy-2-ethylhexyl monocarbonate)、叔己基过氧化苯甲酸酯(t-hexyl peroxybenzoate)、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲酰过氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(benzoylperoxy)hexane]、叔丁基过氧化醋酸酯(t-butyl peroxy acetate)、2,2-二(叔丁基过氧化)丁烷[2,2-di(t-butylperoxy)butane]、叔丁基过氧化苯甲酸酯(t-butyl peroxybenzoate)、丁基-4,4-二(叔丁基过氧化戊酸酯[n-butyl-4,4-di(t-butylperoxy)valerate]、二(2-叔丁基过氧化异丙基)苯[di(2-t-butyl peroxy isopropyl)benzene]、过氧化异丙苯(dicumyl peroxide)、二叔己基过氧化物(di-t-hexyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butyl peroxy)hexane]、二叔丁基过氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己炔[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexyne-3]、叔丁基三甲基过氧化硅烷(t-butyltrimethylsilyl peroxide)、二(3-甲基苯甲酰基)过氧化物[di(3-methylbenzoyl)peroxide]与苯甲酰基(3-甲基丙甲酰基)过氧化物[benzoyl(3-methylbenzoyl)peroxide]与二苯甲酰基过氧化物(dibenzoyl peroxide)的混合物等。

上述过氧化氢化合物的具体例为：萜烷过氧化氢(p-menthane hydroperoxide)、二异丙基苯过氧化氢[diisopropylbenzene hydroperoxide]、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化氢(1,1,3,3-tetramethyl butyl hydroperoxide)、异丙苯过氧化氢(cumenehydroperoxide)、叔丁基过氧化氢(t-butyl hydroperoxide)等。

上述热起始剂(F)优选为2,2'-偶氮二异丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、过氧化二异丁酰、过氧化二苯甲酰、过氧化异丁酸叔丁酯、异丙苯过氧化氢、过氧化新癸酸异丙苯酯等。上述热起始剂(F)可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

在本发明的一具体例中，基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该热起始剂(F)的使用量为4至40重量份；优选为6至35重量份；更优选为8至30重量份。若不使用热起始剂(F)，则该感光树脂组合物的解析度不佳。

在不影响本发明功效的前提下，本发明的感光性树脂组合物更可选择性进一步添加添加剂(G)，其包含但不限于表面活性剂、填充剂、密着促进剂、架桥剂、抗氧化剂、防凝集剂，或碱可溶性树脂(A)以外的其他能增加各种性质(如机械性质)的聚合物等。

上述表面活性剂可选自于由阳离子系、阴离子系、非离子系、两性、聚硅氧烷系、氟素系表面活性剂或上述任意组合所组成的族群。进一步而言，上述表面活性剂可包含但不限于聚乙氧基十二烷基醚、聚乙氧基硬酯酰醚或聚乙氧基油醚等聚乙氧基烷基醚类；聚乙氧基辛基苯基醚或聚乙氧基壬基苯基醚等聚乙氧基烷基苯基醚类；聚乙二醇二月桂酸酯或聚乙二醇二硬酸酯等聚乙二醇二酯类；山梨糖醇酐脂肪酸酯类；脂肪酸改性的聚酯类；以及三级胺改性的聚胺基甲酸酯类。上述表面活性剂可单独一种或混合多种使用。

适合的表面活性剂的具体例如：KP(信越化学工业制)、SF-8427(道康宁东丽聚硅氧股份有限公司制)、Polyflow(共荣社油脂化学工业制)、F-Top(Tochem Product Co.,Ltd.制)、Megafac(大日本INK化学工业制)、Fluorade(住友3M制)、Asahi Guard、Surflon(旭硝子制)或SINOPOL E8008(中日合成化学制)等。

适合的填充剂的具体例如：玻璃或铝等。

适合的密着促进剂的具体例如：乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基硅烷、3-胺丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙醇丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙醇丙基甲基二乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3-巯丙基三甲氧基硅烷等。

适合的抗氧化剂的具体例如：2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)或2,6-二-叔丁基苯酚等。

适合的防凝集剂的具体例如：聚丙烯酸钠等。

适合的架桥剂的具体例如：日本环氧树脂公司制的1031S、157S-70等环氧系化合物或树脂等。

基于前述的碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，添加剂(G)中的填充剂、密着促进剂、抗氧化剂、防凝集剂或碱可溶性树脂(A)以外的聚合物的含量为10重量份以下，优选为6重量份。

基于前述的碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，添加剂(G)中的表面活性剂的含量为6重量份以下，优选为4重量份以下。

基于前述的碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，添加剂中的架桥剂的含量为100重量份以下，优选为80重量份以下。

本发明的感光性树脂组合物一般是将上述碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、溶剂(D)、黑色颜料(E)以及热起始剂(F)放置于搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，必要时亦可添加表面活性剂、填充剂、密着促进剂、架桥剂、抗氧化剂、防凝集剂等添加剂(G)，予以均匀混合后，便可调制得到呈溶液状态的感光性树脂组合物。

其次，本发明的感光性树脂组合物的制备方法并没有特别的限定，例如，可将黑色颜料(E)直接加入感光性树脂组合物中分散而成，或者是事先将一部分的黑色颜料(E)分散于一部分的含有碱可溶性树脂(A)及溶剂(D)的媒介中，形成颜料分散液后，再混合具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、热起始剂(F)、碱可溶性树脂(A)及溶剂(D)的其余部分而制得。上述黑色颜料(E)的分散步骤则可通过例如珠磨机(beads mill)或辊磨机(roll mill)等混合器混合上述成分而进行。

本发明亦提供一种黑色矩阵，其是由上述的感光树脂组合物所形成。

该黑色矩阵是对如上所述的感光树脂组合物依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理而制得，其中，膜厚为1μm时，此黑色矩阵的光学密度范围为3.0以上。优选地，膜厚为1μm时，此黑色矩阵的光学密度范围为3.2至5.5；更优选地，膜厚为1μm时，此黑色矩阵的光学密度范围为3.5至5.5。

本发明的黑色矩阵可以通过旋转涂布或流延涂布等涂布方法，将上述的感光性树脂组合物涂布在基板上，并以减压干燥及预烤处理将其中的溶剂去除，进而在基板上形成预烤涂膜；其中，上述减压干燥及预烤的条件，依各成分的种类、配合比例而异，通常，减压干燥是在小于200mmHg的压力下进行1秒至20秒，而预烤处理则是在70℃至110℃温度下进行1分钟至15分钟；预烤后，将上述涂膜于指定的光罩下曝光，然后于23±2℃的温度下浸渍于显影剂中，历时15秒至5分钟，以将不要的部分除去而形成特定的图案；曝光所使用的光线，优选为g线、h线或i线等紫外线，而紫外线照射装置可为(超)高压水银灯及金属卤素灯。

上述适用的显影剂的具体例如：氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸钾、碳酸氢钾、硅酸钠、甲基硅酸钠、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氢氧化四甲胺、氢氧化四乙胺、胆碱、吡咯、哌啶或1,8-二氮杂二环-〔5,4,0〕-7-十一烯等碱性化合物等。显影液的浓度一般为0.001重量百分比(wt％)至10wt％，优选为0.005wt％至5wt％，更优选为0.01wt％至1wt％。

使用这些显影剂时，一般是在显影后以水洗净，再以压缩空气或压缩氮气将图案风干后，再以热板或烘箱等加热装置进行后烤处理。后烤温度通常为150至250℃，其中，使用热板的加热时间为5分钟至60分钟，使用烘箱的加热时间为15分钟至150分钟。经过以上的处理步骤后即可于基板上形成黑色矩阵。

上述基材的具体例如：用于液晶显示装置等的无碱玻璃、钠钙玻璃、硬质玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃及于这些玻璃上附着透明导电膜的玻璃；或用于固体摄影装置等的光电变换装置基板(如：硅基板)等。

本发明又提供一种彩色滤光片，其包含上述的黑色矩阵。

本发明的彩色滤光片的形成方法可通过回转涂布、流延涂布或辊式涂布等涂布方式，将上述混合成溶液状态的彩色滤光片用感光性组合物涂布在基板上，其中，此基板已预先利用上述的感光树脂组合物形成隔离各像素着色层的黑色矩阵；涂布后，先以减压干燥的方式，去除大部分的溶剂，再以预烤(pre-bake)方式将溶剂去除而形成预烤涂膜；其中，减压干燥及预烤的条件，依各成分的种类，配合比例而异，通常，减压干燥是在0mmHg至200mmHg的压力下进行1秒钟至60秒钟，而预烤是在70℃至110℃温度下进行1分钟至15分钟；预烤后，该预烤涂膜置于所指定的光罩(mask)间曝光，于23±2℃温度下浸渍于上述的显影液中15秒至5分钟进行显影，除去不要的部分而形成图案。曝光使用的光线，优选为g线、h线、i线等紫外线，而紫外线装置可为(超)高压水银灯及金属卤素灯。

经上述显像后，以水洗净，并以压缩空气或压缩氮气将图案风干后，再以热板或烘箱等加热装置进行后烤处理，后烤处理的条件悉如前述，此处不赘述。

各色(主要包括红、绿、蓝三色)重复上述步骤，便可制得彩色滤光片的像素层；其次，在像素层上以220℃至250℃温度的真空环境下，形成氧化铟锡(ITO)蒸镀膜，必要时，对ITO镀膜施行蚀刻暨布线之后，再涂布用作液晶配向膜的聚酰亚胺，进而烧成，即可将其作为液晶显示元件用的彩色滤光片。

本发明再提供一种液晶显示元件，其包含上述的彩色滤光片。

本发明的液晶显示元件，是采用上述彩色滤光片的制造方法所形成的彩色滤光片基板，与设置有薄膜晶体管(thin film transistor；TFT)的驱动基板，并在上述两片基板间介入间隙(盒间隙，cell gap)作对向配置，上述两片基板的周围部位用封止剂贴合，在基板表面以及封止剂所区分出的间隙内充填注入液晶，封住注入孔而构成液晶盒(cell)；然后，在液晶盒的外表面，亦即构成液晶盒的各个基板的其他侧面上，贴合偏光板后，而制得液晶显示元件。

至于上述使用的液晶，亦即液晶化合物或液晶组合物，此处并未特别限定，可使用任何一种液晶化合物及液晶组合物。

再者，上述使用的液晶配向膜，是用于限制液晶分子的配向，此处并未特别限定，无机物或有机物任一者均可。至于形成液晶配向膜的技术为本发明所属技术领域的技术人员所熟知，且不是本发明的重点，故不另赘述

现以下列实施例对本发明予以详细说明，但并不意谓本发明仅局限于这些实施例所揭示的内容。

含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1)的制备例

制备例1：含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-1)的制造方法

将100重量份的芴环氧化合物(型号ESF-300，新日铁化学制造；环氧当量231)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基铵、0.1重量份的2,6-二叔丁基对甲酚以及130重量份的丙二醇单甲醚醋酸酯，以连续式添加方式加入至500毫升的四口烧瓶中；加料速度控制在25重量份/分钟，并且反应过程的温度维持在100℃至110℃，反应15小时后，即可获得固成分浓度为50重量％的淡黄色透明混合液；接着，使上述淡黄色透明混合液经萃取、过滤及加热烘干的步骤，即可得到固体成分含量为99.9重量％的制备例1的含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-1)。

制备例2：含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-2)的制造方法

将100重量份的芴环氧化合物(型号PG-100，大阪瓦斯制造；环氧当量259)、35重量份的甲基丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基铵、0.1重量份的2,6-二叔丁基对甲酚以及135重量份的丙二醇单甲醚醋酸酯，以连续添加方式加入至500毫升的四口烧瓶中；加料速度控制在25重量份/分钟，并且反应过程的温度维持在100℃至110℃下，反应15小时后，即可获得固体成分含量为50重量％的淡黄色透明混合液；使上述淡黄色透明混合液经萃取、过滤及加热烘干的步骤，即可得到固体成分含量为99.9重量％的制备例2的含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-2)。

制备例3：含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-3)的制造方法

将100重量份的芴环氧化合物(型号ESF-300，新日铁化学制造；环氧当量231)、100重量份的2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯、0.3重量份的氯化苄基三乙基铵、0.1重量份的2,6-二叔丁基对甲酚以及200重量份的丙二醇单甲醚醋酸酯，以连续添加方式加入至500毫升的四口烧瓶中；加料速度控制在25重量份/分钟，且反应过程的温度维持在100℃至110℃下，反应15小时后，即可获得固体成分含量为50重量％的淡黄色透明混合液；使上述淡黄色透明混合液经萃取、过滤及加热烘干的步骤，可得固体成分含量为99.9重量％的制备例3的含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-3)。

具有不饱和基的树脂(A-1)的合成例

合成例(A-1-1)

将1.0摩尔的含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-1)、0.3摩尔的联苯四羧酸(a-2-2-a)、1.4摩尔的马来酸(a-3-2-a)、1.9克的氯化苄基三乙基铵、0.6克的2,6-二叔丁基对甲酚以及700克的丙二醇单甲醚醋酸酯，以同时添加方式加入至500毫升的四口烧瓶中，以形成反应溶液。在此，“同时添加”是指于相同反应时间添加四羧酸或其酸二酐(a-2)与二羧酸或其酸酐(a-3)；接着，将上述反应溶液加热至110℃，并且反应2小时，即可得酸值为125毫克KOH/克且数均分子量为2455的合成例1的具有不饱和基的树脂(以下称为具有不饱和基的树脂(A-1-1))。

合成例(A-1-2)

将1.0摩尔的含有聚合性不饱和基的二醇化合物(a-1-2)、2.9克的氯化苄基三乙基铵、0.5克的2,6-二叔丁基对甲酚以及950克的丙二醇甲醚醋酸酯加入至500毫升的四口烧瓶中，以形成反应溶液；接着，添加0.6摩尔的二苯甲酮四羧酸二酐(a-2-2-b)，并在90℃下反应2小时；然后，添加0.7摩尔的四氢邻苯二甲酸酐(a-3-2-b)、0.1摩尔的邻苯二甲酸酐(a-3-2-c)，并在90℃下反应4小时；在此，“分段添加”是指于不同的反应时间分别添加四羧酸或其酸二酐(a-2)与二羧酸或其酸酐(a-3)，亦即先添加四羧酸或其酸二酐(a-2)，之后再添加二羧酸或其酸酐(a-3)。经上述合成步骤，可得酸值为92毫克KOH/克且数均分子量为5130的合成例2的具有不饱和基的树脂(以下称为具有不饱和基的树脂(A-1-2))。

合成例(A-1-3)、合成例(A-1-6)以及合成例(A-1-8)

合成例(A-1-3)、合成例(A-1-6)以及合成例(A-1-8)的具有不饱和基的树脂是以与合成例(A-1-1)相同的步骤来制备得到的，不同之处在于：改变具有不饱和基的树脂的成分种类、使用量、反应时间、反应温度以及反应物添加时间，其配方及条件分别如表1所示，此处不另赘述。

合成例(A-1-4)、合成例(A-1-5)以及合成例(A-1-7)

合成例(A-1-4)、合成例(A-1-5)以及合成例(A-1-7)的具有不饱和基的树脂是以与合成例(A-1-2)相同的步骤来制备得到的，不同之处在于：改变具有不饱和基的树脂的成分种类、使用量、反应时间、反应温度及反应物添加时间，其配方及条件分别如表1所示，此处不另赘述。

聚硅氧烷聚合物(A-2)的合成例

合成例(A-2-1)

在一容积为500毫升的三颈烧瓶中，加入0.3摩尔的甲基三甲氧基硅烷(以下简称MTMS)、0.45摩尔的苯基三甲氧基硅烷(以下简称PTMS)、0.05摩尔的3-(三乙氧基硅基)丙基丁二酸酐(以下简称GF-20)、0.2摩尔的3-(三甲氧基硅基)丙基甲基丙烯酸酯(以下简称KBM-503)及180克的4-羟基-4-甲基-2-戊酮(以下简称为DAA)，并于室温下，一边搅拌一边于30分钟内添加草酸水溶液(0.4克的草酸溶解于75克的水中)；接着，将烧瓶浸渍于30℃的油浴中，搅拌30分钟后，将上述的反应溶液加热至110℃，持续搅拌以进行聚缩合反应，反应6小时后，利用蒸馏方式去除溶液中的溶剂，即可得到聚硅氧烷聚合物(A-2-1)。

合成例(A-2-2)及(A-2-3)

合成例(A-2-2)及(A-2-3)是使用与合成例(A-2-1)的制作方法相同的制备方法，不同之处在于，合成例(A-2-2)及(A-2-3)改变聚硅氧烷聚合物中原料的种类与使用量及聚合条件，其配方及聚合条件如表2所示，此处不另赘述。

合成例(A-3-1)：其他碱可溶性树脂的制造方法

将1重量份的2,2’-偶氮双异丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、20重量份的甲基丙烯酸、15重量份的苯乙烯、35重量份的甲基丙烯酸苯甲酯、10重量份的甘油单甲基丙烯酸酯及20重量份的N-苯基马来酰亚胺置于装有搅拌器及冷凝器的圆底烧瓶中，并使该烧瓶内部充满氮气，之后，缓慢搅拌并升温至80℃，使各反应物均匀混合并进行聚合反应4小时；之后，再将其升温至100℃，并添加0.5重量份的2,2’-偶氮二异丁腈进行1小时聚合后，即可得到其它碱可溶性树脂(以下简称为(A-3-1))。

感光性树脂的实施例

实施例1

将100重量份的合成例1的具有不饱和基的树脂(A-1-1)、180重量份的三丙烯酸三羟甲基丙酯(以下简称B-1)、80重量份的式(I-1)所示的α-酮肟酯化合物(以下简称C-1-1)、10重量份的1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9氢-咔唑-3-基]-1-(氧-乙酰肟)(汽巴精化有限公司制造的OXE-02；)(以下简称C-2-1)、900重量份的C.I.Pigment BK7(以下简称E-1)，及9000重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下简称D-1)，以振动式搅拌器形成均匀溶液状态，即可制得本发明的感光性树脂组合物，所得的感光性树脂组合物以后述的各评价方式进行特性测定，所得结果如表3所示。

实施例2至实施例16

实施例2至实施例16的感光性树脂组合物是以与实施例1相同的步骤来制备得到的，其不同之处在于：改变感光性树脂组合物的成分种类及其使用量(如表3所示)，其中表3中标号所对应的化合物如下所示。将所制得的感光性树脂组合物以下列各评价方式进行评价，其结果如表3所示。

比较例1至比较例9

比较例1至比较例9的感光性树脂组合物是以与实施例1相同的步骤来制备得到的，其不同之处在于：改变感光性树脂组合物的成分种类及其使用量(如表4所示)。将所制得的感光性树脂组合物以下列各评价方式进行评价，其结果如表4所示。

评价方式

解析度：

以旋转涂布方式将实施例以及比较例所制得的各种感光性树脂组合物，涂布于玻璃基板上；接着，在100℃下预烤2分钟，即可得到约1.2μm的预烤涂膜；然后，将上述预烤涂膜放置于线与间距(line and space)的光罩(由日本惠尔康(Nibbon Filcon)制造)下，并且利用50mJ/cm²的紫外光(曝光机型号AG500-4N；由M&R Nano Technology制造)进行曝光；接着，以0.045％氢氧化钾水溶液于23℃下显影1分钟，以将基板上未曝光部分的涂膜除去；然后，将具有特定的图案的玻璃基板以水洗净；最后，将玻璃基板上所形成的图案的线条幅度(宽度)的最小值定义为解析度。将线条幅度以下列方式评价。值得注意的是，最小图案线幅(最小线条宽度)越小代表感光性树脂组合物的解析度越好。

◎：最小图案线幅≦4μm；

○：4μm＜最小图案线幅≦6μm；

△：6μm＜最小图案线幅≦8μm；

╳：8μm＜最小图案线幅。

锥度角：

以旋转涂布方式将实施例以及比较例所制得的各种感光性树脂组合物，涂布于玻璃基板3上；接着，在100℃下预烤2分钟，即可得到约1.2μm的预烤涂膜；然后，将上述预烤涂膜放置于光罩下进行曝光(曝光机型号AG500-4N；由M&R Nano Technology制造)；接着，以0.045％氢氧化钾水溶液于23℃下显影1分钟，以将基板3上未曝光部分的涂膜除去；然后，将具有特定的图案的玻璃基板3以水洗净而得到光阻图案2的光阻层10。以扫描式电子显微镜(S-4800、Hitachi High-Technologies制)观察光阻图案2的锥度角1(如图1所示)。

◎：50度≦锥度角≦60度；

○：60度＜锥度角≦65度或45度≦锥度角＜50度；

△：65度＜锥度角≦80度或30度≦锥度角＜45度；

╳：80度＜锥度角或锥度角＜30度。

上述实施例仅为说明本发明的原理及其功效，而非限制本发明。本领域的一般技术人员对上述实施例所做的修改及变化仍不违背本发明的精神。

Claims (14)

1.一种感光性树脂组合物，包含：

碱可溶性树脂A；

具有乙烯性不饱和基的化合物B；

光起始剂C；

溶剂D；

黑色颜料E；及

热起始剂F；

其中：所述光起始剂C包含式I所示的α-酮肟酯化合物C-1：

式I中：Y¹表示具有1至5个甲基的甲基苯基基团；

Y²表示C₁至C₁₀的烷基、苯甲酰基或C₃至C₆的环烷基；

Y³表示甲基、乙基、丙基或苯甲酰基；及

Y⁴表示-H、

其中，a代表甲基或乙基；及b代表-H或甲基；

基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份，所述具有式I所示的α-酮肟酯化合物C-1的使用量为10至80重量份；

所述热起始剂F选自由偶氮化合物、过氧化物以及过氧化氢化合物所组的族群中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂A包含具有不饱和基的树脂A-1，该具有不饱和基的树脂A-1是由第一混合物反应而获得，该第一混合物包括：

含聚合性不饱和基的二醇化合物a-1；

四羧酸或其酸二酐a-2；及

二羧酸或其酸酐a-3；

其中，所述含聚合性不饱和基的二醇化合物a-1是由具有至少二个环氧基的环氧化合物i以及具有至少一个羧酸基与至少一个乙烯性不饱和基的化合物ii进行聚合反应而获得。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述具有至少二个环氧基的环氧化合物i包含具有如下式II所示结构的化合物、如下式III所示结构的化合物或如下式(II)所示结构的化合物及如下式(III)所示结构的化合物的组合：

其中，R¹、R²、R³与R⁴分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳香基或C₆至C₁₂的芳烷基；及

其中，R⁵至R¹⁸分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10的整数。

4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述四羧酸或其酸二酐a-2包括含有氟原子的四羧酸或其酸二酐a-2-1、除了该含有氟原子的四羧酸或其酸二酐a-2-1之外的其他四羧酸或其酸二酐a-2-2或上述两者的组合；及所述二羧酸或其酸酐a-3包括含有氟原子的二羧酸或其酸酐a-3-1、除了所述含有氟原子的二羧酸或其酸酐a-3-1之外的其他二羧酸或其酸酐a-3-2或上述两者的组合；所述四羧酸或其酸二酐a-2及所述二羧酸或其酸酐a-3中，至少一者含有氟原子。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂A包含聚硅氧烷聚合物A-2，该聚硅氧烷聚合物A-2是由硅烷单体聚合而成，且该硅烷单体包含至少一具有式IV结构的硅烷单体：

Si(Z¹)_t(OZ²)_4-t 式IV

式IV中，t为1至3的整数，且当t表示2或3时，多个Z¹各自为相同或不同；且当4-t表示2或3时，多个Z²各自为相同或不同；

至少一个Z¹表示经酸酐基取代的C₁至C₁₀的烷基、经环氧基取代的C₁至C₁₀的烷基或经环氧基取代的烷氧基，且其余Z¹表示氢、C₁至C₁₀的烷基、C₂至C₁₀的烯基或C₆至C₁₅的芳香基；及

Z²表示氢、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基或C₆至C₁₅的芳香基。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述偶氮化合物选自由2,2'-偶氮二异丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、1,1'-偶氮二(环己烷-2-甲腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲酰胺、2,2'-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羟基甲基)-2-羟基乙基]丙酰胺、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙酰胺]、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙酰胺]、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(氮-环己基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酰胺)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)以及2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)所组成的族群中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述过氧化物选自由过氧化苯甲酰、过氧化二叔丁基、过氧化二异丁酰、过氧化新癸酸异丙苯酯、过氧化二碳酸二丙酯、过氧化二碳酸二异丙酯、过氧化二碳酸二仲丁酯、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化新癸酸酯、二(4-叔丁基环己基)过氧化二碳酸酯、1-环己基-1-甲基乙基过氧化二碳酸酯、双(2-乙氧基乙基)过氧化二碳酸酯、双(2-乙基己基)过氧化二碳酸酯、过氧化新癸酸叔己酯、二甲氧基丁基过氧化二碳酸酯、叔丁基过氧化新癸酸酯、叔己基过氧化新戊酸酯、叔丁基过氧化新戊酸酯、过氧化二(3,5,5-三甲基己酰)、过氧化二辛酰、过氧化二月桂酰、过氧化二硬脂酸、2-乙基过氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸过氧化)己烷、2-乙基过氧化己酸叔己酯、过氧化二(4-甲基苯甲酰)、2-乙基过氧化己酸叔丁酯、过氧化二苯甲酰、过氧化异丁酸叔丁酯、1,1-二(叔丁基过氧化)-2-甲基环己烷、1,1-二(叔丁基过氧化)-3,3,5-三甲基环己烷、1,1-二(叔己基过氧化)环己烷、1,1-二(叔丁基过氧化)环己烷、2,2-二[4,4-二(叔丁基过氧化)环己基]丙烷、叔己基过氧化异丙基碳酸酯、叔丁基过氧化马来酸酯、叔丁基过氧化-3,5,5-三甲基己酸酯、叔丁基过氧化月桂酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲酰过氧化)己烷、叔丁基过氧化异丙基碳酸酯、叔丁基过氧化-2-乙基己基碳酸酯、叔己基过氧化苯甲酸酯、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲酰过氧化)己烷、叔丁基过氧化醋酸酯、2,2-二(叔丁基过氧化)丁烷、叔丁基过氧化苯甲酸酯、丁基-4,4-二(叔丁基过氧化戊酸酯、二(2-叔丁基过氧化异丙基)苯、过氧化异丙苯、二叔己基过氧化物、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己烷、二叔丁基过氧化物、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基过氧化)己炔、叔丁基三甲基过氧化硅烷、以及二(3-甲基苯甲酰基)过氧化物与苯甲酰基(3-甲基丙甲酰基)过氧化物同二苯甲酰基过氧化物的混合物所组成的族群中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述过氧化氢化合物选自由萜烷过氧化氢、二异丙基苯过氧化氢、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化氢、异丙苯过氧化氢以及叔丁基过氧化氢所组成的族群中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份，所述具有乙烯性不饱和基的化合物B的使用量为20至180重量份；所述光起始剂C的使用量为15至90重量份；所述溶剂D的使用量为1000至9000重量份；所述黑色颜料E的使用量为150至1000重量份；及所述热起始剂F 的使用量为4至40重量份。

10.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份，所述具有不饱和基的树脂A-1的使用量为30至100重量份。

11.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份，所述聚硅氧烷聚合物A-2的使用量为30至100重量份。

12.一种黑色矩阵，其是由权利要求1至11任一项所述的感光性 树脂组合物所形成的。

13.一种彩色滤光片，其包含权利要求12所述的黑色矩阵。

14.一种液晶显示元件，其包含权利要求13所述的彩色滤光片。

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