JP4620584B2 - 回路部材の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係るQFPタイプのリードフレーム素材の平面図である。図2〜図12は図1のA−Aの部分断面図であり、外部リード線があるタイプのリードフレームの製造方法を示す工程図であり、QFPタイプのリードフレームの製造方法に限定するものではなく、SOJタイプなどのリードフレームの製造方法にも適用できる。なお、図1は半導体装置1個に対応するリードフレームの1単位のパターンを示すが、リードフレームの製造においては複数単位の前記リードフレームパターンが面付けされた状態で連続して製造される。
図13〜図22を用いて、本発明の第2の実施の形態を説明する。なお、本実施形態において前述の第1の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して説明は省略する。
2.外枠
3.ダイパッド部
4.内部リード
5.外部リード
6.リード部
7.タイバー
8.ダムバー
9.樹脂封止領域
10.めっき層
11.電解剥離液
12.マイクロエッチング液
13,113、 治具
15A,15B,15C, ダイパッド部粗面
16A,16B,16C、 内部リード粗面
20、全面めっき層
21、部分めっき層
25、Niめっき層
26、Pdめっき層
27、Auめっき層
116A,116B, リード部粗面
Claims (3)
- 圧延銅板または圧延銅合金板を所望の形状にエッチングまたはプレスにて加工さ れ、半導体チップを搭載するダイパッド部と前記半導体チップと外部回路を電気的に 接続するリード部と前記ダイパッド部および前記リード部を支持する外枠部からなる リードフレーム素材を作製する工程と、
該リードフレーム素材の表面全面に電解めっき法によりAgめっき層からなる1 層のめっき層を形成する工程と、
前記全面にAgめっき層が形成されたリードフレーム素材を冶具に保持し、該リ ードフレーム素材の樹脂封止領域のAgめっき層を電解剥離法にて部分剥離する工程 と、
前記Agめっき層が部分剥離されたリードフレーム素材の該Agめっき層の部分剥 離した部分にマイクロエッチング液を用いて粗面を形成する工程と、
前記粗面が形成されたリードフレーム素材のAgめっき層を全面剥離する工程と、
を備える回路部材の製造方法。
- 請求項1において、Agめっき層が全面剥離された回路部材の全面にNiめっき層とPdめっき層を順次積層した2層のめっき層、またはNiめっき層とPdめっき層とAuめっき層を順次積層した3層のめっき層を形成する工程、または前記回路部材のダイパッド部上面とリード部のボンディングワイヤ接続部の上面とに、Agめっき層からなる1層のめっき層、またはNiめっき層とPdめっき層を順次積層した2層のめっき層、またはNiめっき層とPdめっき層とAuめっき層とを順次積層した3層のめっき層を形成する工程と、
を備える回路部材の製造方法。 - 請求項1において、前記リードフレーム素材の表面全面に形成されるAgめっき層の厚さは0.05〜1μmであることを特徴とする回路部材の製造方法。
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