JP6173781B2 - 配線基板及び配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図1〜図5に従って第1実施形態について説明する。
まず、図1及び図2に従って半導体装置10の構造について説明する。
配線層52は、層間絶縁層51上に積層されている。配線層52は、ビアホールVH1内に充填されたビア配線57を介して配線層37又は接続端子42と電気的に接続されている。すなわち、配線層52は、層間絶縁層51を貫通するビア配線57を介して配線層37又は接続端子42と電気的に接続されている。
配線層62は、層間絶縁層61の第2面61Bに積層されている。配線層62は、ビアホールVH2内に充填されたビア配線67を介して配線層38と電気的に接続されている。すなわち、配線層62は、層間絶縁層61及び絶縁層45を貫通するビア配線67を介して配線層38と電気的に接続されている。
コア部21の開口部21Yを充填する絶縁層45の第2面45B上に層間絶縁層61を積層し、その層間絶縁層61上に、絶縁層45及び層間絶縁層61を貫通するビア配線67を介して配線層38と接続される配線層62を積層するようにした。このため、仮に開口部21Yの容積が大きくなり、絶縁層45により開口部21Y内を十分に充填できずに、例えば絶縁層45の第2面45Bに窪みが形成される場合であっても、層間絶縁層61によって絶縁層45の窪みを埋めることができる。すなわち、層間絶縁層61によって、絶縁層45の第2面45Bに形成された窪みを吸収することができる。これにより、層間絶縁層61の第2面61B、つまり配線層38を被覆する絶縁層の外面を平坦に形成することができる。
まず、図3(a)に示すように、開口部21Yを有するコア部21を準備する。コア部21は、例えば以下のようにして製造することができる。すなわち、公知の技術を用いて、コア基板31と、コア基板31の第1面(ここでは、下面)及び第2面(ここでは、上面)にそれぞれ形成された配線層32,33及び絶縁層35,36と、絶縁層35,36の外面にそれぞれ形成された配線層37,38と、貫通電極39とを有するプリント配線板を形成する。続いて、上記形成したプリント配線板に、チップキャパシタ40(図1参照)の搭載位置に対応する位置を開口する開口部21Yを形成することにより、コア部21を製造する。なお、この開口部21Yは、例えばルータ加工、金型を用いた金型加工、レーザ加工や機械ドリル加工等によって形成することができる。
続いて、図3(d)に示す工程では、チップキャパシタ40をテープ70(粘着剤72)に対して押圧し、粘着剤72の中にチップキャパシタ40の一部を埋設する。本工程では、チップキャパシタ40の接続端子42の第1面42A(ここでは、下面)がテープ基材71の上面71Aに接触するまで、チップキャパシタ40をテープ70に対して押圧する。このため、接続端子42の第1面42Aには粘着剤72が接触されない。また、粘着剤72に埋設されていない部分のチップキャパシタ40は、開口部21Y内に配置される。
図5(b)に示す工程では、まず、上述のように製造された配線基板20に半導体チップ11を実装する。具体的には、配線基板20のパッドP1上に、半導体チップ11のバンプ12をフリップチップ接合する。続いて、フリップチップ接合された配線基板20と半導体チップ11との間に、アンダーフィル樹脂15を充填し、そのアンダーフィル樹脂15を硬化する。そして、外部接続用パッドP2上に外部接続端子16を形成する。例えば外部接続用パッドP2上に、適宜フラックスを塗布した後、外部接続端子16(ここでは、はんだボール)を搭載し、240〜260℃程度の温度でリフローして固定する。その後、表面を洗浄してフラックスを除去する。
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)コア部21の開口部21Yを充填する絶縁層45の第2面45B上に層間絶縁層61を積層し、その層間絶縁層61上に、絶縁層45及び層間絶縁層61を貫通するビア配線67を介して配線層38と接続される配線層62を積層するようにした。これにより、層間絶縁層61の第2面61B、つまり配線層38を被覆する絶縁層の外面を平坦に形成することができる。したがって、層間絶縁層61の第2面61B上に、微細な配線層62を好適に形成することができる。
以下、図6及び図7に従って第2実施形態を説明する。先の図1〜図5に示した部材と同一の部材にはそれぞれ同一の符号を付して示し、それら各要素についての詳細な説明は省略する。
まず、図6(a)に示す工程では、図3(a)〜図3(e)に示した工程と同様の工程を実施することにより、図6(a)に示した構造体を得る。ここで、テープ70の粘着剤72は、粘着性を有する絶縁層である。この粘着剤72の材料としては、例えば図1に示した層間絶縁層51と同じ材料を用いることができる。例えば、粘着剤72の材料としては、エポキシ樹脂などの絶縁性樹脂を用いることができる。
(8)粘着剤72(絶縁層73)を剥離せずに、その絶縁層73をコア部21に接着させた状態のまま、その絶縁層73の第1面73Aに別の絶縁層、つまり層間絶縁層51を積層するようにした。これにより、粘着剤72を剥離する工程が省略されるため、糊残りの発生を未然に防止することができる。このため、粘着剤72の接着強度を強くした場合であっても、糊残りが発生しない。したがって、粘着剤72の接着強度を強くすることにより、図6(a)に示した工程におけるチップキャパシタ40の位置ずれ等を好適に抑制することができる。
なお、上記各実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・上記各実施形態では、チップキャパシタ40の接続端子42の第1面42Aを、配線層37の第1面37Aよりもコア部21の第2面36Bとは反対側の方向に突出させるようにした。これに限らず、例えば接続端子42の第1面42Aと配線層37の第1面37Aを同一平面上に形成するようにしてもよい。このような配線基板は、例えば以下のように形成することができる。
次に、図8(d)に示す工程では、図4(c)に示した工程と同様に、絶縁層35,45の第1面35A,45A上に、それら絶縁層35,45から露出された配線層37及びチップキャパシタ40を被覆する層間絶縁層51を形成する。そして同時に、絶縁層45の第2面45Bを被覆する層間絶縁層61を形成する。続いて、図4(d)及び図4(e)に示した工程と同様に、層間絶縁層51を厚さ方向に貫通するビア配線57を介して、配線層37又は接続端子42と接続される配線層52を形成する。そして同時に、絶縁層45及び層間絶縁層61を厚さ方向に貫通するビア配線67を介して、配線層38と接続される配線層62を形成する。
・上記各実施形態及び上記変形例では、コア部21の第1面35Aにテープ70を貼着する際に、配線層37の第1面37Aをテープ基材71の上面71Aに接触させないようにした。
次に、図9(d)に示す工程では、図4(c)に示した工程と同様に、絶縁層35,45の第1面35A,45A上に、それら絶縁層35,45から露出された配線層37及びチップキャパシタ40を被覆する層間絶縁層51を形成する。そして同時に、絶縁層45の第2面45Bを被覆する層間絶縁層61を形成する。続いて、図4(d)及び図4(e)に示した工程と同様に、層間絶縁層51を厚さ方向に貫通するビア配線57を介して、配線層37又は接続端子42と接続される配線層52を形成する。そして同時に、絶縁層45及び層間絶縁層61を厚さ方向に貫通するビア配線67を介して、配線層38と接続される配線層62を形成する。
・上記各実施形態及び上記各変形例では、テープ70を絶縁層35の第1面35Aに貼着し、配線層37を粘着剤72に埋設するようにした。
次に、図10(d)に示す工程では、図4(c)に示した工程と同様に、絶縁層35の第1面35A上に、絶縁層45の第1面45Aを被覆するとともに、絶縁層45から露出された配線層37及びチップキャパシタ40を被覆する層間絶縁層51を形成する。また、絶縁層45の第2面45Bを被覆する層間絶縁層61を形成する。続いて、図4(d)及び図4(e)に示した工程と同様に、層間絶縁層51を厚さ方向に貫通するビア配線57を介して、配線層37又は接続端子42と接続される配線層52を形成する。そして同時に、絶縁層45及び層間絶縁層61を厚さ方向に貫通するビア配線67を介して、配線層38と接続される配線層62を形成する。
・上記各実施形態及び上記各変形例では、接続端子42の第1面42A及び第2面42Bの一方の第1面42A側のみにビア配線57を形成するようにした。これに限らず、例えば接続端子42の第1面42A及び第2面42Bの両側にビア配線を形成するようにしてもよい。このような配線基板は、例えば以下のように形成することができる。
・上記各実施形態及び上記各変形例における配線基板20では、コア部21の厚さよりも薄いチップキャパシタ40を内蔵するようにした。これに限らず、例えばコア部21の厚さよりも厚いチップキャパシタ40を配線基板20に内蔵するようにしてもよい。このような配線基板は、例えば以下のように形成することができる。
続いて、図12(d)に示す工程では、チップキャパシタ40をテープ70(粘着剤72)に対して押圧し、粘着剤72の中にチップキャパシタ40の一部を埋設する。本工程では、接続端子42の第1面42A(ここでは、下面)がテープ基材71の上面71Aに接触するまで、チップキャパシタ40をテープ70に対して押圧する。このため、チップキャパシタ40は、コア基板81の第1面81Aよりも下方に突出し、さらに配線層83の第1面83A(ここでは、下面)よりも下方に突出している。また、本例のチップキャパシタ40は、第2面42B(ここでは、上面)側の一部が開口部80Yから上方に突出している。例えば、チップキャパシタ40は、コア基板81の第2面81Bよりも上方に突出し、さらに配線層84の第2面84B(ここでは、上面)よりも上方に突出している。
次に、図13(c)に示す工程では、コア基板81の第1面81A全面、絶縁層45の第1面45A全面、配線層83の第1面83A及び側面、及び絶縁層45から露出されたチップキャパシタ40全面を被覆する層間絶縁層51を形成する。また、絶縁層45の第2面45B全面を被覆する層間絶縁層61を形成する。
・上記各実施形態及び上記各変形例における半導体装置10の配線基板20に実装される半導体チップの数や、その半導体チップの実装の形態(例えば、フリップチップ実装、ワイヤボンディングによる実装、又はこれらの組み合わせ)などは様々に変形・変更することが可能である。
20 配線基板
21,80 コア部
21Y,80Y 開口部
35A,81A 第1面
36B,81B 第2面
37,83 配線層(第1配線層)
38,84 配線層(第2配線層)
40 チップキャパシタ(電子部品)
41 キャパシタ本体
42 接続端子
45 絶縁層(第1絶縁層)
51 層間絶縁層(第3絶縁層、第5絶縁層)
52 配線層(第3配線層)
57 ビア配線(第1ビア配線)
61 層間絶縁層(第2絶縁層)
62 配線層(第4配線層)
67 ビア配線(第2ビア配線)
70 テープ
71 テープ基材
72 粘着剤
73 絶縁層(第4絶縁層)
Claims (9)
- 第1面と前記第1面とは反対側の第2面との間を貫通する開口部を有するコア部と、
前記コア部の第1面に形成された第1配線層と、
前記コア部の第2面に形成された第2配線層と、
前記開口部内に配置された電子部品と、
前記電子部品の側面の一部を被覆するように前記開口部内を充填するとともに、前記コア部の第2面と、前記第2配線層の前記コア部の第2面と接する面とは反対側の面の一部とを被覆する第1絶縁層と、
前記コア部の第2面上に積層された前記第1絶縁層を被覆する第2絶縁層と、
前記コア部の第1面と前記第1配線層の一部とを被覆するとともに、前記コア部の第1面より前記第2面とは反対側の第1方向に向かって突出され前記第1絶縁層から露出された前記電子部品を被覆する第3絶縁層と、
前記第3絶縁層上に形成され、前記第3絶縁層を貫通する第1ビア配線を介して前記電子部品と電気的に接続される第3配線層と、
前記第2絶縁層上に形成され、前記第2絶縁層と前記第1絶縁層とを貫通する第2ビア配線を介して前記第2配線層と電気的に接続される第4配線層と、を有し、
前記第1配線層上に形成された前記第3絶縁層の厚さと、前記第2配線層上に形成された前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層の厚さとが等しくなるように設定されていることを特徴とする配線基板。 - 前記第3絶縁層は、
前記コア部の第1面を被覆し、前記第1絶縁層から露出された前記電子部品の少なくとも一部を被覆する第4絶縁層と、
前記第4絶縁層を被覆する第5絶縁層と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の配線基板。 - 前記第4絶縁層は、前記第1絶縁層よりも前記コア部に対する粘着力が強いことを特徴とする請求項2に記載の配線基板。
- 前記第1絶縁層から露出された前記電子部品の表面の表面粗度は、前記第1絶縁層に被覆された前記電子部品の表面の表面粗度よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
- 前記電子部品は、前記第1配線層よりも前記第1方向に向かって突出されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の配線基板。
- 第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有し、前記第1面に形成された第1配線層と前記第2面に形成された第2配線層とを有するコア部に、前記第1面と前記第2面との間を貫通する開口部を形成する工程と、
前記開口部を覆う粘着剤とテープ基材とを含むテープを前記コア部の第1面に貼着する工程と、
前記開口部に露出された前記テープの粘着剤に電子部品の一部を埋設する工程と、
前記開口部内に配置された前記電子部品を被覆するように前記開口部を充填するとともに、前記コア部の第2面と、前記第2配線層の前記コア部の第2面と接する面とは反対側の面の一部とを被覆する第1絶縁層を形成する工程と、
前記テープを剥離する工程と、
前記コア部の第2面側に形成された前記第1絶縁層を被覆する第2絶縁層を形成するとともに、前記コア部の第1面と前記第1配線層の一部とを被覆するとともに、前記コア部の第1面より前記第2面とは反対側の第1方向に向かって突出され前記第1絶縁層から露出された前記電子部品を被覆する第3絶縁層を形成する工程と、
前記第3絶縁層を貫通して前記電子部品の一部を露出する第1貫通孔を形成するとともに、前記第1絶縁層と前記第2絶縁層を貫通して前記第2配線層を露出する第2貫通孔を形成する工程と、
前記第1貫通孔に第1ビア配線を形成し、前記第3絶縁層上に前記第1ビア配線を介して前記電子部品と電気的に接続される第3配線層を形成するとともに、前記第2貫通孔に第2ビア配線を形成し、前記第2絶縁層上に前記第2ビア配線を介して前記第2配線層と電気的に接続される第4配線層を形成する工程と、を有し、
前記第1配線層上に形成された前記第3絶縁層の厚さと、前記第2配線層上に形成された前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層の厚さとが等しくなるように設定されていることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有し、前記第1面に形成された第1配線層と前記第2面に形成された第2配線層とを有するコア部に、前記第1面と前記第2面との間を貫通する開口部を形成する工程と、
前記開口部を覆う粘着剤とテープ基材とを含むテープを前記コア部の第1面に貼着する工程と、
前記開口部に露出された前記テープの粘着剤に電子部品の一部を埋設する工程と、
前記開口部内に配置された前記電子部品を被覆するように前記開口部を充填するとともに、前記コア部の第2面と、前記第2配線層の前記コア部の第2面と接する面とは反対側の面の一部を被覆する第1絶縁層を形成する工程と、
前記テープのうち前記テープ基材のみを剥離し、前記コア部の第1面と前記第1配線層の一部とを被覆する前記粘着剤を前記コア部の第1面上に残す工程と、
前記コア部の第2面側に形成された前記第1絶縁層を被覆する第2絶縁層を形成するとともに、前記粘着剤を被覆するとともに、前記粘着剤から露出された前記電子部品を被覆する第5絶縁層を形成する工程と、
前記粘着剤及び前記第5絶縁層を貫通して前記電子部品の一部を露出する第1貫通孔を形成するとともに、前記第1絶縁層と前記第2絶縁層を貫通して前記第2配線層を露出する第2貫通孔を形成する工程と、
前記第1貫通孔に第1ビア配線を形成し、前記第5絶縁層上に前記第1ビア配線を介して前記電子部品と電気的に接続される第3配線層を形成するとともに、前記第2貫通孔に第2ビア配線を形成し、前記第2絶縁層上に前記第2ビア配線を介して前記第2配線層と電気的に接続される第4配線層を形成する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第1配線層上に形成された前記粘着剤及び前記第5絶縁層の厚さと、前記第2配線層上に形成された前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層の厚さとが等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項7に記載の配線基板の製造方法。
- 前記電子部品を前記粘着剤に埋設する工程では、
前記電子部品の接続端子が前記テープ基材に接触するまで前記電子部品を前記粘着剤に埋設することを特徴とする請求項6〜8のいずれか1つに記載の配線基板の製造方法。
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KR102425754B1 (ko) * | 2017-05-24 | 2022-07-28 | 삼성전기주식회사 | 전자부품 내장 인쇄회로기판 |
US10497846B2 (en) * | 2017-07-11 | 2019-12-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device package |
KR101942741B1 (ko) * | 2017-10-20 | 2019-01-28 | 삼성전기 주식회사 | 반도체 패키지 |
US10515827B2 (en) * | 2017-10-31 | 2019-12-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for forming chip package with recessed interposer substrate |
US10431549B2 (en) * | 2018-01-10 | 2019-10-01 | Powertech Technology Inc. | Semiconductor package and manufacturing method thereof |
US11276618B2 (en) * | 2018-04-30 | 2022-03-15 | Intel Corporation | Bi-layer prepreg for reduced dielectric thickness |
US10790162B2 (en) * | 2018-09-27 | 2020-09-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Integrated circuit package and method |
US10869385B2 (en) * | 2018-10-30 | 2020-12-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device, circuit board structure and method of fabricating the same |
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JP7371882B2 (ja) * | 2019-04-12 | 2023-10-31 | 株式会社ライジングテクノロジーズ | 電子回路装置および電子回路装置の製造方法 |
US20200335443A1 (en) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | Intel Corporation | Coreless architecture and processing strategy for emib-based substrates with high accuracy and high density |
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US20100059876A1 (en) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Electronic component package and method of manufacturing the same |
US8299366B2 (en) * | 2009-05-29 | 2012-10-30 | Ibiden Co., Ltd. | Wiring board and method for manufacturing the same |
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