JP6344229B2 - ガスセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記被測定ガスが導入される被測定ガス室と、
基準ガスが導入される基準ガス室と、
酸素イオン伝導性を有し、上記被測定ガス室と上記基準ガス室との間に介在する固体電解質体と、
該固体電解質体における上記被測定ガス室側の表面に形成されたポンプ電極及びセンサ電極と、
上記固体電解質体における上記基準ガス室側の表面に形成された基準電極とを備え、
上記固体電解質体と上記ポンプ電極と上記基準電極とによって、上記被測定ガス中の酸素濃度を低減させるポンプセルが形成され、上記固体電解質体と上記センサ電極と上記基準電極とによって、上記ポンプセルを用いて酸素濃度を低減させた後における上記被測定ガス中の上記特定ガスの濃度を測定するセンサセルが形成され、
上記ポンプ電極はPtとAuと骨材とを含有し、上記ガスセンサの製造後、上記ポンプ電極が未だ上記固体電解質体の活性化温度まで加熱されていない状態において、上記ポンプ電極は、気孔率が5.2vol%以下であり、表面粗さRaが0.5〜9.1μmであり、かつ上記骨材の含有率が4.9vol%以上であることを特徴とするガスセンサにある。
表面に微小な凹凸が形成された凹凸形成具を上記ポンプ電極未焼成体に押し当てて、該ポンプ電極未焼成体の表面を粗くする表面加工工程と、
上記ポンプ電極未焼成体を用いて、未焼成の上記ガスセンサであるセンサ未焼成体を組み立てる組み立て工程と、
上記センサ未焼成体を焼成して上記ガスセンサを形成する焼成工程とを行うことを特徴とするガスセンサの製造方法にある。
そのため、ガスセンサの製造後、ポンプ電極が加熱されても、特定ガス濃度の測定精度が低下しにくくなる。すなわち、上記ガスセンサでは、ポンプ電極の気孔率を、加熱される前から低くしてある。そのため、ポンプ電極が加熱されても、気孔が元々少ないため、ポンプ電極を構成する合金粒子が熱によって凝集し、気孔を充填する問題が生じにくい。したがって、加熱されている間に、ポンプ電極の、被測定ガスとの接触面積が徐々に低減して、酸素の排出能力が低減する問題が生じにくい。そのため、センサセルによる、特定ガス濃度の測定精度が低下しにくい。
ポンプ電極の気孔率を上記5.2vol%以下のように低減させると、気孔が少なくなるため、被測定ガスが気孔に入りにくくなる。そのため、被測定ガスは気孔の表面に接触しにくくなる。しかしながら、ポンプ電極の表面粗さRaを0.5〜9.1μmにしておけば、ポンプ電極の表面積を充分大きくすることができ、被測定ガスをポンプ電極の表面に充分接触させることができる。そのため、被測定ガス中の酸素を排出する能力を高めることができる。表面粗さRaの臨界的意義については、後述する。
上記ガスセンサに係る実施例について、図1〜図8を用いて説明する。本例のガスセンサ1は、被測定ガスgに含まれる特定ガスの濃度を測定するために用いられる。図1〜図4に示すごとく、ガスセンサ1は、被測定ガス室11と、基準ガス室12と、固体電解質体2と、ポンプ電極3と、センサ電極5と、基準電極6とを備える。被測定ガス室11には、被測定ガスgが導入される。基準ガス室12には、大気等の基準ガスが導入される。
ポンプ電極3及びセンサ電極5は、固体電解質体2における被測定ガス室11側の表面21に形成されている。
基準電極6は、固体電解質体2における基準ガス室12側の表面22に形成されている。
そのため、ポンプ電極3が加熱されても、特定ガス濃度の測定精度が低下しにくくなる。すなわち、本例では、ポンプ電極3の気孔率を、加熱される前から低くしてある。そのため、ガスセンサ1の製造後、ポンプ電極3が加熱されても、気孔が元々少ないため、ポンプ電極3を構成する合金粒子が熱によって凝集し、気孔を充填する問題が生じにくい。したがって、加熱されている間に、ポンプ電極3の、被測定ガスgとの接触面積が低減して、酸素の排出能力が次第に低減する問題が生じにくい。そのため、センサセル50による、特定ガス濃度の測定精度が低下しにくい。
ポンプ電極3の気孔率を上記5.2vol%以下のように低減させると、気孔が少なくなるため、被測定ガスgが気孔に入りにくくなる。そのため、被測定ガスgは気孔の表面に接触しにくくなる。しかしながら、ポンプ電極3の表面粗さRaを0.5〜9.1μmにしておけば、ポンプ電極3の表面積を充分大きくすることができ、被測定ガスgをポンプ電極3の表面に充分接触させることができる。そのため、被測定ガスg中の酸素を排出する能力を高めることができる。
そのため、焼成後におけるポンプ電極3の気孔率を5.2vol%以下にし、かつ表面粗さRaを0.5〜9.1μmにしやすい。焼成温度が1400℃未満の場合は、温度が充分に高くないため、ポンプ電極3内において合金粒子間の相互拡散が進みにくくなり、ポンプ電極3内に気孔が残りやすい。そのため、焼成後の気孔率が5.2vol%を超えやすい。
また、焼成温度が1500℃を超えると、温度が高すぎるため、熱によってポンプ電極3の表面が滑らかになってしまう。そのため、焼成後の表面粗さRaが0.5μm未満になりやすい。
本発明の効果を確認するための実験を行った。まず、実施例1において説明した構造を有するガスセンサ1を複数個形成し、面粗さと気孔率とを、それぞれ下記表1に示す値に調整した。本発明に属するものをサンプル1〜4とし、本発明に属さないものを比較サンプル1〜5とした。比較サンプル1〜5は、初期状態における気孔率が5.2vol%を超えているため、本発明に属さない。
ポンプ電圧がVp−Vσ未満になると、ポンプセル30による酸素の排出効率が低下するため、酸素濃度が高い被測定ガスgがセンサセル50に伝わってしまい、大きなセンサ電流が流れてしまう。また、ポンプ電圧がVp+Vσを超えると、ポンプセルによって特定ガス(NOx)が分解されてしまうため、センサ電流が低下する。
ΔI=(IH−IL)/IC×100
電流変化率ΔIが小さいほど、被測定ガスの濃度を正確に測定できることを意味する。
δI=ΔIA−ΔIB
耐久変動量δIが小さいほど、特定ガスの濃度を測定する精度が、20時間加熱しても低下しないことを意味する。
図1に示す構造を有するガスセンサ1を2個製造し、それぞれ、ポンプ電極3の表面粗さRaと、骨材の含有率と、気孔率とを下記表4に示す値に調整した。これにより、本発明に属するサンプル17、18を作成した。そして、これらのガスセンサ1における、ポンプ電極3の電気抵抗を測定した。結果を表4に示す。また、上記サンプル1〜16、比較サンプル1〜11についても、ポンプ電極3の電気抵抗を測定した。測定結果を表1〜表3に示す。
なお、電気抵抗を測定したときのポンプ電極3の大きさは、2.0×1.0mmであった。また、ポンプ電極3に含有される骨材として、ジルコニアの粉末を用いた。骨材の粒径は、0.5〜5.0μmであった。
11 被測定ガス室
12 基準ガス室
2 固体電解質体
3 ポンプ電極
30 ポンプセル
31 骨材
5 センサ電極
50 センサセル
6 基準電極
Claims (4)
- 被測定ガスに含まれる特定ガスの濃度を測定するガスセンサ(1)であって、
上記被測定ガスが導入される被測定ガス室(11)と、
基準ガスが導入される基準ガス室(12)と、
酸素イオン伝導性を有し、上記被測定ガス室(11)と上記基準ガス室(12)との間に介在する固体電解質体(2)と、
該固体電解質体(2)における上記被測定ガス室(11)側の表面(21)に形成されたポンプ電極(3)及びセンサ電極(5)と、
上記固体電解質体(2)における上記基準ガス室(12)側の表面(22)に形成された基準電極(6)とを備え、
上記固体電解質体(2)と上記ポンプ電極(3)と上記基準電極(6)とによって、上記被測定ガス中の酸素濃度を低減させるポンプセル(30)が形成され、上記固体電解質体(2)と上記センサ電極(5)と上記基準電極(6)とによって、上記ポンプセル(30)を用いて酸素濃度を低減させた後における上記被測定ガス中の上記特定ガスの濃度を測定するセンサセル(50)が形成され、
上記ポンプ電極(3)はPtとAuと骨材(31)とを含有し、上記ガスセンサ(1)の製造後、上記ポンプ電極(3)が未だ上記固体電解質体(2)の活性化温度まで加熱されていない状態において、上記ポンプ電極(3)は、気孔率が5.2vol%以下であり、表面粗さRaが0.5〜9.1μmであり、かつ上記骨材(31)の含有率が4.9vol%以上であることを特徴とするガスセンサ(1)。 - 上記ポンプ電極(3)の上記骨材(31)の含有率は、4.9vol%以上75.0vol%以下であることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ(1)。
- 請求項1又は請求項2に記載のガスセンサ(1)の製造方法であって、
未焼成の上記固体電解質体(2)である固体電解質未焼成体(29)の表面に、未焼成の上記ポンプ電極(3)であるポンプ電極未焼成体(39)を印刷する印刷工程と、
表面に微小な凹凸が形成された凹凸形成具(8)を上記ポンプ電極未焼成体(39)に押し当てて、該ポンプ電極未焼成体(39)の表面を粗くする表面加工工程と、
上記ポンプ電極未焼成体(39)を用いて、未焼成の上記ガスセンサ(1)であるセンサ未焼成体(150)を組み立てる組み立て工程と、
上記センサ未焼成体(150)を焼成して上記ガスセンサ(1)を形成する焼成工程とを行うことを特徴とするガスセンサ(1)の製造方法。 - 上記焼成工程は、酸素濃度2%以下の低酸素雰囲気中において行われ、焼成温度は1400〜1500℃であることを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ(1)の製造方法。
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