JP6355924B2 - 圧電性結晶上の多層薄膜蒸着を決定する方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2011年2月3日出願のUSSN 13/020,381の優先権を主張し、その全体を参照により組み込むものである。
本発明は、概して、薄膜蒸着の分野に関し、より具体的には、蒸着した少なくとも1つの薄膜層の質量を測定するための圧電結晶の使用に関する。本明細書に記載する方法は、異なる材料を含む、蒸着した材料の複数の層の厚みを決定することを可能にし、水晶結晶(quartz crystals)ならびに、ランガサイト、ベルリナイト、およびオルトリン酸ガリウムを含むがこれらに限定されない、他の適切な圧電素子に適用可能である。
水晶結晶マイクロバランス(QCM)に基づく薄膜蒸着コントローラーは、例えば、とりわけ、Wajidの米国特許第5,112,642号およびVigらの米国特許第5,869,763号に記載されるように、薄膜コーティング産業において非常に長い期間、使用されている。典型的な構成では、モニター水晶結晶が、薄膜蒸着装置の基材の近くに置かれ、結晶および基材はそれぞれ、同時にコーティングされる。結晶上に蒸着した材料は、通常、基材上に蒸着した材料に比例する。水晶結晶上への材料蒸着の結果として、その共振周波数は、単調に、下方へとシフトする。したがって、材料の密度に加えて結晶の周波数シフトを知ることにより、結晶および基材上に蒸着する材料の厚みを推定することができる。
本明細書に記載する一態様は、水晶結晶または他の圧電結晶上の複数層の蒸着の問題に対し、包括的な分析的に正しい解決策を提供することである。この解決策によれば、現在蒸着されている層の厚みは、それまでに蒸着されたすべての層にわたって音響位相遅れを知ることに基づいて、決定される。
圧電結晶ブランクを提供する工程と、
その結晶ブランクの基本共振周波数を決定する工程と、
結晶ブランクに電極を取り付けて、結晶ブランクおよび取り付けられた電極の共振周波数を決定する工程と、
結晶ブランク上に第1の蒸着薄膜層を取り付ける工程と、
ブランク、電極、および蒸着層を含む複合共振子の共振周波数を決定する工程と、
共振周波数で算出された、結晶ブランク、電極、および蒸着層にわたる音響位相遅れを決定する工程と、
その前の工程で算出された位相遅れ情報、および材料の密度から、層の厚みを算出する工程と、
を含む。
特定の音響インピーダンスを有する圧電結晶ブランクを提供する工程と、
圧電結晶ブランクの基本共振周波数を測定する工程と、
特定の音響インピーダンスおよび密度を有する電極を結晶ブランクに取り付ける工程と、
結晶ブランクおよび取り付けられた電極の基本共振周波数を測定する工程と、
その共振周波数で、結晶ブランクおよび取り付けられた電極にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
算出された音響位相遅れ情報および電極の密度に基づいて電極の厚みを決定する工程と、
結晶ブランクおよび取り付けられた電極の質量を決定する工程と、
先に取り付けられた電極および結晶ブランク上に、未知の音響インピーダンスおよび未知の密度を有する材料の層を蒸着させる工程と、
結晶ブランク、電極、および蒸着層を含む複合共振子の基本共振周波数を測定する工程と、
結晶ブランク、取り付けられた電極、および蒸着層を秤量する工程と、
重量測定値に基づいて蒸着層の質量を決定する工程と、
結晶ブランク上の蒸着層の面積を決定する工程と、
決定された質量および面積測定値に基づいて蒸着層の厚みを推定する工程と、
測定された共振周波数で、結晶ブランク、電極、および蒸着層にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
位相遅れ情報および厚み測定値に基づいて、蒸着膜層の特定の音響インピーダンスを決定する工程と、
を含む。
以下は、基材に取り付けられる、異なる材料を含むさまざまな材料の厚みを決定する好適な方法、ならびに、基材上に蒸着される未知の材料のz比を決定する、関連方法に関する。いくつかの用語が、説明の過程にわたり使用され、添付図面に関して、適切な基準枠を提供する。これらの用語は、特に指定された場合を除いて、範囲または効果の点で過剰に限定的とすることを意図しているわけではない。
ZMatchの式:
背景目的および完全性のために、先に開発されたZmatchの式を簡単にまとめる。前述したように、LuおよびCzandemaが、彼らの論文、Applications of Quartz Crystal Microbalancesで、圧電水晶結晶マイクロバランスによる質量決定の主題を十分に扱っている。彼らは、いわゆるLu−Lewis式の一般的導出を提供している。このZmatchの式は、以下の形態で書くことができ、現在入手可能な多くの商業用薄膜コントローラーの基礎を形成する:
音響伝達マトリックスの使用により、同じ結果(式(1.1))が得られることは明らかである。この形式では、水晶結晶およびそれに続く膜は、等しい断面積を有する導波管と考えることができる。音響伝達マトリックスの目的は、導波管の入口ポートにおける1組の動的変数を含む状態ベクトルを、導波管の出口ポートのものと関連付けることである。力(F)および変位速度
(2.6) Ci=cos(θi)、 Si=sin(θi)、 Ti=tan(θi)
(1) 圧電結晶上の蒸着膜の厚みを測定する方法において、
a)圧電結晶ブランクの基本共振周波数を決定する工程と、
b)前記結晶ブランクに電極を取り付ける工程と、
c)複合されたブランクおよび取り付けられた電極の基本共振周波数を決定する工程と、
d)前記結晶ブランクおよび電極上に、材料の第1の蒸着層を取り付ける工程と、
e)前記ブランク、前記電極および前記蒸着層を含む複合共振子の共振周波数を決定する工程と、
f)前記共振周波数で算出された、前記結晶ブランク、電極、および蒸着層それぞれにわたる音響位相遅れを決定する工程と、
g)前記材料の位相遅れ情報および密度から前記蒸着層の厚みを算出する工程と、
を含む、方法。
(2) 実施態様1に記載の方法において、
前記結晶ブランクの前記基本共振周波数を決定する工程は、前記ブランクを直接測定する工程、および非常に狭い範囲内で設計された特定の基本共振周波数を有するブランクを提供する工程のうちの少なくとも一方を含む、方法。
(3) 実施態様1に記載の方法において、
前記音響位相遅れを決定する工程は、前記結晶ブランク、電極および蒸着層それぞれにわたる前記位相遅れの正接関数を算出する工程をさらに含む、方法。
(4) 実施態様3に記載の方法において、
前記蒸着層にわたる前記位相遅れ情報の逆正接関数を算出して、前記蒸着層にわたる同等の位相遅れを得る工程をさらに含む、方法。
(5) 実施態様1に記載の方法において、
前記厚みの決定を用いて、前記蒸着層の固有共振周波数を算出する工程をさらに含む、方法。
蒸着が完了する前に第1の蒸着厚みを測定し、後の時間Δtで少なくとも1つの連続した厚み計算を行い、その後、Δtにわたる厚みの違いに基づいて、蒸着速度を決定する工程を含む、方法。
(7) 実施態様1に記載の方法において、
前記結晶ブランクは、ATカット、SCカット、ITカット、およびFCカットのうち少なくとも1つである、方法。
(8) 実施態様1に記載の方法において、
前記第1の層上に少なくとも1つまたは複数の追加の層を蒸着させ、工程e)〜g)のそれぞれを繰り返すことにより前記層の厚みを決定する工程を含む、方法。
(9) 実施態様8に記載の方法において、
蒸着材料の前記追加の層および前記第1の層は、異なる材料である、方法。
(10) 実施態様5に記載の方法において、
前記結晶ブランクおよび前記電極上への任意の蒸着層にわたる前記音響位相遅れは、関係:
式中、Zは、特定の音響インピーダンスであり、Tは、先の蒸着層の音響位相遅れの正接関数であり、Kは、任意の先の蒸着層にわたる音響位相遅れの複合パラメータである、方法。
前記ブランクおよび前記電極上への任意の蒸着層の厚みは、関係:
式中、hNは、前記蒸着層の厚みであり、fは、前記ブランク、前記電極、および前記少なくとも1つの蒸着層により定められる複合共振子の基本周波数であり、Kは、任意の先の蒸着層にわたる音響位相遅れの複合パラメータであり、ρNは、前記蒸着層の密度であり、ZNは、前記蒸着層の特定の音響インピーダンスである、方法。
(12) 実施態様11に記載の方法において、
前記ブランクおよび電極上への任意の蒸着層の固有共振周波数は、関係:
式中、friは、前記蒸着層の固有共振周波数であり、Ziは、前記蒸着層の特定の音響インピーダンスであり、hiは、前記蒸着層の厚みであり、ρiは、前記蒸着層の密度である、方法。
(13) 圧電結晶ブランク上の薄膜蒸着により未知の材料の特定の音響インピーダンスを決定する方法において、
特定の音響インピーダンスを有する圧電結晶ブランクを提供する工程と、
前記圧電結晶ブランクの基本共振周波数を決定する工程と、
特定の音響インピーダンスおよび密度を有する電極を前記結晶ブランクに取り付ける工程と、
前記結晶ブランクおよび取り付けられた電極の基本共振周波数を測定する工程と、
前記共振周波数で、前記結晶ブランクおよび前記取り付けられた電極にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
前記電極の算出された前記音響位相遅れ情報および前記密度に基づいて前記電極の厚みを決定する工程と、
前記結晶ブランクおよび前記取り付けられた電極の質量を決定する工程と、
未知の音響インピーダンスおよび未知の密度を有する材料の層を、先に取り付けられた前記電極および結晶ブランク上に蒸着させる工程と、
前記結晶ブランク、前記電極および前記蒸着層を含む前記複合共振子の基本共振周波数を測定する工程と、
前記結晶ブランク、前記取り付けられた電極および前記蒸着層を秤量する工程と、
前記重量測定値に基づいて前記蒸着層の質量を決定する工程と、
前記結晶ブランク上の前記蒸着層の面積を決定する工程と、
決定された前記質量および面積測定値に基づいて前記蒸着層の厚みを推定する工程と、
測定された前記共振周波数で、前記結晶ブランク、前記電極および前記蒸着層にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
前記位相遅れ情報および前記厚み測定値に基づいて、前記蒸着膜層の特定の音響インピーダンスを決定する工程と、
を含む、方法。
(14) 実施態様13に記載の方法において、
前記結晶ブランクの前記基本共振周波数を決定する工程は、前記ブランクを直接測定すること、および、非常に狭い範囲内で設計された特定の基本共振周波数を有するブランクを提供すること、のうち少なくとも一方を含む、方法。
(15) 実施態様13に記載の方法において、
前記特定の音響インピーダンスを決定する工程は、前記音響位相遅れ情報および決定された前記層の厚みを含む、非線形方程式を組み立てる工程をさらに含む、方法。
前記結晶ブランクは、厚みすべりモード(thickness shear mode)で振動しており、ATカット、SCカット、ITカット、およびFCカットのうち1つを含む、方法。
(17) 実施態様15に記載の方法において、
組み立てられた前記非線形方程式は、
式中、Z2は、前記蒸着層の特定の音響インピーダンスであり、T2は、前記蒸着層の音響位相遅れの正接関数であり、Z1は、前記電極の特定の音響インピーダンスであり、T1は、前記電極の音響位相遅れの正接関数であり、Z0は、前記結晶ブランクの特定の音響インピーダンスであり、T0は、前記結晶ブランクの音響位相遅れの正接関数である、方法。
Claims (13)
- 圧電結晶上の蒸着膜の厚みを測定する方法において、
a)圧電結晶ブランクの基本共振周波数を決定する工程と、
b)前記結晶ブランクに電極を取り付ける工程と、
c)複合されたブランクおよび取り付けられた電極の基本共振周波数を決定する工程と、
d)前記結晶ブランクおよび電極上に、材料の第1の蒸着層を取り付ける工程と、
e)前記ブランク、前記電極および前記蒸着層を含む複合共振子の共振周波数を決定する工程と、
f)前記共振周波数で算出された、前記結晶ブランク、電極、および蒸着層それぞれにわたる音響位相遅れを決定する工程と、
g)前記材料の位相遅れ情報および密度から前記蒸着層の厚みを算出する工程と、
を含み、
前記結晶ブランクおよび前記電極上への任意の蒸着層にわたる前記音響位相遅れは、前記蒸着層における特定の音響インピーダンスに基づいて決定され、
前記厚みの決定を用いて、前記蒸着層の固有共振周波数を算出する工程をさらに含み、
前記結晶ブランクおよび前記電極上への任意の蒸着層にわたる前記音響位相遅れは、関係:
[数1]
により決定され、
式中、Zは、特定の音響インピーダンスであり、Tは、先の蒸着層の音響位相遅れの正接関数であり、Kは、任意の先の蒸着層にわたる音響位相遅れの複合パラメータであり、Nは、現在蒸着されている層の指数を指し、i、j、k、l、mは、以前の蒸着層を示すダミーの指数である、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記結晶ブランクの前記基本共振周波数を決定する工程は、前記ブランクを直接測定する工程、および非常に狭い範囲内で設計された特定の基本共振周波数を有するブランクを提供する工程のうちの少なくとも一方を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記音響位相遅れを決定する工程は、前記結晶ブランク、電極および蒸着層それぞれにわたる前記位相遅れの正接関数を算出する工程をさらに含む、方法。 - 請求項3に記載の方法において、
前記蒸着層にわたる前記位相遅れ情報の逆正接関数を算出して、前記蒸着層にわたる同等の位相遅れを得る工程をさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
蒸着が完了する前に第1の蒸着厚みを測定し、後の時間Δtで少なくとも1つの連続した厚み計算を行い、その後、Δtにわたる厚みの違いに基づいて、蒸着速度を決定する工程を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記結晶ブランクは、ATカット、SCカット、ITカット、およびFCカットのうち少なくとも1つである、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記第1の層上に少なくとも1つまたは複数の追加の層を蒸着させ、工程e)〜g)のそれぞれを繰り返すことにより前記層の厚みを決定する工程を含む、方法。 - 請求項7に記載の方法において、
蒸着材料の前記追加の層および前記第1の層は、異なる材料である、方法。 - 圧電結晶ブランク上の薄膜蒸着により未知の材料の特定の音響インピーダンスを決定する方法において、
特定の音響インピーダンスを有する圧電結晶ブランクを提供する工程と、
前記圧電結晶ブランクの基本共振周波数を決定する工程と、
特定の音響インピーダンスおよび密度を有する電極を前記結晶ブランクに取り付ける工程と、
前記結晶ブランクおよび取り付けられた電極の基本共振周波数を測定する工程と、
前記共振周波数で、前記結晶ブランクおよび前記取り付けられた電極にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
前記電極の算出された前記音響位相遅れ情報および前記密度に基づいて前記電極の厚みを決定する工程と、
前記結晶ブランクおよび前記取り付けられた電極の質量を決定する工程と、
未知の音響インピーダンスおよび既知の密度を有する材料の層を、先に取り付けられた前記電極および結晶ブランク上に蒸着させる工程と、
前記結晶ブランク、前記電極および前記蒸着させる工程によって蒸着された蒸着層を含む複合共振子の基本共振周波数を測定する工程と、
前記結晶ブランク、前記取り付けられた電極および前記蒸着層を秤量する工程と、
前記秤量する工程によって測定された重量測定値に基づいて前記蒸着層の質量を決定する工程と、
前記結晶ブランク上の前記蒸着層の面積を決定する工程と、
決定された前記質量および面積測定値に基づいて前記蒸着層の厚みを推定する工程と、
測定された前記共振周波数で、前記結晶ブランク、前記電極および前記蒸着層にわたる音響位相遅れ情報を算出する工程と、
前記位相遅れ情報および前記推定する工程によって推定された前記蒸着層の厚み測定値に基づいて、前記蒸着層の特定の音響インピーダンスを決定する工程と、
を含み、
前記結晶ブランクおよび前記電極上への任意の蒸着層にわたる前記音響位相遅れは、前記蒸着層における特定の音響インピーダンスに基づいて決定され、
前記特定の音響インピーダンスを決定する工程は、前記音響位相遅れ情報および決定された前記層の厚みを含む、非線形方程式を組み立てる工程をさらに含み、
組み立てられた前記非線形方程式は、
[数4]
であり、
式中、Z 2 は、前記蒸着層の特定の音響インピーダンスであり、T 2 は、前記蒸着層の音響位相遅れの正接関数であり、Z 1 は、前記電極の特定の音響インピーダンスであり、T 1 は、前記電極の音響位相遅れの正接関数であり、Z 0 は、前記結晶ブランクの特定の音響インピーダンスであり、T 0 は、前記結晶ブランクの音響位相遅れの正接関数である、方法。 - 請求項11に記載の方法において、
前記結晶ブランクの前記基本共振周波数を決定する工程は、前記ブランクを直接測定すること、および、非常に狭い範囲内で設計された特定の基本共振周波数を有するブランクを提供すること、のうち少なくとも一方を含む、方法。 - 請求項8に記載の方法において、
前記結晶ブランクは、厚みすべりモードで振動しており、ATカット、SCカット、ITカット、およびFCカットのうち1つを含む、方法。
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