JP6163983B2

JP6163983B2 - 液体吐出ヘッド及び画像形成装置

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Publication number: JP6163983B2
Application number: JP2013183505A
Authority: JP
Inventors: 古川　壽一; 壽一古川; 高木　大輔; 大輔高木
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2013-09-04
Filing date: 2013-09-04
Publication date: 2017-07-19
Anticipated expiration: 2033-09-04
Also published as: JP2015047855A

Description

本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。

液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出させる圧力発生手段（アクチュエータ手段）として圧電アクチュエータを用いたもの、発熱抵抗体などで構成されるサーマルアクチュエータを用いたもの、静電アクチュエータを用いたものなどが知られている。

液体吐出ヘッドは、ノズルが形成されるノズル基材の液滴吐出側表面（これを、「吐出面」あるいは「ノズル形成面」ともいう。）の表面特性が滴吐出特性に大きな影響を与える。例えば、ノズルの周辺部に液体が付着すると、液滴吐出方向が定まらないほか、付着した液体が固化してノズル径が縮小して液滴吐出量（液滴の大きさ）が減少し、あるいは液滴吐出速度が不安定になる等の不具合が生じる。そのため、一般に、ノズル形成面の表面に撥液層（撥水層、撥インク層などともいう。）を形成することにより液滴吐出特性を向上することが行われている。

従来、ノズル基材の吐出面にＳｉＯ₂などの下地膜となる表面処理膜（中間膜）を成膜して、下地膜上に樹脂膜などの有機撥液膜を成膜したものなどがある（特許文献１）。

また、ノズル基材の表面に、シリコーン材料のプラズマ重合膜等の下地膜と、下地膜表面に金属アルコキシドが重合した分子膜等の撥液膜とを設け、下地膜は、基材に応じて、シリコーン材料のプラズマ重合膜以外に、ＳｉＯ_２、ＺｎＯ、ＮｉＯ、ＳｎＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、酸化銅、酸化銀、酸化クロム、酸化鉄のいずれかを含む構成としたものが知られている（特許文献２）。

一方、ノズル板のようにインクに接触する部材が、例えば、インクによって溶出、膨張すると、滴噴射特性が大きく変化し、画像品質を良好に保てなくなる。

そこで、ノズル板のノズル基材の表面に、流路を形成する流路板との接着剤接合による密着性を向上させることができる表面処理膜を形成したり、プラズマ照射によってノズル基材の表面を活性化させたりすることが行われている。

例えば、ポリイミドやポリパラキシレン等の有機膜を表面処理膜として形成するもの（特許文献３）、ＳｉＯ_２膜を表面処理膜として形成するもの（特許文献４）などが知られている。

また、基板（基材）と接合膜とを有し、対向基板（他の被着体）に対して接合可能な部材であって、接合膜は、金属原子と、金属原子と結合する酸素原子とを含み、その表面付近に、金属原子および酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基が導入され、紫外線の照射により、表面付近に存在する脱離基が、金属原子および酸素原子の少なくとも一方から脱離して、接合膜の表面に対向基板との接着性が発現し得る膜としたものが知られている（特許文献５）。

特開２００９−２１４３３８号公報特開２００４−３５１９２３号公報特開２０１２−９１３８１号公報特開２００４−９８３１０号公報特開２００９−４６５４１号公報

ところで、ノズル基材の滴吐出側表面に撥液膜を成膜するとき、撥液膜がノズル内壁面まで侵入すると、メニスカス保持力が低下し、吐出安定性を損なうことがある。一方、撥液膜をノズル内壁面まで侵入させて、メニスカス保持位置を制御することも行われている。

この場合、ノズル穴を一時的に塞いで撥液膜を成膜したり、ノズル内壁面側に侵入した撥液剤をプラズマ照射などで除去したりすることも行なわれる。

しかしながら、ノズル穴を塞いだものを除去するときに、完全に除去し切れないと、異物として残存し、噴射曲がりなどを生じる原因となるという課題がある。また、プラズマ照射でのノズル穴内壁面や液室側に回りこんだ撥水剤のみを確実に除去することが困難で、滴吐出面側の撥液剤まで除去されてしまうという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、撥液剤のノズル穴内壁面への侵入の程度を容易に制御できるようにすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出するノズル部材と、
前記ノズル部材に接着剤で接合する流路板と、を有し、
前記ノズル部材は、
ノズル穴が形成されたノズル基材の滴吐出側表面に、第１表面処理膜が形成されて、前記第１表面処理膜上に撥液膜が形成され、
前記ノズル基材の前記流路板との接合面側表面に、第２表面処理膜が形成され、
前記第１表面処理膜及び前記第２表面処理膜は、いずれも、Ｓｉを含む酸化膜であり、前記酸化膜は、Ｓｉと酸素を介して結合した不動態膜を形成する遷移金属を含み、
前記第１表面処理膜におけるＳｉと遷移金属との配合比と、前記第２表面処理膜におけるＳｉと遷移金属との配合比とが異なる
構成とした。

本発明によれば、撥液剤のノズル穴内壁面への侵入の程度を容易に制御できる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態の説明に供する断面説明図である。図１のＡ部の拡大説明図である。第１表面処理膜の成膜工程の説明に供する説明図である。本発明に係る画像形成装置の一例を示す機構部の側面説明図である。同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図１を参照して説明する。図１は同ヘッドの断面説明図である。

この液体吐出ヘッド１００は、液滴を吐出するノズル１０１が形成されたノズル部材であるノズル板１０２と、ノズル１０１が通じる流路（圧力室）１０３を形成する流路板１０４と、圧力室１０３の壁面の形成する振動板１０５とが積層されている。ここで、ノズル板１０２、流路板１０４、振動板１０５は、接着剤接合されて流路を形成する流路形成部材となっている。

そして、振動板１０５の圧力室１０３と反対側の面に電気機械変換素子１４０からなる圧電アクチュエータが設けられている。

電気機械変換素子１４０は、振動板１０５上に、密着層としての酸化物電極１４１、第１の電極（下部電極）１４２、電気機械変換膜１４４、第２の電極（上部電極）１４５を順次積層形成したものである。

第１の電極１４２、第２の電極１４５は、例えば、Ｐｔ、Ａｕ等の導電性の高い材料で形成している。電気機械変換膜１４４はＰＺＴで形成している。流路板１０４はシリコンで形成している。

ノズル板１０２と流路板１０４とは接着剤１１３によって接合されている。

次に、この液体吐出ヘッドのノズル板の詳細について図２を参照して説明する。図２はノズル板の拡大断面説明図であり、図１のノズル板１０２を上下反転して示している。

ノズル板１０２は、ノズル（ノズル穴）１０１を形成したノズル基材１１０を有する。

ノズル基材１１０の滴吐出側表面には、第１表面処理膜１２１が成膜され、第１表面処理膜１２１の表面に有機撥液膜１２０が形成されている。

また、ノズル基材１１０の流路板１０４との接合面には、接着剤１１３の下地層となる第２表面処理膜１２２が成膜されている。

第１表面処理膜１２１及び第２表面処理膜１２２は、いずれも、Ｓｉを含む酸化膜であり、Ｓｉと酸素を介して結合した不動態膜を形成する遷移金属を含む。なお、図２には、第１表面処理膜１２１のＢ１部及び第２表面処理膜１２２のＢ２部を、ＳｉＯ_２のモデル３１と、ＺｒＯ_２のモデル３２とで図示している。

遷移金属としては、例えば、Ｓｉと酸素結合して不導体膜を形成するタンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）などが好ましい。Ｚｒ，Ｔａ、Ｎｂは、酸化物の分子量がＳｉＯ_２と比較して大きく、混合した時ときに溶出しにくくなる特徴を有している。

遷移金属の配合比は、１％〜５０％の範囲内であり、好ましくは、３％〜３０％程度である。

遷移金属の配合比が高いほどインク等の吐出液に対して溶出しにくくなるが、有機撥液膜１２０や接着剤１１３の密着性に寄与するシラノール基に対する結合しやすさはＳｉＯ_２の方が遷移金属酸化物より高い。そのため、あまり遷移金属の配合比が高すぎると、撥液剤、あるいはシランカップリング剤との密着性が小さくなってしまう。

そこで、遷移金属の配合比はバランスをとって最適値を模索する必要がある。配合比の最適値は、撥液剤や接着剤のそれぞれの密着性や溶出しやすさ等にも左右される。

ここで、本実施形態では、第１表面処理膜１２１の方が第２表面処理膜１２２よりも水酸基が付き易いＳｉＯ_２の割合を高くして、より濡れやすくしている。一方、第２表面処理膜１２２の方を遷移金属の酸化物（例えば、ＺｒＯ_２）の割合を高くし、より濡れにくく形成している。

このように構成することで、例えば、ノズル基材１１０にノズル穴１０１を形成した後、第１表面処理層１２１及び第２表面処理層１２２を成膜すると、ノズル穴１０１の径が最小になる部位の周辺１２５で、第１表面処理層１２１と第２表面処理層１２２との境界が形成される。

これにより、この場合には、撥液膜１２０を成膜するときに、撥液膜１２０の撥液剤がより濡れやすい第１表面処理層１２１までで留まり、より濡れにくい第２表面処理層１２２側まで、つまり、ノズル穴１０１の内壁面まで侵入しにくくなる。

したがって、第１表面処理層１２１と第２表面処理層１２２との境界位置を変化させることによって、撥液剤がノズル穴１０１の内壁面まで入り込む位置を容易に制御することができる。

また、常にインクに接する位置に配置される第２表面処理膜１２２の方が、溶出しにくい遷移金属の酸化物（例えば、ＺｒＯ_２）の割合が高いことで、インクに対する耐液性が高くなり、信頼性も向上させることができる。

なお、ここでは第１表面処理層１２１を濡れやすくしているが、ノズル内壁の親水化処理等を行う場合などは、第２表面処理層１２２の方を濡れやすくして、親水化処理をノズル内壁で留め、吐出面側に回り込まないようにすることもできる。

ここで、第１表面処理膜１２１及び第２表面処理膜１２２は、例えばスパッタで容易に形成することができる。

例えば、Ｓｉと遷移金属の合金をターゲットとして作製する。また、Ｓｉと遷移金属をそれぞれ別のターゲットとして用意し、双方の配合比を変えて作製することもできる。

合金ターゲットを使用する場合は、合金ターゲットのＳｉと遷移金属の配合比の比率を変えたものを用いることで、配合比の異なる第１表面処理膜１２１と第２表面処理膜１２２とを形成することができる。

また、第１表面処理膜１２１も第２表面処理膜１２２も、図３に示すように膜の厚さ方向にＳｉと遷移金属（ここではＺｒ）との配合比を変化させて形成することもできる。

ノズル基材１１０との密着性では、ＳｉＯ_２単体の方が高いため、ノズル基材１１０との界面側でＳｉＯ_２（モデル３１）の割合を高く、ノズル基材１１０に重ねる層との界面側で遷移金属の酸化物（、ＺｒＯ_２：モデル３２）の割合を高くすると、高い密着性と耐インク性の両方を兼ね備えることができる。この場合、遷移金属の配合量を少量にでき、コストの増加を抑制することもできる。

次に、有機撥液膜１２０について説明する。撥液膜１２０を形成する撥水剤としては、例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が上げられる。特に、パーフルオロ基とシラノール基の両方を備えたシランあるいはシランカップリング剤が好ましい。例として、オプツールＤＳＸ（ダイキン工業株式会社製）、ＫＢＭ−７１０３ (信越シリコーン株式会社製)といった樹脂が挙げられる。

なお、撥液剤は、シラノール基の官能数が限定されるものではない。

撥液剤の塗布工法としては、スプレー塗布、コーターによる塗布、スピンコート、キャスト法、蒸着、ディッピング法、等が挙げられる。

ノズル基材の滴吐出面側にある程度選択的に塗布が可能な点と、濡れ性の差を利用してノズル穴への入り込みを抑えることからすると、塗布直後の撥液剤に流動性があるスプレー塗布、コーターによる塗布、スピンコートといった工法でも効果がある。この場合、ノズル穴に液室面側から気流を生じさせつつ塗布すると、よりいっそうノズル穴への入り込みを抑えることができる。

また、ディッピング法のようにドブ漬けで滴吐出面、液室面の両面に撥液剤が付着する工法を使用することができる。滴吐出面側の撥液膜を単層膜としても十分に耐久性・耐インク性を確保できる材料、及び下地層（第１表面処理膜）配合比とすれば、リンスして両面に付着する撥液剤を単層膜とすることができる。単層膜とすることで、液室面側、およびノズル穴内に入った撥液剤をプラズマなどで容易に除去することができる。

次に、接着剤１１３の下地層となる第２表面処理膜１２２には、シランカップリング剤を塗布することが好ましい。

シラノール基が酸化膜表面の水酸基と共有結合して強固につく。シランカップリング剤の反応基が接着剤と一緒に良く反応すれば強固な接着力を得ることができる。シランカップリング剤の反応基としてはエポキシ基、アミノ基等を挙げることができる。

接着剤１１３としては、接液性の高いエポキシ樹脂瀬接着剤が好ましい。エポキシ樹脂としては、直鎖構造のビスフェノールA型エポキシ樹脂、あるいは多官能其型のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ＤＣＰＤ型エポキシ樹脂、及びこれらを混合した接着剤を用いると良い。

次に、ノズル板の製作方法の一例について説明する。

（１）まず、ノズル基材１１０の滴吐出面側表面に、Ｓｉと遷移金属の混合合金のターゲットAを使用してスパッタ処理を行う。

ノズル基材１１０の滴吐出面側表面にまず逆スパッタを行い、表面を清浄化した後、Ａｒ及びＯ_２をドープしながらスパッタを行い、遷移金属を含むＳｉの酸化膜を第１表面処理膜１２１として形成する。遷移金属としては、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａなどが好ましい。また、ＳｉＯ_２と比較して、遷移金属の添加された酸化物は溶出しにくく、少量の添加で顕著な効果を示す。

実施例１としてＺｒを、実施例２としてＴａを使用した。滴吐出面側表面と流路板との接合面（液室面）で、それぞれに使用するターゲットに含まれる遷移金属は同じでもよいし、異なっていてもよい。

配合比として、接液性に対して遷移金属の割合が１％程度から効果が得られる。概ね５％〜５０％で十分に効果が得られる。遷移金属の割合が大きいほど、接液する以前の初期の撥液剤の密着性が損なわれてしまう。撥液剤の材料、及びヘッドに求める耐久性により最適値は異なってくるため、配合比はバランスをとる必要がある。

本実施形態では、液室面よりも撥液剤溶液に対して滴吐出面に濡れ性を確保したい狙いがある。したがって、ターゲットＡの配合比は、液室面のスパッタに用いるターゲットＢよりも、遷移金属の割合を少なくする。概ね５％〜４０％程度が好ましい。また、ターゲットＡとターゲットＢの遷移金属の配合比には、５％以上差があることが好ましい。

実施例１及び実施例２として、ターゲットＡの遷移金属の配合比は１０％を選択した。

（２）液室面側にターゲットＡよりも遷移金属の割合が高いＳｉと遷移金属の混合合金のターゲットＢを使用したスパッタ処理を行う。

実施例１及び実施例２として、ターゲットＢの遷移金属の配合比は２０％を選択した。

（３）滴吐出面にプラズマ照射を行って、下地層（第１表面処理膜１２１）の表面の酸化膜を取り除く。

これにより、空気中の水分を取り込んで、表層に多くの水酸基が付着する。

このため、滴吐出面の濡れ性がより高くなる。

（４）滴吐出面に撥液剤の溶液を塗布する。

滴吐出面側が液室面より濡れやすい構成としているので、ノズル穴１０１内への撥液剤の入り込みが低減する。

撥液剤のシラノール基が滴吐出面側の第１表面処理膜１２１に付いた水酸基と反応して、撥液剤樹脂が下地の第１表面処理膜１２１の酸化物と共有結合で結合する。

実施例１及び実施例２として、撥液剤にオプルールＤＳＸを使用した。

（５）リンス
余分な撥液剤樹脂を溶剤で洗い流す、あるいはふき取ることで、単分子を滴吐出面に残して取り除く。単分子層とすることで、非常に高い撥液性を持たせることができる。耐摩耗性を撥液性よりも重視する場合は行わなくてもよい。

（６）滴吐出面をマスクする。

次工程で行うプラズマ照射でノズル穴１０１周辺に成膜した撥液剤（撥液膜）をプラズマから守るためフィルムを貼る。

（７）液室面側からプラズマ照射を行う。

これにより、裏面にわずかに入り込んだ撥液剤をプラズマで叩いて取り除く。

上述したように、ノズル穴内に入り込む撥液剤はより少量となっており、より低出力、短時間のプラズマ照射で、ノズル穴内に入り込んだ撥液剤を取り除くことができる。

低出力のプラズマで液室面側やノズル穴内に入り込んだ撥液剤を取り除けるため、ノズル穴のエッジの撥液剤がプラズマにより取り除かれてしまう不具合を生じにくくすることができる。

次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図４及び図５を参照して説明する。図４は同装置の機構部の側面説明図、図５は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置である。左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する。そして、一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、それぞれ吐出する。また、他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。

また、記録ヘッド２３４のヘッドタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部を備えている。給紙部は、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備えている。分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備える。それとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙される。そして、用紙２４２は、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。さらに、用紙２４２は、先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対して交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。この帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１００液体吐出ヘッド
１０１ノズル（ノズル穴）
１０２ノズル板
１０３圧力室
１０４流路板
１０５振動板
１１０ノズル基材
１２０有機撥液膜
１２１第１表面処理膜
１２２第２表面処理膜
１４０電気機械変換素子
２３３キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ記録ヘッド

Claims

液滴を吐出するノズル部材と、
前記ノズル部材に接着剤で接合する流路板と、を有し、
前記ノズル部材は、
ノズル穴が形成されたノズル基材の滴吐出側表面に、第１表面処理膜が形成されて、前記第１表面処理膜上に撥液膜が形成され、
前記ノズル基材の前記流路板との接合面側表面に、第２表面処理膜が形成され、
前記第１表面処理膜及び前記第２表面処理膜は、いずれも、Ｓｉを含む酸化膜であり、前記酸化膜は、Ｓｉと酸素を介して結合した不動態膜を形成する遷移金属を含み、
前記第１表面処理膜におけるＳｉと遷移金属との配合比と、前記第２表面処理膜におけるＳｉと遷移金属との配合比とが異なる
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
前記第１表面処理膜における遷移金属に対するＳｉの配合比が、前記第２表面処理膜における遷移金属に対するＳｉの配合比よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２表面処理膜は、前記ノズル基材のノズル穴の内壁面まで形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
前記撥液剤は、シラノール基を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記接着剤は、シラノール基を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。