JP6156633B2 - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
基板の表面の、薄膜パターンを形成すべき予定領域の縁に沿って、尾根状の堰き止め構造を形成する工程と、
前記堰き止め構造を形成した後、前記予定領域内に、光硬化性の液状の薄膜材料を液滴化して着弾させた後、前記予定領域に着弾した薄膜材料に仮硬化用の光を照射して仮硬化させることにより膜要素を形成する工程と、
前記膜要素の上に、光硬化性の液状の薄膜材料を塗布することにより、液状膜を形成する工程と、
前記液状膜及び前記膜要素に、前記仮硬化用の光よりも光強度が強い本硬化用の光を照射して、前記液状膜を硬化させると共に、前記膜要素の硬化度を高める工程と
を有する薄膜形成方法が提供される。
基板を保持するステージと、
前記ステージに保持された基板に対向し、前記基板に向けて光硬化性の液状の薄膜材料を液滴にして吐出する複数のノズル孔を含む複数のノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドから吐出されて前記基板に塗布された前記薄膜材料に仮硬化用の光を照射する複数の仮硬化用光源と、
前記ノズルヘッド及び前記仮硬化用光源を含むノズルユニットと、前記基板との一方を他方に対して、前記基板の表面に平行な第1の方向に移動させる移動機構と、
前記基板に、本硬化用の光を照射する本硬化用光源と、
前記ノズルヘッド、前記仮硬化用光源、及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記ノズルヘッド、前記仮硬化用光源、前記本硬化用光源、及び前記移動機構を制御して、
前記仮硬化用光源を点灯させた状態で、基板の表面の、薄膜パターンを形成すべき予定領域の縁に沿って、前記ノズルヘッドから吐出された薄膜材料を着弾させ、着弾した薄膜材料を仮硬化させることにより堰き止め構造を形成し、
前記堰き止め構造を形成した後、前記予定領域内に、前記ノズルヘッドから吐出された薄膜材料を着弾させ、前記予定領域に着弾した薄膜材料に仮硬化用の光を照射して仮硬化させることにより膜要素を形成し、
前記膜要素の上に、前記ノズルヘッドから吐出された光硬化性の液状の薄膜材料を塗布することにより、液状膜を形成し、
前記液状膜及び前記膜要素に、前記本硬化用光源から本硬化用の光を照射して、前記液状膜を硬化させると共に、前記膜要素の硬化度を高める薄膜形成装置が提供される。
図1A、図1B〜図5A、図5Bを参照して、実施例1による薄膜形成方法について説明する。図1A、図2A、図3A、図4A、及び図5Aは、薄膜を形成すべき対象である基板10の一部の平面図を示す。図1B、図2B、図3B、図4B、及び図5Bは、それぞれ図1A、図2A、図3A、図4A、及び図5Aの一点鎖線1B−1B、2B−2B、3B−3B、4B−4B、及び5B−5Bにおける断面図を示す。
光量の分布の一例を示す。比較例では、液状の薄膜材料の仮硬化が行われず、所望の厚さの液状膜を形成した後、本硬化を行う。実線Etは、薄膜20の露光量の分布を示す。この分布は、図6Aにおいて破線Efで表された本硬化用の光18による露光量の分布と等しい。
1を制御することにより、所望のパターンを有する薄膜を形成することができる。
図9に、実施例2による薄膜形成装置の概略正面図を示す。実施例2による薄膜形成装置は、搬入ステーション60、仮位置決めステーション61、塗布ステーション62、本硬化ステーション63、及び搬送装置64を含む。水平面をxy面とし、鉛直上方をz軸の正の向きとするxyz直交座標を定義する。搬入ステーション60、仮位置決めステーション61、塗布ステーション62、及び本硬化ステーション63が、x軸の正の向きに向かってこの順番に配置されている。制御装置50が、搬入ステーション60、仮位置決めステーション61、塗布ステーション62、本硬化ステーション63内の各装置、及び搬送装置64を制御する。制御装置50は、基板10に形成すべき薄膜パターンの平面形状を定義するイメージデータを記憶している。
案内されて、x方向に移動する。一方のリフタ71は、仮位置決めステーション61から塗布ステーション62まで基板10を搬送し、他方のリフタ72は、塗布ステーション62から本硬化ステーション63まで基板10を搬送する。
塗布しない複数の開口13が分布している。予定領域11のパターンを定義するイメージデータが、制御装置50(図5)に記憶されている。
11 薄膜パターンを形成すべき予定領域
12 予定領域の縁
13 開口
14 堰き止め構造
15 液状膜
15A 膜要素
16 液状膜
16A 最上層の膜要素
17 液状膜
17A 堰き止め要素
18 本硬化用の光
19 外周線
20 薄膜
21 仮硬化用の光
30 ステージ
31 移動機構
32 定盤
33 撮像装置
34 高さセンサ
35 Y方向ガイド
40 ノズルユニット
41 ノズルヘッド
43 仮硬化用光源
50 制御装置
60 搬入ステーション
61 仮位置決めステーション
62 塗布ステーション
63 本硬化ステーション
64 搬送装置
65 第1の搬送ローラ
66 第2の搬送ローラ
67 ストッパ
68 本硬化用光源
70 ガイド
71、72 リフタ
Claims (7)
- 基板の表面の、薄膜パターンを形成すべき予定領域の縁に沿って、尾根状の堰き止め構造を形成する工程と、
前記堰き止め構造を形成した後、前記予定領域内に、光硬化性の液状の薄膜材料を液滴化して着弾させた後、前記予定領域に着弾した薄膜材料に仮硬化用の光を照射して仮硬化させることにより膜要素を形成する工程と、
前記膜要素の上に、光硬化性の液状の薄膜材料を塗布することにより、液状膜を形成する工程と、
前記液状膜及び前記膜要素に、前記仮硬化用の光よりも光強度が強い本硬化用の光を照射して、前記液状膜を硬化させると共に、前記膜要素の硬化度を高める工程と
を有する薄膜形成方法。 - 前記液状膜を形成する薄膜材料は、染料または顔料を含んでいる請求項1に記載の薄膜形成方法。
- 前記液状膜を形成する工程において、前記堰き止め構造が、前記膜要素の上に塗布された液状の薄膜材料を堰き止めている請求項1または2に記載の薄膜形成方法。
- 前記液状膜を形成する工程において、薄膜材料を液滴化して前記膜要素の表面に着弾させることにより前記液状膜を形成し、
前記液状膜への前記本硬化用の光の照射は、前記液状膜の表面が、薄膜材料の液滴の形状を反映した凹凸形状を留めない程度まで平坦化された後に行われる請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薄膜形成方法。 - 基板を保持するステージと、
前記ステージに保持された基板に対向し、前記基板に向けて光硬化性の液状の薄膜材料を液滴にして吐出する複数のノズル孔を含む複数のノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドから吐出されて前記基板に塗布された前記薄膜材料に仮硬化用の光を照射する複数の仮硬化用光源と、
前記ノズルヘッド及び前記仮硬化用光源を含むノズルユニットと、前記基板との一方を他方に対して、前記基板の表面に平行な第1の方向に移動させる移動機構と、
前記基板に、本硬化用の光を照射する本硬化用光源と、
前記ノズルヘッド、前記仮硬化用光源、及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記ノズルヘッド、前記仮硬化用光源、前記本硬化用光源、及び前記移動機構を制御して、
前記仮硬化用光源を点灯させた状態で、基板の表面の、薄膜パターンを形成すべき予定領域の縁に沿って、前記ノズルヘッドから吐出された薄膜材料を着弾させ、着弾した薄膜材料を仮硬化させることにより堰き止め構造を形成し、
前記堰き止め構造を形成した後、前記予定領域内に、前記ノズルヘッドから吐出された薄膜材料を着弾させ、前記予定領域に着弾した薄膜材料に仮硬化用の光を照射して仮硬化させることにより膜要素を形成し、
前記膜要素の上に、前記ノズルヘッドから吐出された光硬化性の液状の薄膜材料を塗布することにより、液状膜を形成し、
前記液状膜及び前記膜要素に、前記本硬化用光源から本硬化用の光を照射して、前記液状膜を硬化させると共に、前記膜要素の硬化度を高める薄膜形成装置。 - 前記ノズルヘッドから吐出される薄膜材料は、染料または顔料を含んでいる請求項5に記載の薄膜形成装置。
- 前記堰き止め構造は、前記液状膜を形成する液状の薄膜材料の、前記予定領域の内側から外側への流出を防止する高さを有する請求項5または6に記載の薄膜形成装置。
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