JP6322653B2 - 基板からカーボン材料を除去する方法 - Google Patents

Description

本発明は基板から材料を除去する方法に関する。より詳細には、本発明は、硫酸と水蒸気を用いて基板から材料−より好適にはカーボン材料−を除去することに関する。

本願は、２０１３年１月２２日に出願された米国仮特許出願６１／７５５４３４号「PROCESS FOR REMOVING CARBON FILMS FROM SUBSTRATES」の利益を主張する。米国仮特許出願６１／７５５４３４号の内容のすべては、本願に援用される。

エレクトロニクス技術の進歩によって、能動的部品の実装密度をはるかに向上した状態で、基板−たとえばシリコンウエハ−上に集積回路が形成される。回路の形成は、堆積、処理、及び、基板からの様々な構成要素の選択的除去を順次行うことによって実行される半導体ウエハ技術においては、様々な組成物が、基板からの特定の部類の構成要素を除去するのに開発されてきた。たとえばＳＣ−１と一般的には表記される、約１：１：５の体積比（又はある程度希釈比が高い）でＮＨ_４ＯＨ（２９ｗｔ％）／Ｈ_２Ｏ_２（３０ｗｔ％）／水の混合物を含む組成物が一般的に、粒子を除去し、かつ、疎水性シリコン表面を再酸化するのに用いられる。同様に、ＳＣ−２と一般的には表記される、約１：１：５の体積比（又はある程度希釈比が高い）でＨＣｌ（３７ｗｔ％）／Ｈ_２Ｏ_２（３０ｗｔ％）／水の混合物を含む組成物が一般的に、金属を除去するのに用いられる。一般的にはＳＰＭ又はピラニア組成物と呼ばれるさらなる組成物は、約２：１〜２０：１の体積比でＨ_２ＳＯ_４（９８ｗｔ％）／Ｈ_２Ｏ_２（３０ｗｔ％）を含み、かつ、一般的には有機汚染物又は一部の金属を除去するのに用いられる。

特許文献１は、基板から材料−好適にはフォトレジスト−を除去する方法について記載している。その方法は、硫酸並びに／又はその乾燥種及び前駆体を含む液体硫酸組成物を供給する工程を有する。特許文献１の全内容は本願に援用される。フォトレジストの除去は特許文献２にも開示されている。特許文献２の全内容は本願に援用される。

フォトレジストに加えて、多くの回路製造プロセスにおいて使用可能な、たとえばカーボン材料（たとえばアモルファスカーボン、ダイアモンドライクカーボン、及び／又はグラファイトカーボン）のような他の周知の材料が存在する。たとえばそのような材料は、連続層の形成を支援するのに用いられて良い。製造プロセスの段階では、これらの材料の少なくとも一部は通常、好適には上に形成される構造を含む基板へ実質的に損傷を及ぼすことなく、除去される。カーボン材料−たとえばアモルファスカーボン、ダイアモンドライクカーボン、及び／又はグラファイトカーボン−は、フォトレジスト材料とは異なることに留意して欲しい。たとえば「イオン注入後の２４８ｎｍ深紫外（ＤＵＶ）フォトレジストの評価」という論文は、フォトレジストが検出された（たとえば図４において）一方で、アモルファスカーボンの存在については実験的な証拠が見つからなかったと報告している。

米国特許第5971368号明細書 米国特許第6,235,641号明細書 米国特許第6,274,506号明細書 米国特許第6,648,307号明細書 米国特許第7,422,031号明細書 米国特許第8,343,713号明細書 米国特許第8,394,455号明細書 国際公開第2011084334号パンフレット 米国特許第6,406,551号明細書 米国特許第6,488,272号明細書 米国特許出願公開第2007/0245954号明細書 米国特許出願公開第2005/0205115号明細書 米国特許出願公開第2009/0280235号明細書 米国特許出願公開第2008/0008834号明細書

基板−たとえば半導体ウエハ−からカーボン材料−特にアモルファスカーボン材料−の少なくとも一部−好適にはすべて−を除去処理用の別な方法及び組成物を特定することが望ましい。

驚くべきことに、約５：１を超えないモル濃度比の水／硫酸を有する液体硫酸組成物が、前記液体硫酸組成物の温度を、水蒸気に曝露される前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量の水蒸気に曝露されるときに、硫酸並びに乾燥硫酸種及び前駆体が、基板表面からカーボン材料及び特にアモルファスカーボンを除去するのに有効であり得ることが発見された。本発明の実施例では、前記液体硫酸組成物は、該液体硫酸組成物の温度を、（ｉ）前記水蒸気に曝露される前の前記液体硫酸組成物の温度と（ｉｉ）前記水蒸気の温度の両方よりも上昇させるのに有効な量の水蒸気に曝露される。好適実施例では、モル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する液体硫酸組成物が水蒸気に曝露される。前記水蒸気の量は、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物の温度を、（ｉ）前記水蒸気に曝露される前の前記液体硫酸組成物の基板上での温度及び（ｉｉ）前記水蒸気の温度の両方を超えるのに有効な量である。本発明は、シリコン酸化物及び／又はシリコン窒化物と比較してアモルファスカーボンを選択的に除去する場合には、たとえ前記アモルファスカーボンがあるプロセス条件下でドーピングされていても特に重要である。

簡明を期すため、本願で論じる液体硫酸組成物は、硫酸並びに／又はその乾燥硫酸種及び前駆体を含むものと解され、そして、これらの液体組成物に含まれる硫酸に関する議論も同様に、硫酸並びに／又はその乾燥硫酸種及び前駆体を含む対応組成物について記載していると解される。乾燥硫酸種及び硫酸前駆体の例には、三酸化硫黄（ＳＯ_３）、チオ硫酸（Ｈ_２Ｓ_２Ｏ_３）、過硫酸（Ｈ_２ＳＯ_５）、ペルオキソニ硫酸（Ｈ_２Ｓ_２Ｏ_８）、フルオロ硫酸（ＨＳＯ_３Ｆ）、及び塩化スルホン酸（ＨＳＯ_３Ｃｌ）が含まれる。本発明の実施例では、硫酸の乾燥種は硫酸と酸化剤の複合体である。酸化剤は、Ｈ_２Ｏ_２、Ｏ_３、又はこれらの混合物を含む。

本願で供される基板からカーボン材料及びより好適にはアモルファスカーボンを除去する方法では、表面上に材料を有する基板が処理チャンバ内に設けられる。液体硫酸組成物は、前記基板表面を実質的に均一にコーティングするような量及び方法で、前記基板上に供給される。本発明の目的では、前記水／硫酸のモル比は、前記乾燥流体種又は前駆体の存在するモルに対する水の最終混合物中でのモル比に基づいて、前記乾燥硫酸種及び前駆体について計算される。

本発明の一の実施例では、前記基板は、表面を供することを容易にする前処理液体によって前処理される。モル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する液体硫酸組成物が、前記表面に付与されるときに、前記表面上を実質的に均一にコーティングする。本発明の目的では、十分な液体硫酸組成物が前記表面を完全にコーティングするように前記表面へ付与されるときに、前記液体硫酸組成物のビーズ（つまり前記表面上での前記液体の不連続性）が観測されない場合、液体硫酸組成物は、前記基板を実質的に均一にコーティングすると考えられる。前記前処理組成物は、一の実施例では、モル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する十分な液体硫酸組成物を付与することで前記基板の表面特性を改質し、その結果、モル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する十分な液体硫酸組成物の後続の（継続する）液体硫酸組成物の付与が前記基板を実質的に均一にコーティングするものを含む。任意で他の表面改質成分−たとえば希望に応じて前記表面特性を改質するように機能する界面活性剤又は溶媒−が、前記前処理液体中で用いられて良い。

また基板表面からのカーボン材料の除去の実効性と効率は特に改善されることがわかった。このとき前記液体硫酸組成物は、モル比にして約３：１又は約２：１を超えない水／硫酸を有する。本発明の好適実施例では、基板表面からのカーボン材料の除去の実効性と効率は特に改善されることがわかった。このとき前記液体硫酸組成物は、モル比にして約２：１を超えない水／硫酸を有する。本発明の実施例では、前記液体硫酸組成物は水を含まない。しかし材料を得る上での便宜上、本発明の実施例は、前記液体硫酸組成物が、少なくとも未処理の材料中に従来存在する程度の水を含むことを想定している。本発明の他の実施例では、前記液体硫酸組成物は、約１：２〜約１：４の水／硫酸モル比を有する。

換言すると、前記液体硫酸組成物は体積にして、好適には５０ｖｏｌ％、より好適には８０ｖｏｌ％、及び最も好適には９０ｖｏｌ％の濃度を有する。本発明の目的では、硫酸の体積比が論じられるとき、硫酸の含有量は、９８ｗｔ％硫酸塩に基づいて計算されることが意図されている。よって体積にして５０％の含有量の硫酸を含む硫酸／水組成物は、５０ｖｏｌ％の９８ｗｔ％の硫酸と５０ｖｏｌ％の水を含む。

好適には前記基板は、前記液体硫酸組成物の供給前、供給中、又は供給後に少なくとも約９０℃の温度に加熱される。前記液体硫酸組成物は、水蒸気に曝露される。前記水蒸気の量は、前記液体硫酸組成物の温度を、前記水蒸気に曝露される前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量である。本発明の実施例では、前記液体硫酸組成物は水蒸気に曝露される。前記水蒸気の量は、前記基板上の前記液体硫酸組成物の温度を、（ｉ）前記水蒸気に曝露する前の前記基板上での液体硫酸組成物の温度、及び、（ｉｉ）前記水蒸気の温度の両方よりも高い温度に上昇させるのに有効な量である。上述の処理工程の前又は間のいずれかに、前記基板は洗浄されることが好ましい。

前記基板へ付与される前又は付与される際に前記液体硫酸組成物中に存在する水の量は、意図しないカーボン材料の除去の有効性にとって重要であることを発見した。具体的には、最初にあまりに多くの水を含む硫酸組成物は、水蒸気に曝露されるときにカーボン材料を剥離しにくいことを発見した。理論に固執するわけではないが、これらの希釈された硫酸組成物は、前記液体硫酸組成物の温度を、水蒸気へ曝露する前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量の水蒸気を吸収しにくいのか、かつ／あるいは、前記組成物の活量が前記水によって減少するためではないかと考えている。

前記基板が水の沸点未満の周辺処理温度（具体的には約２０〜６０℃の温度範囲）である実施例では、前記液体硫酸組成物の温度は水蒸気の追加によって実質的に上昇する。驚くべきことに、前記基板及び／又は前記硫酸組成物が高温（たとえば９０℃よりも高い温度）−具体的には１００℃以上の温度−であるときでさえ、たとえ前記液体硫酸組成物の温度が水の沸点付近であっても、前記水蒸気は前記液体硫酸組成物によって吸収されることがわかった。理論に固執するわけではないが、前記液体硫酸組成物が乾燥効果を有することで、前記水蒸気からの水は前記液体硫酸組成物へ凝集され、かつ、前記水蒸気中に貯蔵される気化熱に近似的に相当するエネルギーが放出されるからだと考えている。

本発明の一の態様によると、半導体基板からカーボン材料を除去する方法は：
表面の少なくとも一部上にカーボン膜を有する半導体基板を処理チャンバ内に供する工程；
硫酸並びに／又はその乾燥種及び前駆体を含む、前記基板表面を実質的に均一にコーティングするのに有効な量の液体硫酸組成物を第１供給ラインから前記基板表面へ供給する工程；
前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気へ曝露する工程であって、前記水蒸気は、第２供給ラインから供給され、かつ、前記液体硫酸組成物の温度を、前記水蒸気へ曝露する前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量であり、前記液体硫酸組成物は、前記水蒸気へ曝露される前は少なくとも１３０℃であって２２０℃未満で、かつ、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物は、前記表面から前記カーボン膜の少なくとも一部を除去するための期間、水蒸気に曝露される、工程、
を有する。

本発明の他の態様によると、半導体基板からカーボン材料を除去する方法は：
シリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンを含み、かつ、表面の少なくとも一部上にカーボン膜を有する半導体基板を処理チャンバ内に供する工程；
硫酸並びに／又はその乾燥種及び前駆体を含む、前記基板表面を実質的に均一にコーティングするのに有効な量の液体硫酸組成物を第１供給ラインから前記基板表面へ供給する工程；
前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気へ曝露する工程であって、前記水蒸気は、第２供給ラインから供給され、かつ、前記液体硫酸組成物の温度を、前記水蒸気へ曝露する前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量であり、
前記基板表面上の前記液体硫酸組成物は、前記表面から前記カーボン膜の少なくとも一部を除去するための期間、水蒸気に曝露される一方で、毎分８Å未満の前記シリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンが前記基板から除去される、工程、
を有する。

好適実施例では、前記カーボン材料はアモルファスカーボンを含み、かつ、前記アモルファスカーボンは、シリコン酸化物（たとえば二酸化シリコン）及び／又はシリコン窒化物と比較して選択的に除去される。

液体の水又はＨ_２Ｏ_２（３０ｗｔ％）がＨ_２ＳＯ_４（９８ｗｔ％）へ加えられるときに結果として得られる温度上昇を示すグラフである。 液体の水がＨ_２ＳＯ_４（９８ｗｔ％）／水の混合物へ加えられるときの温度上昇を溶液中でのＨ_２ＳＯ_４（９８ｗｔ％）の割合の関数として示すグラフである。 本発明のプロセスを実行するのに用いられ得るバッチ噴霧プロセッサの概略図を示している。 図３Ａに図示されたプロセッサを用いた一の代表的な実施モードを示している。 比較プロセスを実行する間と本発明のプロセスを実行する間での処理チャンバの側壁に供給された硫酸／過酸化水素の液体組成物の温度を示すグラフである。 比較プロセスの実行中及び本発明のプロセスにおける水蒸気への曝露後での硫酸／過酸化水素の液体組成物のウエハ上での測定温度の最大値を示すグラフである。供給前に混合された硫酸と過酸化水素の組成物の温度も示されている。 比較プロセスを実行する間と本発明のプロセスを実行する間での水蒸気への曝露後の硫酸／過酸化水素のウエハ上での最大測定温度と混合された硫酸／過酸化水素組成物の温度との差異を示すグラフである。供給前に混合された硫酸／過酸化水素組成物の平均温度も示されている。 本発明のプロセスを実行するのに用いられ得る枚葉式ウエハプロセッサの概略図を示している。 ３つのオリフィスノズルを用いて噴霧を案内するシステムを表している。 本発明のプロセスの実施例を実行し得る装置の概略図である。 図１０は、本発明のプロセスの実施例を実行する噴霧バーの断面図である。

本発明の上述及び他の利点並びにそれらを得る方法は明らかになる。本発明自体は、添付図面と共に以降の本発明の説明を参照することでよりよく理解される。

本発明の目的では、水蒸気は、気体状態の水と定義され、かつ、一般的に「ミスト」と呼ばれる小さな水滴とは区別される。ミストは小さな液滴の状態で凝集する水であるため、ミストが表面上にとどまるときに、気化熱に相当する正味の暖め効果は本質的に存在しない。本発明のため、蒸気は、圧力に依存して−たとえば圧力が1atmである場合には１００℃−水の沸点以上で気化した水である。蒸気が水の沸点よりも高い温度で供されるとき、その蒸気は過熱水蒸気と呼ばれる。水蒸気は任意で、水の他に成分−たとえば溶解した気体（たとえばオゾン）又は不活性気体（たとえば窒素）−を含む組成物から供されて良い。水蒸気は、任意の方法−本質的に純粋であるか又は組成物であるかのいずれか、１００℃であるかそれ以外であるか、かつ、１ａｔｍであるかそれ以外の水蒸気の圧力又は分圧を有するのか−で硫酸組成物へ供給されて良いことが考えられる。本発明の方法は、噴霧処理装置−たとえばＴＥＬ ＦＳＩが販売しているＭＥＲＣＵＲＹ（登録商標）又はＺＥＴＡ（登録商標）噴霧プロセッサ又はＭａｇｅｌｌａｎ（登録商標）システム−内において処理されているときのウエハのバッチで行われているように、複数のウエハ状の対象物を同時に処理するのに用いられて良い。本発明はまた、複数のウエハが移動若しくは固定する枚葉式ウエハ処理用途又は複数のウエハが実質的に静止するバッチ用途においても用いられて良い。枚葉式ウエハ処理システムの例は、ＴＥＬ ＦＳＩから市販されているＦＳＩ Ｏｒｉｏｎ（登録商標）枚葉式ウエハ清浄化システムである。

ここで図を参照する。図中、同様の数字は、複数の図を通じて同様の構成要素を示すのに用いられる。

図１は、２０℃のＨ_２ＳＯ_４（９８ｗｔ％）が急速に攪拌されたビーカー内で２０℃の液体の水又は２０℃のＨ_２Ｏ_２（３０ｗｔ％）と混合されるときの温度を示している。領域Ａでは、Ｈ_２ＳＯ_４の体積割合が約１００％と５７％との間で、Ｈ_２ＳＯ_４／水の混合物の温度は水の含有量と共に上昇する。領域Ｂでは、約５６％と３６％の間の割合で、Ｈ_２ＳＯ_４／水の混合物の温度は水の含有量の増大によって低下する。領域Ｃでは、約３５％と１０％の間の割合で、混合物の温度は水の含有量の増大と共に急激に減少する。Ｈ_２Ｏ_２が混合されたＨ_２ＳＯ_４の温度プロファイルも同じ傾向にしたがうが、最大温度はわずかに低い。約１１０℃（最終温度は１３０℃）の温度上昇は、約５７ｖｏｌ％のＨ_２ＳＯ_４と４３ｖｏｌ％のＨ_２Ｏ_２との混合物であるＨ_２ＳＯ_４／水の混合物によって得られる。水：Ｈ_２ＳＯ_４の混合物のＨ_２Ｏ：Ｈ_２ＳＯ_４のモル比も上の軸に示されている。領域ＡとＢとの間の境界は水：Ｈ_２ＳＯ_４の比が約２：１で、領域ＢとＣとの間の境界は水：Ｈ_２ＳＯ_４の比が約５：１である。

図２は、図１の水が加えられた曲線の導関数を示している。これは、１％の水の含有量の増大についての温度上昇を溶液中でのＨ_２ＳＯ_４の割合の関数として示している。Ｈ_２ＳＯ_４の割合が１００％から３７％までのｄＴ／ｄ（含水量）はほぼ線形に減少している。理論に固執するわけではないが、溶液の温度上昇（混合熱）は、水分子が各硫酸分子周辺に配意することによる水和熱によって引き起こされると考えられる。たとえ硫酸組成物の温度が水の沸点を超えているときときでさえ、本発明では、水と硫酸分子との間でのこのような強い引力は、大気から水蒸気を引き込み、かつ、硫酸組成物へ挿入する乾燥作用を駆動させる。約５５％ｖｏｌ％の硫酸では、水和熱は加えられた水の熱的負荷によって均衡がとられ、かつ、さらに加えられた水は混合物への正味の冷却効果を有する。約３７ｖｏｌ％のＨ_２ＳＯ_４で、Ｈ_２ＳＯ_４の水和は完了しているように見える。図１のように、図２の上のｘ軸は、溶液中での水：Ｈ_２ＳＯ_４のモル比を示している。水和は、１モルのＨ_２ＳＯ_４につき約５モルの水が存在するときに完了するように見える。

図１とは対照的に、本発明は、水蒸気を硫酸組成物へ凝集させることによって水をその硫酸組成物へ加える。この結果、Ｈ_２ＳＯ_４とＨ_２Ｏとの間での混合熱だけではなく、水が硫酸組成物へ凝集するときに回復する気化熱によっても組成物は過熱される。Ｈ_２ＳＯ_４へ液体の水を加えるのと比較して、水蒸気の気化熱からの熱的寄与は、所与の量の希釈についてより大きく温度を上昇させることを可能にする。

図３Ａと図３Ｂは、本発明のプロセスを実行するのに有用な装置の一例を示している。図３Ａは、化学混合マニフォールド９０、再循環タンク５０、及びプロセスボウル１２を有する主システム構成要素を示すバッチ噴霧プロセッサ１０の概略図を示している。装置１０は、たとえばＴＥＬ ＦＳＩから販売されているＭＥＲＣＵＲＹ（登録商標）又はＺＥＴＡ（登録商標）噴霧プロセッサに含まれる噴霧処理装置の概略的な代表図である。装置１０は概して、処理チャンバ１６を画定するボウル１２と縁部１４を有する。ウエハ様の対象物１８がキャリア２０（たとえばＴＥＦＬＯＮ（登録商標）カセット）内に設けられる。キャリア２０は、回転台ポスト（図示されていない）によって回転する回転台２２上に保持される。回転台２２はモータ駆動シャフト２４に結合される。水又は窒素は、（複数の）供給ライン３２から供給され、かつ、回転台ポスト（図示されていない）を介して処理チャンバ１６内に分注されて良い。１種類以上の化学物質もまた、（複数の）供給ライン３４から供給され、かつ、直接ウエハ１８へ向かうか、かつ／あるいは、中央噴霧ポスト３６を介して直接回転台２２へ及び／又は（複数の）ライン３８を通って側部噴霧ポスト４０を介してウエハへ向かうように処理チャンバ１６内へ分注されて良い。

たとえば供給ライン３４は化学物質再循環システム４９と流体をやりとりするように結合されて良い。再循環システムは化学物質供給ライン６７と６８を有して良い。化学物質供給ライン６７は、フィルタ６４と６６及びポンプ６２を有し、かつ、再循環供給タンク５０と流体をやり取りするように結合して良い。再循環供給タンクには、再循環ドレイン５４と新たな化学物質用の構造物５２からプロセス用化学物質が供給されて良い。窒素ブランケット５６はタンク５０の頭隙内で用いられて良い。タンク５０内のプロセス化学物質の温度を制御するため、タンク５０は、加熱コイル５８、冷却コイル６０，及び温度プローブ４１を有して良い。化学物質供給ライン６８はたとえば洗浄用の窒素及び蒸留水を供給して良い。化学物質を処理チャンバ１６へ供給した後、未使用の化学物質がドレイン７０へ入り込んでドレインマニフォールド７１へ向かって良い。ドレインマニフォールドから、化学物質は様々な流出口−たとえば再循環ドレイン５４、排出口７２、蒸留水ドレイン７４、予備流出口７４、予備流出口７６、予備流出口７８、予備流出口８０、予備流出口８２−へ案内されて良い。

供給ライン３４はまた新たな化学物質混合マニフォールド９０と流体をやりとりするように結合されても良い。マニフォールド内では、ライン９１〜９４からの新たな化学物質の制御された流れが混合されることで、所望の混合物が生成される。前記所望の混合物は、（複数の）ライン９８を介して中央噴霧ポスト３６へ送られるか、あるいは、ライン９３と３８を介して側部噴霧ポスト４０へ送られる。任意で化学物質の混合物は、ライン９８内のライン内赤外ヒータによって加熱されて良い（ヒータは加熱されていない）。あるいはその代わりに、１種類以上の供給化学物質が、ライン９１〜９４のうちの１つ以上内に設けられた赤外ヒータによって加熱されて良い。

装置１０の構成及び使用については、特許文献１乃至５でさらに説明されている。特許文献１乃至５の内容のすべては本願に援用される。

図３Ｂは、本発明による装置１０を用いた一の代表的実施モードを示している。基板１８上にコーティングされたカーボン材料（たとえばカーボン膜）を実質的に均一にコーティングするのに有効な量の液体硫酸組成物４２が、中央噴霧ポスト３６及び／又は側部噴霧ポスト４０（図示されていない）からウエハ１８上へ供給される。この実質的に均一なコーティングは、前処理−たとえば、表面を供する前処理液体と共に同一の装置を用いること−によって促進されて良い。このときモル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する液体硫酸組成物は、前記表面に付与されるときに、前記表面上を実質的に均一にコーティングする。上述したように、前処理組成物はたとえば基板の表面特性を改質する液体硫酸組成物の事前付与であって良い。その結果、モル比にして約５：１を超えない水／硫酸を有する液体硫酸組成物の後続の（継続する）液体硫酸組成物の付与が前記基板を実質的に均一にコーティングするものを含む。任意で他の表面改質成分−たとえば希望に応じて表面特性を改質するように機能する界面活性剤又は溶媒−が、前処理液体中で用いられて良い。さらなる成分が、前処理溶液を化学的に改質するために加えられて良い。たとえば少量の酸が、水性前処理溶液へ加えられて良い。

液体硫酸組成物４２が供給された後（又はその間又はその前）、熱水４４が回転台２２へ供給される。熱水４４の一部が揮発することで、チャンバ雰囲気の水蒸気含有量（湿度）が上昇する。

本発明による方法は、半導体基板の表面からカーボン材料の少なくとも一部を除去するのに用いられて良い。

半導体器表面から除去されるべきカーボン材料は一般的に、膜のコーティングとして存在する。典型的なカーボン膜材料には、アモルファスカーボン、ダイアモンド様カーボン、及びグラファイトカーボンが含まれる。これらは周知の材料である。一部の短距離秩序がアモルファスカーボンには観測されるが、アモルファスカーボンとは概して顕著な結晶構造を欠く。一部の実施例では、アモルファスカーボン材料は、水素によって安定化されて良い（水素化アモルファスカーボンと呼ばれる）。

一部の実施例では、カーボン膜は、半導体基板上に（たとえばハードマスク又はパターニングされたハードマスクとして）堆積され、続いて半導体基板には、カーボン膜が存在する状態で少なくとも１回の処理が施される（基板内の特徴部位のエッチング）。たとえばカーボン膜は基板上でパターニングされ、かつ、基板の特徴部位は、パターニングされたカーボン膜をマスクとして用いることによってエッチングされて良い。カーボン膜は、プラズマＣＶＤ及びプラズマが存在しない状態での熱ＣＶＤを含む様々な堆積法を用いて基板上に堆積されて良い。カーボン膜の堆積は、炭化水素気体並びに任意で希ガス及び／又は酸素含有気体を用いて良い。たとえばアモルファスカーボンのようなカーボン膜をハードマスクとして堆積及び使用することは周知であり、かつ、たとえば特許文献６に開示されている。特許文献６の内容の全ては本願に援用される。ハードマスクは、ポリマー又は他の「柔らかい」有機レジスト材料の代わりにエッチマスクとして処理に用いられる材料を含んで良い。ダイアモンド様コーティングを基板に堆積することも周知であり、かつ、たとえば特許文献７に開示されている。特許文献７の内容の全ては本願に援用される。グラファイトカーボンを基板に堆積することは周知であり、かつ、たとえば特許文献８に開示されている。特許文献８の内容の全ては本願に援用される。

任意でカーボン膜は、処理（たとえばカーボン膜をパターニングされたハードマスクとして用いた下地層のエッチング）の間、１種類以上の元素が注入されて良い。続いて処理後の本発明による清浄化プロセスにおいて、パターニングされたカーボン膜は、基板から除去されて良い。

本発明によって除去されるべきカーボン材料は、ドーピングされて良いし、又は、ドーピングされなくても良い。一部の実施例では、カーボン材料は少なくとも１つのドーパントを含む。典型的なドーパントは、Ｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｔａ、若しくはＡｌ、又はこれらを組み合わせたものを含む。

カーボン膜は、広範囲の厚さを除去する前に半導体基板上に存在して良い。一部の実施例では、基板から除去されるべきカーボン膜は、１００〜２００００Å範囲で、好適には１０００〜１５０００Å範囲の厚さを有する。たとえばカーボン膜は、少なくとも１０００Åで、好適には少なくとも２０００Åで、かつさらに好適には少なくとも５０００Åの厚さを有して良い。

上述したように、一部の実施例では、カーボン膜は、半導体基板上又は半導体基板中に存在する他の材料に対するハードマスク（エッチマスク）として存在する。たとえば半導体基板は、酸化層（たとえば二酸化シリコン）及び／又はシリコン窒化物のような他の材料（を１層以上）を含んで良い。典型的な半導体基板はウエハ１８として表されている。

好適には、本発明によるカーボン材料の少なくとも一部の除去方法は、酸化層（たとえば二酸化シリコン）及び／又はシリコン窒化物に対するカーボン膜（たとえばパターニングされたアモルファスカーボン）の少なくとも一部を選択的に除去して良い。好適実施例では、実質的に全てのカーボン膜が選択的に除去されて良い。たとえばカーボン材料は、本発明によって除去されて良い。その結果、半導体基板表面上には視認可能なカーボン材料は残らず、かつ／あるいは、残留カーボン材料は、たとえばエリプソメータのような検出機器を用いても基板表面上では検出されない。

本発明によると、前記カーボン材料は、酸化層及び／又はシリコン窒化物のような他の層と比較して選択的に除去されて良い。一部の実施例では、カーボン材料の少なくとも一部が除去される一方で、毎秒８Å未満で、好適には毎秒７Å以下で、好適には毎秒６Å以下で、好適には毎秒５Å以下で、好適には毎秒４Å以下で、好適には毎秒３Å以下で、好適には毎秒２Å以下で、好適には毎秒１Å以下で、より好適には毎秒０．５Å以下のシリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンが基板から除去される。

本発明によるカーボン材料の除去方法は、任意の所望の期間内に実行されて良い。好適には、液体硫酸組成物は、５分以下の期間、好適には２分以下の期間、好適には１分以下の期間、より好適には３０秒以下の期間、基板−たとえばウエハ１８−上に供給される。

液体硫酸組成物４２は、約５：１を超えない水／硫酸のモル比を有する。よって液体硫酸組成物は水の含有量で限定される。

より好適には、液体硫酸組成物は高濃度である。液体硫酸組成物は、好適には少なくとも約８０ｖｏｌ％の硫酸濃度で、より好適には少なくとも約９０ｖｏｌ％の硫酸濃度で、最も好適には少なくとも約９４ｖｏｌ％の硫酸濃度で供給される。図１と図２に図示されているように、これらのような高いＨ_２ＳＯ_４濃度の結果、Ｈ_２ＳＯ_４組成物へ凝集する水蒸気の単位量あたりでの温度上昇は最大となる。

本発明の実施例では、液体硫酸組成物４２は過酸化水素を含む。過酸化水素は、カーボン材料をＣＯ_２と水に分解することを支援する酸化剤として機能する。過酸化水素は、約５：１を超えない水／硫酸のモル比を有する液体硫酸組成物を供するように、濃硫酸が混合された含水溶液中に便宜上供される。有利となるように、濃硫酸と含水過酸化水素溶液とを混合することで、発熱反応による熱が発生し、その結果、組成物の加熱専用の熱源からの用いられるエネルギーを少なくしながら、過酸化水素を含む液体硫酸組成物を昇温した温度で供することができる。この発熱反応は通常、組成物の重要な熱源である。しかし本発明では、硫酸組成物と水蒸気との反応によって所望の熱が供され、かつ、水系過酸化水素を過剰に加えることで、この硫酸−蒸気反応は抑制できる。したがって本願に記載された濃硫酸組成物中での蒸気の効果の知見によって、当業者はいまや、Ｈ_２Ｏ_２の濃度を調節することで、カーボン材料を酸化させるのに十分な反応体を供給しながら、Ｈ_２ＳＯ_４−蒸気反応によって発生する熱を同時に最適化することができる。一部の実施例では、Ｈ_２Ｏ_２の濃度は２０ｖｏｌ％〜４０ｖｏｌ％の範囲内−たとえば約３０ｖｏｌ％−である。過酸化水素は、不適切な程度にまで過酸化水素を劣化させない、液体硫酸組成物へ導入される前の温度であることが好ましい。たとえば一部の実施例では、過酸化水素は、液体硫酸組成物へ導入される前には約室温である。

本発明の態様では、酸化剤は、液体硫酸組成物の供給前、供給中、又は供給後に処理チャンバ内へ導入されて良い。たとえば、過酸化水素は、液体硫酸組成物を処理チャンバへ導入する前、あるいはその代わりに、処理チャンバ内に液体硫酸組成物を供給する間又はその後、液体濃硫酸と混合されて良い。過酸化水素と液体濃硫酸との混合は、静的ミキサ法又は能動的混合法を用いて実現されて良く、あるいは、単に一の溶液と他の溶液とを接触させても良い。この接触のとき、混合は単なる拡散によって実現される。他の物質−たとえばオゾン−も同様に、希望に応じて、液体硫酸組成物内に含まれて良い。たとえばオゾンのような水を含まない酸化剤がＨ_２Ｏ_２よりも優れていると思われる。なぜなら水を含まない酸化剤はＨ_２ＳＯ_４組成物を希釈しないからである。たとえばＨ_２Ｏ_２以外の酸化剤が、本発明の硫酸−蒸気プロセスにおいて利用されて良い。たとえばオゾン、硝酸、クロムイオン（Ｃｒ^＋６）、又はセリウムイオン（Ｃｅ^＋４）が、本願で説明したプロセスにおいて含まれて良い。特に、これらの種は無水状態でＨ_２ＳＯ_４に加えられるので、Ｈ_２ＳＯ_４は相対的に希釈されないままである。他の酸化剤が用いられても良い。

好適には、過酸化水素の濃度について上述したことと同様に、Ｈ_２ＳＯ_４とＨ_２Ｏ_２とのモル比は、カーボン材料を酸化させるのに十分な反応体を供給しながら、Ｈ_２ＳＯ_４−蒸気反応によって発生する熱を釣り合わせるように選ばれて良い。一部の実施例では、Ｈ_２ＳＯ_４とＨ_２Ｏ_２とのモル比は、５：１〜２０：１の範囲内で、好適には１０：１〜１６：１の範囲内であって良い。

液体硫酸組成物は、好適には少なくとも約９０℃の温度で、より好適には約９０℃〜約１５０℃の温度で供給される。他の実施例では、液体硫酸組成物は約９０℃〜約１２０℃の温度で供給されることが好ましい。他の実施例では、液体硫酸組成物は、水蒸気への曝露前に少なくとも約１３０℃の温度で供給され、より好適には１３０℃乃至２２０℃未満の範囲の温度で供給され、好適には１６０℃乃至２００℃未満の範囲の温度で供給され、好適には１６０℃乃至１８０℃未満の範囲の温度で供給される。他の実施例では、液体硫酸組成物は、水蒸気への曝露前に、２００℃乃至２２０℃未満の範囲の温度で供給される。液体硫酸組成物４２を導入することで、水の表面は硫酸で濡れる。好適には、ウエハ１８上にコーティングされたカーボン材料を除去する十分な硫酸の機能を供する量の液体硫酸組成物４２がウエハに付与される。液体硫酸組成物は、好適には少なくとも約５μｍの厚さで、より好適には少なくとも約１０μｍの厚さのカーボン材料がコーティングされた基板上に供給される。本発明の実施例では、液体硫酸組成物は、約１０μｍ〜約１４０μｍの厚さで、好適には約１０μｍ〜約６０μｍの厚さのカーボン材料がコーティングされた基板上に供給される。

一の実施例では、ウエハ１８は、水の沸点よりも低い温度−たとえば約２０℃〜約６０℃の温度−で供される。ウエハ１８は、液体硫酸組成物の供給前、供給注、又は供給後のいずれかで少なくとも約９０℃の温度に加熱されることが好ましい。より好適には、ウエハ１８は約９０℃〜約１５０℃の範囲の温度に加熱される。他の実施例では、ウエハは約９５℃〜約１２０℃の温度に加熱される。この加熱はたとえば、放射熱を利用したチャンバの加熱、濃硫酸組成物の付与前に加熱液体を実質的に除去しての熱水又は他の液体溶液のウエハへの導入、加熱された気体のチャンバへの導入等によって実行されて良い。液体がウエハへ直接接触することによってそのウエハを加熱するのに用いられる場合、十分な量の液体が、濃硫酸組成物の導入前にウエハから除去される。その結果、濃硫酸組成物は、水蒸気への液体硫酸組成物の曝露前に所望のレベルの硫酸濃度を維持する。

本発明の一の実施例では、ウエハは、１枚以上のウエハを液体の加熱槽に沈め、その槽の内容物を迅速に排出し（たとえば「クイックダンプ」処理）、かつ、後述する他の処理工程を実行することによって予備加熱されて良い。槽の液体はたとえば蒸留水であって良い。蒸留水は、硫酸、硫酸／過酸化水素混合物、不活性流体（たとえばフルオロカーボン）、硫酸／オゾン混合物等を含む。この実施例は、ウエハをより効率的に加熱することによって処理プロセスのスループットを改善するという実質的利点を供することができる。この実施例を利用するのに用いられ得る特に適切な処理システムの例は、ＴＥＬ ＦＳＩが販売するＭａｇｅｌｌａｎ（登録商標）システムである。

水蒸気は任意の適切な方法でチャンバへ導入される。図３Ｂに図示されているように、加熱された蒸留水は、中央噴霧ポスト３６の底部４６から下方の回転する回転台２２上で飛び散る（ｓｐｌａｓｈ ｄｏｗｎ）。この「スプラッシュダウン」法では、水蒸気が生成される。あるいはその代わりに、水蒸気は、他の任意の適切な水蒸気生成方法−たとえば処理チャンバ内での水の加熱及び／又は攪拌−によって処理チャンバ内部に生成されて良い。さらに他の場合では、水蒸気は、処理チャンバ外部で生成され、かつ、所望の水蒸気の状態で処理チャンバへ導入されて良い。たとえば外部で生成された水蒸気は、気体として、あるいは、複数の気体の混合物の成分としてチャンバへ供給されて良い。一の実施例では、蒸気は、水（好適には熱水）の列を介して気体（たとえばＮ_２）の気泡を発生することによって生成されて良い。他の実施例では、気体は多量の水の表面を通り抜けて良い。他の実施例では、気体は化学工学において広く用いられている潅液充填塔を通過しても良い。他の実施例では、実質的に純粋な水蒸気が液体の水を沸騰させることによって生成されて良い。これらの他の方法で生成された気体生成物はさらに加熱されて良い。他の実施例もまた考えられ得る。典型的実施例では、蒸気は約２８ｐｓｉの圧力でチャンバ外部にて生成され、かつ、その蒸気がチャンバへ入った後、チャンバの圧力は約２０ｐｓｉである。典型的な蒸気の流量は約１００ｓｌｍを含む。

水蒸気は、約７０℃〜約１５０℃の水蒸気温度でウエハに曝露されるように導入されることが好ましい。たとえば一部の実施例では、この目的のため、水蒸気は、液体硫酸組成物への曝露前に８５℃よりも高い温度で、好適には液体硫酸組成物への曝露前に１２０℃よりも高い温度（たとえば１３０℃）である。一部の好適実施例では、水蒸気は、約８０℃〜約１１０℃の水蒸気温度でウエハに曝露されるように導入される。特に有利な実施例では、水蒸気は、約８５℃〜約９８℃の水蒸気温度でウエハに曝露されるように導入される。この実施例は有利である。なぜなら水蒸気が、前述の「スプラッシュダウン」法によって容易に生成されるからである。水は沸点ではないので、不適切に飛び散ることなく水の流れの流入の制御が容易に実現される。様々な有利な実施例では、水蒸気は、約１００℃の水蒸気温度でウエハに曝露されるように導入される。この実施例は、従来の蒸気生成装置によって処理容器内部又は外部のいずれかで蒸気を生成する従来の条件下で水を沸騰させることによって相対的に容易に実行される。

他の実施例では、水蒸気は、水蒸気への曝露前の液体硫酸組成物の温度よりも高い温度で供される。この実施例は、直接的な伝熱による液体硫酸組成物の直接加熱及び上述の液体硫酸への水蒸気の凝集の差異のエネルギーの輸送の利点を供する。ある実施例では、この目的のため、水蒸気は約１５０℃よりも高い温度で供される。

任意で水蒸気は希望に応じて他の化学物質−たとえば過酸化水素又はオゾン−をさらに含んで良い。

液体硫酸組成物の温度を、水蒸気に曝露される前の液体硫酸組成物の温度よりも、かつ、好適にはさらに水蒸気の温度よりも上昇させるのに有効な量の水蒸気が、処理チャンバへ導入される。本発明の実施例では、前記液体硫酸組成物は水蒸気に曝露される。前記水蒸気の量は、前記基板上の前記液体硫酸組成物の温度を、（ｉ）前記水蒸気に曝露する前の前記基板上での液体硫酸組成物の温度、及び、（ｉｉ）前記水蒸気の温度の両方よりも高い温度に上昇させるのに有効な量である。驚くべきことに、液体硫酸組成物の温度が水の沸点付近又はそれよりも高いときでさえ、水蒸気は依然として、液体硫酸組成物の温度を上昇させるようにその液体硫酸組成物と協働する。それにより液体硫酸組成物の温度を上昇させる有効性を除去するカーボン材料が改善される。

十分な液体硫酸組成物と水蒸気が存在し、かつ、液体硫酸組成物の温度を、好適には少なくとも約２０℃で、より好適には少なくとも約４０℃で、より好適には少なくとも約６０℃上昇させるように混合される。液体硫酸組成物はウエハ上の所定の位置に存在するので、これは特に重要である。液体硫酸組成物自体は、ヒートシンクとして機能し、かつ、相当量のエネルギーを吸収して液体硫酸組成物の温度に近い温度を維持する。基板表面上での液体硫酸組成物の温度は、任意の適切な測定方法によって決定されて良い。本発明の目的では、適切な温度近似は、回転台２２上のウエハキャリアの回転中に処理容器壁に供給された液体の温度を測定する温度プローブ４１を用いることによって行われて良い。この測定を実行するため、温度プローブは処理容器内に設けられて良い。一の実施例では、色の変化で温度を示す材料が、処理容器内で到達した最大温度を示すのに用いられて良い。

水蒸気への液体硫酸組成物の曝露は、カーボン材料がコーティングされた基板上に存在するときに液体硫酸組成物の温度を上昇させるのに有効となる任意の時期に実行されて良い。一の実施例では、水蒸気が、液体硫酸組成物の供給中に処理チャンバへ導入される。この実施例では、液体硫酸組成物の温度は、その組成物が基板と接する前でさえも上昇し始め得ることに留意して欲しい。この実施例では、上述した水蒸気への曝露の際の液体硫酸組成物の温度の上昇は、供給時での液体硫酸組成物の温度と水蒸気への曝露後の液体硫酸組成物の最大温度との間の差異となり得る。

本発明の他の実施例では、液体硫酸組成物は、連続流ではなく、むしろ複数の離散パルスで供される。これらのパルスは、短くて（つまり約３〜１０秒の長さ）かつ大きな流れ（つまり約２〜８ｌｐｍの流量）であることが好ましい。パルス間の液体が流れない状態では、約５〜２０秒の期間が存在することが好ましい。パルスの液体流で動作するとき、水蒸気は任意でパルス注にしか導入されないことで、本発明のプロセス中チャンバから流れる水蒸気の量が減少する。同様に、水蒸気は任意で、硫酸組成物が基板に接触する前又はパルス間に、硫酸組成物の温度上昇を改善するようにパルス中に導入される。その結果、基板上に存在する間にその組成物の加熱が強められる。

他の実施例では、液体硫酸組成物の供給は、水蒸気の導入前に中断される。この実施例の態様では、基板には、相対的に停滞する液体硫酸組成物のコーティングが供される。任意で基板の回転は、約２０ｒｐｍ未満の速度にまで減速されるか、あるいは、液体硫酸組成物の供給中及び／又は供給後で、かつ、水蒸気への液体硫酸組成物の曝露中に中断される。このプロセスは、基板上のこの液体硫酸組成物のコーティング（又は「貯留（ｐｏｏｌｉｎｇ）」）の維持を促進するために実行される。理論に固執するわけではないが、液体硫酸組成物が、特に水蒸気への液体硫酸組成物の曝露中にバルクの運動をほとんど示さないため、その液体は、基板のすべての地点にわたって同程度の速度で基板表面上の意図しない材料を溶解及び／又は除去しようとすると考えられる。この改善された均一性は、水蒸気への液体硫酸組成物の曝露中の均一な曝露によるものであると考えられる。それに加えて又はその代わりに、意図しない材料の改善された均一な除去（特にＳｉＯ_２の除去）は、コーティング全体にわたって溶解される意図しない材料によって液体硫酸組成物の飽和速度が均一になるためであると考えられる。液体硫酸組成物の供給はさらに、流量、供給時間、及び遠心力による液体硫酸組成物の除去速度を変化させることで液体硫酸組成物の厚さを変化させることによって調節されて良い。さらに意図しない材料の除去の浸食度合いは、蒸気工程後に使用済み硫酸溶液の混合物を減らし、硫酸溶液混合物の新たな層を付与し、かつ、蒸気をチャンバへ再導入することによって増大し得る。

上述したように、液体硫酸組成物４２は、噴霧ポスト３６及び／又は４０からウエハ１８へ供給される。水処理装置のある構成では、噴霧ポストの位置設定及びポストからの流体流の方向が、本発明のプロセスの性能に影響を及ぼすことがわかった。固定された噴霧ポスト構成を有する水処理装置では、供給された流体は、ウエハの一部で液体の濃度が大きくなるように堆積される傾向がある。たとえば中央噴霧ポスト３６から供給される液体は、基板上の中央噴霧ポスト付近で大きな濃度で堆積される傾向にある。また回転台２２の一部の方位では、中央噴霧ポストからの液体の大部分は、ウエハ間を通過し、かつ、廃棄されて良い。有利となるように、優れた堆積効率及び均一性は、側部ボウル噴霧ポスト４０（ＳＢＳＰ）を用いることによって実現されて良い。しかしチャンバの面に対して法線方向へＳＢＳＰによって供給されて回転台の回転軸へ直接向かう噴霧もまた、中央噴霧ポスト付近で過剰に液体を堆積させようとする。通常噴霧は、回転台の一部の方位で、ウエハ間を通過する液体をさらに廃棄する。優れた堆積パターンは、チャンバの主要面からの法線を外すように、かつ／あるいは、回転台の中心から離れるように噴霧ポスト（及び特にＳＢＳＰ）からの液体の噴霧角度を設定することによって観測され得る。噴霧に角度がつけられる結果として、ＣＳＰ付近での堆積が「集束」しなくなる一方で、個々の角度は均一な被覆を満足しなくなる。本発明の実施例における噴霧角度は静止している。本発明の他の実施例では、（複数の）基板を保持する回転台は、基板表面上に液体硫酸組成物を供給する間に回転し、かつ、液体硫酸組成物は、掃引運動において回転台に対する様々な角度で液体を噴霧することによって供給される。この実施例の一の態様では、噴霧角度は液体硫酸組成物の１回の供給中に変化する。この実施例の他の態様では、複数の液体供給が１回の処理サイクルで実行されるとき、噴霧角度は、液体硫酸組成物の一の供給から他の供給へ変化する。

液体硫酸組成物の噴霧角度を変化させる（又は「掃引する」）結果、噴霧の集束位置が変化し、その結果均一な液体の堆積となる。ウエハ−キャリアシステム上での入射噴霧角が変化することで、カセットと回転台の構造部材によるシャドーイング効果も減少する。噴霧角を変化させることは多くの方法−たとえば噴霧機構の回転又は様々な角度での複数の噴霧機構を介した噴霧−で可能である。

ＳＢＳＰ４０の噴霧方向を変化させる好適方法及び装置が図８に図示されている。図８は、３つのオリフィスノズル１２２を用いて噴霧を案内するシステム１２０を示している。このノズルでは、中央オリフィス１２４には、液体流１２６を引き出すのに十分な圧力下で液体源（図示されていない）からの液体が供される。気体オリフィス１３０には、気体源１３４から制御バルブ１３６を介して気体が供される。気体は、噴霧を同時に変更及び霧状にするオリフィス１３０からの気体流１３８を引き出すように制御された圧力で供される。同様に気体オリフィス１４０には、気体源１４４から制御バルブ１４６を介して気体が供される。気体は、噴霧を同時に変更及び霧状にするオリフィス１４０からの気体流１４８を引き出すように制御された圧力で供される。噴霧方向は、液体噴霧流に方向を与えるように気体流１３８と１４８の流れを修正することによって調節されて良い。気体流のグラデーションが微細になることで、噴霧方向の調節を微細することが可能となる。２つの気体源からの流れが等しいことで、噴霧パターンは、噴霧機構の面に対して垂直となる位置で中心をとる。噴霧は、離散的に偏向されて（たとえば１０秒で＋２０°、その後１０秒で＋３０°等）良いし、あるいは、連続的に掃引されても良い。気体流は、たとえばたとえばマスフローコントローラによって連続的な範囲にわたって又は複数のオリフィスによって離散的に変調されて良い。このシステム１２０は、半導体ウエハの処理に用いられるのに特に有利である。なぜならこのシステム１２０は、優れた液体の噴霧の方向と力の制御を供するからである。さらにこの優れた制御は、処理チャンバ内に可動部分を有する装置を設置する必要なく供される。処理チャンバ内での可動部分の数を抑制することは望ましい。なぜなら可動部分は、可動部品の摩耗によってチャンバ内に小さな粒子を導入する可能性を増大させてしまうからである。それに加えて、装置が処理チャンバ内に設けられていない場合には、その装置の点検は顕著に簡略化される。

処理チャンバへの液体硫酸組成物の噴霧導入を静止させる場合又は掃引する場合のいずれかでは、噴霧方向はチャンバ内での基板の回転に対して調節されていることが好ましい。本発明の実施例では、搬入されるウエハがチャンバ内の回転台上で回転する際に、その搬入されるウエハへの噴霧は角度をなす。つまり側部ボウル噴霧ポスト４０からの噴霧は、回転台が時計回りに回転する間には右方向に偏向され、かつ、回転台が反時計回りに回転する間には左方向に偏向される。

本発明の他の実施例では、カセット及び回転台の構造部材によるシャドーイング効果並びに／又はチャンバ内のある位置での液体の過集中は、ある方向での噴霧流を妨害若しくは阻止する偏向部材をチャンバ内に設けることによって改善され得る。これらの部材は、ボウル１２又は縁部１４によって支持されるので、実質的に静止しているか、あるいは回転台２２によって支持されて良いので、回転ウエハに対して実質的に固定された位置に存在して良い。

本発明の実施例では、基板は、カーボン材料の除去を支援するように予備加熱され得ることも考えられる。

記載された方法−たとえば、液体流体組成物による処理前、処理中、又は処理後でのメガソニックエネルギーへの基板の曝露−の間にさらなる操作を行うこともまた考えられる。

本発明の方法で用いられる装置は、既知のプログラム可能な噴霧処理装置−たとえばＴＥＬ ＦＳＩから販売されているＭＥＲＣＵＲＹ（登録商標）又はＺＥＴＡ（登録商標）のような遠心噴霧装置−を修正し、化学容器に必要な溶液を供し、かつ、本願で示唆したプログラムによって装置の制御装置を設定することによって準備されて良い。他の既知のバッチ噴霧装置及び枚葉式噴霧装置は、本発明を実行するのに同じように修正されて良いことに留意して欲しい。

他の実施例では、本発明のプロセスは、「枚葉式ウエハ」モードで一度に１つのウエハに適用されても良い。図７は、枚葉式ウエハ処理装置１００の一の実施例を示している。この実施例では、ウエハがモータ１０４のシャフト上に載置される保持チャック（図示されていない）上でされていることで、硫酸組成物１０２がダクト１０１からウエハ１０３上に供給される。水蒸気１０５がダクト１０６を介して導入される。装置は、所望のレベルの蒸気がウエハ表面で維持され得るようにチャンバ１０７内で十分に閉じられている。

一の実施例では、装置１００は、ダクト１０１から硫酸組成物を連続的に供給するように動作して良い。ダクト１０１は静止しても良いし、あるいは、ウエハ１０３に対して動いても良い。蒸気は、供給開始前、供給中、又は供給後のいずれかで装置へ導入されて良い。

他の実施例では、ウエハ全体が硫酸組成物によって浸され、供給が中断される。それにより、その組成物は、ウエハ上に相対的に均一な厚さの膜を生成することが可能となる。この実施例では、ウエハには、上述したように相対的に滞留した液体流体組成物のコーティングが供されて良い。任意で基板の回転は、基板上での液体流体組成物のこのコーティングの維持を促進するように減速又は中断される。蒸気は、供給開始前、開始中、又は開始後に装置へ導入されて良い。任意で供給は、ウエハ表面に新たな反応体を供給するように繰り返されて良い。任意でウエハは、供給と供給の間に、ウエハ上に存在するほとんどの硫酸組成物を廃棄するように急速に回転して良い。任意でウエハは、レジストの薄い層を生成するのに半導体産業において用いられているように供給ダクト１０１を動かすことによって硫酸組成物の薄い層でコーティングされて良い。

本発明の実施例では、硫酸組成物は、実質的に供給ダクト１０１に残った際の温度でウエハ表面に到達する。一の実施例では、ウエハと接触する前に、蒸気を吸収し、かつ、加熱できる小さな液滴に組成物を分解することが有利となり得る。係る液滴はたとえば、蒸気組成物若しくは他の気体によって硫酸組成物を霧状にすることによって、又は、硫酸組成物を噴霧ノズルに通過させることによって、又は他の方法によって生成されて良い。ウエハ全体わたってこの加熱された硫酸組成物源を動かすことは有利となり得る。

本発明の実施例では、硫酸組成物は、水蒸気を含む気体にその組成物を接触させることによって、その組成物が供給ダクト１０１を飛び出す前に予備加熱されて良い。たとえば水蒸気を含む気体は、加熱抵抗管（たとえば石英）中で“Ｔ”で硫酸組成物と結合されて良い。この実施例は、硫酸組成物の得られる温度が混合された硫酸組成物又は蒸気の温度よりもはるかに高くなり得るという利点を供する。

他の実施例では、本発明の方法は、図９に図示されたシステム−図１０に図示された噴霧棒を含む−によって実行されて良い。図９は、本発明を実行する修正された噴霧処理システム２１０を図示している。システム２１０では、ウエハ２１３は、たとえば特定のマイクロエレクトロニクス基板として、スピンモータ２１５によって駆動される回転可能チャック２１４上で支持される。システム２１０のこの部分は、従来の噴霧処理装置に対応する。噴霧処理装置は一般的に知られ、かつ、回転台若しくは回転ラック上で（複数の）ウエハをそれぞれの独自の軸又は共通の軸の周りで回転させることによる遠心力によって液体を除去する機能を供する。本発明による適合に適した典型的噴霧処理装置は、特許文献９及び１０に記載されている。特許文献９及び１０の全内容は本願に援用される。

噴霧処理装置型の装置は、たとえばＯＲＩＯＮ（商標）、ＭＥＲＣＵＲＹ（登録商標）、又はＺＥＴＡ（登録商標）のうちの１つ以上の商標が付されてＴＥＬ ＦＳＩから販売されている。本願の適合に適した装置システムの他の例は、特許文献１１又は１２又は１３に記載されている。

噴霧棒２２０は、連続流の状態で、又は、液体エーロゾル液滴としてウエハ２１３上へ液体を案内する複数のノズルを有する。硫酸溶液は、液体供給容器２２２からライン２２３を介して供される。水蒸気流も同様に供給容器２２４からライン２２５を介して供される。過酸化水素は、過酸化水素供給容器２２６からライン２２７を介して硫酸供給ライン２２３へ向かうように供される。この構成は、硫酸溶液へ過酸化水素を加えることを可能にする。この構成は、過酸化水素が硫酸の存在下では貯蔵も加熱もされないという利点と、それに加えて、具体的プロセス要件によって支配される硫酸の量から独立に処理方法で用いられる過酸化水素の量を制御できるという利点を有する。よって可変な過酸化水素濃度が、希望に応じて処理プロセス中に使用されて良い。あるいはその代わりに、過酸化水素はライン２２５で水蒸気流へ供給されて良い。

噴霧棒２２０には、水蒸気流と混合された酸性液体流を衝突させる結果得られる処理組成物のエーロゾル液滴を生成する複数のノズルが供されることが好ましい。好適実施例では、噴霧棒２２０内において、噴霧棒２２０がウエハ２１３上方の位置にあるときにウエハの半径又は直径のいずれかに対応する位置にて約３．５ｍｍの間隔で供される。ノズルは任意で、ウエハの外側端部のノズルの間隔と比較して異なる、回転軸に近い間隔で供されて良い。好適噴霧棒の構成は特許文献１４に記載されている。

本発明の好適ノズル構成を表す噴霧棒２３０の断面図が図１０に図示されている。本発明の目的では、互いに衝突する流れを供するように案内される本体内での一体となるように配置された複数のオリフィスからなる組は、単一のノズルとみなされる。図示された構成では、酸性液体流オリフィス２３２と２３４は、衝突する流れ２４２と２４４を供するように内側へ案内される。水蒸気供給オリフィス２３６が、図示されているようにこの実施例において、液体酸性溶液オリフィス２３２と２３４との間に位置するので、水蒸気流２４６は、ノズル本体の外部で液体酸性流２４２及び２４４と衝突する。この衝突の結果、霧状化が起こることで、液体エーロゾル液滴２４８が生成される。

それに加えて、水蒸気が水蒸気供給オリフィス２３６から排出される際の水蒸気流の圧力が相対的に高いため、基板表面へ向かう方向を有する運動量が改善された状態で液滴が与えられる。よってノズル集合体内においてこのように中央に位置するオリフィスは、基板表面からの材料除去を支援する有利な方向を有する態様を供する。あるいはその代わりに、オリフィスの位置設定は反転されて良い。つまり酸性液体流がオリフィス２３６から供され、かつ、水蒸気はオリフィス２３２と２３４から供されて良い。

任意でさらなる原料−たとえば気体−がノズル集合体内の１つ以上のオリフィスから供給されて良い。

複数の流れの位置と方向及び複数の流れの相対的な力は、結果として得られる液体エーロゾル液滴の方向を有する流れを供するように選ばれることが好ましい。それにより液滴は、所望の処理に影響を及ぼすように基板表面へ案内される。

一の実施例では、液体エーロゾル液滴は、ウエハ表面に対して垂直な角度で表面に接触する。他の実施例では、液体エーロゾル液滴は、ウエハ表面から約１０°〜９０°未満の角度でウエハ表面と接触する。他の実施例では、液体エーロゾル液滴は、ウエハ表面から約３０°〜６０°未満の角度でウエハ表面と接触する。ある実施例では、ウエハは、エーロゾル液滴とウエハ表面とが接触する間に約１０〜約１０００ｒｐｍの速度で回転している。他の実施例では、ウエハは、約５０〜約５００ｒｐｍの速度で回転している。

液滴がウエハと接触する方向は、一の実施例においては、ウエハの回転軸で同心円となる円と位置合わせされて良く、又は、他の実施例においては、ウエハの回転軸から部分的若しくは完全に離れた方位をとって良い。システム２１０は、適切な制御装置（図示されていない）を用いることによって、流体流、流体圧力、流体温度、これらの組み合わせ等を監視及び／又は制御して、特別なプロセス目的を実行するのに望ましいプロセスパラメータを得て良い。

本願で述べた方法の様々な実施例（たとえば硫酸組成物の供給の変化）は、図の具体的装置の使用に限定されず、むしろ現在説明している方法の実行に使用するのに適した処理装置のすべて構成での使用に適用可能であることに留意して欲しい。さらに任意の追加処理が基板上で実行されて良い。たとえば処理手順は、本発明による高温ＳＰＭ（蒸留水−ＳＣ１（ＮＨ_４ＯＨ：Ｈ_２Ｏ_２：Ｈ_２Ｏ）−蒸留水−乾燥）を含んで良い。本発明の原理について以降の例と共に説明する。

例１〜５は、如何にして基板表面上の液体硫酸組成物の水蒸気への曝露が、有機材料−たとえばフォトレジスト−の除去に用いられ得るのかを表している。

[実験方法]
Ａ．実施例１〜５の試料の調製
イオン注入されたフォトレジストの除去の有効性を評価するため、以下のようにウエハ試料が調製された。

２００ｍｍ直径のシリコンウエハがシップレイ（Ｓｈｉｐｌｅｙ）のＵＶ６ ２４８ｎｍフォトレジストによってコーティングされた。

ウエハの中にはパターニングされたもの（パターニングされたウエハ）もあれば、完全なレジスト層が残されたもの（未加工ウエハ）もあった。

パターニングされたウエハと未加工のウエハの両方の試料には、４０ｋｅＶのエネルギーを有する照射量５×１０^１４又は１×１０^１５原子／ｃｍ^２（５Ｅ１４又は１Ｅ１５）のヒ素イオンがイオン注入された。

約２×２ｃｍのレジストがコーティングされたウエハの断片が、完全にパターニングされたウエハと未加工のウエハから劈開され、かつ、高温エポキシを有するキャリアウエハの中心付近に取り付けられた。 ５つのレジスト試料は一般的には各キャリアウエハに取り付けられた。５つのレジスト試料とは、未加工レジスト（注入なし）、未加工レジストで照射量５Ｅ１４、パターニングされたレジストで照射量５Ｅ１４、未加工レジストで照射量１Ｅ１５、及びパターニングされたレジストで照射量１Ｅ１５であった。

Ｂ．剥離効率の評価
処理後、試料は、明視野及び暗視野光学顕微鏡によって検査された。表１は、未加工のレジスト試料とパターニングされたレジスト試料の評価基準を示している。パターニングされた試料は様々なリソグラフィ試験パターンで構成される。パターニングされた試料上の微細線のアレイの剥離と未加工膜の剥離は、処理の剥離効率の指標の役割を果たす。

Ｃ．チャンバ温度の測定
処理チャンバの側部に投与された硫酸／過酸化水素の液体組成物が温度センサ４１によって測定された。この温度は、１秒間隔で記録され、かつ、プロセス全体を通したチャンバ温度の温度履歴を供する。

Ｄ．ウエハ上の温度測定
ウエハ上の最大温度の測定は、特定の昇温で不可逆的に色を変化させるドットを有するようにウエハにラベルを取り付けることによって行われた（オメガエンジニアリング社のＴＬ−１０シリーズ）。ラベルは、剥離用化学物質からの保護用高温エポキシが取り付けられた０．７ｍｍのガラスシートで覆われた。

Ｅ．処理プロセス
上述した方法で調製されたウエハは、ＴＥＬ ＦＳＩから市販されているＺＥＴＡ（登録商標）噴霧処理装置内で処理された。
１．試料ウエハは、２７のウエハキャリアカセットのスロット１３に搬入され、かつ、他のスロットには上に何もないウエハが充填された。このカセット及び第２バランスカセットは回転台２２上に搬入された。必要な場合には、第２試料ウエハがスロット１５に搬入された。
２．回転台２２は１２０ｒｐｍで回転され、再循環槽５０からの加熱Ｈ_２ＳＯ_４（１１０℃）は、約５ｌｐｍの流量で３分間中央噴霧ポスト３６と側部噴霧ポスト４０の両方からウエハ上に供給された。５０ｃｃ／分のＨ_２Ｏ_２が、最後の約１分間の供給中に流れに加えられた。この工程は、ウエハを完全に予備加熱及び濡れさせる役割を果たした。
３．回転台は１２０ｒｐｍで回転され、かつ、混合マニフォールド９０からの９００ｃｃ／分の新たな硫酸組成物（Ｈ_２ＳＯ_４とＨ_２Ｏ_２−ＳＰＭ）の流れが、３０秒間中央噴霧ポスト３６から供給された。Ｈ_２ＳＯ_４は、Ｈ_２Ｏ_２が加えられる前にライン内のＩＲヒータによって９５℃に予備加熱された。ＳＰＭ組成物の混合比は、表２に列挙された処理の間で変化した。
４．プロセスは、上の３において６分間続けられた。ただし本発明の処理では、水蒸気を生成するため、約８ｌｐｍの９５℃蒸留水４４が回転台２２上に供給されたのは除く。
５．蒸留水による６分間の洗浄後、試料は、８０℃のＳＣ−１溶液（ＮＨ_４ＯＨ：Ｈ_２Ｏ_２：Ｈ_２Ｏの体積比が１：１：１５）によって７５秒間処理された。
６．試料は蒸留水によって洗浄されてＮ_２内で乾燥された。

[例]
例１：上からの処理プロセスＥが、水蒸気を加えた状態と水蒸気を加えない状態でＳＰＭの１０：１混合物をもちいて２回実行された（表２の処理手順３と４）。チャンバ壁に抗するように投与された液体の温度が側部ボウル温度センサ４１によって測定された。図４は２つの処理の温度プロファイルを示している。いずれの場合でも、５ｌｐｍの処理の最初の３分でＨ_２ＳＯ_４の再循環流は、側部ボウルセンサを約６５℃に加熱した。３〜９分間、比較例である“ＳＰＭ”のセンサ温度は約７℃〜５８℃付近にまで低下した。対照的に、本発明の例である「ＳＰＭ＋水蒸気」は、同一期間中に６０℃〜１２５℃上昇した。チャンバ内に水蒸気を加えることによって、投与した液体の温度は顕著に上昇した。

例２：上からの処理プロセスＥが表２の８の処理手順を用いて実行された。各処理について投与された液体の最大温度が、ＳＰＭ供給工程の終了時（たとえば図４から読み取ると５４０秒）に側部ボウル温度センサ４１によって測定された。ウエハ上の最大温度は温度センシングラベルによって測定された。図５は、ライン内のＩＲヒータによって９５℃にまで予備加熱されたＨ_２ＳＯ_４を用いた（図１から計算された）ＳＰＭの混合された際の温度と、各処理でのウエハ上の最大温度及び側部ボウルの最大温度を示している。混合された際のＳＰＭの温度はＨ_２Ｏ_２濃度の上昇（Ｈ_２ＳＯ_４の減少）に伴って上昇した。比較例のウエハ上の最大温度と側部ボウルの最大温度もまたＨ_２Ｏ_２濃度の上昇に伴って上昇したが、ＳＰＭの混合された際の温度よりも十分低い温度にとどまった。

対照的に、本発明の水蒸気による処理は、比較例の処理よりも５０〜１００℃高いウエハ上の温度を実現した。これら本発明の温度もまた、比較例での蒸気の温度又はウエハ上のＳＰＭの温度のいずれよりも実質的に高い。（比較例の処理は、蒸気曝露前の基板上のＳＰＭの温度を表す。）
さらに比較例の処理と本発明の処理との間での温度上昇はＨ_２Ｏ_２濃度の上昇に伴って減少した。図６は、混合された際のＳＰＭの温度とウエハ上の最大温度との温度差を示している。本発明の蒸気プロセスの利点はＨ_２ＳＯ_４濃度の減少に伴って減少する。ウエハ上の最大温度を実現するためには、高濃度のＨ_２ＳＯ_４が望ましい。

Ｈ_２ＳＯ_４及び／又はＨ_２Ｏ_２の混合前の温度を上昇させることによって混合された際の液体の温度を上昇させることもまた望ましい。一の実施例は、９５℃よりも高い温度で動作する再循環タンクからのＨ_２ＳＯ_４を利用する。

例３：上からの処理プロセスＥが、表２からの８の手順を用いて８回実行された。パターニングされ及び未加工の、５Ｅ１４と１Ｅ１５の照射量の注入がなされたレジストが、カセットのスロット１３内で処理された。表３は、表１のガイドラインごとに試料を評価した結果を示している。すべての場合において、比較例の処理（手順２、４、６、及び８）は、注入されたレジストを完全に除去できず、すべての評価において“１”の成績だった。対照的に、本発明の処理（手順１、３、５、及び７）は、５Ｅ１４の照射量ではパターニングされたものも未加工のものも完全に除去し、すべての評価において“５”の成績だった。

比較例の処理よりもはるかに良好な処理を実行する一方、本発明のプロセスのこれらの特定の手順は、１Ｅ１５のレジストを完全に除去することができなかった。手順１、３、及び５は、同様にパターニングされたレジストをほぼ除去した。手順７は、未加工のレジストではわずかに良好であったがパターニングされたレジストではかなりひどかった。最大の剥離性能を実現するため、高濃度のＨ_２ＳＯ_４が望ましい。

例４：上からの処理プロセスＥの修正版が、照射量が１Ｅ１５である未加工のウエハ試料とパターニングされたウエハ試料上で実行された。プロセスは以下の通りであった。

再循環タンクからの５ｌｐｍのＨ_２ＳＯ_４流が、中央噴霧ポストと側部噴霧ポストから４のセグメントで供給された。４のセグメントとは、回転台が時計回りに２０ｒｐｍで回転する際の４５秒、回転台が時計回りに３００ｒｐｍで回転する際の４５秒、回転台が反時計回りに２０ｒｐｍで回転する際の４５秒、及び回転台が反時計回りに３００ｒｐｍで回転する際の４５秒であった。

再循環タンクから１６００ｃｃ／分の１０：１のＳＰＭ（再循環タンクから１１０℃のＨ_２ＳＯ_４が１５００と１５０ｃｃ／分の２０℃の新たなＨ_２Ｏ_２）が、中央噴霧ポストと側部噴霧ポストから２つのセグメントで供給された。２つのセグメントとは、時計回りに１２０ｒｐｍでの１２０秒と反時計回りに１２０ｒｐｍでの１２０秒であった。８ｌｐｍ９５℃の水が、水蒸気を生成するように回転台上に供給された。

１０００ｃｃ／ｍの新たな９：１ＳＰＭ（９５℃のＨ_２ＳＯ_４が９００と２０℃のＨ_２Ｏ_２が１００）が、中央噴霧ポストと側部噴霧ポストから２つのセグメントで供給された。２つのセグメントとは、時計回りに１２０ｒｐｍでの１８０秒と反時計回りに１２０ｒｐｍでの１８０秒であった。８ｌｐｍ９５℃の水が、水蒸気を生成するように回転台上に供給された。

化学物質への曝露時間の増大、温度上昇、及び回転の反転を組み合わせることによって、照射量１Ｅ１５が注入されたパターニングされたレジストと未加工のレジストが完全に除去された（すべての成績は“５”だった）。

例５：一部の場合では、注入されていない又はわずかにしか注入されていないレジストは大抵Ｈ_２ＳＯ_４単体のみによって除去され得るので、酸化剤が硫酸組成物に加えられなくて良い。例として、再循環タンクからの５ｌｐｍ９５℃Ｈ_２ＳＯ_４が、中央噴霧ポスト及び側部噴霧ポストから、１２０ｒｐｍで３分間供給された。この処理は注入されていない未加工のレジストを完全に除去した。
[例６]
例６は、如何にして基板表面上の液体硫酸組成物の水蒸気への曝露が、カーボン材料−たとえばアモルファスカーボン−の除去に用いられ得るのかを表している。

ＦＳＩ Ｏｒｉｏｎ（登録商標）ウエハ清浄化システム実験（ＴＥＬ ＦＳＩから市販されている）が、本発明による高温ＳＰＭ処理を用いたアモルファスカーボン（ａ−Ｃ）を評価するのに用いられた。

５つのウエハが、ａ−Ｃ膜の除去を評価するのに用いられた。ａ−Ｃ膜の厚さは７０００Åだった。

５つの異なるプロセスが、表４に示されている条件下での評価のために実行された。条件はさらに、６０秒のＳＰＭ曝露時間と、７０℃でＳＣ１洗浄溶液（ＮＨ_４ＯＨ：Ｈ_２Ｏ_２：Ｈ_２Ｏの比が１：４：５０の溶液）を用いた３０秒のＳＰＭ後洗浄を含む。の比は、区分１と３では１６：１で、かつ、区分２、４、５では１０：１であった。Ｈ_２Ｏ_２と混合して蒸気を加える前のＨ_２ＳＯ_４温度は、区分１と２では１８０℃で、かつ、区分３、４、５では２２０℃であった。Ｈ_２Ｏ_２は、Ｈ_２ＳＯ_４と混合される前では略室温であった。ＳＰＭと蒸気はａ−Ｃ膜へ同時に曝露された。蒸気生成システムにおける蒸気圧設定点は２８ｐｓｉ又は２５ｐｓｉに設定された。「区分５の規格化されたＳｉＮ損失」は、未加工のＳｉＮウエハで測定されたＳｉＮ材料の損失を意味する。
[結果]
結果は表４に示されている。５つの基板の視覚的検査は、２つのプロセス（区分１と２）が基板からａ−Ｃ膜を除去し、かつ、３つのプロセス（区分３−５）がａ−Ｃ膜を完全に除去できず、基板上に残留物を残したことを示した。これらの結果は、区分３−５において２２０℃に予備加熱されたＨ_２ＳＯ_４はａ−Ｃ膜を完全に除去することはできなかったが、驚くべきことに、区分１−２において、ＳｉＮ膜が低速でエッチングされる一方で、１８０℃の低温に予備加熱されたＨ_２ＳＯ_４は、ａ−Ｃ膜の選択的除去に非常に有効であることを示した。

本願で用いられているすべてのパーセント及び比は、特に言及がなければ体積パーセント及び体積比である。記載されているすべての温度は、一の雰囲気の周辺圧力を仮定している。処理プロセスが異なる圧力で実行される場合、そのプロセスに含まれる様々な成分の温度もそれに従って調節され得ることに留意して欲しい。引用されたすべての刊行物、特許、及び特許文献の内容はすべて、本願に援用される。本願で説明されたことを意味する本発明の多数の特徴及び利点は、上記の記載で述べた。しかし本発明の特定の形態又は実施例が表されている一方で、様々な修正型−部品の形状及び配置等に対する修正型を含む−が、本発明の技術的思想及び技術的範囲から逸脱することなく可能であることに留意して欲しい。

Claims (32)

1. 表面の少なくとも一部上にカーボン膜を有する半導体基板を処理チャンバ内に供する工程であって、前記カーボン膜は、アモルファスカーボン、ダイアモンド様カーボン及び／又はグラファイトカーボンを含む群から選択された材料を含む、工程；
   硫酸並びに／又はその乾燥種及び前駆体を含む、前記基板表面を実質的に均一にコーティングするのに有効な量の液体硫酸組成物を第１供給ラインから前記基板表面へ供給する工程；
   前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気へ曝露する工程であって、前記水蒸気は、第２供給ラインから供給され、かつ、前記液体硫酸組成物の温度を、前記水蒸気へ曝露する前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量であり、前記液体硫酸組成物は、前記水蒸気へ曝露される前は少なくとも１３０℃であって２２０℃未満である、工程；
   を有する、半導体基板からカーボン材料を除去する方法であって、
   前記基板表面上の前記液体硫酸組成物は、前記表面から前記カーボン膜の少なくとも一部を除去するための期間、水蒸気に曝露され、
   前記水蒸気及び前記液体硫酸組成物はエーロゾル液滴の形態で前記半導体基板上に供給される、方法。
2. 酸化剤が、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気へ曝露する前に前記液体硫酸組成物に加えられる、請求項１に記載の方法。
3. 前記酸化剤が過酸化水素を含む、請求項２に記載の方法。
4. 前記過酸化水素に対する前記液体硫酸組成物の体積比が５：１乃至２０：１の範囲内である、請求項３に記載の方法。
5. 前記液体硫酸組成物は、前記過酸化水素が前記液体硫酸組成物へ加えられる前には少なくとも１３０℃でかつ２２０℃未満の温度である、請求項３に記載の方法。
6. 前記カーボン膜が少なくとも１００Åの厚さで供される、請求項１に記載の方法。
7. 前記カーボン膜が少なくとも５０００Åの厚さで供され、かつ、
   前記基板表面上の前記液体硫酸組成物は、前記カーボン膜の実質的にすべてを除去するため、２分以内の期間水蒸気に曝露される、
   請求項１に記載の方法。
8. 前記半導体基板を供する工程が：
   前記半導体基板上にカーボン膜を堆積する工程；及び、
   前記カーボン膜が存在する状態で前記半導体基板に少なくとも１つの処理を施す工程、
   を有する、請求項１に記載の方法。
9. 前記施す工程が：
   前記カーボン膜をパターニングする工程；及び、
   前記のパターニングされたカーボン膜をマスクとして用いることによって前記基板の特徴部位をエッチングする工程、
   を有する、請求項８に記載の方法。
10. 前記基板が、該基板の表面上への前記液体硫酸組成物の供給の少なくとも一部の間に回転している、請求項１に記載の方法。
11. 前記水蒸気が、前記処理チャンバの外部で生成され、かつ、所望の水蒸気状態で前記処理チャンバへ導入される、請求項１に記載の方法。
12. 前記水蒸気が、前記液体硫酸組成物への曝露前に８５℃よりも高い温度である、請求項１１に記載の方法。
13. 前記水蒸気が、前記液体硫酸組成物への曝露前に１２０℃よりも高い温度である、請求項１１に記載の方法。
14. 前記液体硫酸組成物は水蒸気に曝露され、
    前記水蒸気の量は、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物の温度を、（ｉ）前記水蒸気に曝露される前の前記液体硫酸組成物の温度と（ｉｉ）前記水蒸気の温度の両方よりも上昇させるのに有効な量である、
    請求項１に記載の方法。
15. 前記カーボン膜がアモルファスである、請求項１に記載の方法。
16. 前記カーボン膜がドーピングされていないカーボン膜を含む、請求項１に記載の方法。
17. 前記カーボン膜が少なくとも１つのドーパントを含む、請求項１に記載の方法。
18. 前記ドーパントが、Ｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｔａ、若しくはＡｌ、又はこれら２つ以上を組み合わせたものを含む、請求項１７に記載の方法。
19. 前記カーボン膜が、ハードマスク又はパターニングされたハードマスクである、請求項１に記載の方法。
20. 前記液体硫酸組成物が２分間以内の期間前記基板上に供給される、請求項１に記載の方法。
21. 前記液体硫酸組成物が１分間以内の期間前記基板上に供給される、請求項１に記載の方法。
22. 前記液体硫酸組成物が、前記水蒸気への曝露前では１６０℃乃至２００℃の温度である、請求項１に記載の方法。
23. 前記液体硫酸組成物が、前記水蒸気への曝露前では１６０℃乃至１８０℃の温度である、請求項１に記載の方法。
24. 前記液体硫酸組成物が、前記水蒸気への曝露前では２００℃乃至２２０℃未満の温度である、請求項１に記載の方法。
25. 前記半導体基板がシリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンを含む、請求項１に記載の方法。
26. シリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンを含み、かつ、表面の少なくとも一部上にカーボン膜を有する半導体基板を処理チャンバ内に供する工程であって、前記カーボン膜は、アモルファスカーボン、ダイアモンド様カーボン及び／又はグラファイトカーボンを含む群から選択された材料を含む、工程；
    硫酸並びに／又はその乾燥種及び前駆体を含む、前記基板表面を実質的に均一にコーティングするのに有効な量の液体硫酸組成物を第１供給ラインから前記基板表面へ供給する工程；並びに、
    前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気へ曝露する工程であって、前記水蒸気は、第２供給ラインから供給され、かつ、前記液体硫酸組成物の温度を、前記水蒸気へ曝露する前の前記液体硫酸組成物の温度よりも上昇させるのに有効な量であり、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物は、前記表面から前記カーボン膜の少なくとも一部を除去するための期間、水蒸気に曝露される一方で、毎分８Å未満の前記シリコン窒化物及び／又は二酸化シリコンが前記基板から除去される、工程、
    を有し、
    前記水蒸気及び前記液体硫酸組成物はエーロゾル液滴の形態で前記半導体基板上に供給される半導体基板からカーボン材料を除去する方法。
27. 過酸化水素は、前記基板表面上の前記液体硫酸組成物を水蒸気に曝露する前に前記液体硫酸組成物へ加えられる、請求項２６に記載の方法。
28. 前記液体硫酸組成物が、前記水蒸気への曝露前では少なくとも１３０℃乃至２２０℃未満の温度である、請求項２６に記載の方法。
29. 前記液体硫酸組成物が、前記水蒸気への曝露前では少なくとも１３０℃の温度である、請求項２６に記載の方法。
30. 前記カーボン膜はドーピングされていないカーボン膜を含む、請求項２６に記載の方法。
31. 前記カーボン膜は少なくとも１つのドーパントを含有する、請求項２６に記載の方法。
32. 前記ドーパントは、Ｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｔａ、若しくはＡｌ、又はこれらの２つ以上を組み合わせたものを含む、請求項３１に記載の方法。
    

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