JP5323752B2 - ガスセンサのポンプ電極、導電性ペーストの製造方法、およびガスセンサ - Google Patents
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Description
<ガスセンサの概略構成>
はじめに、ガスセンサ100の概略構成について説明する。
次に、上述のような構造を有するセンサ素子101を製造するプロセスについて説明する。本実施の形態においては、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含むグリーンシートからなる積層体を形成し、該積層体を切断・焼成することによってセンサ素子101を作製する。
次に、本実施の形態において特徴的である、内側ポンプ電極22および補助ポンプ電極51の詳細構成について説明する。なお、以降の説明においては、内側ポンプ電極22および補助ポンプ電極51を空所内ポンプ電極と総称する。
次に、空所内ポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストについて説明する。従来、空所内ポンプ電極用の導電性ペーストは、PtとAuの合金粉末と、ジルコニア粉末と、バインダーとを混合することによって作製されていた。あるいは、Pt粉末と、PtとAuとの合金粉末とをあわせて、所定のAu添加量を実現する場合もあった。すなわち、いずれの場合も、導電性ペースト中のAuの出発原料はPtとの合金粉末であった。係る態様での導電性ペーストの作製を、Au合金粉末混合と称することとする。しかしながら、係るAu合金粉末混合により得られた導電性ペーストを用いて形成した空所内ポンプ電極においては、電極のPt粒子の表面におけるAu存在比が、0.01を上回ることがなかった。すなわち、従来公知の態様にて調製された導電性ペーストを用いたとしても、空所内ポンプ電極において0.01以上0.3以下というAu存在比を実現することは困難である。
上述した第1の実施の形態においては、Au液体混合にて作製した導電性ペーストを用いて空所内ポンプ電極を形成するようにしているが、本実施の形態においては、空所内ポンプ電極用の導電性ペーストの別の作製態様について説明する。
空所内ポンプ電極の形成に、Auイオン含有液体を含む導電性ペーストを用いる態様は、限界電流方式を利用した酸素センサに対しても有効である。係る酸素センサの場合も、酸素以外の酸化物ガス(NO、CO2、H2Oなど)が分解されることで生成した酸素イオンが酸素ポンプ電流として流れてしまうと、測定精度が低下することになる。すなわち、酸素センサの場合も、酸素ポンピングセルが、酸素ガスのみを選択的にポンピングするように構成されることが求められる。係る酸素センサについても、上述の実施の形態と同様にAuイオン含有液体を含む導電性ペーストを用いて空所内ポンプ電極を形成することで、該空所内ポンプ電極の触媒活性を低減させ、酸素ガスに対する選択的分解能を高めることができる。
COパルス吸着法にて、内側ポンプ電極におけるPt表面の露出量を評価した。粒子表面のPt1原子に対してCO1分子が吸着する一方、Au原子については室温においてCO分子をほとんど吸着しないことがわかっているので、CO吸着量を測定することにより、内側ポンプ電極におけるPt露出量を測定することができる。すなわち、CO吸着量が多いほど表面に露出しているPt原子が多いことになる。なお、比較のため、純Pt粉末についても測定を行った。測定ロット数はそれぞれ6とした。なお、測定に先立ち、加熱前処理を行い、あらかじめ吸着しているガスや不純物を除去した。
吸着ガス:CO 50% / He balance;
パルス打ち込み量:10μl/1パルス。
XPS(X線光電子分光法)により、内側ポンプ電極のPt粒子の表面におけるAu存在比を評価した。Au存在比は、AuとPtとについての検出ピークのピーク強度から相対感度係数法を用いて算出した。測定ロット数は、実施例が6、比較例が8であった。
X線源:MgKα(1254.6eV);
出力:400W;
分光器:Pass Energy 23.5eV;
検出ピーク:Au4f、Pt4f;
X線と試料との角度:45°;
X線と分光器との角度:54.7°
計算ソフト:PHI MultiPak 6.2。
外側ポンプ電極と内側ポンプ電極の間におけるインピーダンスを測定した。具体的には、センサ素子101の通常の駆動温度において、酸素濃度が18%と既知の被測定ガスをセンサ素子101に導入し、両ポンプ電極間への印加電圧とそのとき流れる電流値との間の回帰直線を求め、その傾きの逆数をインピーダンス値とした。測定ロット数は、6であった。
2 第2基板層
3 第3基板層
4 第1固体電解質層
5 スペーサ層
6 第2固体電解質層
21 主ポンプセル
22 内側ポンプ電極
23 外側ポンプ電極
41 測定ポンプセル
42 基準電極
44 測定電極
50 補助ポンプセル
51 補助ポンプ電極
70 ヒータ
71 ヒータ電極
72 ヒータ絶縁層
100 ガスセンサ
101 センサ素子
Claims (12)
- 限界電流方式により被測定ガス中のガス成分の濃度を測定するガスセンサの内部空所に設けられた、前記内部空所における酸素分圧調整用の電気化学的ポンプセルを構成するポンプ電極であって、
貴金属と酸素イオン導電性を有する酸化物とのサーメットからなり、
前記貴金属が、
触媒活性を有する第1の貴金属と、
前記第1の貴金属の酸素以外の酸化物ガスに対する触媒活性を抑制させる触媒活性抑制能を有する第2の貴金属と、
を含んでおり、
前記ポンプ電極に存在する前記第1の貴金属の粒子の表面のうち、前記第2の貴金属によって被覆されておらず前記第1の貴金属の粒子自体が露出している部分に対する前記第2の貴金属が被覆している部分の面積比率である前記第2の貴金属の存在比が0.01以上0.3以下である、
ことを特徴とするガスセンサのポンプ電極。 - 請求項1に記載のガスセンサのポンプ電極であって、
前記ポンプ電極に存在する前記第1の貴金属の粒子の表面における前記第1の貴金属に対する前記第2の貴金属の存在比が0.1以上0.25以下である、
ことを特徴とするガスセンサのポンプ電極。 - 請求項1または請求項2に記載のガスセンサのポンプ電極であって、
前記第1の貴金属が白金であり、前記第2の貴金属が金である、
ことを特徴とするガスセンサのポンプ電極。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストを製造する方法であって、
前記第1の貴金属の粉末と、
前記第2の貴金属のイオンを含む塩もしくは有機金属錯体を溶媒へ溶解させてなるイオン含有液体と、
を出発原料に含むことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項4に記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストの製造方法であって、
前記第2の貴金属のイオンを含む塩が、テトラクロロ金(III)酸、塩化金(III)ナトリウム、二シアノ金(I)カリウムのいずれかである、
ことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項4に記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストの製造方法であって、
前記第2の貴金属のイオンを含む有機金属錯体が、ジエチレンジアミン金(III)塩化物([Au(en)2]Cl3)、ジクロロ(1,10-フェナントロリン)金(III)塩化物([Au(phen)Cl2]Cl)、ジメチル(トリフルオロアセチルアセトナト)金あるいはジメチル(ヘキサフルオロアセチルアセトナト)金のいずれかである、
ことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストを製造する方法であって、
前記第1の貴金属の粉末に前記第2の貴金属をコーティングしたコーティング粉末を出発原料に含むことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項7に記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストを製造する方法であって、
前記第1の貴金属の粉末の粒子表面を前記第2の貴金属の膜にて被覆してなる前記コーティング粉末を出発原料に含むことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項7に記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストを製造する方法であって、
前記第1の貴金属の粉末の粒子に前記第2の貴金属の粒子を付着させてなる前記コーティング粉末を出発原料に含むことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 請求項4ないし請求項9のいずれかに記載のガスセンサのポンプ電極の形成に用いる導電性ペーストの製造方法であって、
前記導電性ペーストの貴金属成分中の前記第2の貴金属の重量比率が0.5重量%以上0.95重量%以下となるように、前記出発原料を作製する、
ことを特徴とする導電性ペーストの製造方法。 - 限界電流方式により被測定ガス中のガス成分の濃度を測定するガスセンサであって、
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のポンプ電極を内部空所に備える
ことを特徴とするガスセンサ。 - 請求項11に記載のガスセンサであって、
前記ポンプ電極が、請求項4ないし請求項10のいずれかに記載の製造方法を用いて製造された導電性ペーストを用いて形成されてなる、
ことを特徴とするガスセンサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2980574A1 (en) | 2014-07-29 | 2016-02-03 | NGK Insulators, Ltd. | Gas sensor, method of producing conductive paste, and method of manufacturing gas sensor |
JP2016138775A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP5992123B1 (ja) * | 2015-11-17 | 2016-09-14 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの検知電極、導電性ペーストの製造方法、ガスセンサ、および、ガスセンサの製造方法 |
US10514355B2 (en) | 2015-11-17 | 2019-12-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
US10816501B2 (en) | 2015-11-17 | 2020-10-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor and method for manufacturing gas sensor |
US11391690B2 (en) | 2018-12-25 | 2022-07-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
DE102022132318A1 (de) | 2021-12-17 | 2023-06-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Gassensor und gassensor-steuerverfahren |
US11940406B2 (en) | 2020-03-30 | 2024-03-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101995425A (zh) * | 2010-10-30 | 2011-03-30 | 无锡隆盛科技有限公司 | 一种汽车用氮氧化物传感器芯片 |
JP6488224B2 (ja) | 2015-01-08 | 2019-03-20 | 株式会社デンソー | NOx検出センサ |
US10876993B2 (en) | 2015-12-24 | 2020-12-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Ammonia gas sensor and method for measuring concentration of ammonia gas |
JP6783706B2 (ja) * | 2017-06-12 | 2020-11-11 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ素子に備わる電極の検査方法 |
DE102019004236A1 (de) * | 2018-07-02 | 2020-01-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Gassensor und Sensorelement |
DE102019215819A1 (de) * | 2019-10-15 | 2021-04-15 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Breitbandlambdasonde |
CN111141800A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-12 | 浙江百岸科技有限公司 | 传感器芯片 |
US20220113278A1 (en) * | 2020-10-12 | 2022-04-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
DE102022106164A1 (de) * | 2021-03-29 | 2022-09-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensorelement |
DE102022106136A1 (de) * | 2021-03-29 | 2022-09-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensorelement und verfahren zum erfassen eines gases unter verwendung des sensorelements |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0589719A (ja) * | 1991-09-25 | 1993-04-09 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | O2 センサー用ペースト |
JP3537983B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2004-06-14 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP3623066B2 (ja) * | 1997-02-12 | 2005-02-23 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP3372195B2 (ja) * | 1997-08-14 | 2003-01-27 | 日本特殊陶業株式会社 | NOxガス濃度検出器及び検出器に用いる電極の製造方法 |
JP3943262B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2007-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | NOxガス濃度測定装置及びNOxガス濃度測定方法 |
JP2001066289A (ja) | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Nippon Soken Inc | ガス検出装置 |
JP2003009227A (ja) | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 回線接続方式 |
JP2003092227A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Taiheiyo Cement Corp | 内部電極材料及びその製造方法 |
US7153412B2 (en) * | 2001-12-28 | 2006-12-26 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Electrodes, electrochemical elements, gas sensors, and gas measurement methods |
US7241477B2 (en) * | 2003-07-21 | 2007-07-10 | Delphi Technologies, Inc. | Methods of treating electrodes and gas sensors comprising the electrodes |
JP4911910B2 (ja) | 2005-03-31 | 2012-04-04 | 日本碍子株式会社 | NOx測定電極部構造及びその形成方法並びにNOxセンサ素子 |
JP4855756B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2012-01-18 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
DE102005049775A1 (de) | 2005-10-18 | 2007-04-19 | Robert Bosch Gmbh | Sensor zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch und Verfahren zur Herstellung einer Elektrode eines solchen Sensors |
-
2010
- 2010-03-26 US US12/732,298 patent/US8366893B2/en active Active
- 2010-03-26 JP JP2010072533A patent/JP5323752B2/ja active Active
- 2010-03-26 EP EP10250594.8A patent/EP2237029B1/en active Active
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2980574A1 (en) | 2014-07-29 | 2016-02-03 | NGK Insulators, Ltd. | Gas sensor, method of producing conductive paste, and method of manufacturing gas sensor |
JP2016033510A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-10 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの検知電極、導電性ペーストの製造方法、および、ガスセンサ |
US10168295B2 (en) | 2014-07-29 | 2019-01-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor, method of producing conductive paste, and method of manufacturing gas sensor |
JP2016138775A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP5992123B1 (ja) * | 2015-11-17 | 2016-09-14 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの検知電極、導電性ペーストの製造方法、ガスセンサ、および、ガスセンサの製造方法 |
US10514355B2 (en) | 2015-11-17 | 2019-12-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
US10816500B2 (en) | 2015-11-17 | 2020-10-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor, method for producing conductive paste, and method for manufacturing gas sensor |
US10816501B2 (en) | 2015-11-17 | 2020-10-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor and method for manufacturing gas sensor |
US11391690B2 (en) | 2018-12-25 | 2022-07-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
US11940406B2 (en) | 2020-03-30 | 2024-03-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
DE102022132318A1 (de) | 2021-12-17 | 2023-06-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Gassensor und gassensor-steuerverfahren |
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