JP2014190940A - ポンプセルの内部電極の製法及びポンプセル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主ポンプセル21は、外部空間に露呈する外側ポンプ電極23とNOxを含む被測定ガスが導入される第1内部空所20に露呈する内側ポンプ電極22とで固体電解質層6を挟んだ構造を有している。内側ポンプ電極22は、以下のように作製される。まず、Au粉末を大気中150〜300℃で加熱することによりAu粉末の粒度d50が2〜7μmになるようにする熱処理工程を行う。次に、Pt粉末を主成分とし熱処理工程後のAu粉末を副成分とする電極ペーストを作製し、該電極ペーストを印刷したあと焼成して内側ポンプ電極22を形成する。
【選択図】図1
Description
外部空間に露呈する外部電極とNOxを含む被測定ガスが導入される内部空間に露呈する内部電極とで固体電解質層を挟んだ構造を有し、前記内部空間の酸素を前記外部空間へ汲み出すことが可能なポンプセルの、前記内部電極を製造する方法であって、
Au粉末を150〜300℃で加熱することにより前記Au粉末のレーザ回折/散乱法による粒度d50が2〜7μmになるようにする熱処理工程と、
白金族元素を主成分とし前記熱処理工程後のAu粉末を副成分とする電極ペーストを作製し、該電極ペーストを印刷したあと焼成して前記内部電極を形成する電極形成工程と、
を含むものである。
各実施例及び各比較例のセンサ素子101は、各層に対応するセラミックスグリーンシートに所定の加工および回路パターンの印刷などを行った後にそれらを積層し、その積層体を大気雰囲気中、常圧下で1350℃で焼成して一体化させることによって製造した。特に、内側ポンプ電極22は、電極ペーストを作製し、該電極ペーストをセラミックグリーンシートに所定のパターンとなるようにスクリーン印刷し、その後焼成することにより作製した。電極ペーストは、バインダであるブチラール樹脂3gを溶剤であるブチルカルビトール18gに溶解したバインダ液に、Pt粉末60g、Au粉末0.6g及びジルコニア粉末15gを入れ、得られた混合物を擂潰機(らいかいき)で混合後、トリロールミルで分散処理することにより、作製した。電極ペーストの印刷は、印刷乾燥後の膜厚が9〜16μmとなるように行った。電極ペーストは、各セラミックスグリーンシートを積層した積層体を焼成した際に同時に焼成した。
比較例1〜5では、ロットA〜EのAu粉末を熱処理せずにそのまま電極ペーストの成分として使用して、センサ素子101を作製した。そして、被測定ガスとして、N2ガスをベースとしてO2:18%、NO:500ppm、H2O:3%(いずれも体積比)を含有させたガスを用い、主ポンプセル21のポンプ電流Ip0を3.0mAとしたときのポンプ電圧Vp0を測定した。その結果を表2に示す。また、比較例3の粒度分布を図2に示す。
比較例6では、ロットCのAu粉末を大気中、常圧下150℃で10時間処理したところ、粒度d50は測定不能となった。これは、加熱しすぎたため、Au粉末の焼結が起こり、粒子が粗大化したためである。この比較例6のSEM写真を図3に示す。
実施例10では、ロットDのAu粉末を大気中、常圧下250℃で2時間処理し、熱処理後のAu粉末の粒度d50を2.7μmとした。実施例11では温度を300℃に変更し、熱処理後のAu粉末の粒度d50を4.3μmとした。これらのAu粉末を電極ペーストの成分として使用し、センサ素子101を作製して上述した条件でポンプ電圧Vp0を測定したところ、ポンプ電圧Vp0はそれぞれ550mV及び420mVであった(表2参照)。一方、比較例7では温度を350℃に、比較例8では温度を400℃に変更したところ、いずれもAu粉末の焼結が進み、粒度d50を測定できなかった。これらの結果から、Au粉末の熱処理の上限は300℃であることがわかった。
Claims (3)
- 外部空間に露呈する外部電極とNOxを含む被測定ガスが導入される内部空間に露呈する内部電極とで固体電解質層を挟んだ構造を有し、前記内部空間の酸素を前記外部空間へ汲み出すことが可能なポンプセルの、前記内部電極を製造する方法であって、
Au粉末を150〜300℃で加熱することにより前記Au粉末のレーザ回折/散乱法による粒度d50が2〜7μmになるようにする熱処理工程と、
白金族元素を主成分とし前記熱処理工程後のAu粉末を副成分とする電極ペーストを作製し、該電極ペーストを印刷したあと焼成して前記内部電極を形成する電極形成工程と、
を含むポンプセルの内部電極の製法。 - 前記熱処理工程では、前記Au粉末を大気中、常圧下150〜300℃で熱処理する、
請求項1に記載のポンプセルの内部電極の製法。 - 請求項1又は2に記載のポンプセルの内部電極の製法により製造された内部電極を備えたポンプセル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013068872A JP5937995B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | ポンプセルの内部電極の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013068872A JP5937995B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | ポンプセルの内部電極の製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014190940A true JP2014190940A (ja) | 2014-10-06 |
JP5937995B2 JP5937995B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=51837308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013068872A Active JP5937995B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | ポンプセルの内部電極の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5937995B2 (ja) |
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