JP6418601B2 - 半導体素子搭載用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1(a)に示すように金属板1の両面にレジスト層2を形成し、そのレジスト層2で、めっきを形成するためのめっきマスク3を形成する。
2・・・レジスト層
3・・・めっきマスク
4・・・めっき
5・・・第一のエッチングマスク
6・・・接着層を有するフィルム(ポリイミドテープ)
7・・・第二のエッチングマスク
10・・・貫通形状
11・・・パッド部
12・・・半導体素子
13・・・リード部
14・・・樹脂封止体
Claims (2)
- 金属板の両面にめっきマスクを形成し、露出した前記金属板に必要なめっきを施す工程と、
前記めっきマスクを剥離し、前記金属板の半導体素子を搭載することとなる表面側に第一の貫通部分となる部分を除いて半導体装置として樹脂封止される部分を覆う所望形状の第一のエッチングマスクを形成するとともに、前記金属板の裏面側に前記第一の貫通部分となる部分及びハーフエッチングを施す部分を除いて前記めっきを含む所定部分を覆う所望形状の第一のエッチングマスクを形成する工程と、
前記第一のエッチングマスク形成後、前記第一の貫通部分となる部分については前記金属板の両側から、前記ハーフエッチングを施す部分については前記金属板の裏面側から第一のエッチング加工を行ない前記第一の貫通部分を形成する工程と、
前記第一のエッチング加工後、前記金属板の両面に形成した前記第一のエッチングマスクを剥離し、前記ハーフエッチング加工を施した前記金属板の裏面側には接着層を有するフィルムを貼付け、前記金属板の表面側は前記ハーフエッチングを施した部分を貫通させるための第二の貫通部分となる部分を除いて前記めっきを含む所定部分及び前記第一の貫通部分を覆う所望形状の第二のエッチングマスクを形成する工程と、
表面側に前記第二のエッチングマスクが形成され、裏面側に前記フィルムが貼付けられた前記金属板の表面側から第二のエッチング加工を行ない前記第二の貫通部分を形成する工程と、
前記第二のエッチング加工後、前記金属板の表面側の第二のエッチングマスクを剥離する工程を含むことを特徴とする半導体素子搭載用基板の製造方法。 - 前記めっきマスクおよび前記第一と第二のエッチングマスクはレジストにより形成し、前記接着層を有するフィルムはポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子搭載用基板の製造方法。
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