JP6363854B2 - 形成方法、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態では、電極パッドが形成された第1基板の上に接合された第2基板に、第2基板に形成されるパターンと第1基板の電極パッドとを電気的に接続するための貫通電極を形成する方法について説明する。まず、貫通電極を形成する方法の概略について述べる。リソグラフィ装置によって第2基板の表面(第1基板に接触する第1面の反対側の第2面)にレジストパターンを形成した後、そのレジストパターンをエッチングマスクとしてエッチング処理を行うことで第2基板を貫通する貫通孔が形成される。そして、その貫通孔に金属などの導電材料を充填することにより貫通電極が形成される。リソグラフィ装置としては、例えば、原版のパターンを基板に転写する露光装置、基板上のインプリント材をモールドを用いて成形するインプリント装置、荷電粒子線を用いて基板にパターンを形成する描画装置などがある。本実施形態では、リソグラフィ装置として露光装置を用いる例について説明する。
回路パターンがそれぞれ形成された複数の基板2を重ねて接合する例について説明する。ここで、互いに同じ寸法を有する複数のチップ領域21が形成されている2枚の基板2(第1基板2aおよび第2基板2b)を重ねて接合する例について説明する。図5は、第1基板2aの上に第2基板2bを重ねて形成する例を示す図である。第1基板2aには、回路パターンとしてマーク(第1マーク22a)と電極パッド23aを有する複数のチップ領域21(以下、第1チップ領域21aと称する)が形成されている。また、第2基板2bには、回路パターンとしてマーク(第2マーク22b)を有する複数のチップ領域21(以下、第2チップ領域21bと称する)が形成されている。そして、第2基板2bは、回路パターンが形成された面(第2面)と反対側の面(第1面)が第1基板2aに接触するように、第1基板2aの上に重ねて接合される。第1基板2aと第2基板2bとを接合することによって第1チップ領域21aと第2チップ領域21bとが重ね合わされた領域を、以下では接合チップ領域25と呼ぶ。ここで、図5では、第2基板2bの第2面に、第1基板2aと第2基板2bとの間に位置ずれが生じていない場合に貫通電極を形成すべき予定箇所24が図示されている。この予定箇所24は第2マーク22bの位置に基づいて決定されるものであるが、予定箇所24には、マークなどが設けられている訳ではなく、貫通電極が形成された後に第2マーク22bの位置に基づいて位置決めされてパターン(導電層)が形成されうる。
第1基板2aと第2基板2bとを接合したときの回路パターンの位置ずれが複数の接合チップ領域25間で異なる場合において、第2基板2bに貫通電極を形成する方法ついて説明する。図9は、第1基板2aと第2基板2bとを重ねて接合させた後における複数(3つ)の接合チップ領域25−1〜25−3の断面を示す図である。図9(a)に示すように、接合チップ領域25−1は、第1チップ領域21a1と第2チップ領域21b1とを有しており、第1チップ領域21a1には第2チップ領域21b1に対する−X方向への位置ずれが生じている。同様に、接合チップ領域25−3は、第1チップ領域21a3と第2チップ領域21b3とを有しており、第1チップ領域21a3には第2チップ領域21b3に対する−X方向への位置ずれが生じている。一方、接合チップ領域25−2は、第2チップ領域21a2と第2チップ領域21b2とを有しており、第1チップ領域21a2には第2チップ領域21b2に対する+X方向への位置ずれが生じている。
第2実施形態では、回路パターンが形成された第1基板2aの面と回路パターンが形成された第2基板2bの面とが接触するように、第1基板2aの上に第2基板2bを重ねて接合する例について説明する。図10は、第1基板2aの上に第2基板2bを重ねて形成する例を示す図である。第1基板2aには、回路パターンとして第1マーク22aと電極パッド(第1電極パッド23a)とをそれぞれ有する複数のチップ領域21(以下、第1チップ領域21aと称する)が形成されている。また、第2基板2bには、回路パターンとして第2マーク22bと電極パッド(第2電極パッド23b)とをそれぞれ有する複数のチップ領域21(以下、第2チップ領域21bと称する)が形成されている。そして、第2基板2bは、回路パターンが形成された面(第1面)が第1基板2aに接するように、第1基板2aの上に重ねて接合される。
第3実施形態では、電極パッド29が形成された第1面20bとパターンが形成される第2面20aとを有する基板2に、第1面20bの電極パッド29と第2面20aに形成されるパターンとが電気的に接続するように貫通電極を形成する例について説明する。まず、当該基板2の作製方法について説明する。基板2は、第1面20bに回路パターンとして電極パッド29と第1マーク30aとが形成された後、第1面20bの反対側の第2面20aが研磨されて薄くされる。基板2が薄い状態では露光処理を含む様々な処理を当該基板2に行うことが困難になりうるため、基板2には、基板2を補強するための補強部材31(サポート基板)が基板2の第1面20bに接触するように接合されている。そして、補強部材31が接合された基板2における第2面20aに、第2マーク30bを含む回路パターンが形成される。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等の電子デバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記の貫通電極の形成方法を用いて基板に貫通電極を形成する工程と、かかる工程で貫通電極を形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (11)
- 第1マークおよび電極パッドを有する第1基板の前記電極パッドと、第2マークを有する第2基板のパターンとを電気的に接続するための貫通電極を形成する形成方法であって、
前記第1マークおよび前記電極パッドを有する前記第1基板と前記第2マークを有する前記第2基板とを接合する接合工程と、
前記第1基板と前記第2基板とが接合された状態で、前記第2基板の側から、前記第1基板の前記第1マークの位置と前記第2基板の前記第2マークの位置とを検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された前記第1マークの位置と前記第2マークの位置とに基づいて、前記パターンと前記電極パッドとが電気的に接続されるように、前記第2基板に前記貫通電極を形成する箇所を決定する決定工程と、
該決定された箇所に前記貫通電極を形成する貫通電極形成工程と、
を含む、ことを特徴とする形成方法。 - 前記決定工程では、前記第1マークの位置と前記第2マークの位置とに基づいて前記第1基板と前記第2基板との位置ずれ量を求め、前記貫通電極を形成する予定箇所から前記位置ずれ量の半分の量だけずらした位置を前記箇所として決定する、ことを特徴とする請求項1に記載の形成方法。
- 前記決定工程では、前記第1マークの位置と前記第2マークの位置とに基づいて前記第1基板と前記第2基板との位置ずれ量を求め、前記貫通電極を形成する予定箇所から、前記パターンの大きさと前記電極パッドの大きさとの比を前記位置ずれ量に乗じた量だけずらした位置を前記箇所として決定する、ことを特徴とする請求項1に記載の形成方法。
- 前記検出工程では、前記第2基板を透過する光を用いて、前記第1マークの位置が検出される、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第2基板は、前記第1基板に接触する第1面と、前記第1面の反対側の第2面とを有し、
前記第2マークは、前記第2面に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の形成方法。 - 前記第2基板は、前記第1基板に接触する第1面と、前記第1面の反対側の第2面とを有し、
前記第2マークは、前記第1面に配置され、
前記パターンは、前記第1面に配置される、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の形成方法。 - 前記検出工程では、前記第2基板を透過する光を用いて、前記第2マークの位置が検出される、ことを特徴とする請求項6に記載の形成方法。
- 前記パターンは、前記第2マークの位置に基づいて位置決めされて前記第2基板の前記第2面に形成される、ことを特徴とする請求項5に記載の形成方法。
- 前記接合工程では、前記第1マークおよび前記電極パッドを有する前記第1基板と前記第2マークおよび前記パターンを有する前記第2基板とを接合する、ことを特徴とする請求項1、2、3、4、6及び7のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記貫通電極形成工程では、前記第2基板を貫通するが、前記第1基板を貫通しないように、前記貫通電極を形成する、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の形成方法。
- 請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載の形成方法を用いて基板に貫通電極を形成する工程と、
前記工程で貫通電極を形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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JPS62136896A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-19 | 日本電気株式会社 | 高密度多層基板の位置合せマ−ク検出方法 |
JP3284641B2 (ja) * | 1992-09-03 | 2002-05-20 | ソニー株式会社 | 重ね合わせ精度測定機の測定条件の最適化方法、並びにアラインメントマーク形状あるいは露光装置におけるアラインメントマーク測定方式の最適化方法 |
JPH06244073A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP3402750B2 (ja) * | 1994-05-25 | 2003-05-06 | キヤノン株式会社 | 位置合わせ方法及びそれを用いた素子の製造方法 |
JP2000183492A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP4798891B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2003115661A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層回路基板の製造方法 |
US6642081B1 (en) * | 2002-04-11 | 2003-11-04 | Robert Patti | Interlocking conductor method for bonding wafers to produce stacked integrated circuits |
JP2004158715A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Fujikura Ltd | 両面プリント基板の作製方法 |
US7629697B2 (en) * | 2004-11-12 | 2009-12-08 | Asml Netherlands B.V. | Marker structure and method for controlling alignment of layers of a multi-layered substrate |
JP4694305B2 (ja) * | 2005-08-16 | 2011-06-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体ウエハの製造方法 |
TWI396474B (zh) * | 2007-03-22 | 2013-05-11 | Ngk Spark Plug Co | 多層配線基板的製造方法 |
TWI533394B (zh) * | 2007-06-21 | 2016-05-11 | 尼康股份有限公司 | Conveying method and conveying device |
WO2009022457A1 (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Nikon Corporation | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
JP5264332B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2013-08-14 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 接合ウエハ、その製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP5424024B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2014-02-26 | 株式会社目白プレシジョン | 投影露光装置のアライメント方法 |
JP2012222161A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Elpida Memory Inc | 半導体装置 |
JP5836223B2 (ja) * | 2011-12-02 | 2015-12-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 貼合基板の回転ズレ量計測装置、貼合基板の回転ズレ量計測方法、及び貼合基板の製造方法 |
EP2629325B1 (de) * | 2012-02-17 | 2014-10-22 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Anordnung und Verfahren zur Positionierung eines Bearbeitungswerkzeuges gegenüber einem Werkstück |
US8557632B1 (en) | 2012-04-09 | 2013-10-15 | Monolithic 3D Inc. | Method for fabrication of a semiconductor device and structure |
US8821659B2 (en) * | 2012-05-14 | 2014-09-02 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Apparatus and method for real-time alignment and lamination of substrates |
JP5876000B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2016-03-02 | 株式会社新川 | ボンディング装置およびボンディング方法 |
JP2014022625A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Fujikura Ltd | プリント配線基板及びその製造方法 |
US20140225248A1 (en) | 2013-02-13 | 2014-08-14 | Qualcomm Incorporated | Power distribution and thermal solution for direct stacked integrated circuits |
JP6207190B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-10-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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