JP4854501B2 - バルク音響波共振子及びフィルタ並びに通信装置 - Google Patents
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
ダブリュー・イー・ニューウェル(W.E.Newell),"フェース・マウンテッド・ピエゾエレクトリック・レゾネーター(Face−Mounted Piezoelectric Resonators)"、プロシーディング・オブ・ザ・アイイーイーイー(Proceeding of the IEEE),1965年6月、p.575−581
圧電体膜14は、例えばZnOやAlN,PZT等の圧電体材料からなり、第1電極層13および第2電極15によって印加された高周波電圧に応じて伸縮し、電気的な信号を機械的な振動に変換する機能を持つ。圧電体膜14はスパッタリング法やCVD法等の薄膜プロセスで第1電極13上に所定の厚さで形成され、フォトリソグラフィ技術等により所定の形状に加工される。
次に、このような膜からなる音響波吸収部12の具体例について説明する。
音響波吸収部16が、基板11と同一組成を持ち、基板11よりも低い結晶性を有する場合について説明する。
音響波吸収部16の材料として、基板11よりも固有音響インピーダンスが小さい材料を使用し、音響波吸収部16の厚みが、音響波吸収部16中における、漏れ波の波長の略1/4の奇数倍である場合について説明する。
音響波吸収部16の材料として、基板11よりも固有音響インピーダンスが大きい材料を使用し、音響波吸収部16の厚みが、音響波吸収部16中の漏れ波の波長の略1/4の偶数倍である場合について説明する。
11a・・第1主面
11b・・第2主面
12・・・音響アイソレート層
13・・・第1電極
14・・・圧電体膜
15・・・第2電極
16・・・音響波吸収部
20・・・共振部
Claims (9)
- 第1主面と、第2主面と、を有する基板と、
圧電体膜と、前記圧電体膜の厚み方向の一表面上に積層される第1電極と、前記圧電体膜の厚み方向の他表面上に少なくとも一部が積層される第2電極と、で形成される共振部と、
前記共振部の前記第1電極と前記基板の前記第1主面との間に設けられ、前記共振部を前記基板から音響的に絶縁する音響アイソレート層と、
前記基板の前記第2主面に、前記共振部と対向するように設けられた音響波吸収部と、を含み、
前記音響波吸収部は、前記基板に形成された膜からなり、前記膜は、前記基板よりも固有音響インピーダンスが大きい材料からなり、その厚みが、前記膜中における前記共振部から漏洩した音響波の波長の略1/4の偶数倍であるバルク音響波共振子。 - 前記基板がSiからなる請求項1に記載のバルク音響波共振子。
- 前記膜は、前記基板と同一組成であり、前記基板よりも低い結晶性を有する請求項2に記載のバルク音響波共振子。
- 前記膜は、Mo、W又はAl 2 O 3 のいずれかからなる請求項2に記載のバルク音響波共振子。
- 前記第1電極および前記第2電極が、W、Mo、Au、Al又はCuのいずれかからなり、前記圧電体膜が、ZnO、AlN又はPZTのいずれかからなる請求項1に記載のバルク音響波共振子。
- 前記基板の第2主面は、第1主面に比べ算術平均粗さが大きく、
前記音響波吸収部は、前記基板の前記第2主面により構成されている請求項1に記載のバルク音響波共振子。 - 入力端子と出力端子と基準電位端子とを有し、前記入力端子と前記出力端子とをつなぐ入出力ライン上、または前記入出力ラインと基準電位端子との間に、請求項1乃至6のいずれかに記載のバルク音響波共振子を設けたフィルタ。
- 受信回路もしくは送信回路の少なくとも1つを有し、請求項7に記載のフィルタが前記
受信回路もしくは前記送信回路に用いられている通信装置。 - 請求項7に記載のフィルタと、受信回路もしくは送信回路の少なくとも1つとを有する通信装置。
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