JP6119432B2 - 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 54
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 39
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 28
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 28
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 73
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000036571 hydration Effects 0.000 description 2
- 238000006703 hydration reaction Methods 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000005903 acid hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 boron ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/76224—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using trench refilling with dielectric materials
- H01L21/76229—Concurrent filling of a plurality of trenches having a different trench shape or dimension, e.g. rectangular and V-shaped trenches, wide and narrow trenches, shallow and deep trenches
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
- H01L27/14605—Structural or functional details relating to the position of the pixel elements, e.g. smaller pixel elements in the center of the imager compared to pixel elements at the periphery
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/1461—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements characterised by the photosensitive area
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14638—Structures specially adapted for transferring the charges across the imager perpendicular to the imaging plane
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
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- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
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- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
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Description
(1)
光を電荷に変換する光電変換部と、
前記光電変換部で発生した電荷を転送する転送トランジスタと、
前記光電変換部で発生した電荷を一時的に蓄積する浮遊拡散領域と、
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を増幅して、その電荷に応じたレベルの画素信号を出力する増幅トランジスタと
を少なくとも含む素子を有する画素を備え、
前記画素は、
前記画素を構成する素子どうしを分離する素子分離領域のうち、前記浮遊拡散領域と前記増幅トランジスタとの間の領域にトレンチ構造で構成される第1のトレンチ素子分離領域と、前記画素を構成する素子どうしを分離する素子分離領域のうち、前記浮遊拡散領域と前記増幅トランジスタとの間の領域以外の領域にトレンチ構造で構成される第2のトレンチ素子分離領域とにより素子分離が行われ、
前記第1のトレンチ素子分離領域が前記第2のトレンチ素子分離領域よりも深く形成されている
固体撮像素子。
(2)
前記転送トランジスタと前記浮遊拡散領域との間の素子分離が前記第1のトレンチ素子分離領域により行われる
上記(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を排出するリセットトランジスタと、
前記浮遊拡散領域と前記リセットトランジスタとの間に配置される分離トランジスタと、
前記リセットトランジスタと前記分離トランジスタとの接続部分に設けられる第2の浮遊拡散領域と
をさらに備え、
前記第2の浮遊拡散領域の素子分離が、前記第1のトレンチ素子分離領域により行われる
上記(1)または(2)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記浮遊拡散領域と配線とを接続するコンタクト部が、前記画素を構成する他の素子と配線とを接続するコンタクト部よりも小径に形成されている
上記(1)から(3)までのいずれかに記載の固体撮像素子。
Claims (7)
- 光を電荷に変換する光電変換部と、
前記光電変換部で発生した電荷を転送する転送トランジスタと、
前記光電変換部で発生した電荷を一時的に蓄積する浮遊拡散領域と、
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を増幅して、その電荷に応じたレベルの画素信号を出力する増幅トランジスタと
を少なくとも含む素子を有する画素を備え、
前記画素は、前記画素を構成する素子どうしの分離にトレンチ構造が用いられており、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所に形成される前記トレンチ構造が、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造よりも深く形成される断面構成である
固体撮像素子。 - 前記浮遊拡散領域と前記増幅トランジスタとが、深く形成された前記トレンチ構造により分離される断面構成である
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記浮遊拡散領域と前記転送トランジスタとが、深く形成された前記トレンチ構造により分離される断面構成である
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記浮遊拡散領域と配線とを接続するコンタクト部が、前記画素を構成する他の素子と配線とを接続するコンタクト部よりも小径に形成されている
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 光を電荷に変換する光電変換部と、
前記光電変換部で発生した電荷を転送する転送トランジスタと、
前記光電変換部で発生した電荷を一時的に蓄積する浮遊拡散領域と、
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を増幅して、その電荷に応じたレベルの画素信号を出力する増幅トランジスタと
を少なくとも含む素子を有する画素を備え、
前記画素は、前記画素を構成する素子どうしの分離にトレンチ構造が用いられており、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所に形成される前記トレンチ構造が、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造よりも深く形成される断面構成である
固体撮像素子を備える電子機器。 - 光を電荷に変換する光電変換部と、
前記光電変換部で発生した電荷を転送する転送トランジスタと、
前記光電変換部で発生した電荷を一時的に蓄積する浮遊拡散領域と、
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を増幅して、その電荷に応じたレベルの画素信号を出力する増幅トランジスタと
を少なくとも含む素子を有する画素を備え、
前記画素は、前記画素を構成する素子どうしの分離にトレンチ構造が用いられており、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所に形成される前記トレンチ構造が、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造よりも深く形成される断面構成である
固体撮像素子の製造方法であって、
前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造の深さまで、前記トレンチ構造が形成される全ての箇所にトレンチを形成する第1のエッチングを行い、
前記浮遊拡散領域に隣接する箇所の前記トレンチを、さらに深く形成する第2のエッチングを行う
ステップを含む製造方法。 - 光を電荷に変換する光電変換部と、
前記光電変換部で発生した電荷を転送する転送トランジスタと、
前記光電変換部で発生した電荷を一時的に蓄積する浮遊拡散領域と、
前記浮遊拡散領域に蓄積されている電荷を増幅して、その電荷に応じたレベルの画素信号を出力する増幅トランジスタと
を少なくとも含む素子を有する画素を備え、
前記画素は、前記画素を構成する素子どうしの分離にトレンチ構造が用いられており、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所に形成される前記トレンチ構造が、前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造よりも深く形成される断面構成である
固体撮像素子であって、
前記浮遊拡散領域に隣接する箇所以外に形成される前記トレンチ構造の深さまで、前記トレンチ構造が形成される全ての箇所にトレンチを形成する第1のエッチングを行い、
前記浮遊拡散領域に隣接する箇所の前記トレンチを、さらに深く形成する第2のエッチングを行う
ステップを含む製造方法で製造される固体撮像素子。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013115798A JP6119432B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
TW103115404A TWI624041B (zh) | 2013-05-31 | 2014-04-29 | Solid-state imaging device, electronic device, and manufacturing method |
US14/892,314 US9728569B2 (en) | 2013-05-31 | 2014-05-19 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
KR1020157027477A KR102248958B1 (ko) | 2013-05-31 | 2014-05-19 | 고체 촬상 소자, 전자 기기, 및 제조 방법 |
PCT/JP2014/063209 WO2014192576A1 (ja) | 2013-05-31 | 2014-05-19 | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
CN201480029724.7A CN105264665B (zh) | 2013-05-31 | 2014-05-19 | 固体摄像器件、电子设备和制造方法 |
US15/671,958 US10211246B2 (en) | 2013-05-31 | 2017-08-08 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013115798A JP6119432B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014236071A JP2014236071A (ja) | 2014-12-15 |
JP6119432B2 true JP6119432B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=51988611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013115798A Active JP6119432B2 (ja) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9728569B2 (ja) |
JP (1) | JP6119432B2 (ja) |
KR (1) | KR102248958B1 (ja) |
CN (1) | CN105264665B (ja) |
TW (1) | TWI624041B (ja) |
WO (1) | WO2014192576A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6299058B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2018-03-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び電子機器 |
US9006080B2 (en) * | 2013-03-12 | 2015-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Varied STI liners for isolation structures in image sensing devices |
FR3030884B1 (fr) * | 2014-12-19 | 2016-12-30 | Stmicroelectronics (Grenoble 2) Sas | Structure de pixel a multiples photosites |
US10727264B2 (en) * | 2015-06-05 | 2020-07-28 | Sony Corporation | Imaging element, electronic device, manufacturing apparatus, and manufacturing method |
TWI731017B (zh) | 2016-01-27 | 2021-06-21 | 日商新力股份有限公司 | 固體攝像元件及電子機器 |
US9583527B1 (en) * | 2016-01-28 | 2017-02-28 | Omnivision Technologies, Inc. | Contact resistance reduction |
JP6808348B2 (ja) | 2016-04-28 | 2021-01-06 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置およびカメラ |
CN109690778A (zh) * | 2016-09-13 | 2019-04-26 | 索尼公司 | 电磁波检测元件、电磁波传感器、电子设备和结构体 |
TWI754696B (zh) * | 2016-12-14 | 2022-02-11 | 日商索尼半導體解決方案公司 | 固體攝像元件及電子機器 |
WO2018197987A1 (en) | 2017-04-28 | 2018-11-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging display device and electronic device |
EP3796386B1 (en) * | 2018-05-18 | 2022-09-28 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging element and electronic device |
TWI692093B (zh) * | 2019-05-03 | 2020-04-21 | 久盛光電股份有限公司 | 電磁波檢測裝置 |
US11189655B1 (en) * | 2020-07-08 | 2021-11-30 | Omnivision Technologies, Inc. | Isolation structure for suppressing floating diffusion junction leakage in CMOS image sensor |
US20220013551A1 (en) * | 2020-07-08 | 2022-01-13 | Omnivision Technologies, Inc. | Isolation structure for suppressing floating diffusion junction leakage in cmos image sensor |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118249A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP3759435B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2006-03-22 | ソニー株式会社 | X−yアドレス型固体撮像素子 |
KR100390918B1 (ko) * | 2001-08-30 | 2003-07-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자의 제조방법 |
JP3840203B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置を用いたカメラシステム |
KR100809323B1 (ko) * | 2006-01-31 | 2008-03-05 | 삼성전자주식회사 | 크로스토크가 감소하고 감도가 증가한 이미지 센서 |
JP5116264B2 (ja) * | 2006-07-10 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換装置の製造方法および光電変換装置を用いた撮像システム |
JP4420039B2 (ja) * | 2007-02-16 | 2010-02-24 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
EP2109143B1 (en) * | 2008-04-09 | 2013-05-29 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, production method thereof, and electronic device |
JP2009283649A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP5297135B2 (ja) * | 2008-10-01 | 2013-09-25 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法 |
JP2010206173A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Canon Inc | 光電変換装置およびカメラ |
TWI515885B (zh) * | 2009-12-25 | 2016-01-01 | 新力股份有限公司 | 半導體元件及其製造方法,及電子裝置 |
JP2012015274A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Canon Inc | 固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法。 |
US8390089B2 (en) * | 2010-07-27 | 2013-03-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Image sensor with deep trench isolation structure |
JP5664175B2 (ja) * | 2010-11-29 | 2015-02-04 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその駆動方法、及び電子機器 |
JP5812692B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
JP5950514B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2016-07-13 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
JP5743837B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2015-07-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像装置および撮像システム |
KR101853333B1 (ko) * | 2011-10-21 | 2018-05-02 | 삼성전자주식회사 | 블랙 레벨 안정화를 위한 이미지 센서 |
KR101968197B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2019-04-12 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이의 형성 방법 |
KR101989567B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2019-06-14 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
KR101967835B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2019-04-10 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서의 단위 픽셀 및 이를 포함하는 픽셀 어레이 |
JP2014022448A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
US8878325B2 (en) * | 2012-07-31 | 2014-11-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Elevated photodiode with a stacked scheme |
US9006080B2 (en) * | 2013-03-12 | 2015-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Varied STI liners for isolation structures in image sensing devices |
-
2013
- 2013-05-31 JP JP2013115798A patent/JP6119432B2/ja active Active
-
2014
- 2014-04-29 TW TW103115404A patent/TWI624041B/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-05-19 KR KR1020157027477A patent/KR102248958B1/ko active IP Right Grant
- 2014-05-19 WO PCT/JP2014/063209 patent/WO2014192576A1/ja active Application Filing
- 2014-05-19 US US14/892,314 patent/US9728569B2/en active Active
- 2014-05-19 CN CN201480029724.7A patent/CN105264665B/zh active Active
-
2017
- 2017-08-08 US US15/671,958 patent/US10211246B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105264665A (zh) | 2016-01-20 |
WO2014192576A1 (ja) | 2014-12-04 |
TW201445717A (zh) | 2014-12-01 |
KR102248958B1 (ko) | 2021-05-07 |
CN105264665B (zh) | 2019-04-05 |
US10211246B2 (en) | 2019-02-19 |
KR20160016754A (ko) | 2016-02-15 |
TWI624041B (zh) | 2018-05-11 |
JP2014236071A (ja) | 2014-12-15 |
US9728569B2 (en) | 2017-08-08 |
US20160093651A1 (en) | 2016-03-31 |
US20170373103A1 (en) | 2017-12-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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R250 | Receipt of annual fees |
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