JP2004351321A

JP2004351321A - 液体噴射装置

Info

Publication number: JP2004351321A
Application number: JP2003152105A
Authority: JP
Inventors: Kunio Inaba; 久二男稲場
Original assignee: Regal Joint Co Ltd
Current assignee: Regal Joint Co Ltd
Priority date: 2003-05-29
Filing date: 2003-05-29
Publication date: 2004-12-16

Abstract

【課題】十分な量の水蒸気と純水とを均一に混合し、微細化した純水の粒子を均一に分散させて、高速でターゲットに向けて噴射することができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】純水を導入して、一端からその純水を噴出するパイプ６と、このパイプ６の一端を含む外周を包囲し、当該パイプ６の外周へ水蒸気を導入するポディ３とを備え、このポディ３は、上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部Ａと、この加速部Ａの下流側に連なり、上記ボディ３の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部Ｂと、この混合部Ｂの下流側に連なり、純水と水蒸気の混合流体をターゲット２０に向かって噴射して衝突させるための、噴射方向を決定する広がり角を持った開口部Ｃを備える。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２種以上の液体を混合し、開口部から噴射して、例えば、ターゲットの表面の洗浄処理、加工、その他の処理を行うことができる液体噴射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、シリコンウェハの製造工程では、基板上に残留したレジスト等を除去するために、様々な方法で洗浄処理が行われている。その一つの方法として、水蒸気と純水とを混合したものを基板に衝突させ、熱的機械的に洗浄処理を行う方法が開発されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００３−０７１３３２号公報
【特許文献２】
特開２００１−２５７１８９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。上記の方法では、水蒸気と純水の微粒子とを、ターゲットである対象物上にむらなく勢いよく衝突させることが要求される。これには水蒸気中に可能な限り微細化した純水の粒子を均一に分散させ、さらに、その混合液体を高速でターゲットに向けて噴射する、という技術が要求される。また、噴射した混合液体をターゲットの被処理面全体に衝突させるために、噴射口をターゲット上方でスキャンさせたり、混合液体を一定の広がりを持った噴流にしてターゲットに衝突させることが要求される。
本発明は以上の点に着目してなされたもので、十分な量の水蒸気と純水とを均一に混合し、微細化した純水の粒子を水蒸気中均一に分散させて、高速でターゲットに向けて噴射することができる液体噴射装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、また、制御された広がりを持つ混合液体をターゲットに向けて噴射し、広い面積のターゲットを洗浄できる液体噴射装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、さらに、２種以上の互いに混ざり合いにくい液体を効率よく均一に混合して、高速で噴射することができる液体噴射装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は次の構成により上記の課題を解決する。
〈構成１〉
第１の流体を導入して、一端から上記第１の流体を噴出する筒状体と、この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、この外筒は、上記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、上記加速部より傾斜の緩いテーパ面であって、上記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備え、上記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、上記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための、噴射方向を決定する広がり角を持った開口を有する、開口部を備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【０００６】
〈構成２〉
第１の流体を導入して、一端から上記第１の流体を噴出する筒状体と、この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、この外筒は、上記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、上記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、上記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための開口を有する、開口部を備え、上記筒状体は、上記外筒の上流側を塞ぐ外壁を貫通して、長手方向に平行移動可能に直線的に支持されており、上記外筒の上流側を塞ぐ外壁には、上記筒状体の長手方向に平行な方向に第２の流体を外筒内へ導入するための、導入口が設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
【０００７】
〈構成３〉
第１の流体を導入して、一端から上記第１の流体を噴出する筒状体と、この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、この外筒は、上記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、上記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、上記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための開口を有する、開口部を備え、上記開口部は、上記流路と直交する方向に長いスリット状とされ、上記外筒内には、上記第１の流体を混合部へ噴出する複数の筒状体の一端が、それぞれ上記スリット方向に所定の間隔を置いて配列されていることを特徴とする液体噴射装置。
【０００８】
〈構成４〉
構成１に記載の液体噴射装置において、上記複数の筒状体は、外筒の上流側を塞ぐ外壁を貫通して、それぞれ独立に長手方向に平行移動可能に直線的に支持されていることを特徴とする液体噴射装置。
【０００９】
〈構成５〉
構成１乃至３のいずれかに記載の液体噴射装置において、上記第２の流体は水蒸気であって、上記第１の流体は純水であって、当該第１の流体と第２の流体の混合流体を上記ターゲットに衝突させることを特徴とする液体噴射装置。
【００１０】
〈構成６〉
構成１乃至３のいずれかに記載の液体噴射装置において、上記第２の流体は水蒸気であって、上記第１の流体はオゾン水であって、当該第１の流体と第２の流体の混合流体を上記ターゲットに衝突させることを特徴とする液体噴射装置。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、具体例を用いて説明する。
図１は、本発明の液体噴射装置の実施例を示す縦断面図である。
図の液体噴射装置１は、外観が円錐形のボディ３と、その底（図の上端）を塞ぐヘッド４を備える。このヘッド４は、ボディ３に対し溶接等の手段で一体化固定されている。ヘッド４には、その軸心を貫通するようにパイプ６が装着されている。また、パイプ６の側方において、同じくヘッド４を貫通するようにパイプ７が装着されている。パイプ６は、ヘッド４に対して、その長手方向に自由にスライドして、位置を調整できるように支持されている。パイプ６の位置調整後の固定のために、ヘッド４には、ダブルナット式のクランプ１９が固定されている。
【００１２】
パイプ７は、ヘッド４に対して溶接等の方法で固定されている。ボディ３は、図に示すように、上流から下流に向かって（図の上方から下方へ）次第に断面積を縮小するようにされた、比較的傾斜の強いテーパ孔１１を備えた加速部Ａと、傾斜の緩いテーパ孔１２と流れの方向にみて所定の長さだけ一定の内径を持つ貫通孔１３を備えた混合部Ｂと、上流から下流に向かって次第に断面積を拡大するように、所定の広がり角を持つ逆テーパ孔１４を備えた開口部Ｃを有する。パイプ６は、混合部Ｂ内にその一端８を配置している。また、パイプ７は、加速部Ａの上流側に導入口９を備えている。
【００１３】
この液体噴射装置は、第１の流体をパイプ６（筒状体）から導入し、筒状体の外周を包囲したボディ３（外筒）の導入口から第２の流体を導入して混合する。この実施例では、第１の流体は、純水である。また、第２の流体は、水蒸気である。筒状体はパイプ６である。外筒はボディ３である。第２の流体はパイプ７の導入口から導入される。図に示すように、パイプ６から導入された純水は、パイプ６の一端８から混合部Ｂの中に矢印Ｙ方向に噴出される。ボディ３は、パイプ６の外周を包囲しており、導入口９からパイプ６の外周部へ水蒸気を導入する。この実施例では、パイプ６と７はいずれも、外筒の上流側を塞ぐ外壁、即ち、ヘッド４を貫通するように取りつけられている。
【００１４】
即ち、水蒸気も純水も、ボディ３の内部に、ほぼ同一方向に向けて導入される。これは、導入時の運動エネルギを可能な限り有効に噴射エネルギに変換させるためである。また、水蒸気と純水とは、混合部の、開口部に接近した場所で混合される。混合液体は放置すると分離するような不安定な状態にあるから、混合後可能な限りすみやかに噴射して対象物に衝突させるためである。
【００１５】
第２の流体である水蒸気は、図の矢印Ｘ方向に導入される。テーパ孔１１において、水蒸気の流路の断面積が上流から下流に向かって縮小するため、水蒸気の流速が高まり、混合部Ｂに高い速度で流れ込む。加速部Ａの長さは、水蒸気の流速を十分に高めるように選定される。高速の水蒸気が混合部Ｂを矢印Ｙ方向に流れると、パイプ６の内部に高い負圧が加わる。その結果、パイプ６から純水が勢いよく混合部Ｂ中に吸引されて、矢印Ｙ方向に噴出する。加速部Ａの下流側に連なった混合部Ｂでは、貫通孔１３の部分で最小断面積の流路を形成する。この混合部Ｂにおいて、水蒸気とパイプ６から勢いよく噴出された純水とが混合され、混合部Ｂに連なる開口部Ｃに送り出される。開口部Ｃでは、第１の流体である純水と第２の流体である水蒸気の混合流体が、急激に圧力を開放されて爆発的に混ざり合う。その衝撃で、純水は微細な粒子になって水蒸気中に混ざり合う。
【００１６】
この混合流体は、一定の広がり角を持った開口部Ｃによって、噴射方向が決定される。すなわち、図の矢印Ｚに示すように、一定の広がりＷを持ってターゲット２０の処理対象面２１に噴射される。混合部Ｂにおいて混合され加速された純水と水蒸気とは、勢いよくターゲット２０に衝突する。その結果、水蒸気の熱エネルギと純水の微細な粒子による運動エネルギによって、ターゲット２０の処理対象面２１が洗浄される。その洗浄効果は、水蒸気と純水との混合割合や衝突エネルギにほぼ比例すると考えられる。この装置は、加速して爆発的に混合させた混合液体の運動エネルギをそのまま対象物への衝突エネルギにすため、エネルギ効率がきわめて良い。しかも、混合直後に対象物に衝突させるようにするため、混ざり合いにくい２種の流体が最も良く混合された状態で対象物に衝突させることができる。従って、この装置によれば、極めて高い洗浄力を発揮させることができる。
【００１７】
図２は、本発明の装置のヘッド４とボディ３との具体的な構造を示す説明図で、（ａ）はヘッドの背面図、（ｂ）はヘッドの側面図、（ｃ）はボディの背面図（２分の１）、（ｄ）はボディの側面図である。
図のように、ヘッド４には、パイプ６を装着するための貫通孔３２と、パイプ７を装着するための貫通孔３３とが設けられている。また、ヘッド４は、ボディ３とのはめ合わせのために大径部３４と小径部３５を備える。小径部３５の外周面は、ボディ３と図１に示したようにはまり合う。ボディ３の内部構造は、図１を用いて説明した通りである。
【００１８】
図３は、パイプ６と第２の流体の導入方向の関係を示す、変形例の説明図である。
図１を用いて説明したように、第１の流体である純水を導入するためのパイプ６は、外筒の上流側を塞ぐ外壁（ヘッド４）を貫通して、長手方向に平行移動（スライド）可能に直線的に支持されている。また、ヘッド４には、パイプ６の長手方向に平行な方向に、第２の流体である水蒸気をボディ３内へ導入するための、導入口４２が設けられている。図１では、ヘッド４を貫通する直線状のパイプ７を使用したが、図３の実施例では、ヘッド４の内部でほぼ直角に折れ曲がったパイプ４１を使用した。導入口４２の向きは図１も図３も変わらない。すなわち、水蒸気の、その後の流れの方向と同一の矢印Ｄの方向に水蒸気が導入される。
【００１９】
既に説明したように、導入時の運動エネルギを有効に噴出エネルギに利用できる。さらに、このように導入方向を選定すると、パイプ６の周囲に供給されて、混合部Ｂに向かって送り込まれる水蒸気の力によって、パイプ６が振動しないという効果もある。すなわち、水蒸気の流れる方向とパイプ６の支持方向とが一致しているため、パイプ６には、長手方向に平行な力以外の力が加わりにくく、不正な振動を起こさない。一方、図３の（ｂ）に示すように、例えば、ボディ３の側壁にパイプ４３を装着し、水蒸気をパイプ６に衝突させるように、すなわち、矢印Ｅの方向に導入すると、パイプ６は、長手方向と直角な方向に力を受け、矢印Ｆ方向に振動し易い。これによって装置の耐久性が損なわれることがある。なお、この問題を解決するために、図の（ｃ）と（ｄ）とを比較してわかるように、パイプ６に比べて、パイプ４３の肉厚を十分に厚くするとよい。上記の例では、第２の流体である水蒸気は比較的質量が小さいので、パイプ４３の肉厚の選定で問題が解決する。逆に質量の大きい液体を第２の流体とする場合には、図１や図３（ａ）の構造が適する。さらに、パイプ４３の肉厚を厚くすると、次のような効果もある。
【００２０】
上記の例では、第１の流体を純水とし、第２の流体を水蒸気として両者を混合し、ターゲットに衝突させるようにした。しかしながら、例えば、純水の代わりに活性の強いオゾン水を利用すると、水蒸気の熱エネルギとオゾン水の微細な粒子による運動エネルギに加えて、オゾンの化学エネルギを利用した対象物の洗浄処理が可能になる。すなわち、オゾン水に混ざり合ったオゾンによって対象物を化学的に処理することができる。一般に、気体のオゾンよりも、オゾン水に溶け込んだオゾンの方が活性が強く、対象物の洗浄処理効果が高いと言われている。従って、パイプ６から導入する第１の流体をオゾン水にすることで、極めて高い洗浄効果を持つ液体噴射装置が実現できる。
【００２１】
ところが、オゾン水を水蒸気と混合すると、中に溶け込んだオゾンが水蒸気の熱で加熱され、急激にガス化してしまう。可能な限り高い濃度でオゾンが溶け込んだオゾン水の微粒子を、水蒸気と共にターゲットにぶつけるには、この問題の解決が必要になる。このための対策として、図３（ｄ）に示したようなパイプ４３を断熱性のパイプとする。肉厚も十分に厚くしておく。これにより図の（ｅ）に示すように、パイプ４３の水蒸気に接している側とオゾン水に接している側との間に、一定の温度傾斜を作る。なお、図の縦軸は温度、横軸はパイプ４３を横断する面上の位置を示す。パイプ４３の外側は、水蒸気の温度、すなわち、１００度以上の温度となる。しかしながら、パイプ４３の内側では、常温あるいはそれ以下の温度のオゾン水が高速で移動して、パイプ４３の内面を冷却する。水は、断熱性の高い液体であるから、パイプ４３の中心部を流れるオゾン水は、比較的温度による影響を受けない。すなわち、温度上昇する前にパイプ４３の一端に達し、水蒸気と混合されると、直ちに、開口部Ｃ（図１）から噴射されて、ターゲットに衝突する。従って、オゾン水に溶け込んだオゾンの大部分はガス化前にターゲットに衝突する。こうして、本発明の装置は高い化学的洗浄力を持つことができる。
【００２２】
図４は、ボディ３の加速部Ａと混合部Ｂの機能を説明する説明図である。
図１に示したように、ボディ３には、下流に向かって次第に断面積を縮小するようにされた、傾斜の強いテーパ孔１１を持つ加速部Ａと、同じく傾斜の緩やかなテーパ孔１２を持つ混合部Ｂとを設けた。これは、次のような理由による。図４の（ａ）に示すように、傾斜の強いテーパ孔５１のみを用いてボディを形成すると、第２の流体、すなわち、水蒸気はボディ３の内部で急激に加速される。そして、図の右方向に噴射される。この時、パイプ６の一端８で、パイプ６の内部に対して大きな負圧が加わる。その負圧の大きさや混合状態を最適化するために、パイプ６を長手方向（図の矢印Ｐ方向）にスライド可能に支持している。
【００２３】
すなわち、パイプ６の先端位置を微調節すると、水蒸気の流速と流量と、純水の流速と流量との関係が最適化され、混合性能の高い最適位置を見つけることができる。これには、パイプ６をスライドさせて、パイプ６の一端とテーパ孔５１の内壁との間に生じた隙間の面積を調節する作業が必要になる。なお、調節が終了すると、その状態を保持するために、図４（ｃ）に示すような断面構造のダブルナット式のクランプをボディ３に固定する。
【００２４】
即ち、ボディ３側には、袋ナット５３を溶接する。また、この袋ナットにねじ込まれるネジを外周に形成し、内周には楔状のテーパ孔を持つスリーブ５５を右側面に溶接した締め付けナット５４を設ける。袋ナット５３とスリーブ５５との間には、楔スリーブ５６を挟み込む。この状態で締め付けナット５４を回転させて、スリーブ５５を袋ナット５３中に締め込むようにすると、スリーブ５５が楔スリーブ５６の径を圧縮する力が生じて、楔スリーブ５６がパイプ６を締め付ける。これにより、パイプ６が位置決めされる。こうした機構は、例えば、ドリルの交換刃等を固定するためのチャック等に多用されている構造のものであるから、より詳細な図示は省略する。
【００２５】
なお、テーパ孔５１の傾斜が強ければ強いほど、パイプ６の先端位置を微調節する際の調節が難くなる。図４の（ｂ）に示すように傾斜の緩いテーパ孔５２の内部にパイプ６の一端を配置すると、その最適位置を見つけることができる調整範囲Ｗ２が、図４の（ａ）に示した調整範囲Ｗ１に比べて十分に広くなる。反面、傾斜の緩いテーパ孔では、第２の流体である水蒸気の加速性能が弱まる。装置をパイプ６の長手方向に十分長く設計しないと、十分な加速性能を得られない。そこで、図１の実施例の装置は、加速部Ａにおいては、傾斜の強いテーパ孔１１を使用して、効率よく第２の流体を加速し、混合部Ｂの内部においては、傾斜の緩やかなテーパ孔１２を使用して、パイプ６の先端位置を容易に最適化調整できるようにした。
【００２６】
図５は、ボディ３の先端部、すなわち、開口部Ｃの効果を説明する説明図である。
図の（ａ）に示すように、混合部Ｂで純水６１と水蒸気６２とが混合され、開口部Ｃから噴射される。噴射された混合流体は、図に示すように、水蒸気６２の中に微細な純水６１の粒が分散したもので、これが、勢いよくターゲット２０に衝突する。ターゲット２０には、高温の水蒸気と純水の粒とが、偏りなく衝突するから、高い洗浄効果を発揮する。この衝突面積を調整するために、図に示した開口部Ｃの開口角を選定する。図の（ｂ）に示す例では、開口角αが比較的大きく、対象物表面の広い範囲に混合流体を衝突させることができる。また、図の（ｃ）に示した例では、開口角βがやや小さく、対象物表面の比較的狭い範囲に混合流体を衝突させる。この開口角を調整することによって、対象物を任意の条件で効率よく洗浄することが可能になる。開口角をゼロに近づければ、混合流体は絞り込まれて直線的に噴射される。なお、上記の例では、開口部が断面円形のものを説明したが、例えば、図の（ｄ）に示すように、箱型の外筒６５の開口部６６を長方形に近い、長いスリット状にすることもできる。この開口部６６は、流路と直交する方向に長い。縦断面の形状は、図１に示したとおりである。
【００２７】
また、図５（ｅ）の平面図に示すように、第１の流体、すなわち、純水を導入するための筒状体６７は、その一端を開口部６６の近傍に位置させて、複数本並列に並べられている。こうすれば、一定の幅の一定の長さの帯状領域に混合流体を衝突させる流体噴射装置が実現する。この場合にも、上記のように開口部６６の開口角を調整して、任意の洗浄性能を実現することができる。また、筒状体６７は、外筒６５の上流側を塞ぐ外壁を貫通して、それぞれ独立に長手方向に平行移動可能に直線的に支持されているとよい。既に説明したダブルナット式のクランプ６８を個別に設けておけばよい。図のように筒状体６７を配列すると、第１の流体の流速は、外筒６５の中央部と両側部とで異なってくる。従って混合流体を全体として均一に噴射させるためには、図のように、両測部の筒状体６７の一端を、中央部のそれよりも、開口部６６に接近させるようにするとよい。
【００２８】
本発明は以上の実施例に限定されない。上記のように、液体噴射装置１に水蒸気供給装置とオゾン水供給装置とを接続すれば、水蒸気とオゾン水との混合流体をターゲットに衝突させることができる。このとき、オゾン水供給装置には、オゾンと水とを混合するための装置を設けておく。オゾンと水の効率的な混合には、例えば、実用登録第３０４８０２３号等に記載された装置を使用する。簡単に混ざり合う２種以上の液体同士であれば、本発明の装置のような構造を採用する必要はない。あらかじめ混合したものをコンプレッサ等を用いて噴射すればよい。しかしながら、互いに混ざり合いにくく、混合したとしても、放置すると再び分離してしまうような２種以上の液体の場合には、上記のように両者を急速に混合し、混合後直ちにターゲットに向かって噴射するという方法によって、要求された洗浄能力を発揮させることができる。例えば、上記の外筒内部に複数の筒状体を挿入し、それぞれ別々の流体を導入すると、複数の異なる流体を同時に混合して、生成された混合流体を噴射する装置が実現する。また、オゾン水を噴射する場合に、オゾン水をいわゆる霧吹きに多用されているノズルで、エアの力で噴霧することが考えられる。しかしながら、その場合、オゾンと空気とが広い面積で接触して反応し、オゾンの活性が失われる。本発明のような装置により、オゾンもしくはオゾン水と、水や水蒸気のような不活性の液体とを噴出口直前で混ぜて、空気との接触を遮断するようにして噴出させることにより、オゾン水の活性を保持しながら、対象物に向けて混合流体を噴射することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体噴射装置の実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の装置のヘッド４とボディ３との具体的な構造を示す説明図で、（ａ）はヘッドの背面図、（ｂ）はヘッドの側面図、（ｃ）はボディの背面図（２分の１）、（ｄ）はボディの側面図である。
【図３】パイプ６と第２の流体の導入方向の関係を示す変形例の説明図である。
【図４】ボディ３の加速部Ａと混合部Ｂの機能を説明する説明図である。
【図５】ボディ３の先端部、すなわち、開口部Ｃの効果を説明する説明図である。
【符号の説明】
１液体噴射装置
３ボディ
４ヘッド
５ボルト
６パイプ
７パイプ
８一端
９導入口
１１テーパ孔
１２テーパ孔
１３貫通孔
１４逆テーパ孔
２０ターゲット
Ａ加速部
Ｂ混合部
Ｃ開口部

Claims

第１の流体を導入して、一端から前記第１の流体を噴出する筒状体と、
この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、
この外筒は、
前記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、前記加速部より傾斜の緩いテーパ面であって、前記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備え、前記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、前記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための、噴射方向を決定する広がり角を持った開口を有する、開口部を備えたことを特徴とする液体噴射装置。
第１の流体を導入して、一端から前記第１の流体を噴出する筒状体と、
この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、
この外筒は、
前記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、前記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、前記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための開口を有する、開口部を備え、
前記筒状体は、前記外筒の上流側を塞ぐ外壁を貫通して、長手方向に平行移動可能に直線的に支持されており、
前記外筒の上流側を塞ぐ外壁には、前記筒状体の長手方向に平行な方向に第２の流体を外筒内へ導入するための、導入口が設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
第１の流体を導入して、一端から前記第１の流体を噴出する筒状体と、
この筒状体の一端外周を包囲し、当該筒状体の外周へ第２の流体を導入する外筒とを備え、
この外筒は、
前記第２の流体の上流から下流に向かって次第に断面積を縮小させる流路を備えた加速部と、この加速部の下流側に連なり、前記筒状体の一端近傍で、最小断面積の流路を形成する混合部と、この混合部の下流側に連なり、前記第１の流体と第２の流体の混合流体をターゲットに向かって噴射して衝突させるための開口を有する、開口部を備え、
前記開口部は、前記流路と直交する方向に長いスリット状とされ、前記外筒内には、前記第１の流体を混合部へ噴出する複数の筒状体の一端が、それぞれ前記スリット方向に所定の間隔を置いて配列されていることを特徴とする液体噴射装置。
請求項１に記載の液体噴射装置において、
前記複数の筒状体は、外筒の上流側を塞ぐ外壁を貫通して、それぞれ独立に長手方向に平行移動可能に直線的に支持されていることを特徴とする液体噴射装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体噴射装置において、
前記第２の流体は水蒸気であって、前記第１の流体は純水であって、当該第１の流体と第２の流体の混合流体を前記ターゲットに衝突させることを特徴とする液体噴射装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体噴射装置において、
前記第２の流体は水蒸気であって、前記第１の流体はオゾン水であって、当該第１の流体と第２の流体の混合流体を前記ターゲットに衝突させることを特徴とする液体噴射装置。